CN213036930U - 一种手持式真空吸盘 - Google Patents

Abstract

本申请涉及真空吸持技术领域，尤其是涉及一种手持式真空吸盘，其技术方案要点在于，包括吸盘组件和连接于吸盘组件上的通气手柄，吸盘组件包括吸盘面板，吸盘面板和通气手柄之间设有将两者连接的连接角板。吸盘面板的内部设有通气内腔，吸盘面板的底部设有多个与通气内腔相通的喷气口，多个喷气口的中间且位于吸盘面板的下方形成有用于吸附圆晶的负压区。连接角板内设有通气道，通气道的一端与通气手柄相通，通气道的另一端与通气内腔相通。利用伯努利原理对圆晶进行吸附，且由于喷气口喷出气体的推力会与吸附力产生平衡，圆晶会悬浮于吸盘面板的下方。本申请具有减少圆晶在移动中磨损、划伤的情况。

Description

一种手持式真空吸盘

技术领域

本申请涉及真空吸持技术领域，尤其是涉及一种手持式真空吸盘。

背景技术

圆晶是指制作硅半导体所用的硅晶片，其原始材料是硅。在对圆晶进行加工时，常常需要对圆晶进行移动，利用真空吸盘吸附圆晶便是其中的一种移动手段。

目前的真空吸盘通过接管与真空设备接通，然后将真空吸盘对准圆晶，启动真空设备抽吸空气，使吸盘内产生负气压，从而将圆晶牢牢吸附在真空吸盘的底部，即可开始搬送圆晶。当圆晶搬送到目的地时，将气体冲入真空吸盘内，使真空吸盘内由负气压变成零气压，圆晶就可以脱离真空吸盘，从而完成提升和搬送圆晶的任务。

针对上述中的相关技术，上述真空吸盘对圆晶进行吸附时，圆晶会与真空吸盘的底部接触，而圆晶是精密元件，易磨损，在接触过程中圆晶会有磨损、划伤的情况。

实用新型内容

为了减少圆晶在移动中磨损、划伤的情况，本申请提供一种手持式真空吸盘。

本申请提供的一种手持式真空吸盘采用如下的技术方案：

一种手持式真空吸盘，包括吸盘组件和连接于吸盘组件上的通气手柄，所述吸盘组件包括吸盘面板，所述吸盘面板和所述通气手柄之间设有将两者连接的连接角板；

所述吸盘面板的内部设有通气内腔，所述吸盘面板的底部设有多个与所述通气内腔相通的喷气口，多个所述喷气口均向外倾斜喷气，多个所述喷气口的中间且位于吸盘面板的下方形成有用于吸附圆晶的负压区；

所述连接角板内设有通气道，所述通气道的一端与所述通气手柄相通，所述通气道的另一端与所述通气内腔相通。

通过采用上述技术方案，上述技术方案采用了伯努利原理，高速流动的流体两侧压强较小。由多个喷气口喷出的气体在吸盘面板的下方形成负压区，负压区可以对圆晶吸附，同时喷气口喷出的气体对圆晶产生推力，使得圆晶在吸盘面板的下方处于受力平衡状态，使圆晶悬浮于吸盘面的下方，实现非接触式移动圆晶。

优选的，所述吸盘面板包括细长的颈部和面板部，所述颈部沿其长度方向的一端与所述面板部相连；

所述吸盘面板的上表面设有通气凹槽，所述通气凹槽包括圆形槽以及与圆形槽相通的长槽；所述吸盘面板上还设有用于盖住所述通气凹槽的吸盘盖板，所述吸盘盖板与所述吸盘面板贴合并在两者之间构成通气内腔，所述吸盘盖板的上表面设有与所述通气内腔连通的通孔。

通过采用上述技术方案，将吸盘面板分为颈部和面板部，其中面板部用于吸附圆晶，颈部则用于增加面板部与手柄的距离

优选的，所述吸盘盖板包括方形段和圆形段，所述方形段覆盖所述长槽，所述方形段覆盖所述圆形槽；所述通孔位于所述方形段远离圆形段的一端。

通过采用上述技术方案，通孔远离圆形段，便于与连接角板的通气道连通。

优选的，所述面板部呈正六边形，多个所述喷气口的中心与所述面板部的中心重合。

通过采用上述技术方案，两者的中心重合，喷气口喷出的气体由中心向四周扩散，便于多个喷气口喷出的气流相对于面板部更均匀。

优选的，所述连接角板包括第一水平部、竖直部和第二水平部，所述第一水平部的一端与竖直部的其中一个侧壁且靠近顶部的位置相连，所述第二水平部的一端与所述竖直部的另一个侧壁且靠近底部的位置相连；所述通气道依次贯穿所述第一水平部、竖直部和第二水平部，所述通气道与所述通孔相通。

通过采用上述技术方案，连接角板设置成Z字型，第一水平部和第二水平部可以用来分别连接部件，竖直部可以充当受力部分，将连接角板连接的两方部件的受力集中到竖直部。

优选的，所述第二水平部和所述颈部之间设有密封垫，所述密封垫上设有开口，所述开口与所述通气内腔相通。

通过采用上述技术方案，密封垫可以增加连接间的密封性能，减少漏气的情况。

优选的，所述通气手柄和所述第一水平部之间设有将两者相连的中空螺杆，所述通气道位于第一水平部的一端攻有旋紧螺纹；所述通气手柄靠近第一水平部的一端攻有内螺纹，所述中空螺杆的一端与通气手柄以螺纹连接，所述中空螺杆的另一端螺纹连接于所述旋紧螺纹内。

通过采用上述技术方案，中空螺杆可以作为中间连接件将连接角板与通气手柄连接起来，且便于拆卸。

优选的，所述中空螺杆上还设有一对旋紧螺母，其中一个所述旋紧螺母与第一水平部靠近中空螺杆的端面相抵，另一个所述旋紧螺母与通气手柄靠近中空螺杆的端面相抵。

通过采用上述技术方案，旋紧螺母的作用在于进一步增加中空螺杆与其连接件的密封性。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.通过吸盘组件的设置，由多个喷气口喷出的气体在吸盘面板的下方形成负压区，负压区可以对圆晶吸附，同时喷气口喷出的气体对圆晶产生推力，使得圆晶在吸盘面板的下方处于平衡状态，使圆晶悬浮于吸盘面的下方，实现非接触式移动圆晶；

2.通过通气内腔的设置，使得气体集聚在通气内腔内，通气内腔提供了一个区域，使得其内部的气体处于一种喷发的状态，使得喷出的气流充足而强劲。

附图说明

图1是本申请实施例的手持式真空吸盘的整体示意图；

图2是本申请实施例的手持式真空吸盘的爆炸图；

图3是吸盘面板底部的示意图；

图4是手持式真空吸盘吸附圆晶的示意图；

图5是吸盘盖板和吸盘面板的配合示意图；

图6是连接角板的示意图；

图7是连接角板正面的剖视图；

图8是连接角板和吸盘面板的配合关系图；

图9是通气手柄的整体示意图；

图10是通气手柄与连接角板的连接关系剖视图。

附图标记说明：1、吸盘组件；2、连接角板；3、吸盘面板；4、吸盘盖板；5、密封垫；6、通气手柄；7、中空螺杆；8、圆晶；21、第一水平部；22、竖直部；23、第二水平部；24、通气道；25、旋紧螺纹；31、通气凹槽；311、长槽；312、圆形槽；32、通气内腔；33、喷气口；34、负压区；35、颈部；36、面板部；37、上倒角；38、伸入倒角；41、方形段；42、圆形段；43、下倒角；44、通孔；51、开口；61、通气杆；62、进气口；63、出气口；64、调节阀；66、关断阀；71、旋紧螺母。

具体实施方式

以下结合附图1-10对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种手持式真空吸盘，利用伯努利原理对圆晶进行吸附。参照图1和图2，手持式真空吸盘包括通气手柄6和吸盘组件1，吸盘组件1包括连接角板2和吸盘面板3，通气手柄6通过连接角板2与吸盘面板3相连。吸盘面板3的上表面开有通气凹槽31，吸盘面板3上还设有与通气凹槽31相配合的吸盘盖板4，吸盘盖板4从吸盘面板3的上方盖住通气凹槽31并与吸盘面板3铆接固定，吸盘盖板4和吸盘面板3之间的空置区域形成有通气内腔32，通气手柄6可将气体输送到通气内腔32内。

参照图2和图3，吸盘面板3的底面设有多个与通气内腔32相通喷气口33，多个喷气口33均呈长条状，多个喷气口33围成一圈并朝向圈外倾斜地喷出气体，且多个喷气口33围成的圈内形成有负压区34，负压区34位于吸盘面板3的下方。

参照图2和4，伯努利原理为：高速流动的流体，流体的速度大，则流体两侧的大气压强小；流体的流速变小，则流体两侧的大气压强增大。在对圆晶8进行吸附时，将吸盘面板3放置于圆晶8的上方，从通气手柄6内将气体输送到吸盘面板3的通气内腔32内，由通气内腔32将气体从吸盘面板3底部的喷气口33向四周倾斜喷出。将吸盘面板3下移靠近圆晶8，负压区34对圆晶8产生吸引力并驱使圆晶8上移，上移过程中，喷气口33中喷出的倾斜气体会喷到圆晶8上表面的外围，并自圆晶8的径向向外扩散。此时，圆晶8上表面分为外围向外扩散的气流区域和内部的负压区34，并且随着圆晶8的上移，圆晶8上表面外围的气流区域向内部扩大，内部的负压区34逐渐缩小。在受力方面，随着圆晶8的上移，圆晶8受气流的推力作用逐渐增大，受其内部负压区34的吸引力逐渐减小。在圆晶8与吸盘面板3的底部达到一定距离时，圆晶8上表面内部的吸引力、圆晶8自身重力、圆晶8上表面外围气流的推力达到一个平衡，使得圆晶8悬浮于吸盘面板3的底部，达到不接触圆晶8而能对其移动的效果。若圆晶8受惯性上移超过平衡的距离，则圆晶8会受气流推力作用向下移动，最终在平衡的位置停下。

参照图2和图5，吸盘盖板4为一体成形板，包括方形段41和圆形段42，方形段41为长方体状的薄板，圆形段42为圆形的薄板。方形段41沿其长度方向的一端与圆形段42相连，方形段41远离圆形段42的另一端的上表面开有方形的用于与通气内腔32相通的通孔44。

参照图3和图5，吸盘面板3为一体成形板，包括细长的颈部35和面板部36。颈部35呈长方体状，面板部36呈正六边形，多个喷气口33均位于面板部36的底面，且面板部36的中心与多个喷气口33围成的中心重合，颈部35沿其长度方向的一端与面板部36六个侧壁中的其中一个侧壁相连。通气凹槽31包括圆形槽312和与圆形槽312相通的长槽311，圆形槽312位于面板部36，且圆形槽312的中心与面板部36的中心重合，长槽311位于吸盘面板3的颈部35。在面板部36远离颈部35的一端的底部设有伸入倒角38，使得吸盘面板3的前端变薄，便于将吸盘面板3的前端插入两个相距较小的圆晶8之间，从而使得整个吸盘面板3进入较窄的区域。

参照图5，吸盘面板3且靠近通气凹槽31的内侧壁上设有上倒角37，吸盘盖板4的底部边缘设有与上倒角37配合的下倒角43。在将吸盘盖板4与吸盘面板3扣合时，将吸盘盖板4的下倒角43与吸盘面板3的上倒角37贴合，吸盘盖板4的上表面与吸盘面板3的上表面在同一水平面内，并在两者之间使用铆钉固定。

参照图6和图7，连接角板2一体成形且呈Z形，包括第一水平部21、竖直部22和第二水平部23，第一水平部21的一端与竖直部22的其中一个侧壁且靠近顶部的位置相连，第二水平部23的一端与竖直部22的另一个侧壁且靠近底部的位置相连。固定角板内开设有通气道24，通气道24的一端位于第一水平部21远离竖直部22的侧壁中部，通气道24的另一端呈方形且位于第二水平部23的底面。通气道位于第一水平部的一端攻有旋紧螺纹25。

参照图7和图8，第二水平部23与吸盘面板3之间设有密封垫5，密封垫5的中间开有方形的开口51。使竖直部22靠近第一水平部21的侧壁与颈部35的长度方向靠近竖直部22的侧壁持平，并使通气道24、密封垫5上的开口51和通气内腔32相通，然后使用铆钉将连接角板2与吸盘面板3固定。

参照图9，通气手柄6包括通气杆61，通气杆61的一端为进气口62，另一端为出气口63。通气杆61靠近进气口62的一端设有用于调节气流大小的调节阀64，通气杆61靠近出气口63的一端设有用于开合气流的关断阀66，通气杆61靠近出气口63一端的内部上攻有内螺纹。结合图10，通气手柄6与连接角板2之间设有中空螺杆7，中空螺杆7沿其轴向中空，中空螺杆7上螺纹连接有两个旋紧螺母71。中空螺杆7的一端与出气口63以螺纹连接，并用中空螺杆7上其中一个旋紧螺母71拧紧，中空螺杆7的另一端与第一水平部21上的旋紧螺纹25以螺纹连接，并用中空螺杆7上的另一个旋紧螺母71拧紧并抵住第一水平部21的侧壁。

实施例的实施原理为：通气过程中，气体依次经过通气手柄6的进气口62、通气手柄6的出气口63、连接角板2内的通气道24，而后进入通气内腔32，气体输送到吸盘面板3的面板部36内，由喷气口33倾斜向四周喷出，并在多个喷气口33的中部形成负压区34。将吸盘面板3移动到圆晶8的上方，负压区34对圆晶8产生吸引力并使圆晶8上移，上移过程中喷气口33喷出的气流对圆晶8产生推力，圆晶8会在面板部36下方的一定距离达到受力平衡，使得圆晶8悬浮于吸盘面板3的下方。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种手持式真空吸盘，其特征在于：包括吸盘组件(1)和连接于吸盘组件(1)上的通气手柄(6)，所述吸盘组件(1)包括吸盘面板(3)，所述吸盘面板(3)和所述通气手柄(6)之间设有将两者连接的连接角板(2)；

所述吸盘面板(3)的内部设有通气内腔（32），所述吸盘面板(3)的底部设有多个与所述通气内腔（32）相通的喷气口(33)，多个所述喷气口（33）均向外倾斜喷气，多个所述喷气口(33)的中间且位于吸盘面板(3)的下方形成有用于吸附圆晶(8)的负压区(34)；

所述连接角板(2)内设有通气道(24)，所述通气道(24)的一端与所述通气手柄(6)相通，所述通气道(24)的另一端与所述通气内腔（32）相通。

2.根据权利要求1所述的手持式真空吸盘，其特征在于：所述吸盘面板(3)包括细长的颈部(35)和面板部(36)，所述颈部(35)沿其长度方向的一端与所述面板部(36)相连；

所述吸盘面板(3)的上表面设有通气凹槽(31)，所述通气凹槽(31)包括圆形槽(312)以及与圆形槽(312)相通的长槽(311)；所述吸盘面板(3)上还设有用于盖住所述通气凹槽(31)的吸盘盖板(4)，所述吸盘盖板（4）与所述吸盘面板（3）贴合并在两者之间构成通气内腔（32），所述吸盘盖板(4)的上表面设有与所述通气内腔（32）连通的通孔(44)。

3.根据权利要求2所述的手持式真空吸盘，其特征在于：所述吸盘盖板(4)包括方形段(41)和圆形段(42)，所述方形段(41)覆盖所述长槽(311)，所述方形段(41)覆盖所述圆形槽(312)；所述通孔(44)位于所述方形段(41)远离圆形段(42)的一端。

4.根据权利要求2所述的手持式真空吸盘，其特征在于：所述面板部（36）呈正六边形，多个所述喷气口(33)的中心与所述面板部(36)的中心重合。

5.根据权利要求2所述的手持式真空吸盘，其特征在于：所述连接角板(2)包括第一水平部(21)、竖直部(22)和第二水平部(23)，所述第一水平部(21)的一端与竖直部(22)的其中一个侧壁且靠近顶部的位置相连，所述第二水平部(23)的一端与所述竖直部(22)的另一个侧壁且靠近底部的位置相连；所述通气道(24)依次贯穿所述第一水平部(21)、竖直部(22)和第二水平部(23)，所述通气道(24)与所述通孔（44）相通。

6.根据权利要求5所述的手持式真空吸盘，其特征在于：所述第二水平部(23)和所述颈部(35)之间设有密封垫(5)，所述密封垫(5)上设有开口(51)，所述开口(51)与所述通气内腔(32)相通。

7.根据权利要求5所述的手持式真空吸盘，其特征在于：所述通气手柄(6)和所述第一水平部(21)之间设有将两者相连的中空螺杆(7)，所述通气道（24）位于第一水平部（21）的一端攻有旋紧螺纹（25）；所述通气手柄(6)靠近第一水平部(21)的一端攻有内螺纹，所述中空螺杆(7)的一端与通气手柄(6)以螺纹连接，所述中空螺杆(7)的另一端螺纹连接于所述旋紧螺纹(25)内。

8.根据权利要求7所述的手持式真空吸盘，其特征在于：所述中空螺杆（7）上还设有一对旋紧螺母(71)，其中一个所述旋紧螺母(71)与第一水平部(21)靠近中空螺杆(7)的端面相抵，另一个所述旋紧螺母(71)与通气手柄(6)靠近中空螺杆(7)的端面相抵。

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