CN113023234A - 载板传输装置及其系统和载板传输方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供了载板传输装置及其系统和载板传输方法，涉及光伏电池技术领域。一种载板传输装置，包括相互配合的传送组件和定位机构。定位机构包括第一定位组件和第二定位组件。当载板被传送至预定位置时，定位机构处于第一工位，当载板未传送至预定位置或从预定位置继续传送时，定位机构处于第二工位。定位机构处于第一工位时，第一定位件和第二定位件抵持于载板的第一端和第二端。定位机构处于第二工位时，第一定位件和第二定位件位于输送面的上方或下方。该装置采用传送组件与定位机构相配合，在传送方向上对传送至预定位置的载板进行定位，该装置能够提高载板的传输的精准性，提高设备运行的稳定性，提高产品的良率及转换效率。

Description

载板传输装置及其系统和载板传输方法

技术领域

本申请涉及光伏电池技术领域，具体而言，涉及载板传输装置及其系统和载板传输方法。

背景技术

随着社会的持续发展，环保问题油然而生，社会对新能源领域的重视程度也越来越高。在制备太阳能光伏电池的CVD(化学气相沉积技术)工序中，需要将装有单多晶硅片的载板经过自动化传送至主设备进行成膜，当主设备成膜完成后又需要将装满单多晶硅片的载板经过自动化下料后进行循环滚动传输实现整个CVD的制作流程。

现有的载板传输方案大部分是通过传动滚轮传送载板，即载板放在传动滚轮上，靠载板自重与传动滚轮之间产生摩擦，从而实现载板的传输。但是该种载板传输方式中，载板会与传动轮发生滑动摩擦，传输不精准、不稳定，影响工艺质量，从而影响异质结电池片的效率和良率问题，也会影响到载板的寿命。

发明内容

本申请的目的在于提供载板传输装置及其系统和载板传输方法，以改善载板传输不精准、不稳定的技术问题。

第一方面，本申请实施例提供了一种载板传输装置，包括相互配合的传送组件和定位机构。传送组件具有输送面和传送方向，传送组件被配置为在输送面上沿传送方向传送载板，载板沿传送方向依次具有第一端和第二端。定位机构包括第一定位组件和第二定位组件，第一定位组件包括第一定位件，第二定位组件包括第二定位件。当载板被传送至预定位置时，定位机构处于第一工位，当载板未传送至预定位置或从预定位置继续传送时，定位机构处于第二工位。定位机构处于第一工位时，第一定位件和第二定位件处于输送面，用于抵持于载板的第一端和第二端，以对载板进行定位。定位机构处于第二工位时，第一定位件和第二定位件位于输送面的上方或下方，使载板能够在输送面内传送。

本申请提供的载板传输装置采用传送组件与定位机构相配合，在传送方向上对传送至预定位置的载板进行定位，该装置能够提高载板的传输的精准性，提高设备运行的稳定性，提高产品的良率及转换效率。

在一种可能的实现方式中，第一定位组件还包括第一驱动件，第一驱动件与第一定位件连接，被配置为在垂直于输送面的方向上驱动第一定位件移动。在一种可能的实现方式中，第二定位组件还包括第二驱动件和第三驱动件，第二驱动件、第三驱动件均与第二定位件连接，第二驱动件被配置为在垂直于输送面的方向上驱动第二定位件移动，第三驱动件被配置为在传送方向上驱动第二定位件移动。

上述第一定位组件、第二定位组件的结构简单，运行稳定，能够实现载板的精准定位。

在一种可能的实现方式中，定位机构还包括第三定位组件和第四定位组件，第三定位组件包括第三定位件，第四定位组件包括第四定位件。定位机构处于第一工位时，第三定位件和第四定位件分别从载板的两侧对载板抵持以进行定位。定位机构处于第二工位时，第三定位件和第四定位件远离载板，解除对载板的作用。

该结构从载板的四周对其进行定位，提高载板传输的准确定和装置运行的稳定性。

在一种可能的实现方式中，传送组件包括传送带，传送带的外表面设有多个传送块，用于支撑并传送载板。

通常情况下，载板直接放置在传送带上，载板与传送带完全接触、相互摩擦。上述结构使得载板直接与传送块接触，减少了载板与传送带的接触面积，提高传送带和载板的使用寿命。

在一种可能的实现方式中，传送块为PEEK(聚醚醚酮)材质，传送块的工作温度为-100℃至250℃。

该材料具有优良的耐化学性、热稳定性和抗氧化性能，同时具有良好的机械强度、抗蠕变和电学特性。它可以承受高能辐射，阻燃性能好。PEEK传送块的工作温度为-100℃至250℃。

在一种可能的实现方式中，传送组件包括多组限位件，每组限位件包括两个分别设置在传送带两侧的限位件，每组限位件中的两个限位件之间的距离与载板在垂直于传送方向上的尺寸相匹配。

该结构使得载板的两侧在垂直于传送方向上同时受到限位件的作用，提高限位的准确性，避免载板的单侧受到限位作用，出现歪斜的现象。

在一种可能的实现方式中，还包括电性连接的定位传感器和控制器，定位传感器用于对载板的传送位置进行追踪定位，并将信号传送至控制器，控制器与传送组件和定位机构电性连接，用于控制传送组件和定位机构的运动。

该结构通过定位传感器和控制器精确定位载板的传送位置，控制传送组件和定位机构的运行，提高传送定位的准确性，实现自动化控制。

第二方面，提供了一种载板传输系统，包括上料设备、镀膜设备以及下料设备，上料设备和/或镀膜设备和/或下料设备包括上述载板传输装置。

该系统中的传输工序均采用载板传输装置，传输精准性高，稳定性好。

第三方面，提供了一种载板传输方法，采用上述载板传输装置，包括：载板在传送面内沿传送方向传送且未达到预定位置时，第一定位组件和第二定位组件位于输送面的下方或上方，以使载板能够在输送面内传送。载板被传送至预定位置时，第一定位件和第二定位件由输送面的下方或上方运动至输送面，分别作用于载板的第一端和第二端，以对载板进行定位。载板从预定位置继续沿传送方向传送时，第一定位件和第二定位件运动至输送面的上方或下方，以使载板能够在输送面内传送。

该传输方法采用定位组件从载板的四周对载板进行定位，实现精准、可靠的载板传输。

本申请的有益效果包括：

1.本申请提供的载板传输装置采用定位机构与传送组件相配合，在传送方向上对载板进行定位，提高载板的传输的精准性，提高设备运行的稳定性，提高产品的良率及转换效率。

2.载板传输装置的定位件和传送块采用PEEK材质，降低对载板的损伤和污染，提高定位件和传送带的使用寿命。

3.载板传输装置结构简单，便于拆卸，易于日常维护，节约成本。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请实施例提供的载板传输装置的第一视角的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的载板传输装置的第二视角的结构示意图；

图3为本申请实施例提供的限位器的结构示意图；

图4为本申请实施例提供的第一定位组件的结构示意图；

图5为本申请实施例提供的第二定位组件的结构示意图；

图6为本申请实施例提供的第三定位组件的结构示意图；

图7为本申请实施例提供的第四定位组件的结构示意图。

图标：10-载板；11-第一端；12-第二端；100-载板传输装置；110-架体；111-第一底板；113-第二底板；120-传送组件；121-传动轮；1211-从动轮；1213-主动轮；123-传送带；125-传送块；130-定位机构；131-第一定位组件；1311-第一固定件；1313-第一驱动件；1315-第一定位件；132-第二定位组件；1321-第二固定件；1323-第二驱动件；1325-第三驱动件；1327-第二定位件；133-第三定位组件；1331-第三固定件；1333-第四驱动件；1335-第三定位件；134-第四定位组件；1341-第四固定件；1343-第五驱动件；1345-第四定位件；140-限位件；141-底座；143-支撑轴；145-滚动轴承；147-限位轮。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第三”、“第四”、“第一”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

光伏电池片在非晶硅的PECVD(等离子体增强化学的气相沉积法)镀膜制程中，需要将单多晶硅片放置在载板上然后通过自动化设备将满载的载板传送至主设备中，在高温真空环境下进行等离子化学气相沉积，然后将满载的沉膜载板经过自动化设备卸料，再将载板传走实现循环制程。

由于异质结电池片对载板传输的机构系统要求颇高，既要传输速度快，又需传输稳定、流畅，一旦设备出现故障，整个制程停顿，堵在腔室里面的硅片会出现不良甚至报废。虽然载板传输看似简单，但是能完全满足异质结电池的CVD工序的却不多，现在市面上很多装置都具有局限性。

针对目前载板传输存在的问题，本申请提供一种精准而可靠的载板传输装置和方法，解决目前异质结CVD工序载板传输不精准、不稳定的问题。该装置结构简单、易拆卸、易维护、成本低廉，传输精准可靠，能够完全满足光伏电池片的正常生产。

下面结合附图，对本申请的一些实施方式作详细说明。

请参照图1、图2，图1和图2分别为本实施例提供的载板传输装置100的第一视角和第二视角的结构示意图。

本实施例提供一种载板传输装置100，用于传送载板10，包括架体110、传送组件120和定位机构130。传送组件120设置于架体110上，用于将载板10传送至预定位置；定位机构130设置于架体110上，用于对传送至预定位置的载板10进行定位。载板传输装置100具有传送方向。架体110的材质可以为铝材，铝材的架体110牢固，减少装置运行过程中的振动，降低装置的故障率，提高装置工作的稳定性。

在本申请的部分实施例中，传送组件120包括传动轮121和传送带123，架体110在传送方向上的两端设置有传动轮121，传送带123套设在两端的传动轮121上，并沿传送方向传动载板10。在本申请其他实施例中，传送组件120可以为其他具有相同功能的结构，如传送齿轮，传送辊等。

作为一种实现方式，架体110包括沿传送方向设置的第一底板111和第二底板113，第一底板111上设有至少两个从动轮1211，第二底板113上设有至少两个主动轮1213。每个从动轮1211与一个主动轮1213对应设置。对应设置的从动轮1211和主动轮1213上套设有传送带123。主动轮1213与驱动电机连接。

在本实施例中，主动轮1213、从动轮1211和传送带123的个数分别为四个，最外侧的两个传送带123之间的距离与载板10的尺寸相匹配，使得载板10的两侧边缘能够搭设在传送带123上。在本申请的其他实施例中，主动轮1213、从动轮1211以及传送带123的个数可以根据需要增加或者减少，主动轮1213、从动轮1211以及传送带123的设置间距和位置可以根据需要进行调整，本申请对其不做限定。需要说明的是，本申请中的主动轮1213和从动轮1211采用内嵌双轴承结构，有助于提高传送组件120的寿命。

现有的传送装置将载板10直接放置在传送带123上，载板10在传送带123的带动下运动。这种结构使得传送带123与载板10之间的接触面积较大，传送过程中，传送带123与载板10之间的摩擦力对传送带123和载板10均具有影响。

在本申请的部分实施例中，传送带123的外表面设有多个传送块125，用于支撑并传送载板10。载板10直接与传送块125接触，减少了载板10与传送组件120的接触面积，提高传送带123和载板10的使用寿命。在本申请的部分实施例中，多个传送块125沿传送带123的长度方向设置，进一步地，多个传送块125等间距设置。

在本申请部分实施例中，传送块125为PEEK材质，该材料具有优良的耐化学性、热稳定性和抗氧化性能，同时具有良好的机械强度、抗蠕变和电学特性。它可以承受高能辐射，阻燃性能好。PEEK传送块125的工作温度为-100℃至250℃。

在传送过程中，载板10在传送带123上面可能会出现跑偏的现象，影响载板10传输的稳定性和精准性。在本申请的部分实施例中，传送组件120包括多组限位件140，多组限位件140设置在传送带123的两侧。在本实施例中，多组限位件140设置在架体110上，每组限位件140包括两个分别设置在架体110的两侧的限位件140，每组限位件140中的两个限位件140之间的距离与载板10在垂直于传送方向上的尺寸相匹配。该结构使得载板10的两侧在垂直于传送方向上同时受到限位件140的作用，提高限位的准确性，避免载板10的单侧受到限位作用，出现歪斜的现象。

请参照图3，作为一种实现方式，限位件140包括底座141、支撑轴143、滚动轴承145和限位轮147，底座141固定于架体110，滚动轴承145通过支撑轴143与底座141连接，限位轮147套设于滚动轴承145的外部。载板10的侧边与限位件140的限位轮147接触，限位轮147随载板10的运动而转动。其中，滚动轴承145可以采用双轴承结构，提高设备耐异常时的冲击力，从而起到稳定传送的作用。

在载板10的传送过程中，限位轮147需能耐高温、具备一定的韧性，使其在与载板10接触摩擦的时候不掉粉。本申请实施例中的限位轮147的材质选用特氟龙，该材质能够满足上述要求。

本申请在提高传送组件120传送稳定性和准确性的基础上增设了定位机构130，对传送至预定位置的载板10进行精确定位。本申请实施例中的载板10一般为四边形结构，如正方形或长方形。本申请实施例中的载板10在垂直于传送方向上具有两侧，沿传送方向依次具有第一端11和第二端12。载板10水平放置并在水平方向上传送，即输送面为水平面。

定位机构130包括第一定位组件131、第二定位组件132、第三定位组件133以及第四定位组件134。本申请提供的定位机构130分别作用于载板10的四周，从四个方向对载板10进行精确定位。

请参照图4，第一定位组件131包括第一固定件1311、第一驱动件1313和第一定位件1315。第一定位组件131设置于传送路径的下游，第一驱动件1313通过第一固定件1311安装于架体110的靠近传送末端处，在本申请的部分实施例中，第一驱动件1313与第二底板113连接。第一驱动件1313与第一定位件1315连接，配置为在垂直于载板10表面的方向上驱动第一定位件1315移动。

本实施例中的第一驱动件1313为导轨滑台型气缸，第一驱动件1313的活塞杆的伸缩方向为竖直方向。在本申请的其他实施例中，第一驱动件1313可以为其他具有相同功能的配件。

请参照图5，第二定位组件132包括第二固定件1321、第二驱动件1323、第三驱动件1325和第二定位件1327。第二定位组件132相对于第一定位组件131位于载板传输装置100的传送路径的上游，第二驱动件1323、第三驱动件1325通过第二固定件1321与架体110连接，第二驱动件1323、第三驱动件1325与第二定位件1327连接，第二驱动件1323被配置为在垂直于载板10表面的方向上驱动第二定位件1327移动，第三驱动件1325被配置为在传送方向上驱动第二定位件1327移动。

本实施例中的第一定位组件131和第二定位组件132的数量均为两个，分别从载板10的第一端11、第二端12(前后端)对载板10进行定位，且第一定位组件131和第二定位组件132对应设置。在本申请的其他实施例中，第一定位组件131和第二定位组件132的个数及设置的位置根据需要进行调整。

作为一种实现方式，第二驱动件1323和第三驱动件1325均为导轨滑台型气缸，第二驱动件1323的活塞杆的伸缩方向为竖直方向，第二驱动件1323的活塞杆的伸缩方向为传送方向。在本申请的其他实施例中，第二驱动件1323、第三驱动件1325可以为其他具有相同功能的配件。

请参照图6，第三定位组件133包括第三固定件1331、第四驱动件1333和第三定位件1335，第四驱动件1333通过第三固定件1331与架体110连接，第四驱动件1333和第三定位件1335连接，第四驱动件1333能够在载板10表面所在的平面内、垂直于传送方向上驱动第三定位件1335移动，使得第三定位件1335能够作用于载板10的一侧，对载板10进行定位。其中，第三定位件1335的厚度不小于载板10的厚度。

本实施例中的第四驱动件1333为导轨滑台型气缸，第四驱动件1333的活塞杆的伸缩方向垂直于传送组件120的传送方向。气缸沿活塞杆的长度方向具有两端，第三固定件1331和第三定位件1335分别设置在气缸的两端。第三固定件1331为固定板，第三定位件1335为L型结构。在本申请的其他实施例中，第四驱动件1333可以为其他具有相同功能的配件。

请参照图7，本实施例中的第三定位组件133和第四定位组件134的结构相同，即第四定位组件134包括第四固定件1341、第五驱动件1343和第四定位件1345，第五驱动件1343通过第四固定件1341与架体110连接，第五驱动件1343和第四定位件1345连接，第五驱动件1343能够在载板10表面的平面内、垂直于传送方向上驱动第四定位件1345移动。

在本申请的其他实施例中，第三定位组件133和第四定位组件134的结构可以不同，第三定位组件133和/或第四定位组件134可以采用其他具有相同功能的结构，本申请对其不做限定。本实施例中的第三定位组件133和第四定位组件134一一对应，第三定位组件133和第四定位组件134的个数均为两个，即当载板10到达预定位置时，载板10的两侧分别受到两个第三定位组件133和两个第四定位组件134的作用。在本申请的其他实施例中，第三定位组件133和第四定位组件134的个数和设置方式可以根据需要调整。

需要说明的是，CVD的沉膜过程伴随着高温，载板10会将温度带至其他工艺流程中。而且非晶硅CVD工序的载板10材质大部分为石墨，作用于载板10的结构的材质需满足耐高温特性以及柔韧性，并且满足不易磨损和不掉粉。本申请实施例中的第三定位件1335、第四定位件1345、第一定位件1315以及第二定位件1327的材质为PEEK。该材料具有优良的耐化学性、热稳定性和抗氧化性能，同时具有良好的机械强度、抗蠕变和电学特性。它可以承受高能辐射，阻燃性能好。PEEK传送块125的工作温度为-100℃至250℃。

在本申请的部分实施例中，第一驱动件1313、第二驱动件1323、第三驱动件1325、第四驱动件1333以及第五驱动件1343为伺服电机，以保证装置运行的稳定性。在本申请的其他实施例中，可以采用其他具有相同作用的设备。

本申请实施例中的定位机构130具有第一工位和第二工位。当载板10被传送至预定位置时，定位机构130处于第一工位，当载板10未传送至预定位置或从预定位置继续传送时，定位机构130处于第二工位。

定位机构130处于第一工位时，第一定位件1315和第二定位件1327处于输送面，分别抵持于载板10的第一端11和第二端12，限制载板10的传送，以对载板10进行定位。第三定位件1335和第四定位件1345分别从载板10的两侧对载板10抵持以进行定位。

定位机构130处于第二工位时，第一定位件1315和第二定位件1327位于输送面的上方或下方，使载板10能够在输送面内传送，第三定位件1335和第四定位件1345远离载板10，解除对载板10的作用。

本申请提供的载板传输装置100还包括控制器(图未示)、定位传感器(图未示)，控制器和定位传感器均设置于架体110，控制器与定位传感器、定位机构130、传送组件120电性连接，定位传感器用于检测并发送载板的位置信息，控制器用于接收定位传感器的数据并控制定位机构130和传送组件120的运动。本申请实施例采用的控制器、定位传感器均为本技术领域的通用设备，本申请对其不做限定。本申请实施例中的电性连接为本技术领域的通用技术，表示通过电线或无线方式实现信号连通。

工作原理：载板10放置在传送带123上，沿传送路径运动至预定位置。该传送过程中，定位机构130处于第一工位。

当载板10接近预定位置时，定位传感器检测到信号并将数据信号发送给控制器，控制器控制传送带123降低传送速度；同时，控制器控制第一驱动件1313工作，第一驱动件1313驱动第一定位件1315升起以阻挡载板10的运动。

载板10运动至预定位置，控制器控制第四驱动件1333、第五驱动件1343工作，第四驱动件1333和第五驱动件1343分别驱动第三定位件1335和第四定位件1345从载板10的两侧对载板10进行定位。同时，控制器控制第二驱动件1323、第三驱动件1325工作，第二驱动件1323先驱动第二定位件1327升起，第三驱动件1325再驱动第二定位件1327从载板10的第一端11(可以看做后端)对载板10进行定位。此时，载板10夹设在第三定位件1335、第四定位件1345、第一定位件1315与第二定位件1327之间。此时，定位机构130处于第二工位。

完成定位后，控制器控制第三定位组件133、第四定位组件134、第一定位组件131以及第二定位组件132，使得第三定位件1335、第四定位件1345、第一定位件1315与第二定位件1327远离载板10，第一定位件1315和第二定位件1327下降，便于下一个载板10运动至预定位置。此时，定位机构130处于第一工位。

本申请提供的载板传输装置100采用定位机构130从载板10的四周对其进行定位，提高载板10的传输的精准性，提高设备运行的稳定性，提高产品的良率及转换效率。载板传输装置100的定位件和传送块125采用PEEK材质，降低对载板10的损伤和污染，提高定位件和传送带123的使用寿命。该载板传输装置100结构简单，便于拆卸，易于日常维护，节约成本。

本申请还提供了一种镀膜设备(图未示)，包括机架、上述载板传输装置100和风机。传输装置设置在机架的内部，机架的四周具有透明板材，用于遮挡粉尘，避免粉尘进入镀膜设备，导致工艺不良。风机设置在机架的顶部，用于调节镀膜设备内部环境的气流，使其达到动态平衡，还能够降低镀膜设备内的温度，增加各元器件的使用寿命。

本申请还提供了一种载板传输系统(图未示)，包括依次设置的上料设备、镀膜设备以及下料设备。上料设备和下料设备包括载板传输装置100。该系统中的传输工序均采用载板传输装置100，传输精准性高，稳定性好。

本申请还提供了一种载板传输方法，采用载板传输装置100对载板10进行传输，载板传输方法包括：

将载板10放置在传输装置的传送带123上，沿传送方向传送载板。载板在传送面内沿传送方向传送且未达到预定位置时，定位机构130处于第一工位。即第一定位组件131和第二定位组件132位于输送面的下方或上方，以使载板10能够在输送面内传送。

待载板10传送至预定位置，定位机构130处于第二工位。

第一定位组件131的第一定位件1315从输送面的上方下降或从输送面的下方上升至输送面，并作用于载板10的第一端11，限制载板10在传送方向上的运动；第二定位组件132的第二定位件1327从输送面的上方下降或从输送面的下方上升至输送面，再作用于载板10的第二端12，即第一定位组件131和第二定位组件132分别从载板10的前后端对载板10进行定位。

第三定位件1335和第四定位件1345分别作用于载板10的两侧。

此时，定位机构130从载板10的四周作用于载板10，对载板10进行定位。

定位完成后，载板10从预定位置继续沿传送方向传送时，定位机构130处于第一工位。此时，第一定位组件131的第一定位件1315运动至输送面的上方或下方，以使载板10能够在输送面内传送。第三定位件1335和第四定位件1345远离载板10，解除对载板10的作用，使载板10能够继续传送。

该传输方法采用定位组件从载板10的四周对载板10进行定位，实现精准、可靠的载板10传输。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种载板传输装置，其特征在于，包括相互配合的传送组件和定位机构；

所述传送组件具有输送面和传送方向，所述传送组件被配置为在所述输送面上沿所述传送方向传送载板，所述载板沿所述传送方向依次具有第一端和第二端；

所述定位机构包括第一定位组件和第二定位组件，所述第一定位组件包括第一定位件，所述第二定位组件包括第二定位件；

当所述载板被传送至预定位置时，所述定位机构处于第一工位，当所述载板未传送至所述预定位置或从所述预定位置继续传送时，所述定位机构处于第二工位；

所述定位机构处于所述第一工位时，所述第一定位件和所述第二定位件处于所述输送面，用于抵持于所述载板的第一端和第二端，以对所述载板进行定位；

所述定位机构处于所述第二工位时，所述第一定位件和所述第二定位件位于所述输送面的上方或下方，使所述载板能够在所述输送面内传送。

2.根据权利要求1所述的载板传输装置，其特征在于，所述第一定位组件还包括第一驱动件，所述第一驱动件与所述第一定位件连接，被配置为在垂直于所述输送面的方向上驱动所述第一定位件移动。

3.根据权利要求1或2所述的载板传输装置，其特征在于，所述第二定位组件还包括第二驱动件和第三驱动件，所述第二驱动件、所述第三驱动件均与所述第二定位件连接，所述第二驱动件被配置为在垂直于所述输送面的方向上驱动所述第二定位件移动，所述第三驱动件被配置为在所述传送方向上驱动所述第二定位件移动。

4.根据权利要求1所述的载板传输装置，其特征在于，所述定位机构还包括第三定位组件和第四定位组件，所述第三定位组件包括第三定位件，所述第四定位组件包括第四定位件；

所述定位机构处于所述第一工位时，所述第三定位件和所述第四定位件分别从所述载板的两侧对所述载板抵持以进行定位；

所述定位机构处于所述第二工位时，所述第三定位件和所述第四定位件远离所述载板，解除对所述载板的作用。

5.根据权利要求1所述的载板传输装置，其特征在于，所述传送组件包括传送带，所述传送带的外表面设有多个传送块，用于支撑并传送载板。

6.根据权利要求5所述的载板传输装置，其特征在于，所述传送块为PEEK材质，所述传送块的工作温度为-100℃至250℃。

7.根据权利要求5所述的载板传输装置，其特征在于，所述传送组件包括多组限位件，每组所述限位件包括两个分别设置在所述传送带两侧的所述限位件，每组所述限位件中的两个所述限位件之间的距离与载板在垂直于所述传送方向上的尺寸相匹配。

8.根据权利要求1所述的载板传输装置，其特征在于，还包括电性连接的定位传感器和控制器，所述定位传感器用于对载板的传送位置进行追踪定位，并将信号传送至所述控制器，所述控制器与所述传送组件和所述定位机构电性连接，用于控制所述传送组件和所述定位机构的运动。

9.一种载板传输系统，其特征在于，包括上料设备、镀膜设备以及下料设备，所述上料设备和/或所述镀膜设备和/或所述下料设备包括如权利要求1至8任一项所述的载板传输装置。

10.一种载板传输方法，其特征在于，采用如权利要求1至8任一项所述的载板传输装置，所述载板传输方法包括：

所述载板在所述传送面内沿所述传送方向传送且未达到预定位置时，所述第一定位组件和所述第二定位组件位于所述输送面的下方或上方，以使所述载板能够在所述输送面内传送；

所述载板被传送至所述预定位置时，所述第一定位件和所述第二定位件由所述输送面的下方或上方运动至所述输送面，分别作用于所述载板的第一端和第二端，以对所述载板进行定位；

所述载板从所述预定位置继续沿所述传送方向传送时，所述第一定位件和所述第二定位件运动至所述输送面的上方或下方，以使所述载板能够在所述输送面内传送。

Images