CN218459834U - 一种新型切片机用喷嘴 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型切片机用喷嘴，包括喷嘴主体、喷嘴内管以及宽度固定件；喷嘴内管的内部设有储液腔，储液腔的一端连通供液管路，喷嘴内管的下表面设有第一出液孔；喷嘴主体的内部设有容纳腔，喷嘴内管位于容纳腔内；喷嘴主体的上表面设有第二出液孔；宽度固定件固定于喷嘴主体上，宽度固定件的下表面设有进液孔，上表面设有喷孔。本实用新型将喷嘴固定挡条改进为结构稳定的宽度固定件，可以有效避免挡条变形的情况发生，从而使喷嘴喷出瀑幕宽度固定，同时结合第一出液孔、第二出液孔、进液孔和喷孔设计，使各部位砂浆瀑幕分布均匀，从而得到数据更好的切片结果，对于提高晶圆切片品质具有重要的技术价值。
Description
技术领域
本实用新型属于硅片加工技术领域，具体涉及一种新型切片机用喷嘴。
背景技术
目前硅晶圆片的制造流程基本为：单晶硅棒初加工(切断，滚磨)，黏着，切片，研磨，倒角，蚀刻，背面处理，抛光，清洗等。切片作为晶片成型的第二制程站，发挥着举足轻重的作用，没有切片就没有后续其他制程站的生产，切片生产的原理为：线切割机所使用的钢线，系由送线导轮开始缠绕，经过小导轮并绕过主导轮带动切削液进行往复运动，从而达到切片所需的目标厚度，所以切片主要是靠钢线带动切削液进行往复运动实现切割的，而切削液如何喷洒、喷洒方向、位置、大小起着关键的作用；
在实际切片生产过程中，一组设计良好的喷嘴可以保证砂浆流量、砂浆瀑幕、砂浆喷出宽度、砂浆喷射方向完好无误的达到设定目标，既完成切割动作，也能很好的带走切片过程中产生的热量，从而达到快速有效的生产，但是由于现有技术中喷嘴设计结构体系不够完善，现有技术中喷嘴由喷嘴内管、喷嘴主体与固定挡条组成，喷嘴内管置于喷嘴主体中，喷嘴主体喷孔处设有固定挡条，靠固定挡条形成瀑幕，在生产过程中容易出现喷嘴瀑幕不完整、喷嘴挡条容易变形且易从挡条位置发生漏液等异常，导致晶片表面有严重线痕状况，对后段加工与制程良率影响较大；
因此对于喷嘴进行进一步的改进，使其喷洒稳定、便于清洁、不易变形对于提高晶圆切片品质具有重要的技术价值。
实用新型内容
本实用新型的目的就在于为解决现有技术的不足而提供一种新型切片机用喷嘴。
本实用新型的目的是以下述技术方案实现的：
一种新型切片机用喷嘴，包括喷嘴主体、喷嘴内管以及宽度固定件；
所述喷嘴内管的内部设有用于储存切削液的储液腔，所述储液腔的一端连通供液管路，所述喷嘴内管的下表面设有与所述储液腔连通的第一出液孔；
所述喷嘴主体的内部设有用于容纳所述喷嘴内管的容纳腔，所述喷嘴内管位于所述容纳腔内；所述喷嘴主体的上表面设有与所述容纳腔连通的第二出液孔；
所述宽度固定件固定于所述喷嘴主体上，所述宽度固定件的下表面设有与所述第二出液孔位置相对应的进液孔，上表面设有与所述进液孔连通的喷孔；
当所述喷嘴使用时，切削液从所述供液管路输送至所述喷嘴内管的储液腔，经所述第一出液孔充满整个容纳腔，然后经所述第二出液孔、所述进液孔输送至所述宽度固定件，最后从所述喷孔以设定喷孔宽度喷出。
优选的，所述宽度固定件与所述喷嘴主体之间设有用于防止漏液的密封圈。
优选的，所述喷嘴主体的容纳腔的一端设有定位凹槽，所述喷嘴内管的一端设有与所述定位凹槽相对应的定位梢，通过所述定位梢与所述定位凹槽的配合将所述喷嘴内管与所述喷嘴主体连接固定。
优选的，所述喷嘴内管和喷嘴主体之间还通过螺丝固定连接。
优选的，所述容纳腔和所述储液腔的左右两端均开口设置，其中一端开口供所述供液管路穿过，另一端开口设有用于防止漏液的密封堵头。
优选的，所述容纳腔和所述储液腔与所述供液管路连接处设有密封件。
优选的，所述宽度固定件的横截面为梯形。
优选的，所述宽度固定件与所述喷嘴主体通过螺丝固定连接。
优选的，所述喷孔为长条形。
本实用新型与现有技术相比，将喷嘴固定挡条改进为结构稳定的宽度固定件，可以有效避免挡条变形的情况发生，从而使喷嘴喷出瀑幕宽度固定，同时结合第一出液孔、第二出液孔、进液孔和喷孔设计，使各部位砂浆瀑幕分布均匀，从而得到数据更好的切片结果，对于提高晶圆切片品质具有重要的技术价值。
附图说明
图1是本实用新型提供喷嘴的结构示意图；
图2是图1的爆炸结构示意图；
图3是图1的另一视角的爆炸结构示意图；
1-喷嘴主体；2-喷嘴内管；3-宽度固定件；4-密封圈；5-密封堵头；6-第一出液孔；7-进液孔；8-喷孔；9-定位凹槽。
具体实施方式
本实用新型提供了一种新型切片机用喷嘴，如图1～3所示，包括喷嘴主体1、喷嘴内管2以及宽度固定件3；
喷嘴内管2的内部设有用于储存切削液的储液腔，储液腔的一端连通供液管路，喷嘴内管的下表面设有与储液腔连通的第一出液孔6；切削液通过供液管路向储液腔输送，然后通过第一出液孔6流出；
喷嘴主体1的内部设有用于容纳喷嘴内管2的容纳腔，喷嘴内管2位于容纳腔内；喷嘴主体1的上表面设有与容纳腔连通的第二出液孔；切削液通过第一出液孔流出至容纳腔内，由于第二出液孔位于上表面，因此切削液首先充满整个容纳腔然后从第二出液孔向上流出，该设置可使切削液均匀流动，防止出现断流、死角；
宽度固定件3固定于喷嘴主体1上，宽度固定件3的下表面设有与第二出液孔位置相对应的进液孔7，上表面设有与进液孔7连通的喷孔8；切削液从第二出液孔流出后，经进液孔7流向宽度固定件内，然后经喷孔8以固定宽度均匀向上喷出。喷孔8可根据实际生产需要设定形状和宽度，优选为长条形，使切削液以固定宽度的长瀑幕均匀向上喷出。
本实用新型使用时，切削液首先从供液管路输送至喷嘴内管的储液腔，经第一出液孔充满整个容纳腔，然后经第二出液孔、进液孔输送至宽度固定件，最后从喷孔以设定喷孔宽度均匀喷出，将切削液砂浆导向至切片机线网上，经过钢线带动切割后至回收槽，再由回收槽抽入砂浆罐，然后经供液管路再输送至喷嘴内管，形成机台切削液砂浆自循环。
本实用新型与现有技术相比，将喷嘴固定挡条改进为结构稳定的宽度固定件，可以有效避免挡条变形的情况发生，从而使喷嘴喷出瀑幕宽度固定，同时结合第一出液孔、第二出液孔、进液孔和喷孔设计，使各部位砂浆瀑幕分布均匀，从而得到数据更好的切片结果，对于提高晶圆切片品质具有重要的技术价值。
优选的，宽度固定件3与喷嘴主体1之间设有用于防止漏液的密封圈3，使连接位置不易发生由于漏液，进一步防止钢线瀑幕出现断流，减少由此引起的切痕瑕疵。
优选的，喷嘴主体1的容纳腔的一端设有定位凹槽9，喷嘴内管2的一端设有与定位凹槽相对应的定位梢，通过定位梢与定位凹槽的配合将喷嘴内管与喷嘴主体连接固定，进一步优选在喷嘴主体和喷嘴内管之间设有固定螺丝，进一步加强两者连接，保证切削液喷涌过程中内管位置不会发生位移。
优选的，容纳腔和储液腔的左右两端均开口设置，其中一端开口供供液管路穿过，另一端开口设有用于防止漏液的密封堵头5。该开口设置方便供液管路和喷嘴内管的连接，以及方便喷嘴内管置于喷嘴主体内部。供液管路和喷嘴内管、喷管主体连接固定后，再使用密封堵头将另一端密封堵塞，防止漏液，同时改变切削液喷涌方向至宽度固定件位置。
进一步优选的，在容纳腔和储液腔与供液管路连接处设有密封件，进一步加强密封，防止切削液从该连接位置漏出。
优选的，宽度固定件的横截面为梯形，使得每次清洁更加方便与快速，且清理更加干净彻底，从而也可延展机台喷嘴使用寿命。
优选的，宽度固定件与喷嘴主体通过8颗螺丝(分别位于左右两侧)固定连接。
使用本实用新型图1～3所示的喷嘴，晶圆的切片不良率由改进前的0.118％降低为0.04％，因此，本申请所提供的新型切削液砂浆喷嘴在晶圆加工制造、尤其是晶圆切片工序中具有较好的实用价值和技术改进意义。
尽管已描述了本实用新型的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本实用新型范围的所有变更和修改。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (9)
1.一种新型切片机用喷嘴，其特征在于，包括喷嘴主体、喷嘴内管以及宽度固定件；
所述喷嘴内管的内部设有用于储存切削液的储液腔，所述储液腔的一端连通供液管路，所述喷嘴内管的下表面设有与所述储液腔连通的第一出液孔；
所述喷嘴主体的内部设有用于容纳所述喷嘴内管的容纳腔，所述喷嘴内管位于所述容纳腔内；所述喷嘴主体的上表面设有与所述容纳腔连通的第二出液孔；
所述宽度固定件固定于所述喷嘴主体上，所述宽度固定件的下表面设有与所述第二出液孔位置相对应的进液孔，上表面设有与所述进液孔连通的喷孔；
当所述喷嘴使用时，切削液从所述供液管路输送至所述喷嘴内管的储液腔，经所述第一出液孔充满整个容纳腔，然后经所述第二出液孔、所述进液孔输送至所述宽度固定件，最后从所述喷孔以设定喷孔宽度喷出。
2.如权利要求1所述的新型切片机用喷嘴，其特征在于，
所述宽度固定件与所述喷嘴主体之间设有用于防止漏液的密封圈。
3.如权利要求1所述的新型切片机用喷嘴，其特征在于，
所述喷嘴主体的容纳腔的一端设有定位凹槽，所述喷嘴内管的一端设有与所述定位凹槽相对应的定位梢，通过所述定位梢与所述定位凹槽的配合将所述喷嘴内管与所述喷嘴主体连接固定。
4.如权利要求1所述的新型切片机用喷嘴，其特征在于，
所述喷嘴内管和喷嘴主体之间还通过螺丝固定连接。
5.如权利要求1所述的新型切片机用喷嘴，其特征在于，
所述容纳腔和所述储液腔的左右两端均开口设置，其中一端开口供所述供液管路穿过，另一端开口设有用于防止漏液的密封堵头。
6.如权利要求5所述的新型切片机用喷嘴，其特征在于，
所述容纳腔和所述储液腔与所述供液管路连接处设有密封件。
7.如权利要求1所述的新型切片机用喷嘴，其特征在于，
所述宽度固定件的横截面为梯形。
8.如权利要求1所述的新型切片机用喷嘴，其特征在于，
所述宽度固定件与所述喷嘴主体通过螺丝固定连接。
9.如权利要求1所述的新型切片机用喷嘴，其特征在于，
所述喷孔为长条形。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202222387781.7U CN218459834U (zh) | 2022-09-08 | 2022-09-08 | 一种新型切片机用喷嘴 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218459834U true CN218459834U (zh) | 2023-02-10 |
Family
ID=85141581
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202222387781.7U Active CN218459834U (zh) | 2022-09-08 | 2022-09-08 | 一种新型切片机用喷嘴 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN218459834U (zh) |
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2022
- 2022-09-08 CN CN202222387781.7U patent/CN218459834U/zh active Active
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