CN218196123U - 劈裂设备 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种劈裂设备。劈裂设备包括：机台；定位平台，设于机台上，用于对料片进行定位；第一相机模组，设于定位平台的上方，用于对定位平台上的料片进行拍摄；劈裂平台，设于机台上，用于支撑料片进行劈裂；劈裂平台与定位平台沿第一方向依次设置；第二相机模组，设于劈裂平台的上方，用于对劈裂平台上料片的正面进行拍摄；第三相机模组，设于劈裂平台的下方，用于对劈裂平台上料片的背面进行拍摄。本申请提供一种能对劈裂平台上料片的正面和背面进行拍摄，适用与不同类型料片劈裂的劈裂设备。

Description

劈裂设备

技术领域

本申请涉及晶圆加工技术领域，尤其涉及一种劈裂设备。

背景技术

劈裂设备可以对料片进行劈裂操作。例如LED晶圆、半导体晶圆的劈裂。劈裂设备将料片上呈矩形分布的晶圆单元劈裂分割开形成若干个单个的晶圆。

常规的晶圆裂片时是需要背面识别、正面劈裂，相机和劈刀在不同侧。但随着半导体晶圆的发展，半导体晶圆在裂片时需要正面识别、正面劈裂，也就是识别和裂片在同一侧，因此，常规的裂片设备无法适用于半导体晶圆的裂片，适用性较差，同一裂片设备不能适用于不同类型料片的劈裂操作。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本申请提供一种能对劈裂平台上料片的正面和背面进行拍摄，适用与不同类型料片劈裂的劈裂设备。

为达此目的，本申请采用以下技术方案：

一种劈裂设备，包括：

机台；

定位平台，设于所述机台上，用于对料片进行定位；

第一相机模组，设于所述定位平台的上方，用于对所述定位平台上的料片进行拍摄；

劈裂平台，设于所述机台上，用于支撑料片进行劈裂；所述劈裂平台与所述定位平台沿第一方向依次设置；

第二相机模组，设于所述劈裂平台的上方，用于对所述劈裂平台上料片的正面进行拍摄识别；

第三相机模组，设于所述劈裂平台的下方，用于对所述劈裂平台上料片的背面进行拍摄识别。

作为上述劈裂设备的可选方案，所述劈裂设备还包括：

劈刀组件，设于所述劈裂平台上方，用于对所述劈裂平台上的料片进行劈裂；所述第二相机模组设于所述劈刀组件上。

作为上述劈裂设备的可选方案，所述劈刀组件包括：

第一驱动件，设于所述机台上；

安装板，与所述第一驱动件的输出端连接，所述第一驱动件能驱动所述安装板沿第一方向移动；所述第二相机模组设于所述安装板上；

劈刀，设于所述安装板的底端。

作为上述劈裂设备的可选方案，所述第二相机模组包括：

第二驱动件，设于所述安装板上；

相机，与所述第二驱动件的输出端连接，所述第二驱动件能驱动所述相机上下移动。

作为上述劈裂设备的可选方案，所述第二相机模组还包括：

第一连接板，所述第一连接板上设置有沿所述第一方向设置的条形孔，所述第一连接板通过所述条形孔与所述安装板可调连接；

第二连接板，与所述第一连接板连接；

第三连接板，其上设有第一弧形孔，所述第一弧形孔的圆心所在的轴线沿竖直方向；所述第三连接板通过所述第一弧形孔与所述第二连接板可调连接，以使所述第三连接板能绕竖直转轴转动；

第四连接板，与所述第三连接板连接；所述第四连接板上设有第二弧形孔，所述第二弧形孔的圆心所在的轴线沿第一方向；所述第二驱动件的主体通过所述第二弧形孔与所述第四连接板可调连接，以使所述第二驱动件能绕与所述第一方向平行的转轴转动。

作为上述劈裂设备的可选方案，所述第二相机模组还包括：

第五连接板，将所述第二驱动件与所述第四连接板连，所述第五连接板上设有与所述第四连接板上的所述第二弧形孔对应的安装孔；

转轴，其一端与所述第五连接板连接，所述第四连接板上设有供所述转轴穿过的转轴孔，所述转轴穿设于所述转轴孔中；

限位片，设于所述转轴的另一端，所述限位片的长度大于所述转轴孔的直径，以将所述第五连接板限位在所述第四连接板上。

作为上述劈裂设备的可选方案，所述转轴与所述限位片连接的一端为半轴，半轴部分具有沿所述转轴的轴向设置的切面，所述限位片设于所述切面。

作为上述劈裂设备的可选方案，所述第二相机模组还包括：

相机安装板，设于所述第二驱动件的输出端，所述相机设于所述相机安装板上；

打光灯，与所述相机安装板连接且位于所述相机的下方。

作为上述劈裂设备的可选方案，所述打光灯通过打光灯支架与所述相机安装板连接，所述打光灯支架设于所述相机沿第二方向的一侧，所述第二方向与所述第一方向垂直。

作为上述劈裂设备的可选方案，所述劈刀组件还包括：

第三驱动件，设于所述安装板上，用于驱动所述劈刀上下移动，所述第二相机模组设于所述第三驱动件沿所述第一方向的一侧。

本申请实施例的有益之处在于：在劈裂平台的上方设置了第二相机模组，能对劈裂平台上料片的正面进行拍摄识别。在劈裂平台的下方设置了第三相机模组，能对劈裂平台上料片的背面进行拍摄。从而使得本申请实施例的劈裂设备在劈裂时能实现正面识别、正面裂片，以及背面识别、正面劈裂，适用于不同类型料片的劈裂要求。同时，定位平台的上方设置第一相机模组，能对定位平台上的料片进行拍摄，识别料片轮廓尺寸。

附图说明

图1是本申请一实施例中劈裂设备的结构示意图；

图2是本申请一实施例中劈裂设备的另一视角的结构示意图；

图3是本申请一实施例中第二相机模组与劈刀组件装配的结构示意图；

图4是图3所示结构去掉第一驱动件的结构示意图；

图5是本申请一实施例中第二相机模组的结构示意图；

图6是本申请一实施例中第二相机模组另一视角结构示意图；

图7是本申请一实施例中第二相机模组的分解结构示意图。

图中：

1100、劈裂设备；101、第一轴线；102、第二轴线；

110、机台；

120、定位平台；

130、第一相机模组；

140、劈裂平台；

150、第二相机模组；151、第二驱动件；152、相机；153、第一连接板；1531、条形孔；154、第二连接板；155、第三连接板；1551、第一弧形孔；156、第四连接板；1561、第二弧形孔；1562、转轴孔；157、第五连接板；1571、安装孔；1572、转轴；1572a、切面；1573、限位片；158、相机安装板；159、打光灯；1591、打光灯支架；

160、第三相机模组；

170、劈刀组件；171、第一驱动件；172、安装板；173、劈刀；174、第三驱动件；

180、上料组件；

190、移料组件。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本申请，而非对本申请的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本申请相关的部分而非全部结构。

在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

本申请实施例提供了一种劈裂设备。请参考图1及图2，劈裂设备100包括机台110、定位平台120、第一相机模组130、劈裂平台140、第二相机模组150和第三相机模组160。定位平台120设置在机台110上，定位平台120用于对料片进行定位。第一相机模组130设置在定位平台120的上方，第一相机模组130用于对定位平台120上的料片进行拍摄，识别晶圆的尺寸轮廓。第一相机模组130可以采用广角相机。同时，定位平台120上也可以设置定位结构来对晶圆料片进行定位，例如在定位平台120上设置轨道来定位晶圆料片。

请参考图1，劈裂平台140设置在机台110上，劈裂平台140用于支撑料片进行劈裂。用于劈裂晶圆的劈刀组件170及设于劈裂平台140的上方。劈刀组件170对劈裂平台140上的晶圆料片进行劈裂。如图1所示，劈裂平台140与定位平台120沿第一方向依次设置，从而使得料片可沿着第一方向被依次移动到劈裂平台140和定位平台120上。料片在定位平台120上定位完成后，再移动至劈裂平台140上进行劈裂。为了便于描述，本申请实施例中定义了第一方向、第二方向和第三方向。第一方向、第二方向和第三方向两两垂直。如图1所示，第一方向、第二方向和第三方向可分别对应空间坐标系的X方向、Y方向和Z方向。第一方向、第二方向和第三方向也可以理解成劈裂设备100的左右方向、前后方向和上下方向。

请继续参考图1，第二相机模组150设置在劈裂平台140的上方，第二相机模组150用于对劈裂平台140上料片的正面进行拍摄识别。第三相机模组160设置在劈裂平台140的下方，第三相机模组160用于对劈裂平台140上料片的背面进行拍摄识别。第二相机模组150和第三相机模组160可对晶圆上待劈裂位置进行拍摄识别，从而对晶圆进行精确的劈裂。第二相机模组150和第三相机模组160分别位于劈裂平台140的上下两侧，劈刀组件170与第二相机模组150同侧，也就是劈刀组件170也设于劈裂平台140上方。当待劈裂的晶圆料片为LED晶圆等需要背面识别、正面劈裂的常规晶圆时，则采用第三相机模组160对劈裂平台140上的晶圆料片进行背面识别，并通过劈刀组件170对晶圆进行正面劈裂；当待劈裂的晶圆料片为半导体晶圆等需要正面识别、正面劈裂的特殊晶圆时，则采用第二相机模组150对劈裂平台140上的晶圆料片进行正面识别，并通过劈刀组件170对晶圆进行正面劈裂。

综上所述，本申请实施例的劈裂设备100在劈裂时能实现正面识别、正面裂片，以及背面识别、正面劈裂，适用于各种不同类型晶圆料片的劈裂要求。

如图1所示，可以将第二相机模组150设置在劈刀组件170上，节省机台110空间。同时还可以利用劈刀组件170上的驱动件来驱动第二相机模组150，减少驱动件的数量，降低成本。

如图3所示，劈刀组件170可包括第一驱动件171、安装板172和劈刀173。第一驱动件171设置机台110上，具体的，第一驱动件171可通过一龙门架安装在机台110上。安装板172与第一驱动件171的输出端连接，第一驱动件171能驱动安装板172沿第一方向移动，也就是左右移动。图3所示中，第一驱动件171采用电机丝杆结构，在其它实施例中，第一驱动件171也可以采用其它直线驱动结构，在此不作限制。本申请实施例中，将第二相机模组150设置在安装板172上，从而使得第二相机模组150能通过第一驱动件171来驱动，使第二相机模组150实现左右移动，便于在拍摄时调整第二相机模组150的位置，从而识别得更准确。劈刀173设置在安装板172上，具体可设置在安装板172的底端，以便于对位于劈刀173下方的料片进行劈裂。

请参考图4及图5，于一实施例中，第二相机模组150可包括第二驱动件151及相机152。第二驱动件151设置在安装板172上，具体的，第二驱动件151可通过若干中间连接板来连接到安装板172。相机152与第二驱动件151的输出端连接，第二驱动件151能驱动相机152上下移动。通过第二驱动件151来驱动相机152上下移动可便于调节相机152的焦距，使拍摄画面更清晰。第二驱动件151可采用电机丝杆结构，当然也可以采用其它类型的直线驱动结构。

请参考图3，劈刀组件170还可包括第三驱动件174。第三驱动件174设置在安装板172上，第三驱动件174用于驱动劈刀173上下移动，劈刀173连接在第三驱动件174的输出端。如图3所示，第二相机模组150设置在第三驱动件174沿第一方向的一侧，也就是说第二相机模组150位于第三驱动件174的左侧或右侧。也可以说第二相机模组150位于劈刀173的左侧或右侧。以上设计可以充分利用机台上已有的空间来安装第二相机模组150，而无需另外增大空间的安装第二相机模组150。因为劈刀173要左右移动，因此第三驱动件174和劈刀173的左右两侧会具有较大的空间，直接利用此空间来安装第二相机模组150，可合理利用已有的空间，达到节省空间、缩小设备体积的效果。

如图4级图5所示，于一实施例中，相机152可通过若干连接板连接在劈刀组件170的安装板172上，通过这些连接板实现连接的同时，还能实现相机152位置的调节。

具体的，如图4和图5所示，第二相机模组150还包括第一连接板153、第二连接板154、第三连接板155及第四连接板156。第一连接板153上设置有沿第一方向设置的条形孔1531，第一连接板153通过条形孔1531与安装板172可调连接。条形孔1531沿第一方向延伸设置，从而使得第一连接板153在安装板172上可沿第一方向调节位置，也就是使得相机152可沿第一方向调节位置。如图4所示，第一连接板153竖直设置，较佳的，第一连接板153贴设于安装板172的背面，这样避免安装完成后相机152太靠前。第一连接板153上条形孔1531可设置一条或多条，设置多条条形孔1531可提升第一连接板153与安装板172的连接强度。

如图4和图5所示，第二连接板154与第一连接板153固定连接，第二连接板154水平设于第一连接板153的顶部，作为一块中间转接板，便于将第三连接板155与第二连接板154可调连接。如图5所示，第三连接板155水平设置，第三连接板155上设置第一弧形孔1551，第一弧形孔1551为圆弧形，第一弧形孔1551的圆心所在的轴线(即第一轴线101)沿竖直方向。第三连接板155通过第一弧形孔1551与第二连接板154可调连接，将螺钉穿过第三连接板155的第一弧形孔1551后锁紧在第二连接板154上即可将第三连接板155固定。需要调节第三连接板155时，拧松螺钉，将第三连接板155绕第一轴线101转动，第一轴线101沿竖直方向，因此，也就是将第三连接板155绕竖直转轴转动。转动到合适位置后，再拧紧螺钉即可。可以理解的是，第三连接板155绕第一轴线101的转动调节也可以带动相机152同步绕第一轴线101转动调节，最终实现相机152位置的调节。

如图5所示，第一弧形孔1551可设置多个，多个第一弧形孔1551间隔分布在以第一轴线101为圆心的圆周上。

如图6和图7所示，第四连接板156可竖直设置，第四连接板156的顶端与第三连接板155固定连接，第四连接板156的底端设有第二弧形孔1561。第二弧形孔1561的圆心所在的轴线(即第二轴线102)沿第一方向，也就是沿左右方向。第二驱动件151的主体通过第四连接板156上的第二弧形孔1561与第四连接板156可调连接。将螺钉穿过第四连接板156的第二弧形孔1561后锁紧在第二驱动件151上即可将第二驱动件151固定。需要调节第二驱动件151时，拧松螺钉，将第二驱动件151绕第二轴线102这条水平转轴转动。转动到合适位置后，再拧紧螺钉即可完成调节。可以理解的是，第四连接板156绕第二轴线102的转动调节也可以带动相机152同步绕第二轴线102转动调节，最终实现相机152位置的调节。

如图6所示，第二弧形孔1561也可设置多个，多个第二弧形孔1561间隔分布在以第二轴线102为圆心的圆周上。

于一实施例中，如图6和图7所述，第二相机模组150还包括第五连接板157、转轴1572以及限位片1573。第五连接板157将第二驱动件151与第四连接板156连，也就是说第五连接板157作为第二驱动件151与第四连接板156之间的转接板，第五连接板157的一侧与第二驱动件151固定连接，另一侧与第四连接板156通过第四连接板156上的第二弧形孔1561可调连接。可以理解的是，如图7所示，第五连接板157上设有与第四连接板156上的第二弧形孔1561对应的安装孔1571，将螺钉穿过第四连接板156上的第二弧形孔1561后，再穿过第五连接板157上的安装孔1571，从而使得第五连接板157调节到位后能通过螺钉锁紧固定。

请继续参考图7。转轴1572的一端与第五连接板157连接，转轴1572的轴线与第二轴线102重合，第五连接板157通过转轴1572在第四连接板156上转动调节。第四连接板156上设有供转轴1572穿过的转轴孔1562，转轴1572穿设于转轴孔1562中。

如图6所示，限位片1573设置在转轴1572的另一端，限位片1573的长度大于转轴孔1562的直径，从而使得限位片1573卡在转轴1572的末端，将第五连接板157限位在第四连接板156上，避免第五连接板157从转轴孔1562中脱出。限位片1573可通过螺钉固定在转轴1572上。

进一步的，如图7所示，转轴1572与限位片1573连接的一端为半轴，半轴部分具有沿转轴1572的轴向设置的切面1572a，该切面1572a将转轴1572劈成半轴。如图6所示，限位片1573安装在该切面1572a上，与切面1572a抵接。这样将转轴1572末端劈掉一半形成切面1572a的方式来安装锁紧片，不仅便于锁紧片的安装，而且可以保证转轴1572具有足够长的长度与转轴孔1562配合，保证转轴1572与第四连接板156的连接强度。

请参考图5。于一实施例中，第二相机模组150还包括相机安装板158和打光灯159。相机安装板158设置在第二驱动件151的输出端，相机152则安装在相机安装板158上。打光灯159与相机安装板158连接，且打光灯159位于相机152的下方，打光灯159能为相机152拍摄时提供充足的光线，使拍摄画面更清晰。

如图5所示，打光灯159通过打光灯支架1591与相机安装板158连接。打光灯支架1591设置在相机152沿第二方向的一侧，也就是设置在相机152的前侧或后侧，优选设置在相机152的后侧。如图5所示，打光灯支架1591可设计为L形，包括互相垂直的两条边。其中一条边沿竖直方向设置，该边与相机安装板158连接；另一条边沿水平方向设置，该边用于安装打光灯159。

请参考图1，本申请实施例的劈裂设备100还可包括上料组件180和移料组件190。上料组件180设于定位平台120沿第一方向上远离劈裂平台140的一侧，移料组件190设于机台110的前侧。上料组件180用于存放料片，移料组件190用于沿第一方向移动料片。

本申请实施例中，劈裂设备100的工作过程为：

移料组件190将料片由上料组件180移动到定位平台120，定位平台120对料片进行定位，定位平台120上方的第一相机模组130对料片进行拍照，识别晶圆的轮廓；

移料组件190将定位平台120上的料片由定位平台120上移动到劈裂平台140，根据待切割料片的劈裂要求，选择性的使用第二相机模组150对劈裂平台140上料片的正面进行拍照识别，或使用第三相机模组160对劈裂平台140上料片的背面进行拍照识别；

识别完成后，劈刀173对晶圆进行劈裂。

显然，本申请的上述实施例仅仅是为了清楚说明本申请所作的举例，而并非是对本申请的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本申请的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种劈裂设备，其特征在于，包括：

机台；

定位平台，设于所述机台上，用于对料片进行定位；

第一相机模组，设于所述定位平台的上方，用于对所述定位平台上的料片进行拍摄；

劈裂平台，设于所述机台上，用于支撑料片进行劈裂；所述劈裂平台与所述定位平台沿第一方向依次设置；

第二相机模组，设于所述劈裂平台的上方，用于对所述劈裂平台上料片的正面进行拍摄识别；

第三相机模组，设于所述劈裂平台的下方，用于对所述劈裂平台上料片的背面进行拍摄识别。

2.根据权利要求1所述的劈裂设备，其特征在于，还包括：

劈刀组件，设于所述劈裂平台上方，用于对所述劈裂平台上的料片进行劈裂；所述第二相机模组设于所述劈刀组件上。

3.根据权利要求2所述的劈裂设备，其特征在于，所述劈刀组件包括：

第一驱动件，设于所述机台上；

安装板，与所述第一驱动件的输出端连接，所述第一驱动件能驱动所述安装板沿第一方向移动；所述第二相机模组设于所述安装板上；

劈刀，设于所述安装板的底端。

4.根据权利要求3所述的劈裂设备，其特征在于，所述第二相机模组包括：

第二驱动件，设于所述安装板上；

相机，与所述第二驱动件的输出端连接，所述第二驱动件能驱动所述相机上下移动。

5.根据权利要求4所述的劈裂设备，其特征在于，所述第二相机模组还包括：

第一连接板，所述第一连接板上设置有沿所述第一方向设置的条形孔，所述第一连接板通过所述条形孔与所述安装板可调连接；

第二连接板，与所述第一连接板连接；

第三连接板，其上设有第一弧形孔，所述第一弧形孔的圆心所在的轴线沿竖直方向；所述第三连接板通过所述第一弧形孔与所述第二连接板可调连接，以使所述第三连接板能绕竖直转轴转动；

第四连接板，与所述第三连接板连接；所述第四连接板上设有第二弧形孔，所述第二弧形孔的圆心所在的轴线沿第一方向；所述第二驱动件的主体通过所述第二弧形孔与所述第四连接板可调连接，以使所述第二驱动件能绕与所述第一方向平行的转轴转动。

6.根据权利要求5所述的劈裂设备，其特征在于，所述第二相机模组还包括：

第五连接板，将所述第二驱动件与所述第四连接板连，所述第五连接板上设有与所述第四连接板上的所述第二弧形孔对应的安装孔；

转轴，其一端与所述第五连接板连接，所述第四连接板上设有供所述转轴穿过的转轴孔，所述转轴穿设于所述转轴孔中；

限位片，设于所述转轴的另一端，所述限位片的长度大于所述转轴孔的直径，以将所述第五连接板限位在所述第四连接板上。

7.根据权利要求6所述的劈裂设备，其特征在于，所述转轴与所述限位片连接的一端为半轴，半轴部分具有沿所述转轴的轴向设置的切面，所述限位片设于所述切面。

8.根据权利要求4所述的劈裂设备，其特征在于，所述第二相机模组还包括：

相机安装板，设于所述第二驱动件的输出端，所述相机设于所述相机安装板上；

打光灯，与所述相机安装板连接且位于所述相机的下方。

9.根据权利要求8所述的劈裂设备，其特征在于，所述打光灯通过打光灯支架与所述相机安装板连接，所述打光灯支架设于所述相机沿第二方向的一侧，所述第二方向与所述第一方向垂直。

10.根据权利要求3至9任一项所述的劈裂设备，其特征在于，所述劈刀组件还包括：

第三驱动件，设于所述安装板上，用于驱动所述劈刀上下移动，所述第二相机模组设于所述第三驱动件沿所述第一方向的一侧。

Images