CN219449854U - 装卸片装置及镀膜设备 - Google Patents

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张勇
罗宁
周宏业
左晶
邓金生
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Abstract

本实用新型公开了一种装卸片装置及镀膜设备,装卸片装置包括基台、第一装载架与第二装载架、驱动机构与装卸机器人,第一装载架与第二装载架之间的夹角为60°‑150°,驱动机构用于驱动基台摆动,装卸机器人用于在不同位置之间取放所述电池片;镀膜装置包括上述的装卸片装置。本实用新型中,第一装载架与第二装载架跟随基台的摆动变换位置,且装卸机器人取放片时,只需在相邻的第一操作位置与第二操作位置之间或者相邻的第二操作位置与第三操作位置之间往复运动进行取放片即可,有效缩短了装卸机器人的运行路径及时间,提高了电池片的产能。

Description

装卸片装置及镀膜设备
技术领域
本实用新型涉及光伏制造设备技术领域,尤其涉及一种装卸片装置及镀膜设备。
背景技术
光伏制造设备中通过石墨舟承载太阳能电池片,如硅片,在镀膜前,硅片需装载至石墨舟,并跟随石墨舟进入炉体内进行镀膜,硅片完成镀膜后,需从石墨舟上卸载并装载到片篮内,为提高生产效率,相关技术中通常采用机器人自动取放片,但由于石墨舟的尺寸较大,进出舟的位置以及取放片的位置通常设置于机器人相对的两侧,机器人需在两个工位之间往复运动,机械人的运行路径及耗费的时间较长,限制了电池片的产能。
实用新型内容
本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本实用新型提出一种装卸片装置,能够缩短机器人的运行路径,提高电池片的产能。
本实用新型还提出一种具有上述装卸片装置的镀膜设备。
根据本实用新型的第一方面实施例的装卸片装置,包括:
基台;
第一装载架,安装于所述基台;
第二装载架,安装于所述基台,所述第一装载架与所述第二装载架均用于装载载片舟,且能够跟随所述基台同步摆动,所述第一装载架与所述第二装载架之间的夹角为60°-150°,所述载片舟用于装载电池片;
驱动机构,与所述基台连接,并用于驱动所述基台摆动,以使所述第一装载架在第一操作位置与第二操作位置之间往复运动,以及所述第二装载架在所述第二操作位置与第三操作位置之间往复运动,所述第二操作位置位于所述第一操作位置与所述第三操作位置之间;
装卸机器人,位于所述基台的上方,并用于在所述第一操作位置与所述第二操作位置之间取放所述电池片,或者在所述第二操作位置与所述第三操作位置之间取放所述电池片。
根据本实用新型实施例的装卸片装置,至少具有如下有益效果:
本实用新型中,第一装载架与第二装载架跟随基台的摆动变换位置,第一装载架在第一操作位置与第二操作位置之间切换,第二装载架在第二操作位置与第三操作位置件之间切换,且装卸机器人取放片时,只需在相邻的第一操作位置与第二操作位置之间或者相邻的第二操作位置与第三操作位置之间往复运动进行取放片即可,有效缩短了装卸机器人的运行路径及时间,提高了电池片的产能。
根据本实用新型的一些实施例,所述驱动机构包括驱动件与转盘,所述驱动件与所述转盘连接,并用于驱动所述转盘转动,所述基台安装于所述转盘的顶部,并能够跟随所述转盘的转动而摆动,所述第一装载架与所述转盘沿竖直方向形成的投影部分重叠,所述第二装载架与所述转盘沿竖直方向形成的投影部分重叠。
根据本实用新型的一些实施例,所述装卸片装置还包括第一定位机构,所述第一装载架与所述第二装载架均安装有所述第一定位机构;
所述第一定位机构包括第一限位件与端部阻挡件,所述第一限位件与所述端部阻挡件分别安装于所述第一装载架相对的两端或所述第二装载架相对的两端,所述第一装载架与所述第二装载架背向所述第一限位件的一端均设有输送口,所述端部阻挡件能够伸出并遮挡所述输送口,以将所述载片舟限位于所述第一限位件与所述端部阻挡件之间,或者所述端部阻挡件能够回退,以避让所述输送口。
根据本实用新型的一些实施例,所述装卸片装置还包括第二定位机构,所述第一装载架与所述第二装载架均安装有所述第二定位机构;
所述第二定位机构包括第二限位件与侧推组件,所述第二限位件与所述侧推组件分别位于所述第一装载架或所述第二装载架相对的两侧,所述侧推组件用于推动所述载片舟抵接于所述第二限位件。
根据本实用新型的一些实施例,所述侧推组件包括基板、多个弹性件与多个侧推件,每一所述弹性件的一端均连接有一个所述侧推件,且另一端与所述基板连接,所述基板能够带动所述侧推件朝向或远离所述载片舟移动。
根据本实用新型的一些实施例,所述第一限位件包括多个限位滚轮,多个所述限位滚轮沿所述侧推组件的推动方向排布。
根据本实用新型的一些实施例,所述装卸片装置还包括输送组件,所述第一装载架的内部与所述第二装载架的内部均安装有所述输送组件;
所述输送组件包括传送件及多个导向滚轮,所述传送件用于放置并传输所述载片舟,所述导向滚轮分布于所述传送件的两侧,并靠近所述输送口。
根据本实用新型的一些实施例,所述第一装载架与所述第二装载架之间的夹角为90°。
根据本实用新型的一些实施例,所述基台具有沿竖直方向贯穿的避让空间,部分所述装卸机器人位于所述避让空间内,所述避让空间位于所述第一装载架与所述第二装载架之间夹角的角平分线上。
根据本实用新型的第二方面实施例的镀膜设备,包括:
第一方面实施例的装卸片装置;
第一接驳装置,与所述第一操作位置对接,并用于向第一操作位置装卸所述载片舟;
第二接驳装置,与所述第三操作位置对接,并用于向位于所述第三操作位置装卸所述载片舟。
本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本实用新型的实践了解到。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明,其中:
图1为本实用新型装卸片装置一个实施例的示意图;
图2为装卸片装置不同操作位置的分布示意图;
图3为装卸片装置初始状态下一个实施例的示意图;
图4为装卸片装置摆动一定角度后的示意图。
附图标记:
第一操作位置101,第二操作位置102,第三操作位置103,第一接驳装置104,第二接驳装置105;基台100,避让空间110,第一装载架200,输送口210;第二装载架300;驱动机构400,驱动件410,转盘420;装卸机器人500,第一定位机构600;第一限位件610,限位滚轮611,端部阻挡件620;第二定位机构700,第二限位件710,侧推组件720,基板721,弹性件722,侧推件723;输送组件800,传动件810,导向滚轮820。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,涉及到方位描述,例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中,若干的含义是一个以上,多个的含义是两个以上,大于、小于、超过等理解为不包括本数,以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
本实用新型的描述中,除非另有明确的限定,设置、安装、连接等词语应做广义理解,所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。
本实用新型的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
参照图1,本实用新型的实施例中提供了一种装卸片装置,包括基台100、第一装载架200与第二装载架300,第一装载架200与第二装载架300均安装于基台100上,第一装载架200与第二装载架300均用于装载载片舟,载片舟可以是石墨舟、石英舟等用于承载电池片的载具,第一装载架200与第二装载架300能够跟随基台100同步运动,以将载片舟输送至相应位置供相关机械进行各项工艺操作。具体的,装卸片装置还包括驱动机构400与装卸机器人500,驱动机构400与基台100连接,并用于驱动基台100摆动,装载机器人位于基台100的上方,并用于取放载片舟上的电池片,基台100摆动过程中带动第一装载架200与第二装载架300同步移动,当第一装载架200或第二装载架300移动至装卸机器人500的装卸位置时,装卸机器人500执行取放片操作。
参照图2,本实用新型的一个实施例中,装卸片装置设置有至少三个操作位置,第一操作位置101、第二操作位置102与第三操作位置103依次排布,第二操作位置102位于第一操作位置101与第二操作位置102之间;第一装载架200与第二装载架300互成一定角度,随着基台100的摆动,第一装载架200能够在第一操作位置101与第二操作位置102之间往复运动,第二装载架300能够在第二操作位置102与第三操作位置103之间往复运动,装卸机器人500用于在第一操作位置101与第二操作位置102之间向第一装载架200上的载片舟取放电池片,或者在第二操作位置102与第三操作位置103之间向第二装载架300上的载片舟取放电池片。
本实用新型中,第一装载架200与第二装载架300之间的夹角为60°-150°,第一装载架200与第二装载架300跟随基台100的摆动变换位置,第一装载架200在第一操作位置101与第二操作位置102之间切换,第二装载架300在第二操作位置102与第三操作位置103件之间切换,且装卸机器人500取放片时,只需在相邻的第一操作位置101与第二操作位置102之间或者相邻的第二操作位置102与第三操作位置103之间往复运动进行取放片即可,相较于装卸机器人500在位于其相对的两侧的载片舟之间取放片的方式,有效缩短了装卸机器人500的运行路径及时间,提高了电池片的产能。
需要说明的是,第一操作位置101与第三操作位置103设置为载片舟的进出舟位置,第二操作位置102设置为载片舟的取放片位置,即,外部接驳机构于第一操作位置101向第一装载架200或第二装载架300搬运或流出载片舟,或者外部接驳机构于第三操作位置103向第一装载架200或第二装载架300搬运或流出载片舟。
作为第一装载架200与第二装载架300运动流程的一个示例,参照图2至图4,初始状态下,第一装载架200位于第一操作位置101,第二装载架300位于第二操作位置102,外部接驳机构于第一操作位置101搬运载片舟至第一装载架200,载片舟在第一装载架200上完成定位后,通过驱动机构400对基台100的驱动,使基台100正向(逆时针)摆动,使得第一装载架200移动至第二操作位置102,同时第二装载架300移动至第三操作位置103,此时,装卸机器人500开始工作,向第一装载架200内的载片舟装卸电池片,同时外部接驳机构向第二装载架300搬运载片舟,并进行载片舟的定位过程;当第一装载架200内的载片舟完成电池片的装卸后,驱动机构400驱动基台100反向摆动,使第一装载架200移动至第一操作位置101,第二装载架300移动至第二操作位置102;此时,装卸机器人500开始工作,向第二装载架300内的载片舟装卸电池片,同时第一装载架200内的载片舟已经完成电池片的装卸,可以从第一操作位置101处流出,并返回至接驳机构,并且接驳机构再次向第一装载架200内搬运下一待装卸电池片的载片舟,并在第二装载架300内的载片舟装卸电池片的过程中,完成对载片舟的定位;第二装载架300内的载片舟完成电池片的装卸并且第一装载架200内的载片舟完成定位后,驱动机构400再次驱动基台100正向摆动,使第一装载架200移动至第二操作位置102,第二装载架300移动至第三操作位置103,装卸机器人500向第一装载架200内的载片舟装卸电池片,并且第二装载架300内的载片舟从第三操作位置103流出,接驳机构再次向第二装载架300搬运下一待装卸电池片的载片舟,如此循环。
需要说明的是,本实用新型支持装卸机器人500先向第二装载架300内的载片舟装卸电池片,具体为,初始状态下,第二装载架300置于第三操作位置103,第一装载架200置于第二操作位置102,先向第二装载架300搬运载片舟并进行定位,再由驱动机构400驱动基台100顺时针转动,第二装载架300移动至第二操作位置102,第一装载架200移动至第一操作位置101后,装卸机器人500对第二装载架300上的载片舟装卸电池片,同时向第一装载架200搬运载片舟,并如此循环。
在一个具体的实施例中,如图1至图4所示,第一装载架200与第二装载架300之间的夹角为90°,第一装载架200与第二装载架300相互垂直,基台100往复转动的角度等于第一装载架200与第二装载架300之间的夹角,如此,基台100往复转动90°即可使第一装载架200与第二装载架300在第一操作位置101、第二操作位置102与第三操作位置103之间切换,以最大化得缩短第一装载架200与第二装载架300位置切换所需的时间,提高设备产能;并且,第一操作位置101与第三操作位置103相互平行,便于接驳机构的位置分布,以及接驳机构与第一装载架200、第二装载架300的相互对接。
如图1所示,基台100具有沿竖直方向贯穿的避让空间110,部分的装卸机器人500位于避让空间110内,驱动机构400驱动基台100运动时,基台100相对装卸机器人500摆动;通过设置避让空间110,使避让机器人可以安装于地面,由地面为避让机器人提供稳定、平整的安装平面,使避让机器人的运行更为平稳。进一步的,避让空间110位于第一装载架200与第二装载架300之间夹角的角平分线上;如此,无论第一装载架200或第二装载架300运动至第二操作位置102,装卸机器人500均可通过运行相同的距离实现对电池片的装卸,便于简化装卸机器人500的控制逻辑。
在其他实施例中,装卸片装置设置有四个操作位置,四个操作位置环设于装卸机器人500的外周,装卸片装置还包括第三装载架,第三装载架、第二装载架300与第一装载架200依次排布,并围合呈U型,第三装载架与第一装载架200分布于第二装载架300相对的两侧,基台100单次转动90度,即可使第一装载架200、第二装载架300与第三装载架沿基台100的摆动方向变换一次位置;如此,能够增加装卸片装置的操作工位以及装载架的个数,增大了装卸片装置能够装载的电池片数量,并能够在不同的操作位置设置不同类型的操作工艺,进一步提高了电池片的产能。
参照图1,驱动机构400包括驱动件410与转盘420,驱动件410与转盘420连接,并用于驱动转盘420转动,基台100安装内与转盘420的顶部,转盘420对基台100进行支撑,基台100跟随转盘420的转动而摆动;第一装载架200与转盘420沿竖直方向形成的投影部分重叠,第二装载架300与转盘420沿竖直方向形成的投影部分重叠,以使第一装载架200与第二装载架300最大化的靠近基台100的转动中心,避免第一装载架200与第二装载架300过度偏心而导致基台100在第一装载架200与第二装载架300的重力作用下倾覆。
需要说明的是,驱动机构400还包括传动结构,传动结构可以是齿轮传动结构、带传动结构等。以齿轮传动结构为例,驱动件410设置为能够输出旋转动力的旋转电机、马达等动力部件,驱动件410的输出端连接有第一齿轮,转盘420连接有第二齿轮,第一齿轮与第二齿轮啮合,驱动件410通过第一齿轮与第二齿轮将动力传递至转盘420,实现转盘420的转动。另外,驱动机构400还包括对转盘420的转动进行导向及支撑的转轴,转轴穿设于转盘420的内部并与转盘420转动连接,转盘420受驱动件410的驱动绕转轴转动;转轴在轴向上设置有对转盘420进行限位的限位结构,以防止转盘420倾斜。
本实用新型的实施例中,装卸片装置还包括第一定位机构600,第一装载架200与第二装载架300上均安装有第一定位机构600,第一定位机构600用于在载片舟的进舟与出舟方向上对载片舟进行定位。具体的,第一定位机构600包括第一限位件610与端部阻挡件620,第一限位件610与端部阻挡件620分别安装与第一装载架200相对的两端或者第二装载架300相对的两端,第一装载架200与第二装载架300背向第一限位件610的一端均设有输送口210,端部阻挡件620能够伸出并遮挡输送口210,以将载片舟限位于第一限位件610与端部阻挡件620之间,端部阻挡件620还能够回退,并避让输送口210,此时输送口210可以供载片舟进出。
当接驳机构将载片舟搬运至第一装载架200或第二装载架300时,或者载片舟从第一装载架200与第二装载架300内流出时,端部阻挡件620处于回退状态,输送口210可供载片舟移动进出;随着载片舟的移动,载片舟不断伸入至第一装载架200或第二装载架300,当载片舟与第一限位件610接触时,载片舟移动至第一装载架200或第二装载架300的最深处,此时,载片舟不再移动,同时端部阻挡件620伸出,端部阻挡件620与第一限位件610同时对载片舟进行限位,保证载片舟的位置精度,使装卸机器人500能够精确取放电池片。
第一定位机构600还包括用于驱动端部阻挡件620伸出或回退的驱动部件,驱动部件可以是气缸、电机、电缸等能够输出直线运动的动力元件,第一限位件610连接于驱动部件的输出端,驱动部件安装于第一装载架200或第二装载架300的端部,如图1所示,驱动部件安装于第一装载架200端面的顶,驱动部件能够驱动端部阻挡件620向下伸出对载片舟限位,或者驱动端部阻挡件620向上回退对载片舟的移动进行避让。
装卸片装置还包括第二定位机构700,第一装载架200与第二装载架300上均安装有第二定位机构700,第二定位机构700用于在第一装载架200或第二装载架300的侧部对载片舟进行限位。具体的,第二定位机构700包括第二限位件710与侧推组件720,第二限位件710与侧推组件720分别位于第一装载架200与第二装载架300相对的两侧,侧推组件720用于推动载片舟抵接于第二限位件710,使载片舟限位于侧推组件720与第二限位件710之间。
载片舟移动至第一装载架200或叠装载架的最深处后,侧推组件720开始动作,载片舟受侧推组件720的推动逐渐靠近第二限位件710,当载片舟与第二限位件710接触时,载片舟受到侧推部件与第二限位件710的组合限位,当载片舟在进出舟方向上以及在水平面内垂直与进出舟的方向上均受到限位时,完成载片舟的定位。
进一步的,侧推组件720包括基板721、多个弹性件722与多个侧推件723,每一弹性件722的一端均连接有一个侧推件723,另一端与基板721连接,多个侧推件723与多个弹性件722均沿进出舟的方向排布,基板721能够带动侧推件723朝向或远离载片舟移动;当侧推件723朝向载片舟移动并与载片舟接触时,在弹性件722的弹性力作用下,侧推件723与载片舟柔性抵接,并始终与载片舟接触,避免侧推件723与载片舟硬性碰撞,导致电池片破碎。可以想到的,第二定位机构700包括用于驱动基板721移动的驱动元件,驱动元件同样可以选择气缸、电机、电缸等能够输出直线运动的动力元件。
另外,为降低载片舟侧向移动过程中与第一限位件610之间的摩擦,在一个实施例中,第一限位件610包括多个限位滚轮611,多个限位滚轮611沿侧推组件720的推动方向排布。当载片舟侧向移动时,限位滚轮611与载片舟接触,并相对载片舟滚动,在保证第一限位件610对载片舟进行限位的前提下,降低了第一限位件610与载片舟之间的摩擦及传动磨损,提高了载片舟的定位效率。
装卸片装置还包括输送组件800,第一装载架200的内部与第二装载架300的内部均安装有输送组件800,输送组件800包括传动件810及多个导向滚轮820,传动件810用于放置并传输载片舟,导向滚轮820分布于传动件810的两侧,并靠近输送口210,导向滚轮820用于在载片舟从输送口210进入第一装载架200或第二装载架300内部时,对载片舟进行导向。传动件810可以传动为传送带,载片舟放置于传动带的上表面,并跟随传送带的移动而移动,输送组件800还包括用于驱动传送带运动的同步轮及驱动元件,传动带绕设于同步轮的外周,驱动元件与同步轮连接并驱动同步轮转动。
如图2所示,本实用新型还提供了一种镀膜设备,包括上述的装卸片装置,还包括第一接驳装置104与第二接驳装置105,第一接驳装置104与第一操作位置101对接,并用于位于第一操作位置101处的第一装载架200或第二装载架300装卸载片舟,第二接驳装置105与第二操作位置102对接,并用于向位于第三操作位置103处的第一装载架200或第二装载架300装卸载片舟;如,第一接驳装置104对移动至第一操作位置101处的第一装载架200装卸载片舟,第二接驳装置105对移动至第二操作位置102处的第二装载架300装卸载片舟。
进一步的,第一接驳装置104或第二接驳装置105的上游可以设置镀膜装置,或者第一接驳装置104或第二接驳装置105的下游可以设置镀膜装置,如,镀膜装置设置于第一接驳装置104的上游,第一接驳装置104接收从镀膜装置内流出的载片舟及已经完成镀膜的电池片,载片舟经第一接驳装置104搬运至第一载片架200,在第一载片架200移动至第二操作位置102后,经装卸机器人500对完成镀膜的电池片进行装卸;或者,镀膜装置设置于第二接驳装置105的下游,第二接驳装置105接收从第三操作位置103处流出的载片舟,且载片舟上装载有待镀膜的电池片,第二接驳装置105将载片舟输送至镀膜装置,载片舟携带电池片进入镀膜装置内进行镀膜。
由于本实用新型中的镀膜设备在装卸电池片时,装卸机器人500的路径较短,能够减少电池片的装卸时间,并提高电池片的镀膜效率。
上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明,但是本实用新型不限于上述实施例,在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内,还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外,在不冲突的情况下,本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (10)

1.装卸片装置,其特征在于,包括:
基台;
第一装载架,安装于所述基台;
第二装载架,安装于所述基台,所述第一装载架与所述第二装载架均用于装载载片舟,且能够跟随所述基台同步摆动,所述第一装载架与所述第二装载架之间的夹角为60°-150°,所述载片舟用于装载电池片;
驱动机构,与所述基台连接,并用于驱动所述基台摆动,以使所述第一装载架在第一操作位置与第二操作位置之间往复运动,以及所述第二装载架在所述第二操作位置与第三操作位置之间往复运动,所述第二操作位置位于所述第一操作位置与所述第三操作位置之间;
装卸机器人,位于所述基台的上方,并用于在所述第一操作位置与所述第二操作位置之间取放所述电池片,或者在所述第二操作位置与所述第三操作位置之间取放所述电池片。
2.根据权利要求1所述的装卸片装置,其特征在于,所述驱动机构包括驱动件与转盘,所述驱动件与所述转盘连接,并用于驱动所述转盘转动,所述基台安装于所述转盘的顶部,并能够跟随所述转盘的转动而摆动,所述第一装载架与所述转盘沿竖直方向形成的投影部分重叠,所述第二装载架与所述转盘沿竖直方向形成的投影部分重叠。
3.根据权利要求1所述的装卸片装置,其特征在于,所述装卸片装置还包括第一定位机构,所述第一装载架与所述第二装载架均安装有所述第一定位机构;
所述第一定位机构包括第一限位件与端部阻挡件,所述第一限位件与所述端部阻挡件分别安装于所述第一装载架相对的两端或所述第二装载架相对的两端,所述第一装载架与所述第二装载架背向所述第一限位件的一端均设有输送口,所述端部阻挡件能够伸出并遮挡所述输送口,以将所述载片舟限位于所述第一限位件与所述端部阻挡件之间,或者所述端部阻挡件能够回退,以避让所述输送口。
4.根据权利要求3所述的装卸片装置,其特征在于,所述装卸片装置还包括第二定位机构,所述第一装载架与所述第二装载架均安装有所述第二定位机构;
所述第二定位机构包括第二限位件与侧推组件,所述第二限位件与所述侧推组件分别位于所述第一装载架或所述第二装载架相对的两侧,所述侧推组件用于推动所述载片舟抵接于所述第二限位件。
5.根据权利要求4所述的装卸片装置,其特征在于,所述侧推组件包括基板、多个弹性件与多个侧推件,每一所述弹性件的一端均连接有一个所述侧推件,且另一端与所述基板连接,所述基板能够带动所述侧推件朝向或远离所述载片舟移动。
6.根据权利要求4所述的装卸片装置,其特征在于,所述第一限位件包括多个限位滚轮,多个所述限位滚轮沿所述侧推组件的推动方向排布。
7.根据权利要求3所述的装卸片装置,其特征在于,所述装卸片装置还包括输送组件,所述第一装载架的内部与所述第二装载架的内部均安装有所述输送组件;
所述输送组件包括传送件及多个导向滚轮,所述传送件用于放置并传输所述载片舟,所述导向滚轮分布于所述传送件的两侧,并靠近所述输送口。
8.根据权利要求1所述的装卸片装置,其特征在于,所述第一装载架与所述第二装载架之间的夹角为90°。
9.根据权利要求1所述的装卸片装置,其特征在于,所述基台具有沿竖直方向贯穿的避让空间,部分所述装卸机器人位于所述避让空间内,所述避让空间位于所述第一装载架与所述第二装载架之间夹角的角平分线上。
10.镀膜设备,其特征在于,包括:
权利要求1至9中任一项所述的装卸片装置;
第一接驳装置,与所述第一操作位置对接,并用于向第一操作位置装卸所述载片舟;
第二接驳装置,与所述第三操作位置对接,并用于向位于所述第三操作位置装卸所述载片舟。
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