CN219085935U - 一种to芯片拔吸收脚机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种TO芯片拔吸收脚机构，属于半导体制备技术领域，包括：起拔组件，吸拔组件以及收脚组件；其中，起拔组件，吸拔组件以及收脚组件相连以构成整体结构；收脚组件包括：收脚气缸，与收脚气缸相连的连接件，以及与连接件相连的收脚管；其中，收脚管为中空管状结构，其中空部分为收脚孔；收脚孔为锥形。本实用新型通过设置起拔组件，吸拔组件以及收脚组件，通过设置在收脚管中设置锥形的收脚孔，解决了人工夹取芯片效率低以及芯片不便于包装盒运输的技术问题，实现了自动化夹取芯片后进行收脚方便运输的技术效果。

Description

一种TO芯片拔吸收脚机构

技术领域

本实用新型涉及半导体制备技术领域，具体涉及一种TO芯片拔吸收脚机构。

背景技术

芯片(半导体元件产品的统称)集成电路在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。

在生产TO芯片过程中，需将经过老化测试后的TO芯片从老化板中拔出，现有技术中，通常是人工通过镊子夹取芯片管帽位置拔出，这种方式不仅效率低，同时劳动强度大。另外，TO芯片的结构中通常包括引脚，引脚张开的TO芯片十分不便于包装和运输。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供了一种TO芯片拔吸收脚机构，用于将TO芯片拔出后进行收脚，包括：

起拔组件，吸拔组件以及收脚组件；

其中，所述起拔组件，吸拔组件以及收脚组件相连以构成整体结构；

所述收脚组件包括：收脚气缸，与所述收脚气缸相连的连接件，以及与所述连接件相连的收脚管；

其中，所述收脚管为中空管状结构，其中空部分为收脚孔；

所述收脚孔为锥形。

可选地，所述起拔组件包括：

两组相对设置的拔起销，平行气缸，以及将平行气缸的夹爪与拔起销相连的连接板。

可选地，所述吸拔组件设于所述起拔组件的上方，包括：

电机，与所述电机的输出轴相连的齿轮相连的齿轮，与所述齿轮相适配的齿条，设于所述齿条底部的吸嘴；

其中，所述吸嘴位于所述拔起销的上方。

可选地，所述收脚气缸倾斜设置，所述连接件为L形且一端水平延伸的结构；

其中，所述连接件水平延伸的一端与所述收脚管相连。

可选地，所述平行气缸的夹爪与所述拔起销平行设置。

可选地，所述连接板为L形结构，所述连接板与拔起销垂直相连。

可选地，所述吸拔组件还包括：

滑轨，以及与所述滑轨滑动连接的滑块；

其中，所述滑轨与齿条相连，所述滑块固定后用于辅助滑轨进行位移。

通过采用上述技术方案，本实用新型主要具有以下技术效果：

通过设置起拔组件，吸拔组件以及收脚组件，通过设置在收脚管中设置锥形的收脚孔，解决了人工夹取芯片效率低以及芯片不便于包装和运输的技术问题，实现了自动化夹取芯片后进行收脚方便运输的技术效果。

附图说明

图1为本实用新型一种TO芯片拔吸收脚机构的结构示意图；

图2为本实用新型一种TO芯片拔吸收脚机构(隐藏部分零部件)的结构示意图；

图3为本实用新型一种TO芯片拔吸收脚机构(隐藏部分零部件)的结构示意图；

图4为本实用新型一种TO芯片拔吸收脚机构中收脚组件的结构示意图。

其中，附图标记的含义如下：

1、起拔组件；11、拔起销；12、平行气缸；13、连接板；

2、吸拔组件；21、电机；22、齿轮；23、齿条；24、吸嘴；25、滑轨；26、滑块；

3、收脚组件；31、收脚气缸；32、连接件；33、收脚管；331、收脚孔；

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面将结合本实用新型中的说明书附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本实用新型的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

请参阅图1-图4，本实用新型提供了一种TO芯片拔吸收脚机构，所述TO芯片拔吸收脚机构在实际应用时，为将TO芯片从老化板中拔出后进行收脚，其包括起拔组件1，吸拔组件2以及收脚组件3，其中，所述起拔组件1，吸拔组件2以及收脚组件3相连以构成一整体结构。

进一步地，所述起拔组件1用于将TO芯片从老化板中拔出，其包括两组相对设置的拔起销11，平行气缸12，以及将平行气缸12的夹爪与拔起销11相连的连接板13。

可以理解的是，平行气缸12可通过夹爪的闭合或张开，起到夹取或抓取工件的作用(又名手指气缸或气动手指：利用压缩空气作为动力，用来夹取或抓取工件的执行装置)。

进一步地，所述连接板13为L形结构，其中，所述连接板13的竖直部分与平行气缸12的夹爪相连，所述连接板13的垂直部分与拔起销11垂直相连，从而将平行气缸12的夹爪与拔起销11平行设置，通过传动两组拔起销11张开后闭合的方式，起到夹取TO芯片的作用。

可以理解的是，所述起拔组件1起拔TO芯片的过程为，所述起拔组件1，吸拔组件2以及收脚组件3的整体结构向下移动至两组拔起销11分别位于TO芯片的两端，然后平行气缸12传动两组拔起销11闭合夹持TO芯片，最后所述起拔组件1，吸拔组件2以及收脚组件3的整体结构向上运动，将TO芯片夹取。

进一步地，所述吸拔组件2设于所述起拔组件1的上方，包括电机21，与所述电机21输出轴相连的齿轮相连的齿轮22，与所述齿轮22相适配的齿条23，设于所述齿条上的吸嘴24。其中，通过将所述电机21固定以后，通过传动齿轮22旋转，即可传动齿条23进行位移，进而传动设于所述齿条23底部的吸嘴24进行位移。

可以理解的是，所述吸嘴24可以是真空吸盘等利用真空负压来“吸附”工件以达到夹持工件的目的真空吊具。

进一步地，所述吸嘴24位于拔起销11的正上方，所述拔起销11将TO芯片夹取以后，电机21工作，传动齿条23向下运动至吸嘴24与TO芯片相抵接，随即吸嘴24开启真空，将TO芯片进行吸附。

进一步地，当吸嘴24将TO芯片吸附以后，所述平行气缸12传动两组拔起销11张开松开TO芯片，随即电机21工作，传动齿条23向上运动，从而起到负载TO芯片向上运动的作用。

在一个优选地实施方式中，所述吸拔组件2还包括滑轨25，以及与所述滑轨25滑动连接的滑块26，其中，所述滑轨25与齿条23相连，所述滑块26固定后用于辅助滑轨25进行位移，从而增强所述齿条23在运动时的流畅性。

所述收脚组件3用于将TO芯片的引脚进行并拢，其包括收脚气缸31，与所述收脚气缸31相连的连接件32，以及与所述连接件32相连的收脚管33。其中，所述收脚气缸31的活塞杆与连接件32相连，用于传动所述收脚管33进行位移，从而起到将所述收脚管33传动至TO芯片下方的作用。

进一步地，所述收脚管33为中空管状结构，其中空部分为收脚孔331，其中，所述收脚孔331为上宽下窄的锥形。

可以理解的是，电机传动齿条23负载TO芯片向上运动后，所述收脚气缸31开始工作，传动所述收脚管33进行位移至TO芯片的正下方。通过将收脚孔331设计为上宽下窄的锥形，所述电机21传动齿条23向下运动时，首先是TO芯片的引脚进入收脚孔331中，随即电机21传动TO芯片继续向下运动，利用锥形的收脚孔331将TO芯片的引脚并拢。

在一个优选地实施方式中，所述收脚气缸31倾斜设置，所述连接件32为L形且一端水平延伸的结构，其中，所述连接件水平延伸的一端与收脚管33相连，从而起到确保所述收脚气缸31的活塞杆在工作时，所述收脚管33能够保持水平的作用，从而将TO芯片的引脚进行并拢。

可以理解的是，可通过将所述起拔组件1，吸拔组件2以及收脚组件3的数量同时设置为两组的方式，同时进行工作，以提升工作效率。

最后应说明的是：本实用新型实施例公开的仅为本实用新型较佳实施例而已，仅用于说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解；其依然可以对前述各项实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或替换，并不使相应的技术方案的本质脱离本实用新型各项实施例技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种TO芯片拔吸收脚机构，用于将TO芯片拔出后进行收脚，其特征在于，包括：

起拔组件，吸拔组件以及收脚组件；

其中，所述起拔组件，吸拔组件以及收脚组件相连以构成整体结构；

所述收脚组件包括：收脚气缸，与所述收脚气缸相连的连接件，以及与所述连接件相连的收脚管；

其中，所述收脚管为中空管状结构，其中空部分为收脚孔；

所述收脚孔为锥形。

2.根据权利要求1所述的一种TO芯片拔吸收脚机构，其特征在于，所述起拔组件包括：

两组相对设置的拔起销，平行气缸，以及将平行气缸的夹爪与拔起销相连的连接板。

3.根据权利要求2所述的一种TO芯片拔吸收脚机构，其特征在于，所述吸拔组件设于所述起拔组件的上方，包括：

电机，与所述电机的输出轴相连的齿轮相连的齿轮，与所述齿轮相适配的齿条，设于所述齿条底部的吸嘴；

其中，所述吸嘴位于所述拔起销的上方。

4.根据权利要求1所述的一种TO芯片拔吸收脚机构，其特征在于，所述收脚气缸倾斜设置，所述连接件为L形且一端水平延伸的结构；

其中，所述连接件水平延伸的一端与所述收脚管相连。

5.根据权利要求2所述的一种TO芯片拔吸收脚机构，其特征在于，所述平行气缸的夹爪与所述拔起销平行设置。

6.根据权利要求5所述的一种TO芯片拔吸收脚机构，其特征在于，所述连接板为L形结构，所述连接板与拔起销垂直相连。

7.根据权利要求3所述的一种TO芯片拔吸收脚机构，其特征在于，所述吸拔组件还包括：

滑轨，以及与所述滑轨滑动连接的滑块；

其中，所述滑轨与齿条相连，所述滑块固定后用于辅助滑轨进行位移。

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