CN219202124U - 一种掩模版上金属引导器的去除装置 - Google Patents

Abstract

一种掩模版上金属引导器的去除装置，包括设备主机和固定组件，设备主机包括加载运动装置和加热柱组件，固定组件包括底座和盖板，固定组件通过底座连接加载运动装置，盖板可拆卸的安装在底座上，底座和盖板配合用于夹持掩模版，底座和盖板对应金属引导器位置均具有避位区，加载运动装置能够驱动固定组件上下运动，加热柱组件设置在对应避位区处，加热柱组件顶部设有位于金属引导器下方的加热强磁体，加热强磁体用于磁吸金属引导器并加热金属引导器。基于本实用新型，通过加热的方式，胶水熔化后，使得胶水易于去除，加热过程可控，可提高金属引导器的拆卸效率，且拆卸效果稳定，无须对金属引导器进行撬除，不会损伤掩模版。

Description

一种掩模版上金属引导器的去除装置

技术领域

本实用新型涉及光刻技术领域，特别是一种掩模版上金属引导器的去除装置。

背景技术

掩模版为一种由表面金属薄膜记载图形、文字等信息的介质载板，一般情况下载板为透明玻璃。金属引导器通常为一对金属片，通过胶水贴附于掩模版镜面某一位置，在掩模版的使用中起到定位导向作用。

现有技术中，金属引导器和掩模版拆卸时通常人工操作涂抹解胶剂溶解固化胶或者是使用工具人力撬掉金属引导器，常规操作方式具有如下缺点：

1、效率较低，因胶水固化程度不同无法确定完成时间；

2、手工操作很大几率会对产品造成一定损伤甚至导致产品报废；

3、残留胶难去除；

4、效果不稳定，因不同厂商使用的胶水种类不尽相同解胶剂的效果有时并不好。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提出一种掩模版上金属引导器的去除装置。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种掩模版上金属引导器的去除装置，包括

设备主机，所述设备主机包括加载运动装置和加热柱组件；

固定组件，所述固定组件包括底座和盖板，所述固定组件通过底座连接加载运动装置，所述盖板可拆卸的安装在所述底座上，所述底座和所述盖板配合用于夹持掩模版，所述底座和所述盖板对应金属引导器位置均具有避位区；

所述加载运动装置能够驱动所述固定组件上下运动，所述加热柱组件设置在对应避位区处，所述加热柱组件顶部设有位于金属引导器下方的加热强磁体，所述加热强磁体用于磁吸金属引导器并加热金属引导器。

优选地，所述底座为板体，所述底座的顶面四周具有凸起的边框，所述边框之间围合的区域为与掩模版外延形状以及大小匹配的放置区。

优选地，所述底座的顶面和/或所述盖板的底面均安装有支撑所述掩模版的顶脚。

优选地，所述顶脚与掩模版接触一侧表面为光滑的平面。

优选地，所述顶脚的顶面与边框顶面支架的高度差不小于掩模版的厚度。

优选地，所述边框的顶面开设有若干第一螺孔，所述盖板上开设有与第一螺孔位置对应的第二螺孔，且所述第二螺孔为通孔，所述底座和所述盖板通过螺钉穿过第一螺孔旋钮于第二螺孔的方式连接。

优选地，所述边框的顶壁与侧壁之间的连接处具有倒角结构。

优选地，所述加热柱组件还包括：

柱体，所述柱体顶面开设安装槽；

弹性复位件，所述弹性复位件安装在安装槽的槽底；

滑动块，所述滑动块滑动安装在安装槽的开口处且不能从安装槽内脱出；

其中，所述加热强磁体与滑动块固定连接。

使用本实用新型的有益效果是：

使用时，将掩模版加载在固定组件中，通过加载运动装置驱动固定组件下移，直至金属引导器接触加热强磁体，加热强磁体加热金属引导器，间接将热量传递到胶水，使得掩模版和金属引导器之间的胶水熔化，并失效，即可完成掩模版和金属引导器之间分离。

基于此前述可知，本实用新型具有以下效果：

(1)通过加热的方式，胶水熔化后，使得胶水易于去除；

(2)加热过程可控，可提高金属引导器的拆卸效率，且拆卸效果稳定；

(3)无须对金属引导器进行撬除，不会损伤掩模版。

附图说明

图1为掩模版上金属引导器的去除装置的整体结构示意图。

图2为底座俯视示意图。

图3为盖板俯视示意图。

图4为掩模版放置在底座和盖板后的俯视示意图。

图5为掩模版放置在底座和盖板后的透视示意图。

图6为掩模版上金属引导器的去除装置加载掩模版后的俯视示意图。

图7为加热柱组件的示意图。

附图标记包括：

10-设备主机，11-加载运动装置，12-加热柱组件，121-柱体，122-弹性复位件，123-滑动块，124-导线，125-加热强磁体，20-固定组件，21-底座，211-边框，212-放置区，213-第一光孔，214-第一螺孔，215-第一避位区，22-盖板，221-板体，222-第二光孔，223-第二螺孔，224-第二避位区，23-螺钉，24-顶脚，25-安装钉，31-掩模版，32-金属引导器。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-图7所示本实施例提出一种掩模版上金属引导器的去除装置，用于掩模版上金属引导器的去除。

具体地，掩模版上金属引导器的去除装置包括设备主机10和固定组件20。设备主机10包括加载运动装置11和加热柱组件12。固定组件20包括底座21和盖板22，固定组件20通过底座21连接加载运动装置11，盖板22可拆卸的安装在底座21上，底座21和盖板22配合用于夹持掩模版31，底座21和盖板22对应金属引导器32位置均具有避位区。加载运动装置11能够驱动固定组件20上下运动，加热柱组件12设置在对应避位区处，加热柱组件12顶部设有位于金属引导器下方的加热强磁体125，加热强磁体125用于磁吸金属引导器32并加热金属引导器。

如图1所示，使用时，将掩模版31加载在固定组件20中，通过加载运动装置11驱动固定组件20下移，直至金属引导器32接触加热强磁体125，加热强磁体125加热金属引导器32，间接将热量传递到胶水，使得掩模版和金属引导器32之间的胶水熔化，并失效，即可完成掩模版和金属引导器32之间分离。

基于此前述可知，本实用新型具有以下效果：

(1)通过加热的方式，胶水熔化后，使得胶水易于去除；

(2)加热过程可控，可提高金属引导器32的拆卸效率，且拆卸效果稳定；

(3)无须对金属引导器进行撬除，不会损伤掩模版。

如图2所示，底座21为矩形的板体221，底座21的顶面四周具有凸起的边框211，该边框211之间围合的区域为与掩模版31外延形状以及大小匹配的放置区212。底座21对应放置区212位置具有7个第一光孔213，底座21宽度方向两侧的边框211以及长度方向的前侧边框211分别设置一个第一螺孔214，第一螺孔214为盲孔。底座21前侧左右边角处均具有第一避位区215。

边框211的顶壁与侧壁之间的连接处具有倒角结构，有利于掩模版31固定放置在放置区212。

如图3所示，盖板22与第一光孔213对应位置处设置第二光孔222，在对应第一螺孔214的位置设置第二螺孔223，该第一螺孔214为通孔。与第一避位区215类似，盖板22设置第二避位区224

结合图4和图5所示，边框211的顶面开设有若干第一螺孔214，盖板22上开设有与第一螺孔214位置对应的第二螺孔223，且第二螺孔223为通孔，底座21和盖板22通过螺钉23穿过第一螺孔214旋钮于第二螺孔223的方式连接。底座21的顶面和/或盖板22的底面均安装有支撑掩模版31的顶脚24。底座21上第一光孔213的位置均安装顶脚24，顶脚24通过安装钉25可拆卸的钉在底板上，类似的，盖板22在第二光孔222的位置对应设置顶脚24，与掩模版31直接接触的顶脚24为经打磨的特殊塑料材质。底座21上顶脚24顶面与边框211顶面支架的高度差不小于掩模版31的厚度。掩模版31放置在底座21上的顶脚24的顶面后，其顶面基本与边框211的顶面平齐。

如图7所示，加热柱组件12包括柱体121、弹性复位件122和滑动块123，柱体121顶面开设安装槽；弹性复位件122安装在安装槽的槽底；滑动块123滑动安装在安装槽的开口处且不能从安装槽内脱出。其中，加热强磁体125与滑动块123固定连接。

基于此，能够避免加热强磁体125与金属引导器之间刚性抵触，从而避免加热强磁体125和金属引导器损害。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本技术内容的思想，在具体实施方式及应用范围上可以作出许多变化，只要这些变化未脱离本实用新型的构思，均属于本专利的保护范围。

Claims (8)

1.一种掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，包括：

设备主机，所述设备主机包括加载运动装置和加热柱组件；

固定组件，所述固定组件包括底座和盖板，所述固定组件通过底座连接加载运动装置，所述盖板可拆卸的安装在所述底座上，所述底座和所述盖板配合用于夹持掩模版，所述底座和所述盖板对应金属引导器位置均具有避位区；

所述加载运动装置能够驱动所述固定组件上下运动，所述加热柱组件设置在对应避位区处，所述加热柱组件顶部设有位于金属引导器下方的加热强磁体，所述加热强磁体用于磁吸金属引导器并加热金属引导器。

2.根据权利要求1所述的掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，所述底座为板体，所述底座的顶面四周具有凸起的边框，所述边框之间围合的区域为与掩模版外延形状以及大小匹配的放置区。

3.根据权利要求2所述的掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，所述底座的顶面和/或所述盖板的底面均安装有支撑所述掩模版的顶脚。

4.根据权利要求3所述的掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，所述顶脚与掩模版接触一侧表面为光滑的平面。

5.根据权利要求3所述的掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，所述顶脚的顶面与边框顶面支架的高度差不小于掩模版的厚度。

6.根据权利要求2所述的掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，所述边框的顶面开设有若干第一螺孔，所述盖板上开设有与第一螺孔位置对应的第二螺孔，且所述第二螺孔为通孔，所述底座和所述盖板通过螺钉穿过第一螺孔旋钮于第二螺孔的方式连接。

7.根据权利要求2所述的掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，所述边框的顶壁与侧壁之间的连接处具有倒角结构。

8.根据权利要求1-7任一项所述的掩模版上金属引导器的去除装置，其特征在于，所述加热柱组件还包括：

柱体，所述柱体顶面开设安装槽；

弹性复位件，所述弹性复位件安装在安装槽的槽底；

滑动块，所述滑动块滑动安装在安装槽的开口处且不能从安装槽内脱出；

其中，所述加热强磁体与滑动块固定连接。

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