CN208643438U - 一种用于硅片表面冲洗的水刀 - Google Patents

Abstract

一种用于硅片表面冲洗的水刀，包括刀身、设于刀身内的多个刀孔和蓄水高压装置，所述的刀孔上方与蓄水高压装置贯通连接，多个刀孔之间间隔等距设置，刀孔下端为长扁形开口的出水口，所述的设于刀身内的刀孔为曲线向下延伸的通水孔，所述的蓄水高压装置内的水升压后经水管被泵入刀孔内，升压后的水自向下延伸的通水孔喷出后在出水口下方形成扇形喷射流。相较于现有使用较多带直孔槽的水刀，本实用新型采用曲线向下延伸的通水孔，使原本直接从直孔槽喷出的柱形喷射流变成扇形喷射流，不仅增大单个水刀刀孔清洗覆盖面积，且喷射流冲洗水压大，冲洗效果好，同时减少直孔槽中的纯水使用量，减少纯水的浪费，降低水刀使用成本。

Description

一种用于硅片表面冲洗的水刀

技术领域

本实用新型涉及一种用于硅片表面冲洗的水刀，特别是一种应用于制绒技术中硅片表面冲洗的水刀。

背景技术

水刀是现代工业加工中使用较为广泛的加工刀具，因其噪音少，节能环保，对环境污染少的优点在越来越多的加工中发挥不可替代的作用。在硅片制绒技术中，聚晶制绒机、刻蚀机的酸碱槽内的药液反应后，需要清洗硅片表面残留的药液，在风刀后面还需使用两到三把上下对称水刀，用于清洁硅片表面，使得硅片表面PH值成中性，而现有的水刀为单排直孔，水刀的大小受外围水压影响较大，整体水压小时，水刀喷水量低，硅片容易出现清洗不干净的问题，另外，单排直孔水刀用水量比较大，对纯水制水量有较大要求，对公司用水成本影响比较大，另一方面，由于现有的水刀为直孔径，经常有碎硅片进入水刀内，碎硅片在水刀内因水压的作用下会流向水刀喷水口，当碎片比水刀喷水口大时会直接堵死水刀喷水口，造成无水喷出，同时碎硅片也极容易卡在水刀里，设备人员处理这类水刀被堵喷不出水的问题较频繁，严重影响日常生产效率，给生产带来诸多麻烦。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单合理、表面清洗效果好、可多次覆盖清洗的用于硅片表面冲洗的水刀。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：一种用于硅片表面冲洗的水刀，包括刀身、设于刀身内的多个刀孔和蓄水高压装置，所述的刀孔上方与蓄水高压装置贯通连接，多个刀孔之间间隔等距设置，刀孔下端为长扁形开口的出水口，所述的设于刀身内的刀孔为曲线向下延伸的通水孔，所述的蓄水高压装置内的水升压后经水管被泵入刀孔内，升压后的水自向下延伸的通水孔喷出后在出水口下方形成扇形喷射流。

进一步的，所述的设于刀身内的刀孔为向下延伸的螺旋孔。

进一步的，所述的出水口为由口沿向外张开的喇叭口，所述的刀身上设有一排或多排刀孔。

进一步的，所述的多个刀孔喷出的扇形喷射流之间交错覆盖的对硅片表面的冲洗。

实用新型的有益效果是：相较于现有使用较多带直孔槽的水刀，本实用新型采用曲线向下延伸的通水孔，使原本直接从直孔槽喷出的柱形喷射流变成扇形喷射流，不仅增大单个水刀刀孔清洗覆盖面积，且喷射流冲洗水压大，冲洗效果好，同时减少直孔槽中的纯水使用量，减少纯水的浪费，降低水刀使用成本，另外，曲线向下延伸的通水孔的设计使得水刀外部的碎硅片或颗粒难以从水刀进入水刀内部，避免水刀出水口被堵的现象，进而降低维护人员的维修维护次数和维护成本，提升整体水刀处理的处理效率，提升整体生产的生产效率。

附图说明

图1是一种用于硅片表面冲洗的水刀的整体结构示意图。

附图中编号表示的零部件名称如下：1、刀身；2、刀孔；3、蓄水高压装置；5、出水口。

具体实施方式

为了使得本实用新型实现的技术手段，创新特征与功能易于了解，下面将进一步阐述本实用新型。

如图1所示，本实用新型用于硅片表面冲洗的水刀的一种实施例，包括刀身1、设于刀身1内的多个刀孔2和蓄水高压装置3，所述的刀孔2上方与蓄水高压装置3贯通连接，多个刀孔2之间间隔等距设置，刀孔2下端为长扁形开口的出水口5，所述的设于刀身1内的刀孔2为曲线向下延伸的通水孔，所述的蓄水高压装置3内的水升压后经水管被泵入刀孔2内，升压后的水自向下延伸的通水孔喷出后形成扇形喷射流。

本实施例的多个刀孔与蓄水高压装置3之间通过多根沿水刀长度方向平铺排列的进水管以及多个刀孔2的间隔等距设置均使整体水刀的进水更为均匀，避免了现有常见的水刀中经常出现的由于单个进水管进水带来的进水管附近水压大，远离进水管的部分水压小或喷水间断的问题，曲线向下延伸的通水孔有效改变升压后的水流的喷出出水口5的方向，便于扇形喷射流的形成，利于整体水刀进行硅片表面的有效冲洗。

在本实用新型的一个实施例中，所述的设于刀身1内的刀孔2为向下延伸的螺旋孔，所述的出水口5还加装有滤网，出水口5为由口沿向外张开的喇叭口，所述的刀身1上设有单排或多排刀孔2。螺旋孔的设计使得水流在刀身1内流动更为顺畅，被喷出后形成的扇形喷射流更为规则，整体的水刀喷射流覆盖冲洗更为完全，表面冲洗效果更好，同时也减少纯水的浪费，降低生产成本，设于出水口5的滤网不仅能将水流打散，使被喷出的水流被打散成更适合冲洗硅片表面的体积较小的水珠，也使得硅片表面被水流冲洗溅起的碎硅片不会通过出水口5进入刀孔2内部，减少刀孔2堵塞的现象，大幅度减少维护人员的后期维护维修，单排多个刀孔2或多排多个刀孔2的设计使得整体水刀能成组多次进行表面的清洗加工，一次水刀的推进即可完成一次表面冲洗，纯水的浪费减少不仅降低了企业的生产成本，还降低了企业对纯水的使用需求。

在本实用新型的一个实施例中，所述的多个刀孔2喷出的扇形喷射流之间交错覆盖进行硅片表面的冲洗。多个刀孔2的排列能让刀孔2的喷射流和喷射流之间交错覆盖，形成同一区域的不同刀孔2喷出的喷射流的多次覆盖重复清洗，提升单次水刀的清洗效果，减少纯水的浪费，降低水刀使用成本。

虽然本实用新型已以具体实施例公开如上，然而其并非用以限定本实用新型，任何本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的精神和范围的情况下，仍可作些许的更动与润饰，因此本实用新型的保护范围应当视所附的权利要求书的范围所界定者为准。

Claims (5)

1.一种用于硅片表面冲洗的水刀，包括刀身(1)、设于刀身(1)内的多个刀孔(2)和蓄水高压装置(3)，其特征在于：所述的刀孔(2)上方与蓄水高压装置(3)贯通连接，多个刀孔(2)之间间隔等距设置，刀孔(2)下端为长扁形开口的出水口(5)，所述的设于刀身(1)内的刀孔(2)为曲线向下延伸的通水孔，所述的蓄水高压装置(3)内的水升压后经水管被泵入刀孔(2)内，升压后的水自向下延伸的通水孔喷出后在出水口下方形成扇形喷射流。

2.根据权利要求1所述的一种用于硅片表面冲洗的水刀，其特征在于：所述的设于刀身(1)内的刀孔(2)为向下延伸的螺旋孔。

3.根据权利要求1或2所述的一种用于硅片表面冲洗的水刀，其特征在于：出水口(5)为由口沿向外张开的喇叭口，所述的刀身(1)上设有一排或多排刀孔(2)。

4.根据权利要求1或2所述的一种用于硅片表面冲洗的水刀，其特征在于：所述的多个刀孔(2)喷出的扇形喷射流之间交错覆盖的对硅片表面的冲洗。

5.根据权利要求3所述的一种用于硅片表面冲洗的水刀，其特征在于：所述的多个刀孔(2)喷出的扇形喷射流之间交错覆盖的对硅片表面的冲洗。