CN218256022U - 一种多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置，该装置包括喷淋机构，第一固定机构，第二固定机构。喷淋机构包括喷淋管，喷淋管上具有多个喷嘴；第一固定机构包括第一堵头和第一固定件，第一堵头可转动地封闭喷淋管的第一管口，第一固定件将喷淋管的一端固定于切片机上；第二固定机构包括第二堵头和第二固定件，第二堵头可转动地封闭喷淋管的第二管口，第二固定件将喷淋管的另一端固定于切片机上。本装置解决了喷淋管高度和固定角度问题，使喷淋出的切割液可以直接冲刷到线网与晶棒的接触位置，并且可以调整喷淋角度，实现了更好的喷淋效果。

Description

一种多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置

技术领域

本实用新型涉及蓝宝石切割技术领域，尤其涉及一种多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置。

背景技术

随着技术的不断进步，对于蓝宝石衬底片的加工要求越来越高，晶棒的切割品质对后续加工尤为重要，多线切割成为蓝宝石衬底片加工的关键步骤。

多线蓝宝石切片机的喷淋装置用于在切割时喷淋切割液，现有的切割方式为：使用金刚线对晶棒进行多线切割，切割过程中通过切割液喷洒装置进行切割液喷洒冷却，从而起到协助切割、降低切割温度，减少和抑制切割时产生的粉尘，并且清洁切割过程中晶棒产生粉末，防止其附着并凝结在线网上。然而，由于蓝宝石本身的莫氏硬度较高，金刚线进行切割时产生大量摩擦热量，切割液进行喷洒冷却方式的效果不佳，造成了金刚线表面的金刚石磨损严重，从而产生金刚线切割能力下降，切割后的衬底片表面平整度较差，也减低了金刚线的寿命。

因此，现有技术中存在对多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置改进的需求。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型实施例的目的在于提出一种多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置，通过对喷淋高度和喷淋角度的调整实现了更好的冷却效果。

基于上述目的，本实用新型实施例的提供了一种多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置，该装置包括：

喷淋机构，喷淋机构包括喷淋管，喷淋管上具有多个喷嘴；

第一固定机构，第一固定机构包括第一堵头和第一固定件，第一堵头可转动地封闭喷淋管的第一管口，第一固定件将喷淋管的一端固定于切片机上；和

第二固定机构，第二固定机构包括第二堵头和第二固定件，第二堵头可转动地封闭喷淋管的第二管口，第二固定件将喷淋管的另一端固定于切片机上。

在一些实施方式中，喷淋机构还包括进液管，进液管与喷淋管连通。

在一些实施方式中，喷淋机构还包括单向阀，单向阀设置于进液管和喷淋管之间。

在一些实施方式中，第一堵头上具有用于使第一堵头相对于喷淋管固定的多个第一调整螺丝。

在一些实施方式中，第二堵头上具有用于使所述第二堵头相对于所述喷淋管固定的多个第二调整螺丝。

在一些实施方式中，第一固定件为蝶形螺丝固定件。

在一些实施方式中，第二固定件包括定位工件和调高工件，调高工件固定于喷淋管的一端，定位工件固定于切片机上，定位工件上具有定位凹槽，调高工件卡合于定位凹槽中。

在一些实施方式中，调高工件通过螺栓紧固件可拆卸地固定于喷淋管的一端。

在一些实施方式中，多个喷嘴垂直于喷淋管的轴向并排设置。

在一些实施方式中，多个喷嘴为雾化喷嘴。

本实用新型至少具有以下有益技术效果：

1.通过堵头和固定件的配合解决了喷淋管固定角度问题，使其可以调整喷淋角度，可以更精准也更方便调整喷淋角度，通过将堵头设置为可松紧并且可拆卸，更进一步方便了对喷淋管进行清洗工作。

2.通过多个固定件解决了喷淋工件高度问题，使喷淋出的切割液可以直接冲刷到线网与晶棒的接触位置。

3.在喷淋管与切割液进液管之间添加一个单向阀，可以在不使用喷淋器时有效的阻绝空气回流，在使用时可以更快的达到指定流量要求，不需要等待切割液管路排空时间。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的实施例。

图1为本实用新型提供的多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置实施例的示意图。

图中：

1、喷淋管；1.1、第一管口；1.2、第二管口；2、喷嘴；3、第一堵头；3.1、第一调整螺丝；4、第二堵头；4.1、第二调整螺丝；5、第一固定件；6、第二固定件；6.1、调高工件；6.2、定位工件；7、单向阀。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型实施例进一步详细说明。

除非另有定义，本文所使用的所有技术和科学术语与属于本实用新型技术领域的技术人员通常理解的含义相同；本文在说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型，例如，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置为基于附图所示的方位或位置，仅是便于描述，不能理解为对本技术方案的限制。

本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含；本实用新型的说明书和权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图说明中，当元件被称为“固定于”或“安装于”或“设置于”或“连接于”另一个元件上，它可以是直接或间接位于该另一个元件上。例如，当一个元件被称为“连接于”另一个元件上，它可以是直接或间接连接到该另一个元件上。

此外，在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本实用新型的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

多线蓝宝石切片机的喷淋工件是用来在切割时喷淋切割液，从水箱中使用水泵来抽取切割液对晶棒及线网进行喷淋，从而起到协助切割、降低切割温度，减少和抑制切割时产生的粉尘，并且清洁切割过程中晶棒产生粉末，防止其附着并凝结在线网上。

目前使用的喷淋工件的喷淋角度、高度，以及喷淋出的切割液位置都不完全合适，无法准确的喷淋到切割时线网和晶棒的接触位置，切割时所产生的晶棒粉末无法从线网上冲刷掉，凝结在线网上容易造成跳线，断线等影响切割效率和晶片质量以及良率的后果。因此，本实用新型提供了一种喷淋装置以解决上述问题。

如图1所示为本实用新型提供的多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置实施例的示意图。喷淋装置整体设置于切片机的上方，在切片机切割过程中以将切割液喷淋至切割部位实现降温，喷淋装置包括喷淋机构A、第一固定机构B以及第二固定机构C。

进一步地，喷淋机构A包括喷淋管1，喷淋管1上具有多个喷嘴2，在一些实施例中，多个喷嘴2垂直于喷淋管1的轴向并排设置，多个喷嘴2为雾化喷嘴。优选地，本装置在喷淋管上并排设置了13个喷嘴，每个喷嘴之间具有一定间距，以均匀覆盖切割部位。

在一些实施例中，喷淋机构A还包括进液管，进液管一端与切割液泵连通，另一端与喷淋管1连通。优选地，喷淋机构还包括单向阀7，单向阀7设置于进液管和喷淋管1之间。单向阀7的作用是阻绝空气，使其停止使用时切割液不回流，管路内充满液体，在开始使用时，切割液进液管和液泵不需要进行排空，可以更快的达到喷淋切割液的设定流量。

进一步地，第一固定机构B包括第一堵头3和第一固定件5，第一堵头3可转动地封闭于喷淋管1的第一管口1.1处，第一固定件5将喷淋管1的一端固定于切片机上。

进一步地，第二固定机构C包括第二堵头4和第二固定件6，第二堵头4可转动地封闭喷淋管1的第二管口1.2，第二固定件6将喷淋管1的另一端固定于切片机上。

在一些实施例中，第一堵头3上具有多个第一调整螺丝3.1，调整多个第一调整螺丝3.1以使第一堵头3可转动地封闭第一管口1.1。

在一些实施例中，第二堵头4上具有多个第二调整螺丝4.1，调整多个第二调整螺丝4.1以使第二堵头4可转动地封闭第二管口1.2。

在一些实施例中，第一固定件5为蝶形螺丝固定件，切片机上设置有蝶形螺丝，通过将蝶形螺丝固定于蝶形螺丝固定件的孔位中，以固定喷淋管的一个端部。第一固定件5采用了不必完全拆卸掉蝶形螺丝，只需拧松螺丝就可卡入的设计，方便拆卸的同时，蝶形螺丝也起到了限位和固定位置的作用。

在一些实施例中，第二固定件6包括定位工件6.2和调高工件6.1，调高工件6.1固定于喷淋管1上，定位工件6.2固定于切片机上，定位工件6.2上具有定位凹槽，调高工件6.1卡合于定位凹槽中，以固定喷淋管1的一个端部。优选地，调高工件6.1通过螺栓紧固件可拆卸地固定于喷淋管1的一端。调高工件可根据实际场景需要更换不同尺寸，以实现对喷淋装置的高度调整问题。

通过堵头3、4和固定件5、6的配合以实现对喷淋管1的角度调整，例如，顺时针拧动调整螺丝3.1和4.1以将喷淋管1两端的堵头3、4上紧，此时喷淋管1被完全固定，角度无法调整。调松第一固定件和第二固定件5、6，并且逆时针拧动调整螺丝3.1和4.1以放松喷淋管1两端的堵头3、4，此时，喷淋管1可沿其径向方向旋转一定的角度，再次拧紧调整螺丝3.1和4.1，并且拧紧第一固定件和第二固定件5、6，以固定此时的喷淋角度。

当发生沉淀在切割液内的晶棒粉末凝结造成喷淋管1堵塞的情况，通过拧松调整螺丝3.1和4.1还可以拆卸喷淋管1两端的堵头3、4，以方便对喷淋管1内部进行冲洗和清洁，有效的提升清洁工作效率和降低清洁难度。

本实用新型提供的装置解决了现有技术中无法调整喷淋装置高度、无法调整喷淋装置角度的问题，不仅更精准也更方便调整喷淋角度和高度，更进一步方便了对喷淋管进行清洗工作，使得喷淋工作更为高效。

以上是本实用新型公开的示例性实施例，但是应当注意，在不背离权利要求限定的本实用新型实施例公开的范围的前提下，可以进行多种改变和修改。根据这里描述的公开实施例的方法权利要求的功能、步骤和/或动作不需以任何特定顺序执行。此外，尽管本实用新型实施例公开的元素可以以个体形式描述或要求，但除非明确限制为单数，也可以理解为多个。

应当理解的是，在本文中使用的，除非上下文清楚地支持例外情况，单数形式“一个”旨在也包括复数形式。还应当理解的是，在本文中使用的“和/或”是指包括一个或者一个以上相关联地列出的项目的任意和所有可能组合。

上述本实用新型实施例公开实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。

所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本实用新型实施例公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本实用新型实施例的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，并存在如上的本实用新型实施例的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。因此，凡在本实用新型实施例的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型实施例的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置，其特征在于，包括：

喷淋机构，所述喷淋机构包括喷淋管，所述喷淋管上具有多个喷嘴；

第一固定机构，所述第一固定机构包括第一堵头和第一固定件，所述第一堵头可转动地封闭所述喷淋管的第一管口，所述第一固定件将所述喷淋管的一端固定于所述切片机上；以及

第二固定机构，所述第二固定机构包括第二堵头和第二固定件，所述第二堵头可转动地封闭所述喷淋管的第二管口，所述第二固定件将所述喷淋管的另一端固定于所述切片机上。

2.根据权利要求1所述的多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋机构还包括进液管，所述进液管与所述喷淋管连通。

3.根据权利要求2所述的多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋机构还包括单向阀，所述单向阀设置于所述进液管和所述喷淋管之间。

4.根据权利要求1所述的多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置，其特征在于，所述第一堵头上具有用于使所述第一堵头相对于所述喷淋管固定的多个第一调整螺丝。

5.根据权利要求1所述的多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置，其特征在于，所述第二堵头上具有用于使所述第二堵头相对于所述喷淋管固定的多个第二调整螺丝。

6.根据权利要求1所述的多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置，其特征在于，所述第一固定件为蝶形螺丝固定件。

7.根据权利要求1所述的多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置，其特征在于，所述第二固定件包括定位工件和调高工件，所述调高工件固定于所述喷淋管的一端，所述定位工件固定于所述切片机上，所述定位工件上具有定位凹槽，所述调高工件卡合于所述定位凹槽中。

8.根据权利要求7所述的多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置，其特征在于，所述调高工件通过螺栓紧固件可拆卸地固定于所述喷淋管的一端。

9.根据权利要求1所述的多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置，其特征在于，所述多个喷嘴垂直于所述喷淋管的轴向并排设置。

10.根据权利要求1所述的多线蓝宝石切片机切割液的喷淋装置，其特征在于，所述多个喷嘴为雾化喷嘴。

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