CN218361414U - 分割型靶材背板加工修正机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种分割型靶材背板加工修正机，包括修正机台，修正机台上分别设有抬高机构、下压机构，抬高机构用以自靶材背板的中部抬高靶材背板，下压机构用以对靶材背板的两端进行下压修正；其中，抬高机构包括配合使用的升降组件、垫高组件，升降组件包括沿修正机台长度方向均布的多个能上下移动的升降板，多个升降板的上端能共同承托住靶材背板；垫高组件包括能沿修整机台宽度方向移动的垫高板，垫高板用以抵接在靶材背板下端的中部；当升降板处于最高位时，升降板的上端高于垫高板的上端。本实用新型的修正机实现了对靶材背板的翘曲度修正，提高了修正效率。

Description

分割型靶材背板加工修正机

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种分割型靶材背板加工修正机。

背景技术

在半导体行业中，靶材组件是由复合溅射性能的靶材与能与靶材结合并具有一定强度的靶材背板构成的，靶材背板可以在靶材组件装配到溅射基台上时起到支撑作用，并具有传导热量的功效。在真空溅射时，背板在靶材设置的方向上会承受强力，有时会使背板产生翘曲，而背板的翘曲会导致靶材上可能产生裂纹，因此，一般会采用修正机构对靶材背板的翘曲度进行修正。但现有的修正机构通常采用C型夹和修正台的方式来对靶材背板进行下压修正，该方式需要人工抬高靶材背板，劳动强度较大，效率较低。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种分割型靶材背板加工修正机，实现了对靶材背板的翘曲度修正，提高了修正效率。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种分割型靶材背板加工修正机，包括修正机台，修正机台上分别设有抬高机构、下压机构，抬高机构用以自靶材背板的中部抬高靶材背板，下压机构用以对靶材背板的两端进行下压修正；

其中，抬高机构包括配合使用的升降组件、垫高组件，升降组件包括沿修正机台长度方向均布的多个能上下移动的升降板，多个升降板的上端能共同承托住靶材背板；垫高组件包括能沿修整机台宽度方向移动的垫高板，垫高板用以抵接在靶材背板下端的中部；当升降板处于最高位时，升降板的上端高于垫高板的上端。

工作时，将靶材背板放置到修正机台上，驱动升降板上移以使升降板带动靶材背板上移，当升降板移动至最高位时，靶材背板与修正机台之间留有间距，此时，驱动垫高板移动以使垫高板移动至靶材背板的下方；然后驱动升降板下移，靶材背板在重力作用下下移并抵接到垫高板上，此时，靶材背板除中部与垫高板抵接外，其余部位处于悬空状态，当升降板下移至最低位时，靶材背板可能会出现两端均悬空的状态，也可能会出现倾斜以使一端在重力作用下抵接在修正机台上，此时，通过下压机构分别对靶材背板的两端进行下压，因垫高板对靶材背板中部的支撑，靶材背板能整体呈现出折弯的状态，进而实现对其翘曲度的修正。

本实用新型的有益效果在于：

通过升降组件与垫高组件的配合即可实现对靶材背板的抬高，进而降低了人工操作的劳动强度；且将升降板处于最高位时的上端面高度设置为高于垫高板的上端，使得靶材背板在升降组件作用下能上升至高于垫高板，以便于垫高板能顺利插入到靶材背板的下方，以对靶材背板的中部进行支撑；然后通过下压机构对靶材背板两端的下端即可实现对靶材背板翘曲度的修正。该修正机操作简单，修正效率高。

进一步来说，垫高板的上端面为弧形面。以使得靶材背板折弯时能与垫高板的弧形面接触，避免垫高板对靶材背板的挤压损伤。

进一步来说，修正机台上开设有若干与升降板一一对应的通槽，升降板位于对应的通槽内，其下端与固接在修正机台上的升降气缸连接。通过升降气缸驱动升降板沿通槽上下移动。

进一步来说，当升降板处于最低位时，升降板的上端低于修正机台的上端。以使得升降板处于最低位时，靶材背板不会接触到升降板。

进一步来说，垫高组件还包括固接在修正机台一侧且与修正机台上端齐平的垫高基座，垫高基座上设有用以驱动垫高板移动的垫高气缸。将垫高基座设置为与修正机台齐平，使得垫高板能沿着垫高基座移动至修正机台上，通过垫高气缸的设置为垫高板的移动提供了驱动力。

进一步来说，修正机台的上端还开设有限位滑槽，垫高板远离垫高气缸的一侧还设有能沿限位滑槽移动的限位滑块。通过限位滑槽与限位滑块的配合能对垫高板的移动进行限位。

进一步来说，下压机构设置有两个，每个下压机构均包括能沿修正机台长度方向移动的下压机架，下压机架上设有能在下压气缸驱动下对靶材背板的端部进行下压的下压板。

进一步来说，下压板的下端面为弧形面，以对靶材背板进行柔性挤压。

进一步来说，下压机架包括龙门架，龙门架的内侧对称设置有滑块；修正机台的两侧对称设置有供滑块滑动的机台滑槽。通过机台滑槽与滑块的配合提高了下压机构移动的平稳性。

进一步来说，还包括防护机构，防护机构包括下垫板及两个端部压板，下垫板位于靶材背板与升降组件之间，用以承托靶材背板；端部压板位于靶材背板的上方，用以压靠在靶材背板的端部。通过下垫板的设置能对靶材背板的下端面进行防护，防止靶材背板直接接触到升降板及垫高板，通过端部压板的设置能对靶材背板的上端端部进行防护，防止靶材背板的端部直接接触到下压板。

附图说明

图1为本实用新型实施例的修正机的结构示意图；

图2为图1中A-A向的剖切示意图；

图3为本实用新型实施例的下压板的结构示意图；

图4为本实用新型实施例的修正机台的俯视图；

图5为本实用新型实施例的升降组件上升至最高位时的靶材背板的结构示意图；

图6为本实用新型实施例的垫高组件承托住靶材背板的结构示意图；

图7为本实用新型实施例的单个下压机构运行时的靶材背板的结构示意图；

图8为本实用新型实施例的两个下压机构均运行时的靶材背板的结构示意图。。

图中：

1-修正机台；11-机台滑槽；12-通槽；13-限位滑槽；2-抬高机构；21-升降板；22-垫高板；23-升降气缸；24-垫高基座；25-垫高气缸；3-下压机构；31-下压机架；311-滑块；32-下压气缸；33-下压板；4-靶材背板；51-下垫板；52-端部压板。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。

实施例

参见附图1-2、4所示，本实用新型的一种分割型靶材背板加工修正机，包括修正机台1，修正机台1上分别设有抬高机构2、下压机构3，抬高机构2用以自靶材背板4的中部抬高靶材背板4，下压机构3用以对靶材背板4的两端进行下压修正；

其中，抬高机构2包括配合使用的升降组件、垫高组件，升降组件包括沿修正机台1长度方向均布的多个能上下移动的升降板21，多个升降板21的上端能共同承托住靶材背板4；垫高组件包括能沿修整机台1宽度方向移动的垫高板22，垫高板22用以抵接在靶材背板4下端的中部；当升降板21处于最高位时，升降板21的上端高于垫高板22的上端。当升降板21处于最低位时，升降板21的上端低于修正机台1的上端。

工作时，将靶材背板4放置到修正机台1上，驱动升降板21上移以使升降板21带动靶材背板4上移，当升降板21移动至最高位时，靶材背板4与修正机台1之间留有间距，此时，驱动垫高板22移动以使垫高板22移动至靶材背板4的下方；然后驱动升降板21下移，靶材背板4在重力作用下下移并抵接到垫高板22上，此时，靶材背板4除中部与垫高板22抵接外，其余部位处于悬空状态，当升降板21下移至最低位时，靶材背板4可能会出现两端均悬空的状态，也可能会出现倾斜以使一端在重力作用下抵接在修正机台1上，此时，通过下压机构3分别对靶材背板4的两端进行下压，因垫高板22对靶材背板4中部的支撑，靶材背板4能整体呈现出折弯的状态，进而实现对其翘曲度的修正。

在一些实施例中，参见附图2-3所示，下压机构3设置有两个，每个下压机构3均包括能沿修正机台1长度方向移动的下压机架31，下压机架31上安装有能在下压气缸32驱动下对靶材背板4的端部进行下压的下压板33，且下压板33的下端面为弧形面。通过两个下压机构3的设置能分别对靶材背板4的两端进行下压，而将下压板33的下端面设置为弧形面，能通过弧形面的缓冲实现对靶材背板4端部的柔性挤压，降低损伤靶材背板4表面的风险。

为了提高下压机构3移动的稳定性，在一些实施例中，参见附图2所示，下压机架31包括龙门架，龙门架的内侧对称设置有滑块311，并在修正机台1的两侧对称设置有供滑块311滑动的机台滑槽11。通过机台滑槽11与滑块311的限位配合提高了下压机构3移动的平稳性。

在一些实施例中，下压气缸32的两侧还对称设置有导向杆，且导向杆穿设在下压机架31上，其下端与下压板33固接。通过导向杆的设置能对下压板33的移动方向进行限位，进而提高下压板33的下压位置的准确性。

为了进一步降低修正过程中对靶材背板4表面损伤的风险，在一些实施例中，还设置有防护机构。具体的，参见附图5-8所示，防护机构包括下垫板51及两个端部压板52，下垫板51位于靶材背板4与升降组件之间，用以承托靶材背板4；端部压板52位于靶材背板4的上方，用以压靠在靶材背板4的端部。初始状态下，将下垫板51放置在修正机台1上，再将待修正的靶材背板4放置在下垫板51上，并将端部压板52依次压靠在靶材背板4的两端部上；此时，靶材背板4的下端抵接在下垫板51上，在后续修正过程中不会直接接触到抬高机构，而靶材背板4的上端端部抵接在端部压板52上，在后续修正过程中也不会直接接触到下压机构3。

更进一步地，下垫板51、端部压板52与靶材背板4接触的一面均设置有弹性缓冲层(如橡胶层、硅胶层等)。

在一些实施例中，为了配合靶材背板4及下垫板51的折弯弧度，将垫高板22的上端面设置为弧形面，以降低对靶材背板4及下垫板51表面的挤压损伤。

在一些实施例中，参见附图2、4所示，修正机台1上开设有若干与升降板21一一对应的通槽12，升降板21位于对应的通槽12内，其下端与固接在修正机台1上的升降气缸23连接。更进一步地，升降板21呈T型结构，以增大与下垫板51或靶材背面4的接触面积。

在一些实施例中，垫高组件还包括固接在修正机台1一侧且与修正机台1上端齐平的垫高基座24，垫高基座24上设有用以驱动垫高板22移动的垫高气缸25。将垫高基座24设置为与修正机台1齐平，使得垫高板22能沿着垫高基座24移动至修正机台1上，通过垫高气缸25的设置为垫高板22的移动提供了驱动力。

更进一步地，修正机台1的上端还开设有限位滑槽13，垫高板22远离垫高气缸25的一侧还设有能沿限位滑槽13移动的限位滑块。通过限位滑槽13与限位滑块的配合能对垫高板22的移动进行限位。

本实施例的具体工作过程如下：

初始状态时，下垫板51置于修正机台1上；将靶材背板4放置到下垫板51上，并将两个端部压板52分别压靠在靶材背板4的两端部上；参见附图5所示，同时启动多个升降气缸23，以使多个升降板21同步沿通槽12上移，多个升降板21的上端共同承托住下垫板51，并带动下垫板51及靶材背板4、端部压板52同步上移；当升降板21移动至最高位时，下垫板51与修正机台1之间留有间距，此时，启动垫高气缸25，垫高板22随即沿垫高基座24向修正机台1的方向移动，限位滑块随其沿限位滑槽13移动，直至垫高板22移动至下垫板51的下方；参见附图6所示，再次启动升降气缸23，以使多个升降板21同步下移，在重力作用下，下垫板51及靶材背板4、端部压板52同步下移，直至下垫板51的中部抵接到垫高板22上；当升降板21继续下移至最低位时，下垫板51及靶材背板4可能会出现两端均悬空的状态，也可能会出现倾斜以使一端抵接在修正机台1上，此时，参见附图7所示，驱动一个下压机构3沿修正机台1长度方向移动，以使下压板33对准靶材背板4的端部，然后启动下压气缸32，以使对应的下压板33下压到端部压板52上，并施力到靶材背板4的端部上；参见附图8所示，然后驱动另一个下压机构3移动至使其下压板33对准靶材背板4的另一端部，启动下压气缸32以使下压板33下压到另一端部压板52上，并施力到靶材背板4的另一端部上，此时，在垫高板22及两个下压板33的作用下，靶材背板4能整体呈现出折弯的状态，进而实现对其翘曲度的修正。

以上实施方式只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人了解本实用新型的内容并加以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所做的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。

Claims (10)

1.一种分割型靶材背板加工修正机，包括修正机台，其特征在于：所述修正机台上分别设有抬高机构、下压机构，所述抬高机构用以自靶材背板的中部抬高所述靶材背板，所述下压机构用以对靶材背板的两端进行下压修正；

其中，所述抬高机构包括配合使用的升降组件、垫高组件，所述升降组件包括沿所述修正机台长度方向均布的多个能上下移动的升降板，多个所述升降板的上端能共同承托住靶材背板；所述垫高组件包括能沿所述修正机台宽度方向移动的垫高板，所述垫高板用以抵接在所述靶材背板下端的中部；当所述升降板处于最高位时，所述升降板的上端高于所述垫高板的上端。

2.根据权利要求1所述的分割型靶材背板加工修正机，其特征在于：所述垫高板的上端面为弧形面。

3.根据权利要求1所述的分割型靶材背板加工修正机，其特征在于：所述修正机台上开设有若干与所述升降板一一对应的通槽，所述升降板位于对应的所述通槽内，其下端与固接在所述修正机台上的升降气缸连接。

4.根据权利要求3所述的分割型靶材背板加工修正机，其特征在于：当所述升降板处于最低位时，所述升降板的上端低于所述修正机台的上端。

5.根据权利要求1-4任一所述的分割型靶材背板加工修正机，其特征在于：所述垫高组件还包括固接在所述修正机台一侧且与所述修正机台上端齐平的垫高基座，所述垫高基座上设有用以驱动所述垫高板移动的垫高气缸。

6.根据权利要求5所述的分割型靶材背板加工修正机，其特征在于：所述修正机台的上端还开设有限位滑槽，所述垫高板远离所述垫高气缸的一侧还设有能沿所述限位滑槽移动的限位滑块。

7.根据权利要求1所述的分割型靶材背板加工修正机，其特征在于：所述下压机构设置有两个，每个下压机构均包括能沿所述修正机台长度方向移动的下压机架，所述下压机架上设有能在下压气缸驱动下对所述靶材背板的端部进行下压的下压板。

8.根据权利要求7所述的分割型靶材背板加工修正机，其特征在于：所述下压板的下端面为弧形面。

9.根据权利要求7所述的分割型靶材背板加工修正机，其特征在于：所述下压机架包括龙门架，所述龙门架的内侧对称设置有滑块；所述修正机台的两侧对称设置有供所述滑块滑动的机台滑槽。

10.根据权利要求1所述的分割型靶材背板加工修正机，其特征在于：还包括防护机构，所述防护机构包括下垫板及两个端部压板，所述下垫板位于所述靶材背板与升降组件之间，用以承托所述靶材背板；所述端部压板位于所述靶材背板的上方，用以压靠在靶材背板的端部。

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