CN219216739U - 一种微压力真空吸取装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及吸盘领域，尤其是涉及一种微压力真空吸取装置，包括吸盘杆套件和设置于吸盘杆套件下方的吸盘套件；吸盘杆套件，包括吸盘座和内置于吸盘座内部的吸盘杆，吸盘杆下方与吸盘套件相连、吸盘杆内部开设有与吸盘套件相连通的气源通道；在工作状态下，吸盘座固定，吸盘杆能够相对于吸盘座沿吸盘杆的轴线方向上下运动。本方案可以解决卡涩、旋转、过重等问题，实现了轻量化，以缓解现有技术中的吸盘受到气管弯曲弹性的影响、吸盘杆相对于吸盘座旋转以及吸盘杆下压对硅片产生重量上的影响等问题，避免了对硅片产生影响，并且避免了吸盘杆的旋转。

Description

一种微压力真空吸取装置

技术领域

本实用新型涉及吸盘领域，尤其是涉及一种微压力真空吸取装置。

背景技术

现有的吸盘的接气口在吸盘尾部，吸盘杆会比较重，吸盘杆的自重和弹簧较大的弹力，对被吸取物的表面会造成破坏；吸盘上吸取上升的时候，吸盘杆可能会发生转动；气管随吸盘杆一起动，有卡涩的风险。

实用新型内容

本实用新型提供了一种微压力真空吸取装置，以缓解现有技术中的吸盘受到气管弯曲弹性的影响、吸盘杆相对于吸盘座旋转以及吸盘杆下压对硅片产生重量上的影响等问题。

为了缓解上述技术问题，本实用新型提供的技术方案在于：

一种微压力真空吸取装置，包括吸盘杆套件和设置于所述吸盘杆套件下方的吸盘套件；

所述吸盘杆套件，包括吸盘座和内置于所述吸盘座内部的吸盘杆，所述吸盘杆下方与所述吸盘套件相连、所述吸盘杆内部开设有与所述吸盘套件相连通的气源通道；

在工作状态下，所述吸盘座固定，所述吸盘杆能够相对于所述吸盘座沿所述吸盘杆的轴线方向上下运动。

更进一步地，

所述吸盘杆套件还包括弹簧，所述弹簧套设于所述吸盘杆的下端部。

更进一步地，

所述吸盘杆套件还包括限位螺母，所述限位螺母位于所述吸盘座和所述吸盘杆上端部之间，所述限位螺母用于限制所述吸盘座和所述吸盘杆之间的相对转动。

更进一步地，

所述吸盘座上部开设有用于容纳所述限位螺母的限位段，所述限位段由至少两个壁体形成，所述壁体内侧面为平面，所述限位螺母设置有与所述平面相贴合的接触面。

更进一步地，

所述吸盘座设置有安装段，所述安装段设置于所述限位段下方，所述安装段上套设有卡箍，所述卡箍与所述吸盘座固定连接。

更进一步地，

所述卡箍上设置有开孔，所述开孔用于与外部气源相连，所述开孔与所述吸盘杆内部的气源通道相连通。

更进一步地，

所述吸盘杆包括上段和下段，所述下段沿自身轴线方向开设有气源通道；所述上段与所述限位螺母螺纹连接。

更进一步地，

还包括快接插头，所述快接插头内部设置有插头气道，所述插头气道的一端与外界气源连通，另一端与卡箍上的开孔相连通。

本实用新型中的有益效果分析如下：

本实用新型提供了一种微压力真空吸取装置，包括吸盘杆套件和设置于吸盘杆套件下方的吸盘套件；吸盘杆套件，包括吸盘座和内置于吸盘座内部的吸盘杆，吸盘杆下方与吸盘套件相连、吸盘杆内部开设有与吸盘套件相连通的气源通道；在工作状态下，吸盘座固定，吸盘杆能够相对于吸盘座沿吸盘杆的轴线方向上下运动。由于在工作状态下，吸盘座固定，吸盘杆的运动不会受到气管弯曲弹性的影响。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或相关技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1本实用新型实施方式提供的微压力真空吸取装置的整体结构示意图；

图2为微压力真空吸取装置的俯视图；

图3为图2中A-A的剖视图；

图4为微压力真空吸取装置中吸盘杆套件的整体结构示意图；

图5为微压力真空吸取装置中吸盘套件的整体结构示意图；

图6为吸盘杆套件中的限位螺母的整体结构示意图。

图标：

100-吸盘杆套件；200-吸盘套件；300-快接插头；110-吸盘座；120-吸盘杆；001-气源通道；130-弹簧；140-限位螺母；141-接触面；111-限位段；1110-壁体；112-安装段；1121-卡箍；121-上段；122-下段；310-插头气道；002-开孔。

具体实施方式

针对现有的吸盘的接气口在吸盘尾部，吸盘杆120会比较重，吸盘杆120的自重和弹簧130较大的弹力，对被吸取物的表面会造成破坏；吸盘上吸取上升的时候，吸盘杆120可能会发生转动；吸盘杆120的运动受到气管弯曲弹性的影响。

为了解决以上提及的诸多问题中的吸盘杆120的运动受到气管弯曲弹性的影响。

本实施例提供了一种微压力真空吸取装置，请一并参见图1至图6。

该微压力真空吸取装置包括吸盘杆套件100和设置于吸盘杆套件100下方的吸盘套件200；

吸盘杆套件100，包括吸盘座110和内置于吸盘座110内部的吸盘杆120，吸盘杆120下方与吸盘套件200相连、吸盘杆120内部开设有与吸盘套件200相连通的气源通道001；

在工作状态下，吸盘座110固定，吸盘杆120能够相对于吸盘座110沿吸盘杆120的轴线方向上下运动。

由于在工作状态下，吸盘座110固定，吸盘杆120的运动不会受到气管弯曲弹性的影响。

关于吸盘杆套件100的形状和结构，更为具体地，请参见图1和图3：

吸盘杆套件100包括吸盘杆120，吸盘杆120内部设置有气源通道001，在工作状态下，气源通道001竖直设置。吸盘套件200连接于吸盘杆120下端，当气源通道001产生负压时，吸盘套件200内的吸盘产生吸附力以吸取外部物体。

更进一步地，吸盘杆套件100还包括弹簧130，弹簧130套设于吸盘杆120的下端部。弹簧130配置为具有弹性恢复力以驱动位于下方的吸盘套件200向上回弹以带动硅片向上运动。更为详细地，弹簧130的上端向吸盘座110的内腔延伸至固定于吸盘座110的内壁，弹簧130的下端向下延伸并凸出于吸盘座110的下端部，弹簧130的有效弹性区域为吸盘座110下端面以下的区域。

更进一步地，弹簧130设置为弹性系数非常小的弹簧130，整体重量较轻，有助于整体轻量化。

更进一步地，吸盘杆套件100还包括连接件，连接件设置于吸盘杆120下端，吸盘套件200通过连接件与吸盘杆120相连。连接方式例如可以是：连接件设置有插接槽，插接槽设置为由两平面间隔形成的槽，吸盘套件200设置有插接杆，插件杆设置为圆杆，圆杆可以设置两个平面，以与插接槽的两内壁相贴合。

为了避免吸盘杆120在上升过程中的转动问题，本实施例提出了以下解决方案：

吸盘杆套件100还包括限位螺母140，限位螺母140位于吸盘座110和吸盘杆120上端部之间，限位螺母140用于限制吸盘座110和吸盘杆120之间的相对转动。

具体而言，请进一步参见图1、图3和图4：

吸盘座110上部开设有用于容纳限位螺母140的限位段111，限位段111由至少两个壁体1110形成，壁体1110内侧面为平面，限位螺母140设置有与平面相贴合的接触面141。限位螺母140的内表面设置有螺纹，吸盘杆120的上端设置有外螺纹，吸盘杆120与限位螺母140螺纹连接。由于限位螺母140的存在，避免了吸盘杆120相对于吸盘座110的相对旋转运动，也就是解决了现有的卡涩风险。

本实施例的可选方案中，较为优选地，

吸盘杆120包括上段121和下段122，下段122沿自身轴线方向开设有气源通道001，气源通道001与卡箍1121上的开孔002连通；上段121与限位螺母140螺纹连接。

本实施例的可选方案中，较为优选地，

吸盘杆120的上段121开设有盲孔，盲孔能够有效减轻吸盘杆120的重量，进一步实现轻量化的要求，并且，由于吸盘杆120减轻了重量，可以降低吸盘吸取硅片时，下压压力对硅片造成的影响。

本实施例的可选方案中，较为优选地，

吸盘杆120采用轻量化材质制成。

本实施例的可选方案中，较为优选地：

吸盘座110设置有安装段112，安装段112设置于限位段111下方，安装段112设置有卡箍1121，卡箍1121上设置有开孔002，开孔002用于与外部气源相连，开孔002与吸盘杆120内部的气源通道001相连通。

本实施例的可选方案中，较为优选地，

微压力真空吸取装置还包括快接插头300，快接插头300插接于开孔002。快接插头300内部设置有插头气道310，插头气道310的一端与外界气源连通，另一端与开孔002连通。

本实施例的可选方案中，较为优选地，

快接插头300与外界气源相连通。

工作过程简述：

当需要吸取硅片时，外界气源产生负压，负压通过快接插头300的插头气道310和吸盘杆120的气源通道001作用于吸盘套件200，吸盘产生负压后对硅片进行吸附，然后，在弹簧130的弹性恢复力下，吸盘杆120上升，吸盘套件200带动硅片上升。

当需要放下硅片时，外界气源产生正压，正压通过快接插头300的插头气道310和吸盘杆120的气源通道001作用于吸盘套件200，吸盘套件200产生正压后驱动硅片脱离。

本方案至少可以达到如下技术效果：

1、由于本方案采用了轻量化的吸盘杆120和轻量化的弹簧130，因此下压时不会对硅片产生重量上的影响。

2、由于本方案在吸盘杆120和吸盘座110之间设置了限位螺母140，限位螺母140可以避免吸盘座110和吸盘杆120之间的相对旋转运动，因此可以避免吸盘杆120的转动，也就是解决了卡涩的问题。

3、由于吸盘座110固定，吸盘杆120的运动不会受到气管弯曲弹性的影响。

最后应说明的是：以上各实施方式仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施方式对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施方式所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施方式技术方案的范围。

Claims (8)

1.一种微压力真空吸取装置，其特征在于：包括吸盘杆套件(100)和设置于所述吸盘杆套件(100)下方的吸盘套件(200)；

所述吸盘杆套件(100)，包括吸盘座(110)和内置于所述吸盘座(110)内部的吸盘杆(120)，所述吸盘杆(120)下方与所述吸盘套件(200)相连、所述吸盘杆(120)内部开设有与所述吸盘套件(200)相连通的气源通道(001)；

在工作状态下，所述吸盘座(110)固定，所述吸盘杆(120)能够相对于所述吸盘座(110)沿所述吸盘杆(120)的轴线方向上下运动。

2.根据权利要求1所述的微压力真空吸取装置，其特征在于，所述吸盘杆套件(100)还包括弹簧(130)，所述弹簧(130)套设于所述吸盘杆(120)的下端部。

3.根据权利要求2所述的微压力真空吸取装置，其特征在于，所述吸盘杆套件(100)还包括限位螺母(140)，所述限位螺母(140)位于所述吸盘座(110)和所述吸盘杆(120)上端部之间，所述限位螺母(140)用于限制所述吸盘座(110)和所述吸盘杆(120)之间的相对转动。

4.根据权利要求3所述的微压力真空吸取装置，其特征在于，所述吸盘座(110)上部开设有用于容纳所述限位螺母(140)的限位段(111)，所述限位段(111)由至少两个壁体(1110)形成，所述壁体(1110)内侧面为平面，所述限位螺母(140)设置有与所述平面相贴合的接触面(141)。

5.根据权利要求4所述的微压力真空吸取装置，其特征在于，所述吸盘座(110)设置有安装段(112)，所述安装段(112)设置于所述限位段(111)下方，所述安装段(112)上套设有卡箍(1121)，所述卡箍(1121)与所述吸盘座(110)固定连接。

6.根据权利要求5所述的微压力真空吸取装置，其特征在于，

所述卡箍(1121)上设置有开孔(002)，所述开孔(002)用于与外部气源相连，所述开孔(002)与所述吸盘杆(120)内部的气源通道(001)相连通。

7.根据权利要求6所述的微压力真空吸取装置，其特征在于，所述吸盘杆(120)包括上段(121)和下段(122)，所述下段(122)沿自身轴线方向开设有气源通道(001)；所述上段(121)与所述限位螺母(140)螺纹连接。

8.根据权利要求7所述的微压力真空吸取装置，其特征在于，

还包括快接插头(300)，所述快接插头(300)内部设置有插头气道(310)，所述插头气道(310)的一端与外界气源连通，另一端与卡箍(1121)上的开孔(002)相连通。

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