CN219360410U - 一种ito平面靶材冷等静压成型模具 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种ITO平面靶材冷等静压成型模具，包括：模具本体，其外部包裹设有用于防水的防水膜，模具本体包括上模、下模以及设置在上模和下模之间的中空腔模，上模、下模和中空腔模围成用于填充靶材粉料的填充腔，填充腔与所需制作的平面靶素坯形状相对应。本结构简单，可以直接放入冷等静压机内，将粉料一步成型为平面靶材素坯，提高了工作效率，提高了靶材成型质量，有效的降低了成型成本。

Description

一种ITO平面靶材冷等静压成型模具

技术领域

本实用新型涉及平面靶材技术领域，特别涉及一种ITO平面靶材冷等静压成型模具。

背景技术

当下我国电子信息产业飞速发展，对高端溅射靶材的需求日益提高，国家大力支持相关高品质产品实现国产化。其中，ITO材料因其优异的的光电性能被广泛应用于OLED、LCD以及QLED等高端显示产品中，然而其对靶材密度、电阻率等性能要求极高。

靶材素坯的致密化成型是平面ITO靶材生产过程中的关键步骤之一，目前较常采用的是模压和冷等静压相结合的两步成型工艺，上述成型工艺需分两个步骤依次进行且具有以下不足：1、模压成型平面靶时需要造价较高的特制模具，一次模压的坯体还存在密度不均匀的固有劣势，且脱模过程较为困难；2、模压成型对大面积平面靶往往受制于模具的尺寸和压机的吨位而无法有效开展；3、采用两步法的复合成型工艺生产效率的限制性因素是模压成型的效率，模压后素坯需要经转运和包装摆放后才能进入冷等静压机进行二次成型，因而制品成型效率和成品率有待提升。

实用新型内容

针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供一种ITO平面靶材冷等静压成型模具，结构简单，可以直接放入冷等静压机内，将粉料一步成型为平面靶材素坯，提高了工作效率，提高了靶材成型质量，有效的降低了成型成本。

本实用新型为解决上述技术问题所采用的技术方案是：一种ITO平面靶材冷等静压成型模具，包括：

模具本体，其外部包裹设有用于防水的防水膜，所述模具本体包括上模、下模以及设置在上模和下模之间的中空腔模，所述上模、下模和中空腔模围成用于填充靶材粉料的填充腔，所述填充腔与所需制作的平面靶素坯形状相对应。

进一步的，所述防水膜为聚乙烯薄膜。

进一步的，通过抽真空和热熔封口处理将所述聚乙烯薄膜包裹在模具本体外部。

进一步的，所述中空腔模由两个长模板和两个短模板组成，长模板和短模板分别竖直设置。

进一步的，两个所述长模板沿前后方向相对设置，两个短模板沿左右方向相对设置。

进一步的，所述长模板、短模板、上模和下模均由聚氨酯材料制成。

进一步的，所述填充腔呈矩形。

本申请的有益效果为：（1）通过上模、下模和中空腔模围成用于填充靶材粉料的填充腔，聚乙烯薄膜用以密封上述模具本体，采用真空泵对其进行抽真空处理并实现完全密封，而后送入冷等静压机进行一次致密化成型，成型后的坯体脱模工序简单易行，便于可进行后续加工处理；

（2）将本申请模具送入冷等静压机后，填充腔内的靶材粉料，不仅受到上下的压力成型，而且受到侧面的压力成型，进而素胚密度会更高，内部密度分布均匀；

（3）本申请成本低廉，可重复利用，对平面靶素坯成型的降本增效有很大助益；

（4）聚乙烯薄膜一方面起到了防水的效果，另一方面聚乙烯薄膜通过抽真空和热熔封口处理将所述包裹在模具本体外部，在冷等静压成型前使模具本体外部形成密封真空腔，避免成型过程中坯体产生气泡，受到污染，提升平面靶素坯成型效果。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1中A-A剖视图。

图中标记：1、下模，2、填充腔，3、上模，4、短模板，5、长模板。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种ITO平面靶材冷等静压成型模具，包括：模具本体，其外部包裹设有用于防水的防水膜，所述模具本体包括上模3、下模1以及设置在上模3和下模1之间的中空腔模，所述上模3、下模1和中空腔模围成用于填充靶材粉料的填充腔2，所述填充腔2与所需制作的平面靶素坯形状相对应，所述填充腔2呈矩形。

其中，所述防水膜为聚乙烯薄膜，通过抽真空和热熔封口处理将所述聚乙烯薄膜包裹在模具本体外部，聚乙烯薄膜采用抽真空处理并采用热熔工艺塑封包裹在模具本体外部，在冷等静压成型前使模具本体外部形成密封真空腔，避免成型过程中坯体产生气泡，受到污染，提升平面靶素坯成型效果。

具体的，如图1或2所示，所述中空腔模由两个长模板5和两个短模板4组成，长模板5和短模板4分别竖直设置，两个所述长模板5沿前后方向相对设置，两个短模板4沿左右方向相对设置，中空腔模由长模板5-短模板4-长模板5-短模板4依次组合围成空腔结构。

更具体的，所述下模1上端设有下矩形台阶，上模3下端设有上矩形台阶，短模板4上端设置在上矩形台阶上，下端设置在下矩形台阶上，两个短模板4相对的端面设有第一矩形台阶，每个短模板4上的第一矩形台阶为两个，长模板5位于两个相对的第一矩形台阶之间。

此外，所述长模板5、短模板4、上模3和下模1均由聚氨酯材料制成，成本低廉，柔韧性较高，能够适应成型过程中的压力作用，相比于钢模模板寿命更长，需要说明的是，本申请未详述部分均为现有技术。

当然，本实用新型并不仅限于上述所介绍的实施方式，以下还提供了几种基于本实用新型的设计构思的其他实施方式。

例如，在其他实施方式中，与上述介绍的实施方式不同的是， 所述长模板5、短模板4、上模3和下模1均由氟橡胶制成，氟橡胶也可以为硅橡胶或氯醚橡胶。

本申请的工作原理为：将中空腔模放置在下模1上，而后导入一定量的靶材粉料，通过多次振实操作后完成上模1封口，通过抽真空和热熔封口处理将所述聚乙烯薄膜包裹在模具本体外部，最后将其整体放入冷等压机中进行致密化成型处理即可制备出平面靶素坯。

本申请模具组合方式简单，节约成本，所得靶材素坯平均致密度能达到65%以上，素坯表面平整度良好，简单机加工后即可进入下一工序。

需要说明的是，上述实施例仅用来说明本实用新型，但本实用新型并不局限于上述实施例，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均落入本实用新型的保护范围内。

Claims (7)

1.一种ITO平面靶材冷等静压成型模具，其特征在于，包括：

模具本体，其外部包裹设有用于防水的防水膜，所述模具本体包括上模（3）、下模（1）以及设置在上模（3）和下模（1）之间的中空腔模，所述上模（3）、下模（1）和中空腔模围成用于填充靶材粉料的填充腔（2），所述填充腔（2）与所需制作的平面靶素坯形状相对应。

2.根据权利要求1所述的一种ITO平面靶材冷等静压成型模具，其特征在于：所述防水膜为聚乙烯薄膜。

3.根据权利要求2所述的一种ITO平面靶材冷等静压成型模具，其特征在于：通过抽真空和热熔封口处理将所述聚乙烯薄膜包裹在模具本体外部。

4.根据权利要求2或3所述的一种ITO平面靶材冷等静压成型模具，其特征在于：所述中空腔模由两个长模板（5）和两个短模板（4）组成，长模板（5）和短模板（4）分别竖直设置。

5.根据权利要求4所述的一种ITO平面靶材冷等静压成型模具，其特征在于：两个所述长模板（5）沿前后方向相对设置，两个短模板（4）沿左右方向相对设置。

6.根据权利要求5所述的一种ITO平面靶材冷等静压成型模具，其特征在于：所述长模板（5）、短模板（4）、上模（3）和下模（1）均由聚氨酯材料制成。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的一种ITO平面靶材冷等静压成型模具，其特征在于：所述填充腔（2）呈矩形。