CN218082290U - 一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置,所述底座上端表面左侧与右侧对称安装有两个推动气缸,每一个所述推动气缸的推杆上均连接有移动座板,所述移动座板朝内一侧表面焊接有固定板,所述固定板上端表面焊接有侧边安装板,每个所述侧边安装板上均滑动安装有两个滑动板,所述滑动板上安装有电动推杆,所述固定板上端表面开设有滑孔,所述电动推杆的推杆穿过滑孔置于固定板的下端,所述电动推杆的推杆底端通过螺钉连接有压紧板,与现有技术相比,本实用新型具有如下的有益效果:便于调节两个压紧板之间的间距,从而方便对不同尺寸的零部件进行压紧固定,便于后续的加工,便于移动座板的移动,且能够提高移动时的稳定性。
Description
技术领域
本实用新型属于生产夹具应用技术领域,特别涉及一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置。
背景技术
在对半导体设备的零部件进行加工时,例如打孔、磨边,需要使得夹具对半导体设备的零部件进行固定,从而方便后续工作的进行;
中国专利号CN 210436018U记载了一种半导体设备零部件生产夹具,包括安装座、电动机、第一伞齿轮、固定座、放置腔、移动板、夹板、调节螺栓、第二伞齿轮、螺杆、固定板、清理板、连接板、清理刷和固定螺栓。该种半导体设备零部件生产夹具结构简单、设计新颖,便于工作者将零部件夹持在两个夹板之间,同时便于将零部件进行稳定固定,提高零部件的固定效果,方便零部件后续加工,满足使用需求,通过设置的驱动机构的作用下,便于驱动移动板带动夹板移动,方便工作者对夹板进行调节,便于零部件的后续稳定固定,同时便于螺杆表面的清理,便于连接板移动,实用性价值较高,适合推广使用;
该装置在对零部件进行固定时,需要“通过移动板驱动连接板移动,连接板驱动夹板移动,进而调节夹板放置合适位置后,旋转调节螺栓,调节螺栓调节夹板将固定座顶部的零部件进行稳定固定”,在对每一个零部件进行固定时,都需要如此,且取下零部件时,也需要反向转动调节螺栓,使得夹板后移,这样手动的转动调节螺栓,进而调节夹板,使得操作较为复杂,频繁的转动调节螺栓,也使得工作人员手指容易产生疲劳、抽筋,为此设计一种能够快速对零部件进行固定的结构是由必要的。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足,本实用新型目的是提供一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置,解决上述背景技术中提出的问题。
本实用新型通过以下的技术方案实现:一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置,包括底座、移动座板、压紧板以及放置台,所述放置台固定在底座上端表面中间,所述底座上端表面左侧与右侧对称安装有两个推动气缸,每一个所述推动气缸的推杆上均连接有移动座板,所述移动座板朝内一侧表面焊接有固定板,所述固定板上端表面焊接有侧边安装板,每个所述侧边安装板上均滑动安装有两个滑动板,所述滑动板上安装有电动推杆,所述固定板上端表面开设有滑孔,所述电动推杆的推杆穿过滑孔置于固定板的下端,所述电动推杆的推杆底端通过螺钉连接有压紧板。
作为一优选的实施方式,所述压紧板前侧表面开设有滑槽,所述压紧板的下端表面通过滑槽卡接有垫板,所述垫板是一种橡胶垫。
作为一优选的实施方式,每一个所述侧边安装板的朝内一侧表面均开设有一个滑动孔,且所述滑动孔贯穿侧边安装板。
作为一优选的实施方式,所述滑动板的朝外一侧表面焊接有紧固螺杆,且所述紧固螺杆的外径小于滑动孔的宽度,所述滑动板与侧边安装板之间通过紧固螺杆、紧固螺母连接。
作为一优选的实施方式,所述移动座板呈L形结构,且所述移动座板的底端表面焊接有两个导向滑块,所述导向滑块的底端设置有多个等间距分布的支撑滚球。
作为一优选的实施方式,所述底座上端表面开设有两个对称分布的导向滑槽,所述导向滑块滑动安装在导向滑槽内。
采用了上述技术方案后,本实用新型的有益效果是:通过设置的压紧板、滑动块以及侧边固定板,便于调节两个压紧板之间的间距,从而方便对不同尺寸的零部件进行压紧固定,便于后续的加工,通过在移动座板下端设置有导向滑块以及支撑滚球,配合设置的导向滑槽,便于移动座板的移动,且能够提高移动时的稳定性。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本实用新型一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置的整体结构示意图。
图2为本实用新型一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置的正面示意图。
图3为本实用新型一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置的A处放大示意图。
图中,1-底座、2-推动气缸、3-移动座板、4-侧边安装板、5-电动推杆、6-固定板、7-放置台、8-滑动板、9-压紧板、10-滑动孔、11-紧固螺杆、12-紧固螺母。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1至图3,本实用新型提供一种技术方案:一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置,包括底座1、移动座板3、压紧板9以及放置台7,放置台7固定在底座1上端表面中间,底座1上端表面左侧与右侧对称安装有两个推动气缸2,每一个推动气缸2的推杆上均连接有移动座板3,移动座板3朝内一侧表面焊接有固定板6,固定板6上端表面焊接有侧边安装板4,每个侧边安装板4上均滑动安装有两个滑动板8,滑动板8上安装有电动推杆 5,固定板6上端表面开设有滑孔,电动推杆5的推杆穿过滑孔置于固定板6 的下端,电动推杆5的推杆底端通过螺钉连接有压紧板9。
压紧板9前侧表面开设有滑槽,压紧板9的下端表面通过滑槽卡接有垫板,垫板是一种橡胶垫,在对零部件进行压紧时,能够防止对零部件表面的磨损。
作为本实用新型的一个实施例,请参阅图1与图3,每一个侧边安装板 4的朝内一侧表面均开设有一个滑动孔10,且滑动孔10贯穿侧边安装板4,滑动板8的朝外一侧表面焊接有紧固螺杆11,且紧固螺杆11的外径小于滑动孔10的宽度,滑动板8与侧边安装板4之间通过紧固螺杆11、紧固螺母12 连接,在实际使用时,首先根据待加工的零部件的实际宽度来调节同一侧两个压紧板9之间的间距,具体地,首先将紧固螺母12逆时针拧动,使得紧固螺母12朝外侧移动(紧固螺母12仍留在紧固螺杆11上),解除滑动板8与侧边安装板4之间的固定,然后根据实际情况来调节两个压紧板9之间的间距,调节完成后再次将紧固螺母12拧紧即可,之后接通两个推动气缸2的电源,两个电动推杆5将会带动移动座板3朝内侧移动,之后电动推杆5带动压紧板9下移,下移的压紧板9将会对放置台7上的零部件进行压紧,从而方便进行加工,通过设置的压紧板9、滑动块以及侧边固定板6,便于调节两个压紧板9之间的间距,从而方便对不同尺寸的零部件进行压紧固定,便于后续的加工。
作为本实用新型的一个实施例,请参阅图1,移动座板3呈L形结构,且移动座板3的底端表面焊接有两个导向滑块,导向滑块的底端设置有多个等间距分布的支撑滚球,底座1上端表面开设有两个对称分布的导向滑槽,导向滑块滑动安装在导向滑槽内,通过在移动座板3下端设置有导向滑块以及支撑滚球,配合设置的导向滑槽,便于移动座板3的移动,且能够提高移动时的稳定性。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置,包括:底座(1)、移动座板(3)、压紧板(9)以及放置台(7),所述放置台(7)固定在底座(1)上端表面中间,其特征在于,所述底座(1)上端表面左侧与右侧对称安装有两个推动气缸(2),每一个所述推动气缸(2)的推杆上均连接有移动座板(3),所述移动座板(3)朝内一侧表面焊接有固定板(6),所述固定板(6)上端表面焊接有侧边安装板(4),每个所述侧边安装板(4)上均滑动安装有两个滑动板(8),所述滑动板(8)上安装有电动推杆(5),所述固定板(6)上端表面开设有滑孔,所述电动推杆(5)的推杆穿过滑孔置于固定板(6)的下端,所述电动推杆(5)的推杆底端通过螺钉连接有压紧板(9)。
2.如权利要求1所述的一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置,其特征在于:所述压紧板(9)前侧表面开设有滑槽,所述压紧板(9)的下端表面通过滑槽卡接有垫板,所述垫板是一种橡胶垫。
3.如权利要求1所述的一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置,其特征在于:每一个所述侧边安装板(4)的朝内一侧表面均开设有一个滑动孔(10),且所述滑动孔(10)贯穿侧边安装板(4)。
4.如权利要求3所述的一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置,其特征在于:所述滑动板(8)的朝外一侧表面焊接有紧固螺杆(11),且所述紧固螺杆(11)的外径小于滑动孔(10)的宽度,所述滑动板(8)与侧边安装板(4)之间通过紧固螺杆(11)、紧固螺母(12)连接。
5.如权利要求1所述的一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置,其特征在于:所述移动座板(3)呈L形结构,且所述移动座板(3)的底端表面焊接有两个导向滑块,所述导向滑块的底端设置有多个等间距分布的支撑滚球。
6.如权利要求5所述的一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置,其特征在于:所述底座(1)上端表面开设有两个对称分布的导向滑槽,所述导向滑块滑动安装在导向滑槽内。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN202221635934.9U CN218082290U (zh) | 2022-06-27 | 2022-06-27 | 一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN202221635934.9U CN218082290U (zh) | 2022-06-27 | 2022-06-27 | 一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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CN218082290U true CN218082290U (zh) | 2022-12-20 |
Family
ID=84479108
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202221635934.9U Active CN218082290U (zh) | 2022-06-27 | 2022-06-27 | 一种半导体设备精密零部件加工用夹紧装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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CN (1) | CN218082290U (zh) |
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