CN219383811U - 基板输送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了基板输送装置，用于输送基板，该基板输送装置包括沿安装基体的高度方向间隔设置于安装基体的输送机构和防倾倒机构，基板设置于输送机构且位于防倾倒机构和输送机构之间，输送机构能够带动基板沿第一方向运动，第一方向垂直于安装基体的高度方向，防倾倒机构包括设置于安装基体的防倾倒驱动组件，以及防倾倒件，防倾倒件连接于防倾倒驱动组件的输出端，防倾倒驱动组件被配置为能够带动防倾倒件沿第一方向运动，防倾倒件能与基板抵接。能够避免基板在整个输送过程中发生倾倒造成的损伤基板和/或输送机构的现象，且提升了对基板的输送效率。

Description

基板输送装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其涉及基板输送装置。

背景技术

近年来，随着汽车等行业的发展，市场对车载玻璃等大型基板的镀膜需求日益增强。为了提高大型基板的镀膜等工序的工作效率，提升大型基板输送装置的输送性能变得刻不容缓。现有技术中的，通常采用导轨或滚轮的方式输送大型基板。

对于采用滚轮方式输送大型基板而言，现有技术中，基板输送装置通常包括输送平台，输送平台上间隔设置有若干传送辊，每个传送辊的传送轴沿轴向间隔设有多个滚轮。驱动组件同步带动多个转动设置于平台的传送轴，以带动设置在多个传送轴上方的大型基板移动，实现大型基板的自动化输送。为提高输运的稳定性，在特定工位的上方可设置防倾倒件，以防止大型基板在特定工位处倾倒。但对于以竖立方式设置在滚轮上进行自动化输送的大型异形基板，因其易受到外界振动环境等的影响，较易发生侧倾现象。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供基板输送装置，以解决现有技术中的基板输送装置，在自动化输送以竖立方式设置在滚轮上的大型异形基板时，因其易受到外界振动环境等的影响，较易发生侧倾现象的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

基板输送装置，用于输送基板，其包括沿安装基体的高度方向间隔设置于所述安装基体的输送机构和防倾倒机构，所述基板设置于所述输送机构且位于所述防倾倒机构和所述输送机构之间，所述输送机构能够带动所述基板沿第一方向运动，所述第一方向垂直于所述安装基体的高度方向，所述防倾倒机构包括：

设置于所述安装基体的防倾倒驱动组件；

防倾倒件，所述防倾倒件连接于所述防倾倒驱动组件的输出端，所述防倾倒驱动组件被配置为能够带动所述防倾倒件沿第一方向运动，所述防倾倒件能与所述基板抵接。

作为优选，所述防倾倒驱动组件包括固定设置于所述安装基体的电机，以及第一滚轴丝杆组件，所述电机的输出轴与所述第一滚轴丝杆组件的输入端传动连接，所述第一滚轴丝杆组件的输出端与所述防倾倒件连接，所述电机能带动所述第一滚轴丝杆组件的输出端沿所述第一方向运动。

作为优选，所述第一滚轴丝杆组件包括螺纹连接的第一丝杆和第一丝杆螺母，所述第一丝杆转动设置于所述安装基体，所述电机的输出轴与所述第一丝杆传动连接，所述第一丝杆螺母与所述防倾倒件连接，且所述防倾倒件沿所述第一方向滑动设置于所述安装基体。

作为优选，所述防倾倒驱动组件还包括固定设置于所述安装基体的气缸，所述气缸的输出轴与所述防倾倒件连接，所述气缸的输出轴与所述第一方向平行。

作为优选，所述防倾倒件包括连接部和与所述连接部连接的多个防倾倒部，所述连接部与所述防倾倒驱动组件的输出端连接，多个所述防倾倒部沿第二方向间隔设置，所述防倾倒部能与所述基板的顶壁抵接，所述第二方向与所述第一方向垂直且均垂直于所述安装基体的高度方向。

作为优选，所述防倾倒部上至少与所述基板接触的部分设有弹性垫层。

作为优选，所述防倾倒件和所述安装基体中的一个设有第一滑轨，另一个设有第一滑槽，所述第一滑轨和所述第一滑槽滑动配合。

作为优选，所述输送机构包括设置于所述安装基体的输送驱动件、第二滚轴丝杆组件和承载结构，所述输送驱动件的输出轴与所述第二滚轴丝杆组件的输入端传动连接，所述第二滚轴丝杆组件的输出端与所述承载结构连接，所述输送驱动件能够带动所述第二滚轴丝杆组件的输出端沿所述第一方向运动，所述基板设置于所述承载结构。

作为优选，所述承载结构和所述安装基体中的一个设有第二滑轨，另一个设有第二滑槽，所述第二滑槽和所述第二滑轨滑动配合。

作为优选，所述第二滑轨和所述第二滑槽的数量均为两个，两个所述第二滑轨和两个所述第二滑槽一一对应设置，两个所述第二滑轨沿第二方向间隔设置，所述第二滚轴丝杆组件分布于两个所述第二滑轨之间，所述第二方向与所述第一方向垂直且均垂直于所述安装基体的高度方向。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的目的在于提供了基板输送装置，该基板输送装置用于输送基板，该基板输送装置包括沿安装基体的高度方向间隔设置的输送机构和防倾倒机构，基板设置于输送机构，当输送基板时，输送机构带动基板沿第一方向运动，防倾倒驱动组件同步带动防倾倒件沿第一方向运动，可以理解的是，输送基板的过程中，防倾倒件始终位于基板的正上方，当基板输送正常时，防倾倒件与基板不接触，当基板受到外界振动环境等影响发生倾倒时，基板的顶壁与防倾倒件接触，能够避免基板完全倾倒造成的损伤基板和/或输送机构的现象，从而能够避免基板在整个输送过程中发生倾倒造成的损伤基板和/或输送机构的现象，且提升了对基板的输送效率。

附图说明

图1是本实用新型的具体实施例提供的基板输送装置的结构示意图；

图2是本实用新型的具体实施例提供的基板输送装置的部分结构示意图一；

图3是本实用新型的具体实施例提供的基板输送装置的部分结构示意图二。

图中：

100、基板；

1、输送机构；11、输送驱动件；12、第二滚轴丝杆组件；121、第二丝杆；

2、防倾倒机构；21、防倾倒驱动组件；211、电机；212、第一滚轴丝杆组件；2121、第一丝杆；2122、第一丝杆螺母；22、防倾倒件；221、连接部；222、防倾倒部；

3、安装基体；31、第一滑轨；32、第二滑轨。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

本实用新型提供了基板输送装置，如图1和图2所示，用于输送基板100，该基板输送装置包括沿安装基体3的高度方向间隔设置于安装基体3的输送机构1和防倾倒机构2，基板100设置于输送机构1且位于防倾倒机构2和输送机构1之间，输送机构1能够带动基板100沿第一方向运动，第一方向垂直于安装基体3的高度方向，防倾倒机构2包括设置于安装基体3的防倾倒驱动组件21，以及防倾倒件22，防倾倒件22连接于防倾倒驱动组件21的输出端，防倾倒驱动组件21被配置为能够带动防倾倒件22沿第一方向运动，防倾倒件22能与基板100抵接。该基板输送装置，当输送基板100时，输送机构1带动基板100沿第一方向运动，防倾倒驱动组件21同步带动防倾倒件22沿第一方向运动，可以理解的是，输送基板100的过程中，防倾倒件22始终位于基板100的正上方，当基板100输送正常时，防倾倒件22与基板100不接触，当基板100受到外界振动环境等影响发生倾倒时，基板100的顶壁与防倾倒件22接触，能够避免基板100完全倾倒造成的损伤基板100和/或输送机构1的现象，从而能够避免基板100在整个输送过程中发生倾倒造成的损伤基板100和/或输送机构1的现象，且提升了对基板100的输送效率。

其中，图1-3中的ab方向为第一方向；图2和图3中的cd方向为第二方向；图1中的ef方向为安装基体3的高度方向。

其中，如图1和图2所示，防倾倒驱动组件21包括固定设置于安装基体3的电机211，以及第一滚轴丝杆组件212，电机211的输出轴与第一滚轴丝杆组件212的输入端传动连接，第一滚轴丝杆组件212的输出端与防倾倒件22连接，电机211能带动第一滚轴丝杆组件212的输出端沿第一方向运动。具体地，当输送基板100时，输送机构1带动基板100沿第一方向运动，电机211带动第一滚轴丝杆组件212的输出端同步沿第一方向运动，第一滚轴丝杆组件212的输出端与防倾倒件22连接，从而带动防倾倒件22同步沿第一方向运动，可以理解的是，输送基板100的过程中，防倾倒件22始终位于基板100的正上方，当基板100输送正常时，防倾倒件22与基板100不接触，当基板100受到外界振动环境等影响发生倾倒时，基板100的顶壁与防倾倒件22接触，能够避免基板100完全倾倒造成的损伤基板100和/或输送机构1的现象，从而能够避免基板100在整个输送过程中发生倾倒造成的损伤基板100和/或输送机构1的现象，且提升了对基板100的输送效率。

具体地，如图1和图2所示，第一滚轴丝杆组件212包括螺纹连接的第一丝杆2121和第一丝杆螺母2122，第一丝杆2121转动设置于安装基体3，电机211的输出轴与第一丝杆2121传动连接，第一丝杆螺母2122与防倾倒件22连接，且防倾倒件22沿第一方向滑动设置于安装基体3。具体地，当输送基板100时，输送机构1带动基板100沿第一方向运动，电机211带动第一丝杆2121转动，从而带动第一丝杆螺母2122沿第一方向同步滑动，从而带动设置于第一丝杆螺母2122的防倾倒件22沿第一方向同步移动，始终位于基板100的正上方。

作为一种替代方案，防倾倒驱动组件21还包括固定设置于安装基体3的气缸，气缸的输出轴与防倾倒件22连接，气缸的输出轴与第一方向平行。当输送基板100时，输送机构1带动基板100沿第一方向运动，气缸的输出轴沿第一方向伸缩，从而带动防倾倒件22沿第一方向同步移动，始终位于基板100的正上方。

具体地，如图1和图2所示，防倾倒件22和安装基体3中的一个设有第一滑轨31，另一个设有第一滑槽，第一滑轨31和第一滑槽滑动配合。如此设置，以实现防倾倒件22和安装基体3滑动配合。

其中，如图1和图2所示，防倾倒件22包括连接部221和与连接部221连接的多个防倾倒部222，连接部221与防倾倒驱动组件21的输出端连接，多个防倾倒部222沿第二方向间隔设置，防倾倒部222能与基板100的顶壁抵接，第二方向与第一方向垂直且均垂直于安装基体3的高度方向。具体地，在本实施例中，连接部221与第一丝杆螺母2122连接。当基板100输送正常时，防倾倒件22的防倾倒部222与基板100不接触，当基板100受到外界振动环境等影响发生倾倒时，基板100的顶壁与防倾倒件22的防倾倒部222接触，能够避免基板100完全倾倒造成的损伤基板100和/或输送机构1的现象，从而能够避免基板100在整个输送过程中发生倾倒造成的损伤基板100和/或输送机构1的现象，且提升了对基板100的输送效率；沿第二方向间隔设置多个防倾倒部222，以保证能够防止基板100朝各个方向倾倒。

具体地，在本实施例中，防倾倒部222为圆柱形杆件。能够减少防倾倒部222损伤基板100。

进一步具体地，防倾倒部222上至少与基板100接触的部分设有弹性垫层。能够进一步减少防倾倒部222损伤基板100。

进一步具体地，沿安装基体3的高度方向，防倾倒部222与基板100之间的间距范围为：3mm～10mm。

其中，如图1和图3所示，输送机构1包括设置于安装基体3的输送驱动件11、第二滚轴丝杆组件12和承载结构，输送驱动件11的输出轴与第二滚轴丝杆组件12的输入端传动连接，第二滚轴丝杆组件12的输出端与承载结构连接，输送驱动件11能够带动第二滚轴丝杆组件12的输出端沿第一方向运动，基板100设置于承载结构。具体地，输送驱动件11带动第二滚轴丝杆组件12运动，带动第二滚轴丝杆组件12的输出端与承载结构同步沿第一方向运动，基板100设置于承载结构，从而带动基板100沿第一方向运动。

具体地，如图1和图3所示，第二滚轴丝杆组件12包括螺纹连接的第二丝杆121和第二丝杆螺母，第二丝杆121转动设置于安装基体3，输送驱动件11的输出轴与第二丝杆121传动连接，第二丝杆螺母与承载结构连接，且承载结构沿第一方向滑动设置于安装基体3。具体地，当输送基板100时，输送驱动件11带动第二丝杆121转动，从而带动第二丝杆螺母和承载结构沿第一方向同步滑动，从而带动设置于承载结构的基板100沿第一方向移动。

进一步具体地，如图1和图3所示，承载结构和安装基体3中的一个设有第二滑轨32，另一个设有第二滑槽，第二滑槽和第二滑轨32滑动配合。如此设置，以实现承载结构与安装基体3滑动配合。

进一步具体地，如图3所示，第二滑轨32和第二滑槽的数量均为两个，两个第二滑轨32和两个第二滑槽一一对应设置，两个第二滑轨32沿第二方向间隔设置，第二滚轴丝杆组件12分布于两个第二滑轨32之间，第二方向与第一方向垂直且均垂直于安装基体3的高度方向。如此设置能够提升输送机构1的输送稳定性。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.基板输送装置，用于输送基板(100)，其特征在于，包括沿安装基体(3)的高度方向间隔设置于所述安装基体(3)的输送机构(1)和防倾倒机构(2)，所述基板(100)设置于所述输送机构(1)且位于所述防倾倒机构(2)和所述输送机构(1)之间，所述输送机构(1)能够带动所述基板(100)沿第一方向运动，所述第一方向垂直于所述安装基体(3)的高度方向，所述防倾倒机构(2)包括：

设置于所述安装基体(3)的防倾倒驱动组件(21)；

防倾倒件(22)，所述防倾倒件(22)连接于所述防倾倒驱动组件(21)的输出端，所述防倾倒驱动组件(21)被配置为能够带动所述防倾倒件(22)沿第一方向运动，所述防倾倒件(22)能与所述基板(100)抵接。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，所述防倾倒驱动组件(21)包括固定设置于所述安装基体(3)的电机(211)，以及第一滚轴丝杆组件(212)，所述电机(211)的输出轴与所述第一滚轴丝杆组件(212)的输入端传动连接，所述第一滚轴丝杆组件(212)的输出端与所述防倾倒件(22)连接，所述电机(211)能带动所述第一滚轴丝杆组件(212)的输出端沿所述第一方向运动。

3.根据权利要求2所述的基板输送装置，其特征在于，所述第一滚轴丝杆组件(212)包括螺纹连接的第一丝杆(2121)和第一丝杆螺母(2122)，所述第一丝杆(2121)转动设置于所述安装基体(3)，所述电机(211)的输出轴与所述第一丝杆(2121)传动连接，所述第一丝杆螺母(2122)与所述防倾倒件(22)连接，且所述防倾倒件(22)沿所述第一方向滑动设置于所述安装基体(3)。

4.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，所述防倾倒驱动组件(21)还包括固定设置于所述安装基体(3)的气缸，所述气缸的输出轴与所述防倾倒件(22)连接，所述气缸的输出轴与所述第一方向平行。

5.根据权利要求1-4任一项所述的基板输送装置，其特征在于，所述防倾倒件(22)包括连接部(221)和与所述连接部(221)连接的多个防倾倒部(222)，所述连接部(221)与所述防倾倒驱动组件(21)的输出端连接，多个所述防倾倒部(222)沿第二方向间隔设置，所述防倾倒部(222)能与所述基板(100)的顶壁抵接，所述第二方向与所述第一方向垂直且均垂直于所述安装基体(3)的高度方向。

6.根据权利要求5所述的基板输送装置，其特征在于，所述防倾倒部(222)上至少与所述基板(100)接触的部分设有弹性垫层。

7.根据权利要求1-4任一项所述的基板输送装置，其特征在于，所述防倾倒件(22)和所述安装基体(3)中的一个设有第一滑轨(31)，另一个设有第一滑槽，所述第一滑轨(31)和所述第一滑槽滑动配合。

8.根据权利要求1-4任一项所述的基板输送装置，其特征在于，所述输送机构(1)包括设置于所述安装基体(3)的输送驱动件(11)、第二滚轴丝杆组件(12)和承载结构，所述输送驱动件(11)的输出轴与所述第二滚轴丝杆组件(12)的输入端传动连接，所述第二滚轴丝杆组件(12)的输出端与所述承载结构连接，所述输送驱动件(11)能够带动所述第二滚轴丝杆组件(12)的输出端沿所述第一方向运动，所述基板(100)设置于所述承载结构。

9.根据权利要求8所述的基板输送装置，其特征在于，所述承载结构和所述安装基体(3)中的一个设有第二滑轨(32)，另一个设有第二滑槽，所述第二滑槽和所述第二滑轨(32)滑动配合。

10.根据权利要求9所述的基板输送装置，其特征在于，所述第二滑轨(32)和所述第二滑槽的数量均为两个，两个所述第二滑轨(32)和两个所述第二滑槽一一对应设置，两个所述第二滑轨(32)沿第二方向间隔设置，所述第二滚轴丝杆组件(12)分布于两个所述第二滑轨(32)之间，所述第二方向与所述第一方向垂直且均垂直于所述安装基体(3)的高度方向。