CN217540204U - 相机调节机构及加工设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种相机调节机构及加工设备。相机调节机构包括：第一安装件，其上设有沿第一方向延伸的第一条形孔，相机调节机构通过第一条形孔与外部设备连接；第二安装件，其一端设有沿第二方向延伸的第二条形孔，通过第二条形孔与第一安装件连接；另一端设有第一弧形孔，第一弧形孔的圆心所在轴线与第三方向平行；第一、第二及第三方向两两垂直；第三安装件，通过第一弧形孔与第二安装件连接，第三安装件上设有第二弧形孔，第二弧形孔的圆心所在轴线位于第一方向与第二方向形成的平面内；驱动机构，通过第二弧形孔与第三安装件连接，并驱动相机模组沿第三方向移动。本申请能沿互相垂直的三个方向移动、能绕Z向旋转且能绕水平轴旋转相机模组。

Description

相机调节机构及加工设备

技术领域

本申请涉及工件拍摄技术领域，尤其涉及一种相机调节机构及加工设备。

背景技术

工件的生产过程中，工件的加工和定位一般都需要借助工业相机。例如LED(LightEmitting Diode，发光二极管)晶圆的加工。随着LED行业中生产的晶粒尺寸的不断减小，对于晶圆加工设备的加工精度要求越来越高。传统设备在加工微型晶粒时，由于相机安装时存在误差，安装精度不够，以及工件加工的误差，导致晶粒图像不够清晰，无法精确定位晶粒的位置，也无法实时纠偏。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本申请提供一种能将相机模组沿X、Y及Z三个方向移动调节位置，将相机模组绕Z向旋转调节角度，并且能将相机模组绕水平轴旋转调节角度的相机调节机构及加工设备。

为达此目的，本申请采用以下技术方案：

一种相机调节机构，包括：

第一安装件，其上设有沿第一方向延伸的第一条形孔，所述相机调节机构通过所述第一条形孔与外部设备连接；

第二安装件，其一端设有沿第二方向延伸的第二条形孔，另一端设有第一弧形孔；所述第二安装件通过所述第二条形孔与所述第一安装件连接，所述第一弧形孔的圆心所在轴线与第三方向平行；所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向两两垂直；

第三安装件，通过所述第一弧形孔与所述第二安装件连接，所述第三安装件上设有第二弧形孔，所述第二弧形孔的圆心所在的轴线位于所述第一方向与所述第二方向形成的平面内；

驱动机构，通过所述第二弧形孔与所述第三安装件连接；

相机模组，与所述驱动机构连接，所述驱动机构能驱动所述相机模组沿第三方向移动。

作为上述相机调节机构的可选方案，所述相机调节机构还包括：

转接件，设于所述第一安装件上；

推动螺钉，设于所述转接件上，所述推动螺钉沿第二方向设置且与所述第二安装件螺纹连接，以通过转动所述推动螺钉推动所述第二安装件沿所述第二方向移动。

作为上述相机调节机构的可选方案，所述第二安装件上设置有第一转动孔，所述第一转动孔位于所述第一弧形孔的圆心位置；所述第一转动孔中设置第一转动销，所述第一转动销连接所述第二安装件及所述第三安装件，以使所述第三安装件绕所述第一转动销转动。

作为上述相机调节机构的可选方案，所述相机调节机构还包括：

第一角度调节块，设于所述第二安装件上与所述第三安装件对应的一端；

第一角度调节螺钉，设于所述第一角度调节块上且与所述第一角度调节块螺纹连接，所述第一角度调节螺钉的末端与所述第三安装件抵接，以通过转动所述第一角度调节螺钉推动所述第三安装件绕所述第一转动销转动。

作为上述相机调节机构的可选方案，所述第三安装件上设置有第二转动孔，所述第二转动孔位于所述第二弧形孔的圆心位置；所述第二转动孔中设置第二转动销，所述第二转动销连接所述第三安装件及所述驱动机构，以使所述驱动机构绕所述第二转动销转动。

作为上述相机调节机构的可选方案，所述相机调节机构还包括：

第二角度调节块，设于所述第三安装件上且位于所述驱动机构的一侧；

第二角度调节螺钉，设于所述第二角度调节块上且与所述第二角度调节块螺纹连接，所述第二角度调节螺钉的末端与所述驱动机构抵接，以通过转动所述第二角度调节螺钉推动所述驱动机构绕所述第二转动销转动。

作为上述相机调节机构的可选方案，所述驱动机构包括：

安装座，与所述第三安装件连接；

电机，设于所述安装座上；

丝杆螺母结构，所述丝杆螺母结构的丝杆与所述电机连接，所述丝杆螺母结构的螺母与相机模组连接。

作为上述相机调节机构的可选方案，所述相机调节机构还包括：

调节板，与所述丝杆螺母结构的螺母连接，所述相机模组设于所述调节板上；所述调节板沿所述第三方向间隔设置若干第一安装孔，所述相机模组通过若干所述第一安装孔与所述调节板可调连接。

作为上述相机调节机构的可选方案，所述相机调节机构还包括：

光源安装板，所述调节板的一侧设有沿所述第三方向间隔设置若干第二安装孔，所述光源安装板通过若干所述第二安装孔与所述调节板可调连接；

光源，设于所述光源安装板上且位于所述相机模组下方。

一种加工设备，包括如上所述的相机调节机构。

本申请实施例的有益之处在于：在第一安装件上设有沿第一方向延伸的第一条形孔，相机调节机构通过第一条形孔与外部设备连接，从而使得相机调节机构中的相机模组可以沿第一方向调节位置，也可以理解为沿X方向调节位置。

在第二安装件的一端设置沿第二方向延伸的第二条形孔，第二安装件通过第二条形孔与第一安装件连接，从而使得相机模组可以沿第二方向调节位置，也可以理解为沿Y方向调节位置。

在第二安装件的另一端设置第一弧形孔，第一弧形孔的圆心所在轴线与第三方向平行，从而使得相机模组可以绕第三方向旋转调节位置，也可以理解成绕Z方向旋转调节位置。

第三安装件通过第一弧形孔与第二安装件连接，第三安装件上设有第二弧形孔，第二弧形孔的圆心所在的轴线位于第一方向与第二方向形成的平面内，也可以理解为第二弧形孔的圆心所在的轴线为水平轴线，从而使得相机模组可以绕水平轴线转动调节位置。

驱动机构通过第二弧形孔与第三安装件连接，相机模组则与驱动机构连接，驱动机构能驱动相机模组沿第三方向移动，也可以理解成沿Z方向移动，从而使得相机模组能沿Z方向调节位置。

综上所述，本申请实施例中，相机模组能沿X、Y及Z三个方向移动调节位置，还能绕Z向旋转调节角度，并且能绕水平轴旋转调节角度，且调节结构简单，整体结构布置紧凑简洁，成本较低。

附图说明

图1是本申请一实施例中相机调节机构的结构示意图；

图2是本申请一实施例中相机调节机构的结构示意图；

图3是本申请一实施例中相机调节机构的结构示意图；

图4是本申请一实施例中相机调节机构的分解结构示意图。

图中：

100、机调节机构；101、第一轴线；102、第二轴线；

110、第一安装件；111、第一条形孔；

120、第二安装件；121、第二条形孔；122、第一弧形孔；123、第一转动孔；

130、第三安装件；131、第二弧形孔；132、第二转动孔；

140、驱动机构；141、安装座；142、电机；143、丝杆螺母结构

150、相机模组；151、调节板；1511、第一安装孔；

160、转接件；161、推动螺钉；

170、第一角度调节块；171、第一角度调节螺钉；

180、第二角度调节块；181、第二角度调节螺钉；

190、光源安装板；191、光源。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本申请，而非对本申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分而非全部结构。

在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

本申请实施例提供了一种相机调节机构。参考图1，为了便于描述，本申请实施例中定义了第一方向、第二方向和第三方向。第一方向、第二方向和第三方向两两垂直，如图1所示，第一方向、第二方向和第三方向可分别对应空间坐标系的X方向、Y方向和Z方向。第一方向、第二方向及和第三方向也可以理解成相机调节机构的前后方向、左右方向和上下方向。

如图1所示，相机调节机构100包括第一安装件110、第二安装件120、第三安装件130、驱动机构140和相机模组150。第一安装件110上设有沿第一方向延伸的第一条形孔111，整个相机调节机构100通过第一条形孔111与外部设备连接。将螺钉穿过第一条形孔111后将第一安装件110锁紧在外部设备上即可将整个相机调节机构100固定在外部设备上。由于第一条形孔111沿第一方向延伸，因此使得整个相机调节机构100在外部设备上的安装位置可沿第一方向调节，也就使得相机调节机构100中的相机模组150可沿第一方向调节位置，即相机模组150可沿X方向调节位置。

请继续参考图1，第二安装件120的一端设置有沿第二方向延伸的第二条形孔121，第二安装件120的另一端设有第一弧形孔122。第二安装件120通过第二条形孔121与第一安装件110连接，将螺钉穿过第二条形孔121并锁紧在第一安装件110上，即可将第二安装件120连接在第一安装件110上。由于第二条形孔121沿第二方向延伸，因此使得第二安装件120的安装位置可沿第二方向调节，也就使得相机模组150可沿第二方向调节位置，即相机模组150可沿Y方向调节位置。

如图1所示，第一弧形孔122的圆心所在轴线为第一轴线101，第一轴线101与第三方向平行，即与Z方向平行。第三安装件130通过第一弧形孔122与第二安装件120连接，将螺钉穿过第一弧形孔122和第三安装件130并锁紧即可。第一弧形孔122的设计使得第三安装件130可绕Z方向转动调节位置，也就使得相机模组150可绕Z方向转动调节位置。

如图2所示，第三安装件130上设有第二弧形孔131，第二弧形孔131的圆心所在的轴线为第二轴线102，第二轴线102位于第一方向与第二方向形成的平面内。第一方向与第二方向形成的平面即水平面，也就是说第二轴线102在水平面内，与水平面平行。这样使得相机组件可以绕水平转轴转动。图2所示的实施例中，第二轴线102沿X方向延伸，在其它实施例中，由于第三安装件130可绕Z轴转动，因此，第二轴线102可沿水平面内的任意方向延伸。

驱动机构140通过第二弧形孔131与第三安装件130连接。具体的，将螺钉穿过第二弧形孔131和驱动机构140并锁紧即可将驱动机构140通过第二弧形孔131与第三安装件130连接。驱动机构140可采用任意一种直线驱动机构，驱动机构140的驱动方向沿第三方向，也即Z方向。相机模组150与驱动机构140连接，以使驱动机构140能驱动相机模组150沿第三方向移动，即上下移动。

上述相机调节机构100的结构设计使得相机模组150可沿X方向、Y方向和Z方向调节安装位置，以及可绕Z轴(竖直转轴)和水平转轴调节安装角度，使得相机调节机构100可以调节至拍摄出清晰画面的位置和角度。

本申请实施例中，第一安装件110、第二安装件120及第三安装件130均可采用安装板。当然，在其它实施例中，安装件也可以采用其它安装件，例如型材或安装支架等，在此不作限制。

如图1所示，相机调节机构100还包括转接件160和推动螺钉161。转接件160设置在第一安装件110上。推动螺钉161设置在转接件160上，且推动螺钉161沿第二方向设置。推动螺钉161可以只是单纯的穿设在转接件160上，也可以与转接件160螺纹连接，只要能使推动螺钉161可以在转接件160上拧动即可。推动螺钉161与第二安装件120螺纹连接，这样当拧动推动螺钉161时，推动螺钉161可以推动第二安装件120沿第二方向移动。推动螺钉161与第二安装件120的配合类似于丝杆和螺母的配合，由于第二安装件120支撑在第一安装件110上，因此拧动推动螺钉161时，只能推动第二安装件120沿第二方向直线移动，第二安装件120不会跟随推动螺钉161转动，这样实现了第二安装件120沿第二方向上的位置调节。拧松推动螺钉161，第二安装件120远离转接件160，拧紧推动螺钉161，第二安装件120靠近转接件160。通过转接件160和推动螺钉161和推动螺钉161的设置使得第二安装件120沿第二方向的位置可微小调节，实现精调。

如图1所示，第二安装件120上设置有第一转动孔123，第一转动孔123位于第一弧形孔122的圆心位置。第一转动孔123中设置第一转动销(图中未示出)，第一转动销连接第二安装件120及第三安装件130，以使第三安装件130绕第一转动销转动。第一转动销类似于一根转轴，便于第三安装件130转动时对第三安装件130进行中心限位。

同理，如图2所示，第三安装件130上也设置有第二转动孔132。第二转动孔132位于第二弧形孔131的圆心位置。第二转动孔132中设置第二转动销(图中未示出)，第二转动销连接第三安装件130及驱动机构140，以使驱动机构140绕第二转动销转动。第二转动销对驱动机构140的转动进行中心限位。

请继续参考图2，相机调节机构100还包括第一角度调节块170和第一角度调节螺钉171。第一角度调节块170设置在第二安装件120上与第三安装件130对应的一端。第一角度调节螺钉171设置在第一角度调节块170上，且第一角度调节螺钉171与第一角度调节块170螺纹连接。图2所示的实施例中，第一角度调节螺钉171沿第二方向设置，第一角度调节螺钉171的末端与第三安装件130抵接，以通过转动第一角度调节螺钉171推动第三安装件130绕第一转动销转动。通过设置第一角度调节螺钉171来推动第三安装件130进行转动角度调节，可以实现角度的微调，使调节更精准。

如图2所示，第一角度调节螺钉171为两个，两个第一角度调节螺钉171沿第一方向(X方向)间隔设置。两个第一角度调节螺钉171分别用来推第三安装件130的两侧，这样就可以通过两个第一角度调节螺钉171推动第三安装件130往相反的方向转动，便于沿顺时针和逆时针两个不同的方向来调节第三安装件130。

参考图2和图3，与第一角度调节块170和第一角度调节螺钉171类似的，相机调节机构100还包括第二角度调节块180和第二角度调节螺钉181。第二角度调节块180设置在第三安装件130上且位于驱动机构140的一侧。第二角度调节螺钉181设置在第二角度调节块180上且与第二角度调节块180螺纹连接。第二角度调节螺钉181可沿第二方向设置。第二角度调节螺钉181的末端与驱动机构140抵接，以通过转动第二角度调节螺钉181推动驱动机构140绕第二转动销转动。通过设置第二角度调节螺钉181来推动驱动机构140进行转动角度调节，可以实现角度的微调，使调节更精准。

第二角度调节螺钉181也可设置两个，两个第二角度调节螺钉181沿第三方向(Z方向)间隔设置。两个第二角度调节螺钉181分别用来推驱动机构140的两侧，这样就可以通过两个第二角度调节螺钉181推动驱动机构140往相反的方向转动，也就是沿顺时针和逆时针两个不同的方向来调节驱动机构140。

如前文所述，驱动机构140可采用任意一种直线驱动机构，只要能推动相机模组150沿第三方向移动即可。于一实施例中，如图4所示，驱动机构140包括安装座141、电机142和丝杆螺母结构143。安装座141与第三安装件130连接。也就是说安装座141通过第二弧形孔131和第二转动孔132与第三安装件130可转动连接。电机142安装在安装座141上，第二第二角度调节螺钉181与安装座141抵接，推动安装座141绕第二转轴转动。丝杆螺母结构143与电机142连接。电机142带动丝杆螺母结构143的丝杆同步转动，丝杆驱动丝杆螺母结构143中的螺母沿Z方向直线移动。相机模组150与丝杆螺母结构143的螺母连接，从而跟随丝杆螺母结构143的螺母沿Z方向上下移动，实现Z方向上的位置调节。

本申请实施例中，如图1和图2所示，第一弧形孔122和第二弧形孔131均可设置多个。多个第一弧形孔122沿其所在的圆间隔分布，多个第二弧形孔131沿其所在的圆间隔分布。

如图4所示，相机调节机构100还包括调节板151。调节板151与丝杆螺母结构143的螺母连接，相机模组150设于调节板151上，从而使得相机模组150通过调节板151与丝杆螺母结构143的螺母连接。调节板151沿第三方向间隔设置若干第一安装孔1511，相机模组150通过若干第一安装孔1511与调节板151可调连接。由于若干第一安装孔1511沿第三方向(Z方向)间隔设置，这样就可以根据需要将相机模组150与任意第一安装孔1511通过螺钉连接，实现相机模组150的安装高度调节。

于一实施例中，相机调节机构100还包括光源模组，光源模组用于为相机模组150照明，使拍摄画面更清晰。请继续参考图4，光源模组包括光源安装板190和光源191。调节板151的一侧设有沿第三方向间隔设置若干第二安装孔，光源安装板190通过若干第二安装孔与调节板151可调连接，实现光源安装板190在调节板151上沿第三方向(Z方向)调节位置。光源191设置在光源安装板190上，且光源191位于相机模组150下方。将光源安装板190设计为在调节板151上可上下调节位置，使得光源191可跟随相机模组150同步调节高度，相机模组150向上调的话光源191也可向上调，相机模组150向下调的话光源191也可向下调。

本申请实施例中的相机调节机构100的工作步骤如下：

1)接通电源，光源191发光，相机模组150启动；

2)将整个相机调节机构100沿第一条形孔111移动，也就能沿第一方向(X方向)调节相机模组150，使相机模组150与加工位置在第一方向上的距离尽可能小；

3)通过拧动转接件160上的推动螺钉161，将第二安装件120沿第二条形孔121推动，也就能沿第二方向(Y方向)调节相机模组150，使相机模组150与加工位置在第二方向上的距离尽可能小；

4)通过拧动第一角度调节块170上的第一角度调节螺钉171，推动第三安装件130绕第一轴线101转动，从而使相机模组150绕Z轴转动，调节角度，可以将相机模组150与加工位置的X轴和Y轴对齐；

5)通过驱动机构140驱动相机模组150上下移动，使得相机模组150上升或下降，使得相机模组150调至在相机焦距范围内图像清晰为止；

6)如果图像做不到全部清晰度一致，可调节第二角度调节块180上的第二角度调节螺钉181，拧动第二角度调节螺钉181推动驱动机构140和相机模组150一起绕第二轴线102转动，从而使相机模组150绕水平转轴转动，使相机模组150的角度位置调至水平，图像整体清晰度一致为止。

后续更换产品时只需调节驱动机构140的位置，以调节焦距即可。

本申请实施例还提供一种加工设备。加工设备包括上述相机调节机构100。加工设备例如可以是晶圆加工设备，也可以是其它的加工设备。

显然，本申请的上述实施例仅仅是为了清楚说明本申请所作的举例，而并非是对本申请的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本申请的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种相机调节机构，其特征在于，包括：

第一安装件，其上设有沿第一方向延伸的第一条形孔，所述相机调节机构通过所述第一条形孔与外部设备连接；

第二安装件，其一端设有沿第二方向延伸的第二条形孔，另一端设有第一弧形孔；所述第二安装件通过所述第二条形孔与所述第一安装件连接，所述第一弧形孔的圆心所在轴线与第三方向平行；所述第一方向、所述第二方向及所述第三方向两两垂直；

第三安装件，通过所述第一弧形孔与所述第二安装件连接，所述第三安装件上设有第二弧形孔，所述第二弧形孔的圆心所在的轴线位于所述第一方向与所述第二方向形成的平面内；

驱动机构，通过所述第二弧形孔与所述第三安装件连接；

相机模组，与所述驱动机构连接，所述驱动机构能驱动所述相机模组沿第三方向移动。

2.根据权利要求1所述的相机调节机构，其特征在于，还包括：

转接件，设于所述第一安装件上；

推动螺钉，设于所述转接件上，所述推动螺钉沿第二方向设置且与所述第二安装件螺纹连接，以通过转动所述推动螺钉推动所述第二安装件沿所述第二方向移动。

3.根据权利要求1所述的相机调节机构，其特征在于，所述第二安装件上设置有第一转动孔，所述第一转动孔位于所述第一弧形孔的圆心位置；所述第一转动孔中设置第一转动销，所述第一转动销连接所述第二安装件及所述第三安装件，以使所述第三安装件绕所述第一转动销转动。

4.根据权利要求3所述的相机调节机构，其特征在于，还包括：

第一角度调节块，设于所述第二安装件上与所述第三安装件对应的一端；

第一角度调节螺钉，设于所述第一角度调节块上且与所述第一角度调节块螺纹连接，所述第一角度调节螺钉的末端与所述第三安装件抵接，以通过转动所述第一角度调节螺钉推动所述第三安装件绕所述第一转动销转动。

5.根据权利要求1所述的相机调节机构，其特征在于，所述第三安装件上设置有第二转动孔，所述第二转动孔位于所述第二弧形孔的圆心位置；所述第二转动孔中设置第二转动销，所述第二转动销连接所述第三安装件及所述驱动机构，以使所述驱动机构绕所述第二转动销转动。

6.根据权利要求5所述的相机调节机构，其特征在于，还包括：

第二角度调节块，设于所述第三安装件上且位于所述驱动机构的一侧；

第二角度调节螺钉，设于所述第二角度调节块上且与所述第二角度调节块螺纹连接，所述第二角度调节螺钉的末端与所述驱动机构抵接，以通过转动所述第二角度调节螺钉推动所述驱动机构绕所述第二转动销转动。

7.根据权利要求1所述的相机调节机构，其特征在于，所述驱动机构包括：

安装座，与所述第三安装件连接；

电机，设于所述安装座上；

丝杆螺母结构，所述丝杆螺母结构的丝杆与所述电机连接，所述丝杆螺母结构的螺母与相机模组连接。

8.根据权利要求7所述的相机调节机构，其特征在于，还包括：

调节板，与所述丝杆螺母结构的螺母连接，所述相机模组设于所述调节板上；所述调节板沿所述第三方向间隔设置若干第一安装孔，所述相机模组通过若干所述第一安装孔与所述调节板可调连接。

9.根据权利要求8所述的相机调节机构，其特征在于，还包括：

光源安装板，所述调节板的一侧设有沿所述第三方向间隔设置若干第二安装孔，所述光源安装板通过若干所述第二安装孔与所述调节板可调连接；

光源，设于所述光源安装板上且位于所述相机模组下方。

10.一种加工设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的相机调节机构。

Images