KR20080109124A - 에어 크린룸용 에어 크리닝 유니트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 에어 크린룸용 에어 크리닝 유니트에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 본체(10) 내부에 브로워(15)에 의해 흡입, 토출하는 통로를 형성하여 제품 상부의 폭방향으로 설치되는 노즐 덕트(20)와 연결 구성하고, 상기 노즐덕트(20)의 저면에 본체 통로와 연결되어 공급되는 공기를 이온발생기(22)에 의해 무정전 이온화 청정공기로 변환하여 불어주는 토출구(23)와, 상기 이온화공기가 불어낸 제품의 먼지, 이물질을 본체(10)의 통로와 연결되어 흡입하는 흡입구(26)를 형성하되; 상기 브로워(15)에 의해 토출되는 공기는 토출구외에 외부로 배출되는 공급량을 댐퍼로 조절하도록 구성하므로서 제품의 상부 폭방향에서 무정전 이온화 청정공기를 고르게 토출하여 제품에 흡착된 먼지나 이물질, 정전기를 효과적으로 제거함은 물론 상기 토출된 공기와 함께 비산된 제품의 먼지나 이물질을 모두 재 흡입하여 정화처리하므로 제품의 크리닝 뿐만아니라 에어 크린룸 내부의 청정 효율도 우수하게 제공하는데 그 특징이 있다.

에어 크린룸, 무정전, 이온화 청정공기, 크리닝, 토출, 크리닝 유니트

Description

에어 크린룸용 에어 크리닝 유니트{AN AIR CLEANING UNIT FOR AIR CLEANING ROOM}

도 1은 본 발명의 정면 구성도.

도 2는 본 발명의 측면 구성도.

도 3은 본 발명 노즐덕트의 측 단면도.

도 4는 본 발명 노즐덕트의 입구를 보여주는 측면도.

도 5는 본 발명 노즐덕트의 저면도.

도 6은 본 발명의 다른 실시 예를 보여주는 정면 구성도.

**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**

5: 컨베이어 10: 본체

11: 흡입통로 12: 토출통로

13,32: 필터 15: 브로워

20: 노즐덕트 21: 공급로

22: 이온발생기 23: 토출구

25: 회수로 26: 흡입구

31: 배출공 33: 배출로

35: 댐퍼

본 발명은 에어 크린룸 등에서 무정전 이온화 청정 공기를 이용한 에어 크리닝 유니트에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 제품의 제조 공정에서 흡착된 먼지나 이물질, 정전기 등을 무정전 이온화 청정공기로 불어 제거함과 동시에 흡입하여 정화 처리하므로 크리닝 및 청정 효율을 우수하게 제공하는 에어 크린룸용 에어 크리닝 유니트에 관한 것이다.

최근에 이르러 에어 크린룸 관련 기술은 고 부가가치 산업으로 적극 육성하고 있는 산업 중 하나이다.

상기한 에어 크린룸 관련 기술중 반도체 및 TFT-LCD 등의 제조공정에서 제품의 표면으로 먼지나 이물질이 흡착되거나 정전기가 발생함으로 인해 제품 불량이 발생되는 심각한 문제를 유발하였다.

이러한 문제점을 해결하고자 다수의 기술이 개시된 바 있는데, 본 출원인은 특허출원 제2004-79374호에서 외부로 유입된 공기를 필터에 의해 여과한 청정 공기로 송풍기에 의해 상부 덕트로 공급하고, 상기 상부 덕트로 공급된 청정 공기를 재차 필터 여과한 후 이온바에 의해 무정전 이온화 청정 공기로 변환한 후 토출부로 토출하므로서 컨베이어를 통해 이송되는 제품 표면에 흡착된 먼지나 이물질을 제거함과 함께 제품의 정전기를 제거하도록 하였다.

이때, 상기 토출부는 컨베이어의 일측 상부에서 컨베이어를 향해 경사를 이루어 컨베이어 상부로 무정전 이온화 청정 공기를 토출하도록 하였다.

그러나 상기한 본 출원인에 의한 선 출원 기술 및 종래 기술은 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 컨베이어 상부로 이송되는 제품의 일측 상부, 즉 측방에서 무정전 이온화 청정 공기를 토출하기 때문에 제품의 표면 전체적으로 일정하게 공기를 불어주지 못하므로 제품에 흡착된 먼지나 이물질, 정전기의 제거 효율이 전체적으로 우수하게 제공되지 못하는 문제점이 있었다.

즉, 상기 토출부에 인접한 위치보다 멀리 떨어진 위치에서의 먼지나 이물질, 정전기의 제거 효율이 현저히 저하되는 문제점이 있었다.

둘째, 상기 제품의 표면에 흡착된 먼지나 이물질, 정진기를 무정전 이온화 청정 공기를 불어 제거한 후, 상기 불어낸 먼지나 이물질이 에어 크린룸 내부에 여전히 비산하여 부유하거나 상기 제품 표면에 재 흡착되면서 제품의 크리닝 효율이 저하됨은 물론 오히려 에어 크린룸 내부를 오염시키는 등의 문제점이 있었다.

본 발명은 상기한 본 출원인에 의해 선 출원된 기술 및 종래 기술이 갖는 제반 문제점을 근본적으로 해결하고자 창출된 것으로서, 제품의 상부 폭방향에서 무 정전 이온화 청정 공기를 고르게 토출하면서 제품에 흡착된 먼지나 이물질, 정전기를 전체적으로 효과적으로 제거하므로서 작업 효율성을 극대화하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 상기 무정전 이온화 공기를 토출하여 제품의 먼지나 이물질을 불어 제거함과 함께 이를 재 흡입하여 정화처리하므로서 제품의 크리닝 효율과 함께 에어 크린룸 내부의 청정 효율도 우수하게 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명은 장치를 고정형으로 설치하여 제품을 컨베이어에 의해 이송하면서 사용하거나 제품 상부에서 장치를 스캔 이동하는 이동형으로 사용하도록 하므로서 사용 효율성을 극대화하는데 그 목적이 있다.

이러한 본 발명은,

본체 내부에 브로워에 의해 흡입, 토출하도록 필터가 내장된 흡입통로와 토출통로를 형성하여 제품 상부 폭방향으로 설치되는 노즐 덕트와 연결 구성하되,

상기 노즐덕트의 저면에는 본체의 토출통로와 연결되어 공급되는 공기를 이온발생기에 의해 무정전 이온화 청정공기로 변환하여 불어주는 토출구와, 상기 토출구에 의해 토출된 무정전 이온화 청정공기와 함께 공기가 불어낸 제품의 먼지, 이물질을 흡입통로와 연결되어 흡입하는 흡입구를 형성한 것에 그 특징이 있다.

본 발명은 노즐덕트의 저면 중앙에 토출구를 형성하고, 그 외측을 따라 이격되게 흡입구를 형성하되, 상기 흡입구는 내측 중앙을 향해 흡입 효율을 높이도록 경사면으로 형성함에 그 특징이 있다.

본 발명은 토출통로의 단부에 토출구외에 외부로 배출되는 배출로를 연결 형성하여 댐퍼에 의해 토출 공기량과 배출 공기량을 상호 조절하도록 함에 그 특징이 있다.

본 발명은 토출구에서 토출되는 공기량 보다 많은 공기량을 흡입구를 통해 흡입하도록 구성함에 그 특징이 있다.

본 발명은 본체 하부에 이동바퀴를 마련하여 제품의 상부에서 수평 이동하면서 작업하는 이동형으로 구성함에 그 특징이 있다.

이하, 상기한 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부도면을 참조하여 살펴보기로 한다.

즉, 본 발명의 에어 크리닝 유니트는 도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 에어 크린룸에서 제품에 흡착된 먼지나 이물질, 정진기 등을 무정전 이온화 청정공기로 불어 제거하는 것에 있어서,

본체(10) 내부에 브로워(15)에 의해 흡입, 토출하도록 필터(13)가 내장된 흡입통로(11)와 토출통로(12)를 형성하여 제품 상부의 폭방향으로 설치되는 노즐 덕트(20)와 연결 구성하되,

상기 노즐덕트(20)의 저면에는 폭방향으로 본체(10)의 토출통로(12)와 연결되는 공급로(21)를 통해 공급되는 공기를 이온발생기(22)에 의해 무정전 이온화 청정공기로 변환하여 불어주는 토출구(23)와, 상기 토출구에 의해 토출된 무정전 이 온화 청정공기와 상기 공기가 불어낸 제품의 먼지, 이물질을 본체(10)의 흡입통로(11)와 연결되는 회수로(25)를 통해 흡입하는 흡입구(26)를 형성하여 이루어진다.

이때, 상기 토출통로(12)의 단부에는 공급로(21)외에 외부로 배출되는 배출공(31)으로 필터(32)가 내장된 배출로(33)를 연결 형성하되, 댐퍼(35)의 회전조절에 의해 공급로(21)와 배출로(33)의 개방 정도를 상호 반 비례적으로 조절하도록 구성된다.

즉, 상기 공급로(21)가 70%의 공기량이 배출되면 배출로(33)는 30%의 공기량이 배출되고, 상기 공급로(21)가 30%의 공기량이 배출되면 배출로(33)는 70%의 공기량이 배출되게 되는 것이다.

이 때문에 상기 공급로(21)를 통해 토출구(23)로 토출되는 공기량 보다 더 많은 공기량을 흡입구(26)를 통해 흡입하도록 구성된다.

또한, 상기 노즐덕트(20)의 토출구(23)는 저면 중앙에 형성하고, 흡입구(26)는 상기 토출구(23)의 외측을 따라 이격되어 형성하되, 내측 중앙을 향해 경사면을 이루도록 형성된다.

즉, 상기 토출구(23)에서 토출된 공기가 제품 상부의 먼지, 이물질을 불어낸 후 비산되어 흡입구(26)를 통해 원활히 흡입되도록 구성된다.

또한 본 발명은 도면에 상세히 도시되지 않았지만 컨베이어(5)에 의해 제품을 이송공급시에 제품 이송을 감지하는 센서를 구비하여 센서의 감지작동으로 본 발명 에어 크리닝 유니트의 작동 및 운전시간 등을 제어하는 자동화 작업을 가능하 도록 제공한다.

미설명부호로서, 18은 본체(10)를 지지하는 지지대를 나타내는 것이다.

다음은 상기와 같이 구성되는 본 고안의 작동 및 작용에 대해 살펴보기로 한다.

먼저 전원을 온작동하여 브로워(15)를 작동하면, 흡입통로(11)를 통해 흡입되는 공기는 필터(13)에 의해 정화된 청정 공기 상태로 흡입된다.

이와 같이 흡입된 청정 공기는 브로워(15)에 의해 토출통로(12)를 통해 강한 압력으로 토출된다.

이때, 상기 토출통로(12)의 단부에는 댐퍼(35)가 구비되어 토출되는 공기를 공급로(21)와 배출로(33)에 상호 반 비례적으로 토출하게 된다.

이는 제품상에 흡착된 이물질 크기나 중량, 비산시키기 위한 풍속 정도 등을 고려하여 조절하게 되는데, 공급로(21)를 통해 많은 공기량을 토출하게 되면 반 비례적으로 배출로(33)로 토출되는 공기량은 줄어들고 상기 공급로(21)를 통해 적은 공기량을 토출하게 되면 반 비례적으로 배출로(33)로 토출되는 공기량은 늘어나게 되는 것이다.

이와 같이하여 상기 배출로(33)로 토출된 공기는 필터(32)에 의해 재차 정화처리된 상태로 배출공(31)을 통해 외부 에어 크린룸으로 청정 상태로 배출된다.

그리고 상기 토출통로(12)로 토출된 나머지 청정 공기는 노즐덕트(20)의 공급로(21)로 공급되어 이온발생기(22)에 의해 무정전 이온화 청정공기로 변환된 상 태로 토출구(23)를 통해 강하게 토출되게 된다.

이때, 상기 토출구(23)는 컨베이어(5)의 폭방향 상부에 수평 위치된 상태에서 강하게 무정전 이온화 청정공기를 토출하기 때문에 상기 컨베이어(5) 상부로 이송되는 제품의 상부에 전체적으로 고르게 불어주게 되는 것이다.

이와 같이 제품의 상부에서 전체적으로 고르게 불어주는 무정전 이온화 청정 공기에 의해 제품의 표면에 흡착된 먼지나 이물질, 정전기 등을 효과적으로 제거하게 되는 것이다.

이와 같이 제품의 표면에 흡착되어 있다가 무정전 이온화 청정공기에 의해 제거된 먼지나 이물질은 다시 흡입구(26)를 통해 흡입된다.

이때, 상기 흡입구(26)는 토출구(23)의 외측을 따라 이격되게 형성되되 내측 중앙을 향해 경사면을 이루고 있기 때문에 토출된 이온화 공기 및 비산된 먼지, 이물질을 효과적으로 흡입하게 되는 것이다.

특히, 상기 토출구(23)로 토출되는 공기량 보다 흡입구(26)로 흡입되는 공기량이 더 많기 때문에 상기 비산된 먼지, 이물질을 모두 흡입구(26)를 통해 흡입할 수 있게 되는 것이다.

이와 같이 흡입구(26)를 통해 흡입된 공기, 먼지나 이물질은 회수로(25)를 통해 본체(10)의 흡입통로(11)를 통과하면서 내부 필터(13)에 의해 먼지, 이물질을 걸러 청정처리된 상태로 브로워(15)에 의해 전술한 바와 같이 재차 순환하여 사용하게 되는 과정을 반복하게 되는 것이다.

따라서, 본 발명은 컨베이어(5) 상부로 이송되는 제품의 표면에 무정전 이온 화 청정 공기를 전체적으로 고르게 토출하여 먼지나 이물질, 정전기를 효과적으로 제거함은 물론 이를 재 흡입하여 정화, 처리하기 때문에 제품의 크리닝 및 에어 크린룸 내부의 청정 환경도 효과적으로 제공할 수 있게 되는 것이다.

한편, 본 발명은 도 6에 도시된 바와 같이 달리 실시 할 수 있는데, 이는 전술한 바람직한 실시 예와 비교하여 볼 때, 본체(10)의 지지대(18) 하부에 이동바퀴(19)를 마련하여 상기 본체(10)와 노즐덕트(20)를 고정다이(7)상의 제품 상부에서 수평 이동하면서 전술한 제품에 흡착된 먼지나 이물질, 정전기를 전체적으로 제거하게 되는 것이다.

특히 상기 제품이 컨베이어에 의해 이송공급되는 것이 아니라 고정다이(7)상에 고정 설치된 상태에서 본 발명의 장치를 수평으로 스캔 이동하면서 효과적으로 작업하게 되는 것이다.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명의 에어 크린룸용 에어 크리닝 유니트는 에어 크린룸 내부에서 컨베이어에 의해 이송되거나 고정된 제품의 상부 폭방향에서 무정전 이온화 청정공기를 고르게 토출하면서 제품에 흡착된 먼지나 이물질, 정전기를 전체적으로 효과적으로 제거함은 물론 상기 토출된 공기와 함께 비산된 제품의 먼지나 이물질을 재 흡입하여 정화처리하므로서 제품의 크리닝 뿐만아니라 에어 크린룸 내부의 청정 효율도 우수하게 제공하므로서 사용상의 신뢰도를 극대화하는 효과를 갖는 것이다.

Claims (5)

1. 에어 크린룸에서 제품에 흡착된 먼지나 이물질, 정진기 등을 무정전 이온화청정 공기로 불어 제거하는 것에 있어서,

   본체(10) 내부에 브로워(15)에 의해 흡입, 토출하도록 필터(13)가 내장된 흡입통로(11)와 토출통로(12)를 형성하여 제품 상부의 폭방향으로 설치되는 노즐 덕트(20)와 연결 구성하되,

   상기 노즐덕트(20)의 저면에는 폭방향으로 본체(10)의 토출통로(12)와 연결되는 공급로(21)를 통해 공급되는 공기를 이온발생기(22)에 의해 무정전 이온화 청정공기로 변환하여 불어주는 토출구(23)와, 상기 토출구에 의해 토출된 무정전 이온화공기와 상기 공기가 불어낸 제품의 먼지, 이물질을 본체(10)의 흡입통로(11)와 연결되는 회수로(25)를 통해 흡입하는 흡입구(26)를 형성하여 이루어진 것을 특징으로 하는 에어 크린룸용 에어 크리닝 유니트.
2. 제1항에 있어서,

   상기 토출통로(12)의 단부에는 공급로(21)외에 외부로 배출되는 배출공(31)으로 필터(32)가 내장된 배출로(33)를 연결 형성하되, 댐퍼(35)의 회전조절에 의해 공급로(21)와 배출로(33)의 개방정도를 상호 반 비례적으로 조절하도록 구성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 에어 크린룸용 에어 크리닝 유니트.
3. 제1항에 있어서,

   상기 노즐덕트(20)의 토출구(23)는 저면 중앙에 형성하고, 흡입구(26)는 상기 토출구(23)의 외측을 따라 이격되어 형성하되, 내측 중앙을 향해 경사면을 형성하여 이루어진 것을 특징으로 하는 에어 크린룸용 에어 크리닝 유니트.
4. 제1항에 있어서,

   상기 토출구(23)에서 토출되는 공기량 보다 많은 공기량을 흡입구(26)를 통해 흡입하도록 구성되어 이루어진 것을 특징으로 하는 에어 크린룸용 에어 크리닝 유니트.
5. 제1항에 있어서,

   상기 본체(10)의 지지대(18) 하부에 이동바퀴(19)를 마련하여 상기 본체(10)와 노즐덕트(20)를 제품 상부에서 수평 이동하면서 작업하도록 이루어진 것을 특징으로 하는 에어 크린룸용 에어 크리닝 유니트.

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