CN219464183U - 基板清洗装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种基板清洗装置，涉及显示面板制造技术领域。基板清洗装置包括清洗箱、基板运送机构、喷淋机构和可视窗清洁机构，清洗箱上设有可视窗，基板运送机构和喷淋机构均设于清洗箱内，基板运送机构设于可视窗和喷淋机构之间，待清洗基板通过基板运送机构运送至喷淋机构的上方，喷淋机构对待清洗基板进行喷射清洗。可视窗清洁机构包括清洁组件，清洁组件设于可视窗的下方，能自可视窗的一端移动至另一端，以清洁可视窗。当可视窗聚集大量水珠或水汽后，清洁组件自可视窗的一端移动至另一端，清洁可视窗上的水珠或水汽，以便于通过可视窗观察基板的传送情况，当基板的传送发生异常时及时处理，避免基板或设备损坏。

Description

基板清洗装置

技术领域

本实用新型涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种基板清洗装置。

背景技术

在液晶显示面板制造过程中，经常会使用大量的药液和水对玻璃基板进行喷淋冲刷，期间会产生大量的水汽，尤其对于有喷淋机构的高压冲洗，会使得清洗箱的可视窗上聚集很多水汽，导致无法通过可视窗观察清洗箱内的基板传送情况，不便于对基板的传送异常及时进行处理，造成基板或设备损坏。

现有技术中通常通过用力拍打可视窗，使得水珠掉落，或者将可视窗拆下用无尘布进行擦拭。这样清洁水汽的方式极不便利，而且效果不佳。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种基板清洗装置，便于对可视窗上的水珠或水汽进行有效清洁，从而能够及时处理基板的传送异常，避免基板和设备损坏。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

基板清洗装置，包括清洗箱，其上设有可视窗；所述基板清洗装置还包括：

基板运送机构和喷淋机构，均设于所述清洗箱内，所述基板运送机构设于所述可视窗和所述喷淋机构之间，待清洗基板通过所述基板运送机构运送至所述喷淋机构的上方，所述喷淋机构对所述待清洗基板进行喷射清洗；

可视窗清洁机构，包括清洁组件，所述清洁组件设于所述可视窗的下方，能自所述可视窗的一端移动至另一端，以清洁所述可视窗。

作为基板清洗装置的一个可选方案，所述清洗箱的内壁上设置有导轨，所述导轨设置有两个，两个所述导轨分别设置于所述可视窗的相对两侧；

所述清洁组件包括雨刮器，所述雨刮器通过底座固定，所述底座的下方设有滚轮，所述滚轮与所述导轨配合，以使所述雨刮器自所述可视窗的一端移动至另一端，以清洁所述可视窗。

作为基板清洗装置的一个可选方案，所述清洁组件还包括吹气部件，所述吹气部件能对所述雨刮器清洁后的所述可视窗进行吹气干燥。

作为基板清洗装置的一个可选方案，所述雨刮器为橡胶雨刮器，所述吹气部件包括狭缝式风刀和高压气体管路，所述狭缝式风刀设于所述橡胶雨刮器的一侧，所述狭缝式风刀包括狭缝部，所述高压气体管路的出气口与所述狭缝部的进风口连接，所述狭缝部的出风口正对所述可视窗设置，压缩干燥空气通过所述高压气体管路进入所述狭缝部，以对所述可视窗吹气干燥。

作为基板清洗装置的一个可选方案，所述狭缝部的进风口设置有凹槽，所述凹槽的横截面为圆形，所述高压气体管路的出气口与圆形的所述凹槽连接。

作为基板清洗装置的一个可选方案，所述凹槽的直径大于所述狭缝部的宽度，所述狭缝部的出气口与所述可视窗之间留有预设间距。

作为基板清洗装置的一个可选方案，所述雨刮器为海绵雨刮器，所述底座包括容纳腔、压缩干燥空气的接入口和多个出气孔，所述容纳腔设于所述底座内，所述底座与所述海绵雨刮器连接的侧面均匀布设有多个出气孔，所述压缩干燥空气的接入口设于所述底座的另一侧面，所述压缩干燥空气的接入口和多个所述出气孔均与所述容纳腔连通；

所述吹气部件包括高压气体管路，所述高压气体管路与所述压缩干燥空气的接入口连接。

作为基板清洗装置的一个可选方案，所述可视窗清洁机构还包括管路引导组件，所述管路引导组件包括引导绳和引导环，所述引导绳设于所述可视窗的一侧，并沿所述雨刮器的移动方向延伸，所述引导环设有多个，多个所述引导环均可移动地设于所述引导绳，所述高压气体管路依次穿过多个所述引导环与所述吹气部件连接。

作为基板清洗装置的一个可选方案，所述滚轮内设防水电机，所述防水电机与所述滚轮传动连接。

作为基板清洗装置的一个可选方案，所述底座由金属或磁铁制成；所述清洗箱的外壁对应所述底座设有磁铁滑块，移动所述磁铁滑块，能带动所述滚轮同步移动。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的基板清洗装置，清洗箱内设有基板运送机构和喷淋机构，待清洗基板通过基板运送机构运送至喷淋机构的上方，喷淋机构对待清洗基板进行喷射清洗。清洗箱上设有可视窗，基板运送机构设于可视窗和喷淋机构之间，通过可视窗观察清洗箱内的基板运送机构是否异常。喷淋机构对待清洗基板进行高压冲洗，可视窗上容易聚集水珠或水汽。通过设置可视窗清洁机构，可视窗清洁机构包括清洁组件，清洁组件设于可视窗的下方，当可视窗聚集大量水珠或水汽后，清洁组件自可视窗的一端移动至另一端，以清洁可视窗上的水珠或水汽，以便于通过可视窗观察基板的传送情况，当基板的传送发生异常时及时处理，避免基板或设备损坏。该基板清洗装置，通过清洁组件能够对可视窗进行清洁，清洁方式简单便捷，而且清洁效果好。

附图说明

图1是本实用新型具体实施方式提供的基板清洗装置的滚轮通过电机驱动的结构示意图；

图2是本实用新型具体实施方式提供的基板清洗装置的滚轮通过磁铁滑块驱动的结构示意图；

图3是本实用新型具体实施方式提供的第一种可视窗清洁机构的俯视图；

图4是本实用新型具体实施方式提供的第一种可视窗清洁机构沿清洁组件移动方向的侧视图；

图5是本实用新型具体实施方式提供的第一种可视窗清洁机构沿垂直于清洁组件移动方向的侧视图；

图6是本实用新型具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构的俯视图；

图7是本实用新型具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构沿清洁组件移动方向的侧视图；

图8是本实用新型具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构的清洁组件的结构示意图；

图9是本实用新型具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构的高压气体管路随清洁组件移动过程中的高压气体管路的状态示意图；

图10是本实用新型具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构的高压气体管路随清洁组件移动至可视窗的另一端的高压气体管路的状态示意图；

图11是本实用新型具体实施方式提供的第三种可视窗清洁机构的底座上出气孔的分布示意图；

图12是本实用新型具体实施方式提供的第三种可视窗清洁机构的底座和海绵雨刮器的侧视图。

图中：

1、清洗箱；2、喷淋机构；3、雨刮器；4、导轨；5、底座；6、滚轮；7、狭缝式风刀；8、高压气体管路；9、管路引导组件；10、磁铁滑块；11、可视窗；31、橡胶雨刮器；32、海绵雨刮器；51、压缩干燥空气的接入口；52、出气孔；71、狭缝部；91、引导绳；92、引导环。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

图1是本实用新型具体实施方式提供的基板清洗装置的滚轮通过电机驱动的结构示意图；图2是本实用新型具体实施方式提供的基板清洗装置的滚轮通过磁铁滑块驱动的结构示意图；如图1和图2所示，本实施例提供了一种基板清洗装置，包括清洗箱1、基板运送机构(图中未示出)和喷淋机构2，清洗箱1上设有可视窗11，基板运送机构和喷淋机构2均设于清洗箱1内，基板运送机构设于可视窗11和喷淋机构2之间，待清洗基板通过基板运送机构运送至喷淋机构2的上方，喷淋机构2对待清洗基板进行喷射清洗。

关于基板运送机构和喷淋机构2的具体结构已是现有技术，在此不再赘述。由于基板运送机构上的相邻基板之间存在间隙，在喷淋机构2对基板运送机构上的待清洗基板进行高压冲洗时，冲洗液容易经相邻基板之间的间隙喷射至可视窗11，在可视窗11上形成水珠；另外，高压冲洗时冲洗液形成的水汽也容易聚集在可视窗11上，导致无法通过可视窗11观察清洗箱1内基板的传送情况，一旦基板传送出现异常，无法及时处理。

为了及时处理可视窗11上集聚的水珠或水汽，本实施例提供的基板清洗装置还包括可视窗清洁机构，可视窗清洁机构包括清洁组件，清洁组件设于可视窗11的下方，能自可视窗11的一端移动至另一端，以清洁可视窗11。当可视窗11聚集大量水珠或水汽后，清洁组件自可视窗11的一端移动至另一端，清洁可视窗11上的水珠或水汽，以便于通过可视窗11观察基板的传送情况，当基板的传送发生异常时及时处理，避免基板或设备损坏。该基板清洗装置，通过清洁组件能够对可视窗11进行清洁，清洁方式简单便捷，而且清洁效果好。

图3是本实用新型具体实施方式提供的第一种可视窗清洁机构的俯视图；图4是本实用新型具体实施方式提供的第一种可视窗清洁机构沿清洁组件移动方向的侧视图；图5是本实用新型具体实施方式提供的第一种可视窗清洁机构沿垂直于清洁组件移动方向的侧视图；如图3-图5所示，作为基板清洗装置的一个可选方案，清洗箱1的内壁上设置有导轨4，导轨4设置有两个，两个导轨4分别设置于可视窗11的相对两侧。清洁组件包括雨刮器3，雨刮器3通过底座5固定，底座5的下方设有滚轮6，滚轮6与导轨4配合，以使雨刮器3自可视窗11的一端移动至另一端，以清洁可视窗11。通过滚轮6与导轨4配合，为雨刮器3的移动提供了导向作用，避免雨刮器3在移动的过程中发生偏斜，无法完全与可视窗11抵接，从而影响可视窗11的清洁效果。

导轨4可以直接固定于清洗箱1的相对两侧壁上，也可以在清洗箱1的相对两侧壁上设置支撑板，将导轨4固定于支撑板上。底座5设置有两个，两个底座5分别设置于雨刮器3的两端，每个底座5的下方连接一个滚轮6。

为了实现滚轮6带动雨刮器3移动，本实用新型提供了两种驱动方式。

图1所示为本实用新型提供的第一种驱动方式，滚轮6内设防水电机，防水电机与滚轮6传动连接，通过防水电机驱动滚轮6，滚轮6通过底座5带动雨刮器3移动。

在本实施例中，两个滚轮6中，其中一个为主动滚轮，另一个为从动滚轮，在主动滚轮内设有防水电机，从动滚轮随主动滚轮移动。

当然，在其他实施例中，也可以在两个滚轮6内均设置防水电机。

图2所示为本实用新型提供的第二种驱动方式，底座5由金属或磁铁制成；清洗箱1的外壁对应底座5设有磁铁滑块10，移动磁铁滑块10，能带动滚轮6同步移动。通过手动移动可视窗11外侧的磁铁滑块10，可视窗11内部的底座5可随磁铁滑块10的移动而移动。

可选地，在可视窗11的外侧设置滑槽，将磁铁滑块10设置于滑槽内，以使磁铁滑块10在滑槽的引导下移动，避免在移动过程中发生偏斜，无法带动底座5移动。

雨刮器3自可视窗11的一端移动至另一端的过程中，能够将可视窗11上的水珠或水汽刮下，但是可视窗11上可能还会留有水渍，水渍也会影响可视窗11的观察效果。为了提高可视窗11的清洁效果，本实用新型还提供了第二种可视窗清洁机构，图6是本实用新型具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构的俯视图；如图6所示，清洁组件还包括吹气部件，吹气部件能对雨刮器3清洁后的可视窗11进行吹气干燥。通过吹气部件对雨刮器3清洁后的可视窗11进行吹气干燥，能将可视窗11上留有的水渍清除，提高了可视窗11的清洁效果，从而通过可视窗11观察清洁箱内部的情况更清楚。

图7是本实用新型具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构沿清洁组件移动方向的侧视图；图8是本实用新型具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构的清洁组件的结构示意图；如图7和图8所示，作为本实用新型一个可选实施例，雨刮器3为橡胶雨刮器31，吹气部件包括狭缝式风刀7和高压气体管路8，狭缝式风刀7设于橡胶雨刮器31的一侧，狭缝式风刀7包括狭缝部71，高压气体管路8的出气口与狭缝部71的进风口连接，狭缝部71的出风口正对可视窗11设置，压缩干燥空气通过高压气体管路8进入狭缝部71，以对可视窗11吹气干燥。

狭缝式风刀7与橡胶雨刮器31的长度相同，狭缝部71沿狭缝式风刀7的长度方向设置，狭缝部71的进风口位于狭缝部71远离可视窗11的一端，狭缝部71的出风口位于狭缝部71靠近可视窗11的一端。压缩干燥空气自狭缝部71的进风口的一端或两端输入，在压缩干燥空气的高压作用下能经狭缝部71的出风口对可视窗11均匀吹气，以干燥可视窗11上的水渍。高压气体管路8用于将压缩干燥空气自清洗箱1外部引入清洗箱1内部，以通过狭缝式风刀7的狭缝部71对可视窗11吹气。

为了便于高压气体管路8与狭缝部71的进风口连接，狭缝部71的进风口设置有凹槽，凹槽的横截面为圆形，高压气体管路8的出气口与圆形的凹槽连接。

为了使得压缩干燥空气对可视窗11的干燥效果更好，在狭缝部71的进风口和狭缝部71的出风口形成更大的压力差，作为基板清洗装置的一个可选方案，凹槽的直径大于狭缝部71的宽度，狭缝部71的出气口与可视窗11之间留有预设间距。由于狭缝部71的进风口和出风口的宽度相同，在狭缝部71内压缩干燥空气的压力不会发生变化，将狭缝部71的进风口的凹槽的直径设置为大于狭缝部71的宽度，在压缩干燥空气自凹槽进入狭缝部71时压力增大，自狭缝部71的出气口流出时压力也增大，从而作用于可视窗11上的压缩干燥空气的压力更大，干燥效果更好。另外，狭缝部71的出气口与可视窗11之间留有预设间距，该预设间距根据试验获取，选取干燥效果最好的间距，避免预设间距过大，减弱压缩干燥空气作用于可视窗11上的压力，减弱干燥效果；同时避免预设间距过小，压缩干燥空气的压力无处释放，损坏可视窗11。

可选地，狭缝部71的宽度为100um，凹槽的直径为150um～200um，使得压缩干燥气体在凹槽与狭缝部71的出风口之间形成适宜的压力差。

在本实施例中，橡胶雨刮器31和狭缝式风刀7均固定于底座5上。底座5的具体形状可根据橡胶雨刮器31和狭缝式风刀7的具体尺寸进行设计，需满足橡胶雨刮器31与可视窗11抵接，狭缝式风刀7的出风口与可视窗11之间留有预设间距。

由于高压气体管路8随底座5的移动而移动，高压气体管路8由橡胶等柔性材质制成，高压气体管路8位于可视窗11的一端时，高压气体管路8呈弯曲状，高压气体管路8随底座5移动至可视窗11的另一端时，高压气体管路8被拉直。为了避免高压气体管路8在呈弯曲状时下垂与基板运送机构产生干涉，可视窗清洁机构还包括管路引导组件9，管路引导组件9包括引导绳91和引导环92，引导绳91设于可视窗11的一侧，并沿雨刮器3的移动方向延伸，引导环92设有多个，多个引导环92均可移动地设于引导绳91，高压气体管路8依次穿过多个引导环92与吹气部件连接。

引导绳91的两端分别固定于清洗箱1的相对两侧壁上，多个引导环92均套设于引导绳91上，高压气体管路8进入清洗箱1后，依次穿过多个引导环92后与凹槽的一端连接。若凹槽的两端均设有高压气体管路8，管路引导组件9也设置有两个，两个管路引导组件9分别设置于凹槽的两端。

图9是本实用新型具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构的高压气体管路随清洁组件移动过程中的高压气体管路的状态示意图；图10是本实用新型具体实施方式提供的第二种可视窗清洁机构的高压气体管路随清洁组件移动至可视窗的另一端的高压气体管路的状态示意图；如图9和图10所示，在狭缝式风刀7随底座5移动的过程中，高压气体管路8逐渐被拉直，离基板运送机构越来越远；在狭缝式风刀7随底座5移动至可视窗11的另一端时，高压气体管路8基本被完全拉直，高压气体管路8离基板运送机构最远。

图11是本实用新型具体实施方式提供的第三种可视窗清洁机构的底座上出气孔的分布示意图；图12是本实用新型具体实施方式提供的第三种可视窗清洁机构的底座和海绵雨刮器的侧视图。如图11和图12所示，在本实用新型另一个可选实施例中，雨刮器3为海绵雨刮器32，底座5包括容纳腔、压缩干燥空气的接入口51和多个出气孔52，容纳腔设于底座5内，底座5与海绵雨刮器32连接的侧面均匀布设有多个出气孔52，压缩干燥空气的接入口51设于底座5的另一侧面，压缩干燥空气的接入口51和多个出气孔52均与容纳腔连通；吹气部件包括高压气体管路8，高压气体管路8与压缩干燥空气的接入口51连接。压缩干燥空气自压缩干燥空气的接入口51进入容纳腔，然后再经多个出气孔52均匀吹向海绵雨刮器32，由于海绵雨刮器32的内部有较大的孔隙，海绵雨刮器32的透气性好，自多个出气孔52均匀吹出的压缩干燥空气能经海绵雨刮器32均匀作用于可视窗11，对可视窗11进行干燥。

在本实施例中，出气孔52的直径为0.1mm，间距为0.5mm。自容纳腔进入出气孔52的压缩干燥空气压力增大，通过海绵雨刮器32作用于可视窗11的压力也增大，干燥效果更好。

与底座5的压缩干燥空气的接入口51连接的高压气体管路8也通过管路引导组件9引导，高压气体管路8进入清洗箱1后，依次穿过多个引导环92后与压缩干燥空气的接入口51连接，以将压缩干燥空气送入容纳腔内，容纳腔内的压缩干燥空气再经多个出气孔52均匀吹向海绵雨刮器32，以避免高压气体管路8在呈弯曲状时下垂与基板运送机构产生干涉。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.基板清洗装置，包括清洗箱(1)，其上设有可视窗(11)；其特征在于，所述基板清洗装置还包括：

基板运送机构和喷淋机构(2)，均设于所述清洗箱(1)内，所述基板运送机构设于所述可视窗(11)和所述喷淋机构(2)之间，待清洗基板通过所述基板运送机构运送至所述喷淋机构(2)的上方，所述喷淋机构(2)对所述待清洗基板进行喷射清洗；

可视窗清洁机构，包括清洁组件，所述清洁组件设于所述可视窗(11)的下方，能自所述可视窗(11)的一端移动至另一端，以清洁所述可视窗(11)。

2.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，所述清洗箱(1)的内壁上设置有导轨(4)，所述导轨(4)设置有两个，两个所述导轨(4)分别设置于所述可视窗(11)的相对两侧；

所述清洁组件包括雨刮器(3)，所述雨刮器(3)通过底座(5)固定，所述底座(5)的下方设有滚轮(6)，所述滚轮(6)与所述导轨(4)配合，以使所述雨刮器(3)自所述可视窗(11)的一端移动至另一端，以清洁所述可视窗(11)。

3.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于，所述清洁组件还包括吹气部件，所述吹气部件能对所述雨刮器(3)清洁后的所述可视窗(11)进行吹气干燥。

4.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于，所述雨刮器(3)为橡胶雨刮器(31)，所述吹气部件包括狭缝式风刀(7)和高压气体管路(8)，所述狭缝式风刀(7)设于所述橡胶雨刮器(31)的一侧，所述狭缝式风刀(7)包括狭缝部(71)，所述高压气体管路(8)的出气口与所述狭缝部(71)的进风口连接，所述狭缝部(71)的出风口正对所述可视窗(11)设置，压缩干燥空气通过所述高压气体管路(8)进入所述狭缝部(71)，以对所述可视窗(11)吹气干燥。

5.根据权利要求4所述的基板清洗装置，其特征在于，所述狭缝部(71)的进风口设置有凹槽，所述凹槽的横截面为圆形，所述高压气体管路(8)的出气口与圆形的所述凹槽连接。

6.根据权利要求5所述的基板清洗装置，其特征在于，所述凹槽的直径大于所述狭缝部(71)的宽度，所述狭缝部(71)的出气口与所述可视窗(11)之间留有预设间距。

7.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于，所述雨刮器(3)为海绵雨刮器(32)，所述底座(5)包括容纳腔、压缩干燥空气的接入口(51)和多个出气孔(52)，所述容纳腔设于所述底座(5)内，所述底座(5)与所述海绵雨刮器(32)连接的侧面均匀布设有多个出气孔(52)，所述压缩干燥空气的接入口(51)设于所述底座(5)的另一侧面，所述压缩干燥空气的接入口(51)和多个所述出气孔(52)均与所述容纳腔连通；

所述吹气部件包括高压气体管路(8)，所述高压气体管路(8)与所述压缩干燥空气的接入口(51)连接。

8.根据权利要求4或7所述的基板清洗装置，其特征在于，所述可视窗清洁机构还包括管路引导组件(9)，所述管路引导组件(9)包括引导绳(91)和引导环(92)，所述引导绳(91)设于所述可视窗(11)的一侧，并沿所述雨刮器(3)的移动方向延伸，所述引导环(92)设有多个，多个所述引导环(92)均可移动地设于所述引导绳(91)，所述高压气体管路(8)依次穿过多个所述引导环(92)与所述吹气部件连接。

9.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于，所述滚轮(6)内设防水电机，所述防水电机与所述滚轮(6)传动连接。

10.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于，所述底座(5)由金属或磁铁制成；所述清洗箱(1)的外壁对应所述底座(5)设有磁铁滑块(10)，移动所述磁铁滑块(10)，能带动所述滚轮(6)同步移动。