CN219287787U - 一种晶圆的检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆的检测装置，应用于晶圆检测技术领域。本申请中，在检测装置入料口上方增加了至少一个离子风管，每个离子风管具有至少一个喷口，每个喷口包括发射电极。通过发射电极发射离子，喷口喷出的风中携带离子，利用携带的离子去除晶圆表面的静电。采用本申请的检测装置可对晶圆静电进行去除。因此，可以有效去除进入检测装置内部的晶圆的静电，提高晶圆检测准确性。

Description

一种晶圆的检测装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆检测技术领域，特别是涉及一种晶圆的检测装置。

背景技术

随着半导体领域的发展，晶圆成为制作芯片的基本材料之一。为了保证后续制造的芯片的质量，就需要对晶圆进行质量检测。由于晶圆的表面可能会携带有静电，其所携带的静电可能会影响到检测装置的检测结果，因此在对晶圆进行检测前，需要去除晶圆表面的静电。

一般情况下，需要设置额外的除静电装置，在晶圆被送入检测装置之前，对晶圆表面的静电进行去除。但是，在将经过静电去除的晶圆转移到检测装置的过程中，可能会再次产生静电。新产生的静电可能会对检测结果造成一定的影响，降低了晶圆检测的准确性。

实用新型内容

基于上述问题，本实用新型提供了一种晶圆的检测装置，能够有效去除进入检测装置内部的晶圆的静电，提高晶圆检测准确性。

本实用新型实施例公开了如下技术方案：

本申请提供了一种晶圆的检测装置，所述检测装置包括入料口和所述入料口上方的至少一个离子风管；

每个所述离子风管包括多个喷口；

每个所述喷口包括发射电极，用于使对应的所述喷口向被检测晶圆传送的风中携带离子；

所述被检测晶圆通过所述入料口进入所述检测装置。

可选地，所述检测装置还包括外壳；

所述入料口位于所述外壳的第一侧壁，所述至少一个离子风管固定于所述第一侧壁且位于所述外壳的内部，并位于所述入料口的上方。

可选地，所述至少一个离子风管与所述入料口的上下边缘平行。

可选地，所述喷口的出风角度支持在朝向所述入料口和远离所述入料口的角度之间进行调整。

可选地，所述离子风管和所述外壳通过至少一个角度调节连接片连接；

所述至少一个角度调节连接片用于调节所述至少一个离子风管和所述入料口所在平面之间的角度。

可选地，所述至少一个角度调节连接片包括三个角度调节连接片，所述至少一个离子风管包括一个离子风管；

所述三个角度调节连接片中的两个所述角度调节连接片分别位于所述离子风管的两端，所述三个角度调节连接片中的剩余一个所述角度调节连接片位于所述离子风管的中间。

可选地，所述离子风管的两端固定连接臂，所述连接臂通过连接螺栓固定所述至少一个离子风管。

可选地，所述外壳的第一侧壁，还用于连接进料结构，以使所述进料结构通过所述入料口向所述检测装置的内部传送所述被检测晶圆。

可选地，所述检测装置还包括检测结构，所述检测结构位于所述外壳的内部；

所述检测结构，用于放置所述被检测晶圆，以使所述被检测晶圆接收所述多个喷口传送的风中携带的离子；并且在所述被检测晶圆去除静电后，对所述被检测晶圆进行检测。

可选地，在所述检测装置工作过程中，所述多个喷口的出风方向动态变化，以使出风范围覆盖整个所述被检测晶圆。

相较于现有技术，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型，在检测装置入料口上方增加了至少一个离子风管，每个离子风管具有至少一个喷口，每个喷口包括发射电极。通过发射电极发射离子，喷口喷出的风中携带离子，利用携带的离子去除晶圆表面的静电。可以在检测装置中对晶圆静电进行去除。因此，可以有效去除进入检测装置内部的晶圆的静电，提高晶圆检测准确性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的一种晶圆的检测装置的结构示意图；

图2为本实用新型提供的一种晶圆的检测装置的离子风管的结构示意图。

具体实施方式

为了使本领域技术人员更清楚地理解本申请的技术方案，下面首先说明本申请方案的应用场景。

晶圆制造工艺技术中，在晶圆所处的腔室中有某种气体电离产生的等离子体。然而，由于晶圆上的电荷数量难以把握，静电吸盘电源加载的反向电压大小也难以把握，因此，晶圆表面通常仍残留较多静电荷。而且，关键尺寸等线宽不断缩小，晶圆表面很容易产生静电荷累积效应。晶圆清洗从槽式清洗改为单片式清洗后，由于化学品或者清洗液瞬间接触晶圆表面加上高速旋转，晶圆表面会产生很强的静电击穿效应，造成一种永久性的破坏，影响晶圆的良率甚至导致产品报废。而且，晶圆表面有效表面积越大，聚集静电荷情况越严重，造成的损失越大。

目前，需要设置额外的除静电装置，在晶圆被送入检测装置之前，对晶圆表面的静电进行去除。但是，在将经过静电去除的晶圆转移到检测装置的过程中，可能会再次产生静电。新产生的静电可能会对检测结果造成一定的影响，降低了晶圆检测的准确性。

为了解决以上技术问题，本申请提供了一种晶圆的检测装置。本申请技术方案，在检测装置入料口上方增加了离子风管，离子风管具有喷口，喷口包括发射电极。通过发射电极发射离子，喷口喷出的风中携带离子，利用携带的离子去除晶圆表面的静电。可以在检测装置中对晶圆静电进行去除。因此，可以有效去除进入检测装置内部的晶圆的静电，提高晶圆检测准确性。

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1为本实用新型提供的一种晶圆的检测装置的结构示意图。如图1所示，该检测装置包括：入料口100和离子风管200。

可选地，检测装置还包括：外壳300和检测结构400。

其中，外壳300包括内部型材支撑架301。

入料口100位于外壳300的第一侧壁，第一侧壁可以是，除检测装置正面柜门面外，外壳300内部的任意一个侧壁面。其中，入料口100可以是长方形，也可以是其他形状。

入料口100用于接收被检测晶圆，被检测晶圆通过进料结构的机械手，传递到入料口100处，并放置到检测结构400上，以便可以被离子风管200喷出的风全面覆盖。

此外，入料口100还可以用于排出被检测晶圆，当被检测晶圆经过检测结构400检测后，可以通过入料口100进入到进料结构。

离子风管200固定在外壳300的第一侧壁上，位于外壳300的内部，并且可以位于入料口100的上方。离子风管200可以与入料口100的上下边缘平行放置。本实施例的检测装置可以包括至少一个离子风管200，离子风管200包括多个喷口201，每个喷口201包括发射电极202，如图2所示。

具体的，每个离子风管200包括多个喷口201，至少一个离子风管200可以与入料口100的上下边缘平行。也就是说，喷口201的排列方向可以与入料口100的上下边缘平行。其中，喷口201可以拆卸，通过螺纹连接在离子风管200上。

在离子风管200使用过程中，发射电极202产生离子，使对应的喷口201喷出的风中携带离子，离子随着风向被检测晶圆传送，以便消除被检测晶圆表面的静电。

喷口201的出风角度可以在朝向入料口100和远离入料口100的角度之间进行调整。根据角度的调整，可以让离子风管200的喷气角度达到符合需要的角度。

具体的，离子风管200通过至少一个角度调节连接片203与外壳300连接，离子风管200侧面的两端，通过连接螺栓205与连接臂204固定，外壳300的内部设有一个内部型材支撑架301，如图2所示。

角度调节连接片203带有滑轨的一端固定在内部型材支撑架301上，另一端固定在离子风管200上。通过角度调节连接片203可以调节离子风管200与入料口100所在平面之间的角度，也就是改变喷口201与入料口100所在平面之间的出风角度。可调节的角度范围是角度调节连接片203的弧形滑轨的角度范围。

举例说明，在离子风管200上固定三个角度调节连接片203，分别位于离子风管200处与喷口201位置相反的一侧。其中两个角度调节连接片203位于离子风管200的两端，剩余的一个角度调节连接片203位于离子风管200的中间位置。调节离子风管200的角度，使喷口201斜向下朝向检测装置400，以便于喷口201喷出的携带离子的风可以全面覆盖被检测晶圆。从而可以去除被检测晶圆表面静电。

此外，可以在内部型材支撑架301上设置可调节的滑轮装置，调节离子风管200和喷口201的出风方向，使喷口201的出风方向动态变化，可以让喷口201喷出的风的范围覆盖整个被检测晶圆。

外壳300的第一侧壁用于连接外部进料结构，被检测晶圆可以通过机械手从进料结构传送至外壳300的内部。

具体的，外壳300的第一侧壁包括入料口100，外壳300的内部包括离子风管200和检测结构400。

检测结构400位于外壳300的内部，用于放置被检测晶圆，以便于被检测晶圆可以被喷口201喷出的携带离子的风全面覆盖，去除晶圆表面的静电。并且在被检测晶圆去除表面静电后，对被检测晶圆进行外观、划痕、脏污等检测。

本申请技术方案，在检测装置入料口上方增加了至少一个离子风管，每个离子风管具有至少一个喷口，每个喷口包括发射电极。通过发射电极发射离子，喷口喷出的风中携带离子，利用携带的离子去除晶圆表面的静电。可以在检测装置中对晶圆静电进行去除。因此，可以有效去除进入检测装置内部的晶圆的静电，提高晶圆检测准确性。

本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种晶圆的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括入料口和所述入料口上方的至少一个离子风管；

每个所述离子风管包括多个喷口；

每个所述喷口包括发射电极，用于使对应的所述喷口向被检测晶圆传送的风中携带离子；

所述被检测晶圆通过所述入料口进入所述检测装置。

2.根据权利要求1所述检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括外壳；

所述入料口位于所述外壳的第一侧壁，至少一个所述离子风管固定于所述第一侧壁且位于所述外壳的内部，并位于所述入料口的上方。

3.根据权利要求2所述检测装置，其特征在于，至少一个所述离子风管与所述入料口的上下边缘平行。

4.根据权利要求2所述检测装置，其特征在于，所述喷口的出风角度支持在朝向所述入料口和远离所述入料口的角度之间进行调整。

5.根据权利要求4所述检测装置，其特征在于，所述离子风管和所述外壳通过至少一个角度调节连接片连接；

所述至少一个角度调节连接片用于调节至少一个所述离子风管和所述入料口所在平面之间的角度。

6.根据权利要求5所述检测装置，其特征在于，所述至少一个角度调节连接片包括三个角度调节连接片，至少一个所述离子风管包括一个离子风管；

所述三个角度调节连接片中的两个所述角度调节连接片分别位于所述离子风管的两端，所述三个角度调节连接片中的剩余一个所述角度调节连接片位于所述离子风管的中间。

7.根据权利要求5所述检测装置，其特征在于，所述离子风管的两端固定连接臂，所述连接臂通过连接螺栓固定至少一个所述离子风管。

8.根据权利要求2所述检测装置，其特征在于，所述外壳的第一侧壁，还用于连接进料结构，以使所述进料结构通过所述入料口向所述检测装置的内部传送所述被检测晶圆。

9.根据权利要求1所述检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括检测结构，所述检测结构位于外壳的内部；

所述检测结构，用于放置所述被检测晶圆，以使所述被检测晶圆接收多个所述喷口传送的风中携带的离子；并且在所述被检测晶圆去除静电后，对所述被检测晶圆进行检测。

10.根据权利要求1所述检测装置，其特征在于，在所述检测装置工作过程中，多个所述喷口的出风方向动态变化，以使出风范围覆盖整个所述被检测晶圆。

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