CN219245337U - 升降调节装置及微粒检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种升降调节装置及微粒检测设备，升降调节装置包括：调节筒体，具有一回转轴线，调节筒体绕回转轴线可转动地设于设备本体上，调节筒体的内壁上设有内螺纹；调节杆，调节杆的外壁上设有能够与内螺纹相配合的外螺纹，调节杆的一端伸入调节筒体内，另一端用于连接光束定位板；第一限位单元，安装于设备本体上，第一限位单元用于限制调节筒体沿第一方向移动。上述升降调节装置，通过设置相配合的调节筒体和调节杆，以使调节筒体在响应外力的作用下转动时能够驱动调节杆第一方向移动，从而使调节杆带动光束定位板沿第一方向移动，操作简单，能够大大缩短调节时间；通过按需设置调节筒体和调节杆的螺距，能够提高调节的精度。

Description

升降调节装置及微粒检测设备

技术领域

本实用新型涉及微粒检测设备技术领域，特别是涉及一种升降调节装置及微粒检测设备。

背景技术

光束定位系统(Beam Position System，BPS)是微粒检测设备的重要组成部分之一，光束定位系统是一种在接收入射光(入射光为斜射光，Oblique)到晶圆(wafer)后能够形成反射光的光束接收电子器件。在检测微粒数量的过程中，需要调节光束定位板的高度位置，以使光束定位板的高度与安装于晶圆卡盘上的晶圆的高度对应。

相关技术中，光束定位板通过上下两个螺丝固定在微粒检测设备上，在调节光束定位板的高度位置时，需要用螺丝刀多次上下调节两颗螺丝，耗费的时间较长。

实用新型内容

基于此，有必要提供一种能够在短时间内调节好光束定位板的高度位置的升降调节装置及微粒检测设备。

根据本申请的一个方面，提供一种升降调节装置，用于微粒检测设备，所述微粒检测设备包括设备本体和光束定位板，所述升降调节装置连接于所述设备本体和所述光束定位板之间；所述升降调节装置包括：

调节筒体，具有一回转轴线，所述调节筒体绕所述回转轴线可转动地设于所述设备本体上，所述调节筒体的内壁上设有内螺纹；

调节杆，所述调节杆的外壁上设有能够与所述内螺纹相配合的外螺纹，所述调节杆的一端伸入所述调节筒体内，另一端用于连接所述光束定位板；及

第一限位单元，安装于所述设备本体上，所述第一限位单元用于限制所述调节筒体沿第一方向移动；所述第一方向为与所述回转轴线平行的方向。

上述升降调节装置，通过设置相配合的调节筒体和调节杆，以使调节筒体在响应外力的作用下转动时能够驱动调节杆第一方向移动，从而使调节杆带动光束定位板沿第一方向移动，操作简单，能够大大缩短调节时间；通过按需设置调节筒体和调节杆的螺距，并控制调节筒体每次带动调节螺杆移动的螺距数，从而提高调节的精度。

在其中一个实施例中，所述升降调节装置还包括第一固定件和第一轴承；

所述第一固定件连接所述设备本体，所述第一固定件开设有第一轴承安装孔；

所述第一轴承借助所述第一轴承安装孔安装于所述第一固定件；所述调节筒体可转动地连接所述第一轴承。

在其中一个实施例中，所述第一限位单元包括两个连接所述设备本体的第一限位件，其中一个所述第一限位件与所述调节筒体沿所述第一方向的一侧部分相抵，另一所述第一限位件与所述调节筒体沿所述第一方向的另一侧部分相抵；

每一所述第一限位件在参考面上的正投影与所述调节筒体在所述参考面上的正投影部分重合；所述参考面为垂直于所述第一方向的平面。

在其中一个实施例中，所述升降调节装置设有两个所述调节筒体、两个所述调节杆和两个所述第一限位单元；

两个所述调节筒体沿与所述第一方向垂直的第二方向间隔设置；

其中一个所述调节杆与其中一个所述调节筒体配合，另一所述调节杆与另一所述调节筒体配合；

其中一个所述第一限位单元用于限制其中一个所述调节筒体沿所述第一方向移动，另一所述第一限位单元用于限制另一所述调节筒体沿所述第一方向移动。

在其中一个实施例中，所述升降调节装置还包括连接件、第一齿轮和第二齿轮；

所述连接件可转动地设于所述设备本体上，所述连接件沿与所述第一方向垂直的第二方向纵长延伸设置；

所述第一齿轮套接于所述连接件，所述连接件构造为能够响应外力作用而带动所述第一齿轮绕所述第一齿轮的轴线转动；

所述第二齿轮被配置为能够与所述第一齿轮咬合，所述第二齿轮套接于所述调节筒体沿所述第一方向远离所述光束定位板的一端，所述第二齿轮构造为能够带动所述调节筒体转动。

在其中一个实施例中，所述升降调节装置还包括第二固定件和第二轴承；

所述第二固定件连接所述设备本体上，所述第二固定件开设有第二轴承安装孔；

所述第二轴承借助所述第二轴承安装孔安装于所述第二固定件；所述连接件可转动地连接所述第二轴承。

在其中一个实施例中，所述升降调节装置还包括支撑单元；

所述支撑单元安装于所述设备本体上，所述支撑单元靠近所述第二齿轮的一侧与所述第二齿轮相抵，所述支撑单元用于支撑所述第二齿轮；

所述第二固定件和所述支撑单元沿所述第一方向间隔设置，并共同界定形成限位空间，所述第二齿轮位于所述限位空间，以限制所述第二齿轮沿所述第一方向移动。

在其中一个实施例中，所述升降调节装置还包括第三固定件和第三轴承；

所述第三固定件安装于所述设备本体上，所述第三固定件开设有第三轴承安装孔；

所述第三轴承借助所述第三轴承安装孔安装于所述第三固定件；所述连接件可转动地连接所述第三轴承。

在其中一个实施例中，所述升降调节装置设有两个所述调节筒体、两个所述调节杆、两个所述第一限位单元、两个所述第一齿轮和两个所述第二齿轮；

两个所述第一齿轮沿所述第二方向间隔设于所述连接件上；

其中一个所述调节筒体、其中一个所述调节杆、其中一个所述第一限位单元、其中一个所述第一齿轮和其中一个所述第二齿轮共同组成一个调节组件；另一所述调节筒体、另一所述调节杆、另一所述第一限位单元、另一所述第一齿轮和另一所述第二齿轮共同组成另一调节组件。

根据本申请的另一个方面，提供一种微粒检测设备，包括设备本体、光束定位板和上述任一项所述的升降调节装置；所述升降调节装置设于设备本体和所述光束定位板之间，用于调节所述光束定位板在所述第一方向上的位置。

附图说明

图1为相关技术中光束定位板的调节示意图；

图2为本实用新型一实施例中升降调节装置的装配示意图；

图3为本实用新型另一实施例中升降调节装置的装配示意图；

图4为采用本实用新型一实施例的升降调节装置调节后的检测数据图。

附图标号说明：

10、升降调节装置；11、调节筒体；12、调节杆；13、第一限位单元；131、第一限位件；14、安装件；15、第一固定件；16、连接件；17、第一齿轮；18、第二齿轮；19、第二固定件；21、支撑单元；22、第三固定件；

24、设备本体；25、光束定位板；31、调节件；311、条形孔；32、紧固件；

X：第一方向；Y：第二方向。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

图1为相关技术中光束定位板的调节示意图。

在通过微粒检测设备进行检测之前，需要先调节光束定位板25的位置至合适的高度。为此，在相关技术中，参阅图1，光束定位板25沿第一方向(如图1中的X向所示)的相对两端各安装一个调节件31，调节件31开设有沿第一方向延伸设置的条形孔311，每一条形孔311内穿设有一个紧固件32，紧固件32可拆卸地设于微粒检测设备上，通过两个紧固件32共同调节光束定位板25沿第一方向的位置。具体地，若光束定位板25与晶圆的高度不匹配时，通过操作工具(比如，螺丝刀)拧松两个紧固件32，再移动光束定位板25的位置，然后拧紧两个紧固件32，需要反复多次的拧紧、拧松紧固件32，调节时间较长，导致调节的效率较低，并且每次调节的距离不好控制，导致调节的精度较低。

为此，本申请提供了一种升降调节装置10，以解决相关技术中的上述缺陷至少之一。

图2为本实用新型一实施例中升降调节装置的装配示意图。

参阅图2，本申请提供了一种升降调节装置10，用于微粒检测设备，微粒检测设备包括设备本体24和光束定位板25，升降调节装置10连接于设备本体24和光束定位板25之间。升降调节装置10包括通过螺纹相配合的调节筒体11和调节杆12，以及用于限制调节筒体11沿第一方向移动的第一限位单元13，调节杆12沿第一方向远离调节筒体11的一端连接光速定位板。

如此，通过设置螺纹配合的调节筒体11和调节杆12，调节筒体11响应外力的作用而绕一轴线转动，从而驱动调节杆12沿第一方向移动，并且，调节杆12连接光束定位板25，从而使得调节杆12在沿第一方向移动时能够带动光束定位板25沿第一方向移动，以使光束定位板25与晶圆的高度匹配；通过设置第一限位单元13，以限制调节筒体11沿第一方向的移动，从而使调节筒体11在转动时能够驱动那个调节杆12沿第一方向移动。

继续参阅图2，具体地，调节筒体11整体呈回转体结构，调节筒体11具有一回转轴线，调节筒体11绕回转轴线可转动地设于设备本体24上，调节筒体11的内壁上设有内螺纹。调节杆12整体呈回转体结构，调节杆12的外壁上设有能够与调节筒体11的内螺纹相配合的外螺纹，调节杆12的一端伸入调节筒体11内，另一端用于连接光束定位板25。第一限位单元13安装于设备本体24上，第一限位单元13用于限制调节筒体11沿第一方向移动。其中，第一方向为与回转轴线平行的方向。

如此，通过设置螺纹配合的调节筒体11和调节杆12，以及第一限位单元13，在调节筒体11响应于外力作用而转动时，调节筒体11由于受到第一限位单元13的限制而不能沿第一方向移动，从而使得调节杆12沿第一方向移动，而调节杆12沿第一方向远离调节筒体11的一端连接光束定位板25，调节杆12能够带动光束定位板25沿第一方向移动。

可以理解，在本申请中，调节筒体11的内壁上设置的内螺纹与调节杆12的外壁上设置的外螺纹是相配合的，内螺纹和外螺纹的螺距相同，通过改变内螺纹和外螺纹的螺距，能够改变调节的精度，换言之，减小内螺纹和外螺纹的螺距，能够提高调节的精度，反之，增大内螺纹和外螺纹的螺距，会降低调节的精度，但是螺距越小，加工的难度也就越大，成本越高。

一些实施例中，调节杆12沿第一方向远离调节筒体11的一端设有安装件14，安装件14连接光束定位板25，从而使调节杆12连接光束定位板25。可以理解，调节杆12也可以直接连接光束定位板25，安装件14的具体结构形式可以根据需要设置，而不必局限于图2中的结构。

一些实施例中，第一限位单元13包括两个连接设备本体24的第一限位件131，其中一个第一限位件131与调节筒体11沿第一方向的一侧部分相抵，另一第一限位件131与调节筒体11沿第一方向的另一侧部分相抵，每一第一限位件131在参考面上的正投影与调节筒体11在参考面上的正投影部分重合。其中，参考面为垂直于第一方向的平面。

可以理解，第一限位件131的具体结构形式不限于图2中所示的结构形式，例如，第一限位件131可以开设有供调节杆12穿过的通孔的一体结构，第一调节件31也可以是多个沿调节筒体11的圆周方向设置且抵接于调节筒体11的多个子限位件，在此对第一限位件131的结构形式不做过多的限定。

如此，通过设置两个与调节筒体11沿第一方向的相对两侧分别相抵的第一限位件131，能够限制调节筒体11沿第一方向的移动，从而在调节筒体11受到外力作用时，能够驱动调节杆12沿第一方向移动，以带动光束定位板25沿第一方向移动。

进一步地，升降调节装置10还包括第一固定件15和第一轴承(图中未示出)。第一固定件15连接设备本体24，第一固定件15开设有第一轴承安装孔(图中未示出)，第一轴承安装孔沿第一方向贯穿第一固定件15，第一轴承借助第一轴承安装孔安装于第一固定件15，且第一轴承的轴线沿第一方向延伸设置，调节筒体11可转动地连接第一轴承。也即，第一轴承的外圈与第一固定件15连接，调节筒体11穿设于第一轴承的轴承孔。可以理解，第一固定板的形状并不限于图2中所示的长方体结构，可以根据需要设置，在此不做过多限定。

如此，通过设置第一固定件15和第一轴承，以使调节筒体11可相对设备本体24转动，从而驱动调节杆12沿第一方向移动，使调节杆12带动光束定位板25沿第一方向移动。

一些实施例中，升降调节装置10设有两个调节筒体11、两个调节杆12和两个第一限位单元13。两个调节筒体11沿与第一方向垂直的第二方向间隔设置，其中一个调节杆12与其中一个调节筒体11配合，另一调节杆12与另一调节筒体11配合。其中一个第一限位单元13用于限制其中一个调节筒体11沿第一方向移动，另一第一限位单元13用于限制另一调节筒体11沿第一方向移动。如此，以提高升降调节装置10的稳定性。

需要说明的是，为了使两个调节筒体11同步转动，两个调节筒体11需要由同一驱动机构同步驱动，如果是由操作人员手动调节的话，可能会导致两个调节筒体11没有同步转动，从而使光束定位板25发生倾斜。

图3为本实用新型另一实施例中升降调节装置的装配示意图。

参阅图3，一些实施例中，升降调节装置10还包括连接件16、第一齿轮17和第二齿轮18。连接件16整体呈回转体结构，连接件16可转动地设于设备本体24上，连接件16沿与第一方向垂直的第二方向纵长延伸设置。第一齿轮17套接于连接件16，连接件16构造为能够响应外力作用而带动第一齿轮17绕第一齿轮17的轴线转动。第二齿轮18被配置为能够与第一齿轮17咬合，第二齿轮18套接于调节筒体11沿第一方向远离光束定位板25的一端，第二齿轮18构造为能够带动调节筒体11转动。

如此，通过设置连接件16、第一齿轮17和第二齿轮18，连接件16在响应外力作用而转动时，能够依次带动第一齿轮17、第二齿轮18和调节筒体11的转动，调节筒体11转动能够驱动调节杆12沿第一方向移动，从而带动光束定位板25沿第一方向移动，设置第一齿轮17和第一齿轮17，能够进一步得调高调节的精度。

可以理解，增加第一齿轮17和第二齿轮18的齿数，能够提高调节的精度，反之，减少第一齿轮17和第二齿轮18的齿数，会降低调节的精度。

一些实施例中，第一齿轮17和第二齿轮18为直齿轮。

一些实施例中，第一齿轮17和第二齿轮18为斜齿轮。

一些实施例中，第一齿轮17和第二齿轮18为轴线相互垂直设置的锥齿轮，且第一齿轮17的轴线沿第二方向延伸设置，第二齿轮18的轴线沿第一方向延伸设置。

进一步地，升降调节装置10还包括第二固定件19和第二轴承(图中未示出)。第二固定件19连接设备本体24上，第二固定件19开设有第二轴承安装孔(图中未示出)，第二轴承借助第二轴承安装孔安装于第二固定件19，第二轴承的轴线沿第一方向延伸设置，连接件16可转动地连接第二轴承。

更进一步地，升降调节装置10还包括支撑单元21，支撑单元21安装于设备本体24上，第二齿轮18靠近支撑单元21的一侧与支撑单元21相抵，支撑单元21用于支撑第二齿轮18。第二固定件19和支撑单元21沿第一方向间隔设置，并共同界定形成限位空间，第二齿轮18位于限位空间，以限制第二齿轮18沿第一方向移动。可以理解，支撑单元21的就具体结构形式并不限于图2所示的结构形式，可以根据需要设置。

如此，通过设置第二固定件19、第二轴承和支撑单元21，能够在保证调节筒体11可相对设备本体24转动的情况下，同时限制第二齿轮18沿第一方向的移动。

需要说明的是，在本申请中，也可以不设置第二固定件19和第二轴承，而是将第一固定件15和第一轴承设置在第二齿轮18沿第一方向远离支撑单元21的一侧，使第一固定件15和第一轴承在限制第二齿轮18沿第一方向移动的同时，还能够保证调节筒体11可相对设备本体24转动，从而减少升降调节装置10的结构。另外，第一限位单元13的作用是为了限制调节筒体11沿第一方向的移动，而当第二齿轮18不能沿第一方向移动时，调节筒体11也不能沿第一方向移动，故，在图2所示的实施例中，也可以不用再设置第一限位单元13。

再进一步地，升降调节装置10还包括第三固定件22和第三轴承(图中未示出)。第三固定件22安装于设备本体24上，第三固定件22开设有第三轴承安装孔(图中未示出)，第三轴承借助第三轴承安装孔安装于第三固定件22，第三轴承的轴线沿第二方向延伸设置，连接件16可转动地连接第三轴承。

如此，通过设置第三固定件22和第三轴承，以使连接件16能够相对设备本体24转动，从而带动第一齿轮17转动。

一些实施例中，升降调节装置10设有两个第三固定件22和两个第三轴承，两个第三固定件22沿第二方向间隔设置，每一第三轴承设于其中一个第三固定件22开设的第三轴承安装孔内。如此，以提高升降调节装置10的稳定性。

一些实施例中，升降调节装置10设有两个调节筒体11、两个调节杆12、两个第一限位单元13、两个第一齿轮17和两个第二齿轮18，两个第一齿轮17沿第二方向间隔设于连接件16上。其中一个调节筒体11、其中一个调节杆12、其中一个第一限位单元13、其中一个第一齿轮17和其中一个第二齿轮18共同组成一个调节组件，另一调节筒体11、另一调节杆12、另一第一限位单元13、另一第一齿轮17和另一第二齿轮18共同组成另一调节组件。

如此，通过设置两组调节组件，能够提高升降调节装置10的稳定性；通过将两个第一齿轮17设置在连接件16上，能够保证两组调节组件同步调节，以避免光束定位板25发生倾斜。

基于一个总的发明构思，本申请还提供了一种微粒检测设备，包括设备本体24、光束定位板25和上述任意实施例中的升降调节装置10，升降调节装置10设于设备本体24和光束定位板25之间，用于调节光束定位板25在第一方向上的位置。

图4为采用本实用新型一实施例的升降调节装置调节后的检测数据图。

参阅图4，采用本申请的升降调节装置10调节光束定位板25的位置，并在调节后通过微粒检测设备进行了检测实验。图4中的BPS CCD IMAGE表示束流位置测量系统图形中线的图像，Internsity表示光强，Pixel index表示分辨率指数。其中，光强具体指的是BPS所能接受到的光照强度，反应出入射光的光强，判断颗粒检测的准确性，分辨率指数具体指的是微粒检测设备所能检测出最小颗粒的单位，同时也以128Pixel Index为图像的中线，以确定固定晶圆的晶圆卡盘的位置。从图4可以看出，在调节连接件16之后，光束定位板25接收到的峰值波形在128Pixel Index附近波动，继续调节连接件16，以使峰值波形尽可能的稳定在128Pixel Index，与128Pixel Index所在的中心线a的左右偏差不超过1PixelIndex，有效地提高了光束定位板25的调节精度，从而能够保证晶圆卡盘处于适当的位置与保证微粒检测设备的稳定性，提高了微粒检测设备检测的数据的可靠性。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种升降调节装置，用于微粒检测设备，所述微粒检测设备包括设备本体和光束定位板，其特征在于，所述升降调节装置连接于所述设备本体和所述光束定位板之间；所述升降调节装置包括：

调节筒体，具有一回转轴线，所述调节筒体绕所述回转轴线可转动地设于所述设备本体上，所述调节筒体的内壁上设有内螺纹；

调节杆，所述调节杆的外壁上设有能够与所述内螺纹相配合的外螺纹，所述调节杆的一端伸入所述调节筒体内，另一端用于连接所述光束定位板；及

第一限位单元，安装于所述设备本体上，所述第一限位单元用于限制所述调节筒体沿第一方向移动；所述第一方向为与所述回转轴线平行的方向。

2.根据权利要求1所述的升降调节装置，其特征在于，所述升降调节装置还包括第一固定件和第一轴承；

所述第一固定件连接所述设备本体，所述第一固定件开设有第一轴承安装孔；

所述第一轴承借助所述第一轴承安装孔安装于所述第一固定件，所述第一轴承的轴线沿所述第一方向延伸设置；所述调节筒体可转动地连接所述第一轴承。

3.根据权利要求1所述的升降调节装置，其特征在于，所述第一限位单元包括两个连接所述设备本体的第一限位件，其中一个所述第一限位件与所述调节筒体沿所述第一方向的一侧部分相抵，另一所述第一限位件与所述调节筒体沿所述第一方向的另一侧部分相抵；

每一所述第一限位件在参考面上的正投影与所述调节筒体在所述参考面上的正投影部分重合；所述参考面为垂直于所述第一方向的平面。

4.根据权利要求1-3任一项所述的升降调节装置，其特征在于，所述升降调节装置设有两个所述调节筒体、两个所述调节杆和两个所述第一限位单元；

两个所述调节筒体沿与所述第一方向垂直的第二方向间隔设置；

其中一个所述调节杆与其中一个所述调节筒体配合，另一所述调节杆与另一所述调节筒体配合；

其中一个所述第一限位单元用于限制其中一个所述调节筒体沿所述第一方向移动，另一所述第一限位单元用于限制另一所述调节筒体沿所述第一方向移动。

5.根据权利要求1-3任一项所述的升降调节装置，其特征在于，所述升降调节装置还包括连接件、第一齿轮和第二齿轮；

所述连接件可转动地设于所述设备本体上，所述连接件沿与所述第一方向垂直的第二方向纵长延伸设置；

所述第一齿轮套接于所述连接件，所述连接件构造为能够响应外力作用而带动所述第一齿轮绕所述第一齿轮的轴线转动；

所述第二齿轮被配置为能够与所述第一齿轮咬合，所述第二齿轮套接于所述调节筒体沿所述第一方向远离所述光束定位板的一端，所述第二齿轮构造为能够带动所述调节筒体转动。

6.根据权利要求5所述的升降调节装置，其特征在于，所述升降调节装置还包括第二固定件和第二轴承；

所述第二固定件连接所述设备本体上，所述第二固定件开设有第二轴承安装孔；

所述第二轴承借助所述第二轴承安装孔安装于所述第二固定件，所述第二轴承的轴线沿所述第一方向延伸设置；所述连接件可转动地连接所述第二轴承。

7.根据权利要求6所述的升降调节装置，其特征在于，所述升降调节装置还包括支撑单元；

所述支撑单元安装于所述设备本体上，所述支撑单元靠近所述第二齿轮的一侧与所述第二齿轮相抵，所述支撑单元用于支撑所述第二齿轮；

所述第二固定件和所述支撑单元沿所述第一方向间隔设置，并共同界定形成限位空间，所述第二齿轮位于所述限位空间，以限制所述第二齿轮沿所述第一方向移动。

8.根据权利要求5所述的升降调节装置，其特征在于，所述升降调节装置还包括第三固定件和第三轴承；

所述第三固定件安装于所述设备本体上，所述第三固定件开设有第三轴承安装孔；

所述第三轴承借助所述第三轴承安装孔安装于所述第三固定件，所述第三轴承的轴线沿所述第二方向延伸设置；所述连接件可转动地连接所述第三轴承。

9.根据权利要求5所述的升降调节装置，其特征在于，所述升降调节装置设有两个所述调节筒体、两个所述调节杆、两个所述第一限位单元、两个所述第一齿轮和两个所述第二齿轮；

两个所述第一齿轮沿所述第二方向间隔设于所述连接件上；

其中一个所述调节筒体、其中一个所述调节杆、其中一个所述第一限位单元、其中一个所述第一齿轮和其中一个所述第二齿轮共同组成一个调节组件；另一所述调节筒体、另一所述调节杆、另一所述第一限位单元、另一所述第一齿轮和另一所述第二齿轮共同组成另一调节组件。

10.一种微粒检测设备，其特征在于，包括设备本体、光束定位板和如权利要求1-9任一项所述的升降调节装置；所述升降调节装置设于设备本体和所述光束定位板之间，用于调节所述光束定位板在所述第一方向上的位置。

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