CN219224618U - 一种芯片缺陷检测机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种芯片缺陷检测机，包括机台，机台上设有能够调节宽度的输送机构，输送机构的上方设有CCD相机模组，CCD相机模组由Z轴升降驱动控制升降，Z轴升降驱动包括立板，立板的底部设有用于测量高度的光谱仪，Z轴升降驱动由X轴驱动控制移动，X轴驱动由Y轴驱动控制移动。本实用新型利用光谱仪辅助Z轴升降驱动来定位CCD相机模组，位置更精确。本实用新型还采用了能够调节宽度的输送机构，方便根据不同大小的料盘进行调节，适应范围更广。

Description

一种芯片缺陷检测机

技术领域

本实用新型涉及芯片检测设备，特别涉及一种芯片缺陷检测机。

背景技术

目前，芯片在出厂前，均需要对芯片进行检测，而目前用于芯片的检测设备在对相机定位时只通过三轴移动控制模组来调节位置，然而相机模组的检测高度影响对芯片的检测结果，现有的相机模组缺乏高度精定位的机构，单单采用Z轴来调节升降不够精确，导致检测不准确。

发明内容

为了克服现有技术中存在的缺点和不足，本实用新型的目的在于提供一种芯片缺陷检测机。

本实用新型的目的通过下述技术方案实现：一种芯片缺陷检测机，包括机台，所述机台上设有能够调节宽度的输送机构，所述输送机构的上方设有CCD相机模组，所述CCD相机模组由Z轴升降驱动控制升降，所述Z轴升降驱动包括立板，所述立板的底部设有用于测量高度的光谱仪，所述Z轴升降驱动由X轴驱动控制移动，所述X轴驱动由Y轴驱动控制移动。

作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，所述Z轴升降驱动根据所述光谱仪测量的高度控制所述CCD相机模组的高度位置。利用光谱仪辅助Z轴升降驱动来定位CCD相机模组，位置更精确。

作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，所述输送机构包括间隔设置的定导轨和动导轨，所述定导轨和所述动导轨的对应面均设有输送带，所述输送带通过输送带传动电机控制传动，所述动导轨由导轨驱动机构控制移动。输送机构能够调节宽度，适应不同宽度的料盘进入。

作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，所述导轨驱动机构包括两根传动丝杆，两根所述传动丝杆均通过丝杆螺母连接在所述动导轨的底部，其中一根所述传动丝杆的一端通过第一同步轮和第一同步带连接轨道驱动电机，两根所述传动丝杆的同一端均设有第二同步轮，两个所述第二同步轮通过第二同步带连接。

作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，还包括滚轮安装板，所述滚轮安装板上设有横向腰形孔和垂直腰形孔，所述横向腰形孔内设有底部滚轮，所述垂直腰形孔内设有上部滚轮，所述第二同步带位于所述底部滚轮和所述上部滚轮之间。

作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，所述立板上设有升降电机、升降丝杆、升降滑轨和升降板，所述升降电机的输出轴通过联轴器连接所述升降丝杆，所述升降板通过滑块连接在所述升降滑轨上，所述升降板的一侧设有丝杆螺母，所述丝杆螺母连接在所述升降丝杆上，所述CCD相机模组设置在所述升降板上。

作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，所述X轴驱动包括导轨横梁，所述导轨横梁的一侧设有X轴滑轨，所述导轨横梁的顶部设有X轴丝杆和X轴电机，所述X轴电机通过联轴器连接所述X轴丝杆，所述立板的背面设有丝杆螺母，所述丝杆螺母连接所述X轴丝杆，所述立板通过滑块连接所述X轴滑轨。

作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，所述Y轴驱动包括Y轴滑轨、Y轴丝杆和Y轴电机，所述Y轴电机通过联轴器连接所述Y轴丝杆，所述Y轴滑轨上设有滑块，所述滑块上设有滑板，所述滑板的一侧设有丝杆螺母，所述Y轴丝杆连接在所述丝杆螺母上，所述导轨横梁连接在所述滑板上。

作为本实用新型芯片缺陷检测机的一种改进，所述机台的一侧设有进料孔、另一侧设有出料孔，所述进料孔对应所述输送机构的进料端设置，所述出料孔对应所述输送机构的出料端设置。料盘从进料孔进入输送机构，从出料孔送出。方便本实用新型的芯片缺陷检测机对接流水线。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型利用光谱仪辅助Z轴升降驱动来定位CCD相机模组，位置更精确。本实用新型还采用了能够调节宽度的输送机构，方便根据不同大小的料盘进行调节，适应范围更广。

附图说明

图1是本实用新型的立体图；

图2是本实用新型的内部结构示意图；

附图标记为：1、机台 2、输送机构 3、CCD相机模组 4、Z轴升降驱动 5、光谱仪 6、X轴驱动 7、Y轴驱动 11、进料孔 21、定导轨 22、动导轨 23、输送带 24、输送带传动电机25、导轨驱动机构 251、传动丝杆 252、轨道驱动电机 253、第二同步轮 254、第二同步带255、滚轮安装板 256、底部滚轮 257、上部滚轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，本实用新型实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，在本实用新型中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围内。

如图1和图2所示，一种芯片缺陷检测机，包括机台1，机台1上设有能够调节宽度的输送机构2，输送机构2的上方设有CCD相机模组3，CCD相机模3组由Z轴升降驱动4控制升降，Z轴升降驱动4包括立板41，立板41的底部设有用于测量高度的光谱仪5，Z轴升降驱动4由X轴驱动6控制移动，X轴驱动6由Y轴驱动7控制移动。X轴驱动6和Y轴驱动7控制CCD相机模组3移动至芯片的正上方，Z轴升降驱动4控制CCD相机模组3的高度检测位置。

优选的，Z轴升降驱动4根据光谱仪5测量的高度控制CCD相机模组3的高度位置。利用光谱仪5辅助Z轴升降驱动4来定位CCD相机模组3，位置更精确。

优选的，输送机构2包括间隔设置的定导轨21和动导轨22，定导轨21和动导轨22的对应面均设有输送带23，输送带23通过输送带传动电机24控制传动，动导轨22由导轨驱动机构25控制移动。输送机构2能够调节宽度，适应不同宽度的料盘进入。

优选的，导轨驱动机构25包括两根传动丝杆251，两根传动丝杆251均通过丝杆螺母连接在动导轨22的底部，其中一根传动丝杆251的一端通过第一同步轮和第一同步带连接轨道驱动电机252，两根传动丝杆251的同一端均设有第二同步轮253，两个第二同步轮253通过第二同步带254连接。

优选的，还包括滚轮安装板255，滚轮安装板255上设有横向腰形孔和垂直腰形孔，横向腰形孔内设有底部滚轮256，垂直腰形孔内设有上部滚轮257，第二同步带253位于底部滚轮256和上部滚轮257之间。底部滚轮256和上部滚轮257能够调节第二同步带253的松紧。

优选的，立板41上设有升降电机42、升降丝杆43、升降滑轨44和升降板45，升降电机42的输出轴通过联轴器连接升降丝杆43，升降板45通过滑块连接在升降滑轨44上，升降板45的一侧设有丝杆螺母，丝杆螺母连接在升降丝杆43上，CCD相机模组3设置在升降板45上。

优选的，X轴驱动6包括导轨横梁，导轨横梁的一侧设有X轴滑轨，导轨横梁的顶部设有X轴丝杆和X轴电机，X轴电机通过联轴器连接X轴丝杆，立板的背面设有丝杆螺母，丝杆螺母连接X轴丝杆，立板通过滑块连接X轴滑轨。

优选的，Y轴驱动6包括Y轴滑轨、Y轴丝杆和Y轴电机，Y轴电机通过联轴器连接Y轴丝杆，Y轴滑轨上设有滑块，滑块上设有滑板，滑板的一侧设有丝杆螺母，Y轴丝杆连接在丝杆螺母上，导轨横梁连接在滑板上。

优选的，机台1的一侧设有进料孔11、另一侧设有出料孔，进料孔11对应输送机构2的进料端设置，出料孔对应输送机构2的出料端设置。料盘从进料孔11进入输送机构2，从出料孔送出。方便本实用新型的芯片缺陷检测机对接流水线。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和结构的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同范围限定。

Claims (9)

1.一种芯片缺陷检测机，包括机台，其特征在于，所述机台上设有能够调节宽度的输送机构，所述输送机构的上方设有CCD相机模组，所述CCD相机模组由Z轴升降驱动控制升降，所述Z轴升降驱动包括立板，所述立板的底部设有用于测量高度的光谱仪，所述Z轴升降驱动由X轴驱动控制移动，所述X轴驱动由Y轴驱动控制移动。

2.根据权利要求1所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，所述Z轴升降驱动根据所述光谱仪测量的高度控制所述CCD相机模组的高度位置。

3.根据权利要求1所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，所述输送机构包括间隔设置的定导轨和动导轨，所述定导轨和所述动导轨的对应面均设有输送带，所述输送带通过输送带传动电机控制传动，所述动导轨由导轨驱动机构控制移动。

4.根据权利要求3所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，所述导轨驱动机构包括两根传动丝杆，两根所述传动丝杆均通过丝杆螺母连接在所述动导轨的底部，其中一根所述传动丝杆的一端通过第一同步轮和第一同步带连接轨道驱动电机，两根所述传动丝杆的同一端均设有第二同步轮，两个所述第二同步轮通过第二同步带连接。

5.根据权利要求4所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，还包括滚轮安装板，所述滚轮安装板上设有横向腰形孔和垂直腰形孔，所述横向腰形孔内设有底部滚轮，所述垂直腰形孔内设有上部滚轮，所述第二同步带位于所述底部滚轮和所述上部滚轮之间。

6.根据权利要求1所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，所述立板上设有升降电机、升降丝杆、升降滑轨和升降板，所述升降电机的输出轴通过联轴器连接所述升降丝杆，所述升降板通过滑块连接在所述升降滑轨上，所述升降板的一侧设有丝杆螺母，所述丝杆螺母连接在所述升降丝杆上，所述CCD相机模组设置在所述升降板上。

7.根据权利要求1所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，所述X轴驱动包括导轨横梁，所述导轨横梁的一侧设有X轴滑轨，所述导轨横梁的顶部设有X轴丝杆和X轴电机，所述X轴电机通过联轴器连接所述X轴丝杆，所述立板的背面设有丝杆螺母，所述丝杆螺母连接所述X轴丝杆，所述立板通过滑块连接所述X轴滑轨。

8.根据权利要求7所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，所述Y轴驱动包括Y轴滑轨、Y轴丝杆和Y轴电机，所述Y轴电机通过联轴器连接所述Y轴丝杆，所述Y轴滑轨上设有滑块，所述滑块上设有滑板，所述滑板的一侧设有丝杆螺母，所述Y轴丝杆连接在所述丝杆螺母上，所述导轨横梁连接在所述滑板上。

9.根据权利要求1所述的芯片缺陷检测机，其特征在于，所述机台的一侧设有进料孔、另一侧设有出料孔，所述进料孔对应所述输送机构的进料端设置，所述出料孔对应所述输送机构的出料端设置。

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