CN219142940U - 一种导电探针 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种导电探针,包括探针针套、导电针和弹性件,导电针包括导向部、针杆部和针头部。针杆部的一端与导向部连接,另一端与针头部连接,导向部设置于探针针套内,针头部从探针针套的一端伸出。弹性件连接导电针,在弹性件的弹力作用下,导电针的针头部从探针针套的一端弹出。当使用时,随着针头部压接在电池片表面,导电针可压缩弹性件实现压缩回弹。同时,由于导向部与探针针套内壁之间设置有间隙,因此,在导电针缩回时,可相对于探针针套的中心轴线产生微小的偏转角度,本实用新型实施例的导电探针有助于消除接触不良甚至断路的情况,进而可以提升导电探针与电池片表面的电连接可靠性。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片领域,尤其涉及一种电池片制造或测试使用的导电探针。
背景技术
导电探针作为一种可以传输电流的导电接触工具,在太阳能电池片的不同制造工序中均已得到推广使用。
例如,在一些企业中,已经开始利用电镀工艺制备形成电池片表面的栅线,在电镀形成栅线时,使用导电探针压在电池片表面的焊盘位置从而形成电池片表面上镀的电镀回路。此外,在一些测试环节,也有将导电探针与电池片表面的焊盘或栅线压接,以进行通电测试。
然而,实际应用中发现,由于焊盘较小、栅线较细、硅片基底的表面平整度较差导致栅线或者焊盘起伏较大等因素,常常导致导电探针在上述场景的使用中,难以可靠地与电池片表面形成电接触关系,出现接触不良甚至断路的情况,致使导电探针无法可靠地传导电流而失效。
实用新型内容
本实用新型提供一种导电探针,以解决现有的导电探针在上述场景的使用中,难以可靠地与电池片表面形成电接触关系,出现接触不良甚至断路的情况,致使导电探针无法可靠地传导电流而失效的问题。
为了解决上述问题,本实用新型是这样实现的:
在本实用新型实施例中,提供了一种导电探针,所述导电探针包括筒状的探针针套、导电针和弹性件;
所述导电针包括导向部、针杆部和针头部;所述针杆部的一端与所述导向部连接,另一端与所述针头部连接;所述导向部设置于所述探针针套内,所述针头部从所述探针针套的一端伸出;所述弹性件连接所述导电针以使所述导电针在所述探针针套内沿所述导电针的长度方向伸缩;
所述导向部与所述探针针套内壁之间设置有间隙,以使所述导电针进行偏转。
可选地,所述导向部与所述探针针套内壁之间间隙为0.1mm~0.03mm。
可选地,所述探针针套的内壁设置有限位结构,所述限位结构围合形成供所述针杆部伸缩的通道;
沿所述通道的轴线指向所述针头部的方向,所述通道的横截面逐渐减小;沿所述针杆部至所述针头部的方向,所述导向部的横截面逐渐减小。
可选地,所述导向部的横截面积最小处和所述限位结构的横截面积最小处之间的间隙为0.1mm~0.03mm。
可选地,所述导电探针上不同横截面所在位置所述导向部和所述限位结构之间的间隙相同;或,
沿所述导电探针的轴线指向所述导向部的方向,所述导向部和所述限位结构之间的间隙逐渐增大。
可选地,所述导向部的纵截面为锥形、圆台形、钟形或类半球形。
可选地,所述探针针套的一端开设有供所述针杆部伸出的通孔,所述针杆部穿设经过所述通孔,所述针杆部与所述通孔的内壁之间设置有间隙。
可选地,所述针杆部与所述通孔的内壁之间的间隙为0.05mm~0.15mm。
可选地,所述针头部的端部具有两个或多个导电凸起。
可选地,所述导电凸起为弧形、圆台形或类圆锥形。
可选地,所述导电凸起为弧形时,从所述针头部的根部至远离根部的最远端,所述导电凸起的曲率逐渐变大。
可选地,所述导电凸起为弧形时,从所述针头部的根部至远离根部的最远端,所述导电凸起的曲率逐渐变大直至为零,所述导电凸起的曲率为零的部位形成平面导电部。
可选地,在所述导电针从所述探针针套内伸出的状态下,所述针头部的端部相对于所述探针针套的中心轴线的偏移量为大于0mm且不超过0.10mm。
可选地,所述导电探针还包括安装基体;多个所述探针针套在所述安装基体上按M行×N列矩阵形状排布,其中,M≥2,N≥8。
本实用新型实施例中,导电探针包括探针针套、导电针和弹性件,导电针包括导向部、针杆部和针头部。针杆部的一端与导向部连接,另一端与针头部连接,导向部设置于探针针套内,针头部从探针针套的一端伸出。弹性件连接导电针,在弹性件的弹力作用下,导电针的针头部从探针针套的一端弹出。当使用时,随着针头部压接在电池片表面,导电针可压缩弹性件实现压缩回弹。同时,由于导向部与探针针套内壁之间设置有间隙,因此,在导电针缩回时,可相对于探针针套的中心轴线产生微小的偏转角度,该偏转角度的存在,有助于使得针头部在电池片凹凸起伏的表面滑动,可以使得针头部更为准确可靠地滑动嵌入到粗糙不平的种子层的凹坑内,有助于消除接触不良甚至断路的情况,进而可以提升导电探针与电池片表面的电连接可靠性。尤其当导电探针用于电镀制备电极时,可以提升电镀电极的可靠性和质量。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对本实用新型实施例的描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1表示本实用新型实施例的第一种导电探针的结构示意图;
图2表示本实用新型实施例图1导电探针的导电针偏转的示意图;
图3表示本实用新型实施例的第二种导电探针的结构示意图;
图4表示本实用新型实施例图3中I位置的局部放大示意图;
图5表示本实用新型实施例的第三种导电探针的结构示意图;
图6表示本实用新型实施例中导向部为类圆台形的导电探针的结构示意图;
图7表示本实用新型实施例中导向部为钟形的导电探针的结构示意图;
图8表示本实用新型实施例中导向部为类半球形的导电探针的结构示意图;
图9表示本实用新型实施例图1中Ⅱ位置的局部放大示意图;
图10表示本实用新型实施例的各个导电凸起根部独立分开的结构示意图;
图11表示本实用新型实施例的各个导电凸起根部融为一体的结构示意图;
图12表示本实用新型实施例的第一种弧形结构导电凸起的结构示意图;
图13表示本实用新型实施例的第二种弧形结构导电凸起的结构示意图;
图14表示本实用新型实施例的圆台形结构导电凸起的结构示意图;
图15表示本实用新型实施例的类圆台形结构导电凸起的结构示意图;
图16表示本实用新型实施例的类圆锥形结构导电凸起的结构示意图;
图17表示本实用新型实施例的若干个导电探针阵列排布的结构示意图。
附图标记说明:
探针针套-10,导电针-11,弹性件-12,安装基体-13,限位结构-101,导向部-111,针杆部-112,针头部-113,导电凸起-1131。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
应理解,说明书通篇中提到的“一个实施例”或“一实施例”意味着与实施例有关的特定特征、结构或特性包括在本实用新型的至少一个实施例中。因此,在整个说明书各处出现的“在一个实施例中”或“在一实施例中”未必一定指相同的实施例。此外,这些特定的特征、结构或特性可以任意适合的方式结合在一个或多个实施例中。
参照图1和图2,本实用新型实施例提供了一种导电探针,所述导电探针包括筒状的探针针套10、导电针11和弹性件12;
所述导电针11包括导向部111、针杆部112和针头部113;所述针杆部112的一端与所述导向部111连接,另一端与所述针头部113连接;所述导向部111设置于所述探针针套10内,所述针头部113从所述探针针套10的一端伸出;所述弹性件12连接所述导电针11以使所述导电针11在所述探针针套10内沿所述导电针11的长度方向伸缩;
所述导向部111与所述探针针套10内壁之间设置有间隙,以使所述导电针11进行偏转。
具体而言,本实用新型实施例的导电探针为一种具有较小偏转幅度的探针,可用于光伏电池片这种产品检测环节或中间制备环节中,能够提升导电探针的工作可靠性。下述的实施例中将结合导电探针用于电镀制备电极的过程为例进行说明。
随着光伏电池片企业越来越关注电极成本,以铜材质为电极材料,采用电镀工艺在电池片表面制备形成电极,作为一种可有效降低电极成本的方案受到业内广泛关注。为了改善铜材与电池片表面透明导电薄膜的接触及附着特性,防止电极脱落,需要在电镀之前在透明导电薄膜的表面沉积一层较薄的种子层,其厚度约为100nm,借助粗糙起伏的种子层结构可以增加铜材与透明导电薄膜的附着性能。在此基础上,采用常规的导电探针进行电镀时,导电探针压在种子层上时,有时会偏离焊盘位置,无法与焊盘位置准确接触导电,或者压在种子层上凸点部位,致使接触不良。因而,常规的导电探针难以可靠地与电池片表面形成电接触关系,出现接触不良甚至断路的情况,致使导电探针无法可靠地传导电流而失效的问题。
如图1的示例,本实用新型实施例中的导电探针包括探针针套10、导电针11和弹性件12。探针针套10为一端开口,另一端封闭的空心筒状结构,导电针11的一部分位于探针针套10的空腔内,另一部分从探针针套10的开口部位伸出。弹性件12整体位于探针针套10的空腔内,且一端与导电针11抵接,另一端与探针针套10封闭的一端内壁抵接。
当导电探针未使用时,在弹性件12的弹力作用下,导电针11从探针针套10的开口伸出的尺寸较长。当导电探针处于使用状态时,一旦导电针11受到压力作用,其可以压缩弹性件12,使弹性件12压缩变形,导电针11从探针针套10的开口伸出的尺寸缩短。当作用于导电针11的压力消失,在弹性件12的弹力作用下,导电针11可以自动弹出。可以理解的是,上述的弹性件12可以是弹簧、橡胶或硅胶等具有弹性性能的零件。此外,需要说明的是,本实用新型实施例中,导电针11可采用具有导电性能的金属材质制成,可利用导线或其它导电结构将导电针11与外部电路连接。对于探针针套10和弹性件12的材质,可以是导电材质,也可以是绝缘材质,本实用新型实施例中对此不作限定。
结合图1的示例,导电针11沿轴线方向依次为不同的功能部位,包括导向部111、针杆部112和针头部113。对于金属材质的导电针11而言,在进行机械加工时,可对一根轴杆状零件按设计的工序分别加工形成导向部111、针杆部112和针头部113,针杆部112的一端与导向部111连接,另一端与针头部113连接。当然,另一种制造导电针11的方式可以是将彼此分离孤立的导向部111、针杆部112和针头部113按照上述的位置关系焊接固定在一起。
如图1的示意,导电针11与探针针套10装配时,导向部111位于探针针套10的空腔内,针杆部112穿过探针针套10上另一端的通孔,针头部113露在探针针套10外部。弹性件12夹在探针针套10封闭的一端与导向部111之间。
结合图1和图2的示意,可知,导向部111与探针针套10内壁之间设置的间隙δ1,可以使得导电针11在沿着探针针套10的中心轴线方向伸缩运动时,同时还可以沿垂直于中心轴线方向产生较小幅度的偏转。需要说明的是,从三维空间角度理解,导电针11的摆动轨迹所形成的轮廓近似于锥形空间。
此外,在一些实施例中,导向部111与探针针套10内壁之间设置的间隙δ1,可以介于0.03mm~0.1mm之间。例如,不仅可以为0.03mm、0.1mm,也可以为0.04mm、0.05mm、0.06mm或0.08mm等参数,将间隙δ1设计为该范围区间内,可以使得导向部111相对于探针针套10产生侧向偏转带动针头部113摆动的同时,又能避免针头部113摆动范围过大以致形成意外的偏差。因此,本实用新型实施例的间隙δ1范围,一方面可保证导电针11顺畅地滑动,另一方面也可防止针头部113偏出电池片表面上导电接触点。
因此,本实用新型实施例的导电探针,在导电针缩回时,可相对于探针针套的中心轴线产生微小的偏转角度,该偏转角度的存在,有助于使得针头部在电池片凹凸起伏的表面滑动,可以使得针头部更为准确可靠地滑动嵌入到粗糙不平的种子层的凹坑内,有助于消除接触不良甚至断路的情况,进而可以提升导电探针与电池片表面的电连接可靠性。尤其当导电探针用于电镀制备电极时,可以提升电镀电极的可靠性和质量。
可选地,参照图3,所述探针针套10的内壁设置有限位结构101,所述限位结构101围合形成供所述针杆部112伸缩的通道;
沿所述通道的轴线指向所述针头部113的方向,所述通道的横截面逐渐减小;沿所述针杆部112至所述针头部113的方向,所述导向部111的横截面逐渐减小。
具体而言,如图3的示意,一种实施方式中,探针针套10的内壁设置有限位结构101,限位结构101环绕在探针针套10的内壁,且朝向探针针套10的中心轴线凸出。限位结构101绕中心轴线围合形成供针杆部112伸缩的通道。
结合图3的示意,针杆部112可以穿过限位结构101所形成的通道,针杆部112一端的导向部111位于通道的一侧,针杆部112另一端的针头部113位于通道的另一侧。沿通道的轴线指向针头部113的方向A,通道不同位置的横截面逐渐减小。例如,图3的示意中,a位置的横截面小于b位置的横截面。与之相似,对于安装在探针针套10内的导电针11,沿针杆部112至针头部113的方向(也即方向A),导向部111的横截面逐渐减小。例如,图3的示意中,a位置的横截面小于b位置的横截面。
结合图3的示意,容易理解的是,这种逐渐收缩变窄的限位结构,可通过锥形内壁形成对导向部111起到限位作用,防止弹性件12将导电针11将其从探针针套10内弹出脱落。
可选地,参照图4,所述导向部111的横截面最小处和所述限位结构101的横截面最小处之间的间隙为0.03mm~0.1mm。
具体而言,如图4的示意,一种实施方式中,导向部111的横截面最小处即导向部111最细的部位,限位结构101的横截面最小处即所形成的通道最狭窄处,当针头部113向外伸出时,导向部111逐渐移动至该通道内直至被限位阻挡,此时,导向部111最细的部位和通道最狭窄处处于同一横截面位置,该位置的间隙即前述的间隙δ1。容易理解的是,一旦针头部113向内缩回,导向部111与通道之间的间隙自然会增大,确保其顺利内缩。在图示的横截面最小处则起到限位的同时又可以实现允许的偏转摆动。
可选地,参照图3和图5,所述导电探针上不同横截面所在位置所述导向部111和所述限位结构101之间的间隙相同;或,
沿所述导电探针的轴线指向所述导向部111的方向,所述导向部111和所述限位结构101之间的间隙逐渐增大。
具体而言,一种实施方式中,导向部111和限位结构101之间的各处的间隙可以相同或者不同。示例性地,如图3所示,导电探针上不同横截面所在位置导向部111和限位结构101之间的间隙相同,此时,从纵向(平行于导电探针轴线方向)剖切视图来讲,也即导向部111的夹角与限位结构101的内壁的夹角相同。可以理解的是,这种结构中,不同横截面位置,导向部111和限位结构101的间隙大小均为δ1。
另外,如图5所示,沿导电探针的轴线指向导向部111的方向,导向部111和限位结构101之间的间隙逐渐增大。此时,从纵向剖切视图来讲,也即导向部111的夹角小于限位结构101的内壁夹角。可以理解的是,这种结构中,导向部111最细的部位和通道最狭窄处的间隙为δ1,其它位置的间隙大于δ1。根据图示的对比,可知,当使用图5示意的导电探针时,导电针111内缩的过程更为灵活,侧面空间更大,阻碍更少。
需要说明的是,上述两种间隙设计结构均可以满足导电针偏转的使用要求,可根据所电镀的电池片的规格性能等指标选择使用。
可选地,参照图3、图6至图8,所述导向部111的纵截面为锥形、圆台形、钟形或类半球形。
具体而言,一种实施方式中,导向部111可以为不同的形状构造,如图3的示意,其纵截面可以为锥形。与图3的示意类似,其纵截面可以为圆台形。此外,导向部111的纵截面还可以为类圆台形,类圆台形相较于圆台形,边角过渡更为圆滑,类圆台形的导向部111如图6的示意。如图7的示意,其纵截面还可以为钟形。如图8的示意,其纵截面还可以为类半球形。显然,这些不同形状构造的导向部111均可实现横截面为变截面的设计,以满足限位要求。当然,与之类似的其它变形,亦视为本实用新型实施例所限定的导向部111,对此不再一一赘述说明。
可选地,参照图1和图9,所述探针针套10的一端开设有供所述针杆部112伸出的通孔,所述针杆部112穿设经过所述通孔,所述针杆部112与所述通孔的内壁之间设置有间隙。
具体而言,如图1和图9的示意,一种实施方式中,除了导向部111与探针针套10内壁之间的间隙δ1。在探针针套10的一端开设有供针杆部112伸出的通孔,针杆部112穿设经过通孔,针杆部112与通孔的内壁之间设置有间隙δ2。显然,该间隙δ2与前述导向部111与探针针套10内壁的间隙δ1为不同部位的间隙。两处间隙可以使得导电针11的偏转摆动更为灵活,防止导电针11被限位结构102卡住,可使得针头部113更容易达到设计的偏移量。
可选地,参照图9,所述针杆部112与所述通孔的内壁之间的间隙为0.05mm~0.15mm。
具体而言,一种实施方式中,如图9所示,针杆部112与通孔的内壁之间的间隙δ2。可以介于0.05mm至0.15mm之间。例如,间隙δ2不仅可以为0.05mm、0.15mm,也可以为0.06mm、0.08mm、0.10mm或0.12mm等参数。该位置的间隙δ2可略微大于前述的间隙δ1,以使得针头部113更容易偏转摆动。此外,与前述的间隙δ1类似,间隙δ2既可保证导电针11顺畅地滑动,也可防止针头部113偏出电池片表面上导电接触点。
可选地,参照图1、图10以及图11,所述针头部113的端部具有两个或多个导电凸起1131。
具体而言,一种实施方式中,如图1的示意,针头部113的端部具有两个或多个导电凸起1131。相较于常规的导电探针的平面结构,再加上导向部111与探针针套10内壁之间设置有间隙,可以使得导电针11进行偏转,因此两个或多个导电凸起1131更容易与凹凸起伏粗糙不平的种子层对接,彼此更容易互相嵌在一起,从而可提升电连接的可靠性。并且,两个或多个导电凸起1131还可以形成对应的两个或多个触点,有助于提高电镀质量。需要说明的是,任意一个导电凸起1131的根部即指的是其靠近针杆部112的一端,导电凸起1131的末端指的是其距离针杆部112较远的一端,也即分别为图1示意的导电凸起1131的左侧为其根部,右侧为其端部。对于具有两个或两个以上导电凸起1131的针头部113而言,各个导电凸起1131的根部可以是彼此独立分开的结构,也可以为融合成为一个整体的结构,图10示例性地展示了两个导电凸起1131的根部独立分开的示意,图11示例性地展示了两个导电凸起1131的根部融合的示意。在实际实施中,可根据具体制造工艺要求以及产品使用要求,选择不同构造的针头部113,本实用新型实施例对此不作限定。
可选地,参照图12至图16,所述导电凸起1131为弧形、圆台形或类圆锥形。
具体而言,一种实施方式中,导电凸起1131可以为各种不同的形状构造。为便于展示导电凸起1131的结构形状,图12至图16中以针头部113的一个导电凸起1131为例进行图示。如图12和图13的示意,导电凸起1131可以为弧形,导电凸起1131的端部为圆弧形过渡或具有较为短小的平直过渡部位。如图14的示意,导电凸起1131可以为圆台形,这种导电凸起的纵截面呈等腰梯形,导电凸起1131靠近针杆部112的根部位置为圆台较大的一端,导电凸起1131远离针杆部112的末端位置为圆台较小的一端。当然,在图14基础上,将圆台的过渡部位加工成圆角过渡结构可视为圆台形的一种变形,或可称之为类圆台形,类圆台形的导电凸起1131如图15的示意。如图16的示意,导电凸起1131可以为类圆锥形,这种导电凸起的纵截面近似等腰三角形,导电凸起1131靠近针杆部112的根部位置为类圆锥的底部,导电凸起1131远离针杆部112的末端位置为类圆锥的顶部。需要说明的是,本实用新型实施例所说的类圆锥形指的是在标准圆锥形状的基础上,对顶角部位进行钝化处理,使顶角部位较为圆滑而非尖锐,从而防止导电凸起1131刺破损坏电池片。需要说明的是,类圆锥形的导电凸起1131相较于圆台形的导电凸起1131,更为狭长,能更好地与更细微的种子层适配使用。
此外,结合实施例中对于弧形或圆台形的导电凸起1131的介绍,可知,本实用新型实施例中这些不同形状构造的导电凸起1131,其端部均较为圆滑,在用于电镀电极时,可避免造成电池片的损坏。
可选地,参照图12,所述导电凸起1131为弧形时,从所述针头部113的根部至远离根部的最远端,所述导电凸起1131的曲率逐渐变大。
具体而言,如图12的示意,一种实施方式中,当导电凸起1131为弧形时,无论是在导电凸起1131靠近针头部113中心的内侧,还是远离针头部113中心的外侧,从针头部113的根部至远离根部的最远端,导电凸起1131的曲率逐渐变大。也即,弧线从平缓逐渐趋于陡峭,在最远端以较小半径的圆弧过渡。此外,对于弧形的导电凸起1131,导电凸起1131的内外两侧的曲线形状可以镜像对称,也可以呈非对称形状,例如,外侧的曲线更趋于平缓,内侧的曲线更趋于陡峭。尤其当各个导电凸起1131的根部融合为一体形成如图11示意的结构时,导电凸起1131内侧的曲线轨迹更短,其曲率变化更为急促,导电凸起1131外侧的曲线轨迹更长,其曲率变化更为缓和。
可选地,参照图13,所述导电凸起1131为弧形时,从所述针头部113的根部至远离根部的最远端,所述导电凸起1131的曲率逐渐变大直至为零,所述导电凸起1131的曲率为零的部位形成平面导电部。
具体而言,如图13的示意,一种实施方式中,当导电凸起1131为弧形时,无论是在导电凸起1131靠近针头部113中心的内侧,还是远离针头部113中心的外侧,从针头部113的根部至远离根部的最远端,导电凸起1131的曲率逐渐变大直至为零。这种弧形构造的导电凸起1131,在导电凸起1131最远端曲率为零的部位形成可以形成一块较小的平面导电部,相较于图9示意的弧形导电凸起1131,端部钝化作用更为显著。
可选地,在所述导电针从所述探针针套内伸出的状态下,所述针头部的端部相对于所述探针针套的中心轴线的偏移量为大于0mm且不超过0.10mm。
具体而言,一种实施方式中,当导向部111与探针针套10内壁之间设置间隙δ1之后,根据对导电探针使用状态时的模拟分析,在导电针11从探针针套10内伸出的状态下,针头部113的端部相对于探针针套10的中心轴线的偏移量为大于0mm且不超过0.10mm。因此,针头部113可以形成微小幅度的偏移,该偏移量也小于为电镀工艺所设计的焊盘的直径或待电镀区域栅线的宽度。因而,当在种子层上进行电镀时,针头部113可在种子层表面产生不超过0.10mm的滑移量,该滑移量相较于种子层表面凹凸起伏的微观结构而言,足以使针头部113嵌入在下凹的凹坑内与种子层可靠性地接触。
可选地,参照图17,所述导电探针还包括安装基体13;
多个所述探针针套10在所述安装基体13上按M行×N列矩阵形状排布,其中,M≥2,N≥8。
具体而言,一种实施方式中,如图17的示意,前述的导电探针还可以包括安装基体13,安装基体13可以是金属材质或非金属的尼龙材质,安装基体13可以为一立方体状的底座,多个探针针套10同时固定在安装基体13上,且按M行×N列矩阵形状排布,其中,M≥2,N≥8。这种导电探针可作为一标准化模块与电镀设备装配连接,根据M和N的不同组合得到所设计的电极图案。
需要说明的是,在本文中,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。
上面结合附图对本实用新型的实施例进行了描述,但是本实用新型并不局限于上述的具体实施方式,上述的具体实施方式仅仅是示意性的,而不是限制性的,本领域的普通技术人员在本实用新型的启示下,在不脱离本实用新型宗旨和权利要求所保护的范围情况下,还可做出很多形式,均属于本实用新型的保护之内。
Claims (14)
1.一种导电探针,其特征在于,所述导电探针包括筒状的探针针套、导电针和弹性件;
所述导电针包括导向部、针杆部和针头部;所述针杆部的一端与所述导向部连接,另一端与所述针头部连接;所述导向部设置于所述探针针套内,所述针头部从所述探针针套的一端伸出;所述弹性件连接所述导电针以使所述导电针在所述探针针套内沿所述导电针的长度方向伸缩;
所述导向部与所述探针针套内壁之间设置有间隙,以使所述导电针进行偏转。
2.根据权利要求1所述的导电探针,其特征在于,所述导向部与所述探针针套内壁之间间隙为0.03mm~0.1mm。
3.根据权利要求1所述的导电探针,其特征在于,所述探针针套的内壁设置有限位结构,所述限位结构围合形成供所述针杆部伸缩的通道;
沿所述通道的轴线指向所述针头部的方向,所述通道的横截面逐渐减小;沿所述针杆部至所述针头部的方向,所述导向部的横截面逐渐减小。
4.根据权利要求3所述的导电探针,其特征在于,所述导向部的横截面积最小处和所述限位结构的横截面积最小处之间的间隙为0.03mm~0.1mm。
5.根据权利要求3所述的导电探针,其特征在于,所述导电探针上不同横截面所在位置所述导向部和所述限位结构之间的间隙相同;或,
沿所述导电探针的轴线指向所述导向部的方向,所述导向部和所述限位结构之间的间隙逐渐增大。
6.根据权利要求3所述的导电探针,其特征在于,所述导向部的纵截面为锥形、圆台形、钟形或类半球形。
7.根据权利要求1所述的导电探针,其特征在于,所述探针针套的一端开设有供所述针杆部伸出的通孔,所述针杆部穿设经过所述通孔,所述针杆部与所述通孔的内壁之间设置有间隙。
8.根据权利要求7所述的导电探针,其特征在于,所述针杆部与所述通孔的内壁之间的间隙为0.05mm~0.15mm。
9.根据权利要求1所述的导电探针,其特征在于,所述针头部的端部具有两个或多个导电凸起。
10.根据权利要求9所述的导电探针,其特征在于,所述导电凸起为弧形、圆台形或类圆锥形。
11.根据权利要求10所述的导电探针,其特征在于,所述导电凸起为弧形时,从所述针头部的根部至远离根部的最远端,所述导电凸起的曲率逐渐变大。
12.根据权利要求10所述的导电探针,其特征在于,所述导电凸起为弧形时,从所述针头部的根部至远离根部的最远端,所述导电凸起的曲率逐渐变大直至为零,所述导电凸起的曲率为零的部位形成平面导电部。
13.根据权利要求1所述的导电探针,其特征在于,在所述导电针从所述探针针套内伸出的状态下,所述针头部的端部相对于所述探针针套的中心轴线的偏移量为大于0mm且不超过0.10mm。
14.根据权利要求1至13任一项所述的导电探针,其特征在于,所述导电探针还包括安装基体;
多个所述探针针套在所述安装基体上按M行×N列矩阵形状排布,其中,M≥2,N≥8。
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JP4486880B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2010-06-23 | 日本電子材料株式会社 | コンタクトプローブ |
WO2011058646A1 (ja) * | 2009-11-13 | 2011-05-19 | テスト ツーリング ソリューションズ グループ ピイ ティ イー リミテッド | プローブピン |
CN102288886A (zh) * | 2011-04-26 | 2011-12-21 | 江苏正信新能源科技集团有限公司 | 电池片电性能快速检测装置 |
JP5611266B2 (ja) * | 2012-04-16 | 2014-10-22 | センサータ テクノロジーズ マサチューセッツ インコーポレーテッド | プローブピンおよびそれを用いたソケット |
US20160216294A1 (en) * | 2015-01-27 | 2016-07-28 | Kurt F. Kaashoek | Electrical Spring Probe with Stabilization |
CN106706974B (zh) * | 2016-12-23 | 2019-07-23 | 深圳市瑞能实业股份有限公司 | 一种低阻抗接触导电测试电极 |
CN107942109A (zh) * | 2017-12-21 | 2018-04-20 | 东莞市燊瑞电子科技有限公司 | 一种用于传输高频信号的测试针 |
JP2019124566A (ja) * | 2018-01-16 | 2019-07-25 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JPWO2019221076A1 (ja) * | 2018-05-14 | 2021-05-27 | Wit株式会社 | 検査治具、プローブ交換システム |
CN208225845U (zh) * | 2018-05-28 | 2018-12-11 | 韩华新能源(启东)有限公司 | 太阳能电池片测试探针 |
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Cited By (1)
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