CN218743483U - 一种全自动单片清洗机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种全自动单片清洗机，属于单片清洗机技术领域，包括柜体，其顶端安装有水箱，内部顶面固定有第一轴承和驱动电机并设有移动板和直板，所述第一轴承连接有螺杆，所述螺杆上固定有第一齿轮并与所述移动板螺纹连接，所述移动板底端通过两根直杆固定有两个喷头，所述直板顶端固定有防护箱并通过两个第二轴承连接有两根转轴，所述转轴上固定有第一斜面齿轮并且另一端固定有转盘，所述防护箱两侧均开有槽口，内部设有双轴电机，所述双轴电机两输出端均通过所述圆杆固定有第二斜面齿轮，所述驱动电机输出端连接有第二齿轮；使用该清洗机，所述喷头能够自由移动，对不同尺寸的晶圆片均能进行彻底清洗，满足了企业多样化清洗要求。
Description
技术领域
本实用新型涉及单片清洗机技术领域，特别涉及一种全自动单片清洗机。
背景技术
在半导体加工过程中，晶圆表面的清洁度是影响半导体器件可靠性的重要因素之一，而半导体晶圆片加工时，沉积、等离子体刻蚀、旋涂光刻胶、光刻、电镀等都有可能会导致晶圆表面引入污染或颗粒，导致晶圆表面的清洁度下降，使得制造的半导体器件良率低，因此加工结束后需要利用清洁机对晶圆片进行清洗。
现有的单片清洗机中喷头多为固定设置，无法移动，导致无法对不同尺寸的晶圆片进行彻底清洗，因此亟需设计一种新型的全自动单片清洗机来解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种全自动单片清洗机，以解决现有的单片清洗机中喷头无法移动从而导致无法对不同尺寸晶圆片进行彻底清洗的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种全自动单片清洗机，包括柜体，所述柜体顶端安装有水箱，侧面固定有控制器，内部顶面固定有第一轴承并设有移动板，内部两侧通过连接杆固定有直板，所述水箱与所述柜体通过水管连接，所述第一轴承连接有螺杆，所述螺杆上固定有第一齿轮并与所述移动板螺纹连接，所述移动板底端通过两根直杆固定有两个位置相对的喷头，所述直板顶端固定有两个第二轴承与防护箱，两个所述第二轴承均连接有转轴，所述转轴上固定有第一斜面齿轮并且另一端固定有转盘，所述防护箱两侧均开有槽口，内部设有双轴电机，所述双轴电机两输出端均穿过所述槽口并通过所述圆杆固定有与所述第一斜面齿轮啮合传动的第二斜面齿轮；
所述柜体内部顶面固定有驱动电机，其输出端连接有与所述第一齿轮啮合传动的第二齿轮；
所述双轴电机与所述驱动电机均与所述控制器电连接。
可选的，所述柜体内部两侧壁均开有滑槽，所述移动板两侧均固定有位于所述滑槽中的滑块。
可选的，所述柜体底端侧面连接有排水管，所述水管与所述排水管上分别设有第一阀门与第二阀门。
可选的，所述柜体侧面还转动安装有柜门，所述柜门上固定有把手。
可选的，所述螺杆另一端固定有挡块。
在本实用新型提供的一种全自动单片清洗机中，包括柜体，其顶端安装有水箱，内部顶面固定有第一轴承和驱动电机并设有移动板和直板，所述第一轴承连接有螺杆，所述螺杆上固定有第一齿轮并与所述移动板螺纹连接，所述移动板底端通过两根直杆固定有两个喷头，所述直板顶端固定有防护箱并通过两个第二轴承连接有两根转轴，所述转轴上固定有第一斜面齿轮并且另一端固定有转盘，所述防护箱两侧均开有槽口，内部设有双轴电机，所述双轴电机两输出端均通过所述圆杆固定有第二斜面齿轮，所述驱动电机输出端连接有第二齿轮；使用该清洗机，所述喷头能够自由移动，对不同尺寸的晶圆片均能进行彻底清洗，满足了企业多样化清洗要求。
附图说明
图1是本实用新型提供的全自动单片清洗机立体图；
图2是本实用新型提供的全自动单片清洗机结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
需要说明的是，当组件被称为“固定于”另一个组件，它可以直接在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“连接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
本实用新型提供了一种全自动单片清洗机，其结构如图1与图2所示，包括柜体1，所述柜体1顶端安装有水箱2，侧面固定有控制器3，内部顶面固定有第一轴承5并设有移动板4，内部两侧通过连接杆6固定有直板7，所述水箱2与所述柜体1通过水管21连接，所述第一轴承5连接有螺杆8，所述螺杆8上固定有第一齿轮9并与所述移动板4螺纹连接，所述移动板4底端通过两根直杆10固定有两个位置相对的喷头11，所述喷头11与所述水管21通过软管连接，所述直板7顶端固定有两个第二轴承12与防护箱13，两个所述第二轴承12均连接有转轴14，所述转轴14上固定有第一斜面齿轮16并且另一端固定有转盘15，所述防护箱13两侧均开有槽口17，内部设有双轴电机18，所述双轴电机18两输出端均穿过所述槽口17并通过所述圆杆19固定有与所述第一斜面齿轮16啮合传动的第二斜面齿轮20，所述防护箱13用于防水避免所述双轴电机18进水而损坏；所述柜体1内部顶面固定有驱动电机23，其输出端连接有与所述第一齿轮9啮合传动的第二齿轮24，所述双轴电机18与所述驱动电机23均与所述控制器3电连接，通过所述驱动电机23输出端带动所述第二齿轮24与所述第一齿轮9啮合传动以及所述双轴电机18两输出端均带动所述第二斜面齿轮20与所述第一斜面齿轮16啮合传动，使得两个所述转盘15转动并且所述螺杆8转动来驱动所述移动板4带动所述喷头11上下移动。使用所述全自动单片清洗机，所述喷头11能够自由上下移动，对不同尺寸的晶圆片均能进行彻底清洗，满足了企业多样化清洗要求。
所述柜体1内部两侧壁均开有滑槽27，所述移动板4两侧均固定有位于所述滑槽27中的滑块28，使得所述移动板4始终水平上下移动不会发生倾斜；所述柜体1底端侧面连接有排水管22，所述水管21与所述排水管22上分别设有第一阀门25与第二阀门26，用于控制进水量与出水量；所述柜体1侧面还转动安装有柜门30，所述柜门30上固定有把手31；所述螺杆8另一端固定有挡块29，避免所述移动板4与所述螺杆8脱离连接。
使用时，首先将晶圆片放置在所述转盘15上，然后启动所述驱动电机23与所述双轴电机18，所述驱动电机23输出端带动所述第二齿轮24与所述第一齿轮9啮合传动以及所述双轴电机18两输出端均带动所述第二斜面齿轮20与所述第一斜面齿轮16啮合传动，这时两个所述转盘15带动该晶圆片转动，并且所述螺杆8转动来驱动所述移动板4带动所述喷头11上下移动至合适的位置进行喷水清洗，满足了企业多样化清洗要求。
上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
Claims (5)
1.一种全自动单片清洗机，包括柜体(1)，其特征在于，所述柜体(1)顶端安装有水箱(2)，侧面固定有控制器(3)，内部顶面固定有第一轴承(5)并设有移动板(4)，内部两侧通过连接杆(6)固定有直板(7)，所述水箱(2)与所述柜体(1)通过水管(21)连接，所述第一轴承(5)连接有螺杆(8)，所述螺杆(8)上固定有第一齿轮(9)并与所述移动板(4)螺纹连接，所述移动板(4)底端通过两根直杆(10)固定有两个位置相对的喷头(11)，所述直板(7)顶端固定有两个第二轴承(12)与防护箱(13)，两个所述第二轴承(12)均连接有转轴(14)，所述转轴(14)上固定有第一斜面齿轮(16)并且另一端固定有转盘(15)，所述防护箱(13)两侧均开有槽口(17)，内部设有双轴电机(18)，所述双轴电机(18)两输出端均穿过所述槽口(17)并通过圆杆(19)固定有与所述第一斜面齿轮(16)啮合传动的第二斜面齿轮(20)；
所述柜体(1)内部顶面固定有驱动电机(23)，其输出端连接有与所述第一齿轮(9)啮合传动的第二齿轮(24)；
所述双轴电机(18)与所述驱动电机(23)均与所述控制器(3)电连接。
2.如权利要求1所述的全自动单片清洗机，其特征在于，所述柜体(1)内部两侧壁均开有滑槽(27)，所述移动板(4)两侧均固定有位于所述滑槽(27)中的滑块(28)。
3.如权利要求1所述的全自动单片清洗机，其特征在于，所述柜体(1)底端侧面连接有排水管(22)，所述水管(21)与所述排水管(22)上分别设有第一阀门(25)与第二阀门(26)。
4.如权利要求1所述的全自动单片清洗机，其特征在于，所述柜体(1)侧面还转动安装有柜门(30)，所述柜门(30)上固定有把手(31)。
5.如权利要求1所述的全自动单片清洗机，其特征在于，所述螺杆(8)另一端固定有挡块(29)。
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| CN202222856031.XU CN218743483U (zh) | 2022-10-28 | 2022-10-28 | 一种全自动单片清洗机 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116759345A (zh) * | 2023-08-14 | 2023-09-15 | 江苏晶工半导体设备有限公司 | 一种具有独立喷淋清洗功能的晶圆单片清洗装置 |
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2022
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| CN116759345A (zh) * | 2023-08-14 | 2023-09-15 | 江苏晶工半导体设备有限公司 | 一种具有独立喷淋清洗功能的晶圆单片清洗装置 |
| CN116759345B (zh) * | 2023-08-14 | 2023-10-27 | 江苏晶工半导体设备有限公司 | 一种具有独立喷淋清洗功能的晶圆单片清洗装置 |
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