CN217992125U - 一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备，包括研磨抛光机、定位压板和机架体，所述机架体的上方的后端设有防护罩，所述研磨抛光机通过升降组件连接设在防护罩的内部，所述研磨抛光机的顶部设有电机，所述研磨抛光机的底部设有磨盘。该实用新型中设有两个储料盘，分别为左边端储料盘和右边端储料盘，且左边端储料盘和右边端储料盘是通过旋转调节轴进行旋转操作的，可以使左边端储料盘和右边端储料盘进行交替使用，使其预留一定的操作时间，旋转的方式更省力，便于将储料盘进行更换，且定位压板是通过高度调节螺杆进行固定调节的，通过定位压板可以将磨盘的边缘进行按压，使磨盘与取料之间连接更紧密，从而提高抛光效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及碳化硅晶圆相关领域，具体为一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备。
背景技术
碳化硅又称金钢砂或耐火砂，碳化硅是用石英砂、石油焦、木屑原料在电阻炉内经高温冶炼而成。碳化硅的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件，未来手机和笔记本电脑的背景光市场将给碳化硅提供巨大的需求增长。
现有技术中对于碳化硅晶圆的研磨抛光设备在使用中，更换物料时，需要先将研磨抛光好的碳化硅晶圆取出，再将未打磨的碳化硅晶圆放入，一来一回比较浪费时间，降低工作效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备，以解决上述背景技术中提出的在使用中，更换物料时，需要先将研磨抛光好的碳化硅晶圆取出，再将未打磨的碳化硅晶圆放入，一来一回比较浪费时间，降低工作效率的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备，包括研磨抛光机、定位压板和机架体，所述机架体的上方的后端设有防护罩，所述研磨抛光机通过升降组件连接设在防护罩的内部，所述研磨抛光机的顶部设有电机，所述研磨抛光机的底部设有磨盘，所述机架体的内部的上方设有抛光座，所述抛光座的两侧分别设有左边端储料盘和右边端储料盘，且左边端储料盘和右边端储料盘的内部结构设为相同的，所述机架体的上方位于抛光座的外圈的位置处设有支撑柱，所述定位压板通过伸缩弹簧连接设在支撑柱的上方。
在进一步的实施例中，所述左边端储料盘的上方共设有两个碳化硅晶圆定位座，所述碳化硅晶圆定位座的外圈设有定位圈，且定位圈与碳化硅晶圆定位座通过卡嵌固定连接。
在进一步的实施例中，所述右边端储料盘与机架体通过高度调节滑套与旋转调节轴连接，所述右边端储料盘与高度调节滑套通过连接杆焊接连接，且高度调节滑套与旋转调节轴通过紧固螺栓固定连接。
在进一步的实施例中，所述左边端储料盘与右边端储料盘设为中心对称结构。
在进一步的实施例中，所述抛光座的中间位置设有镶嵌槽，所述左边端储料盘和右边端储料盘的底部均设有镶嵌块，且左边端储料盘和右边端储料盘与抛光座均通过镶嵌块与镶嵌槽固定连接。
在进一步的实施例中，所述定位压板的一端与磨盘的顶部通过滚珠滑动连接，且定位压板的另一端与支撑柱通过高度调节螺杆固定连接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、该实用新型中设有两个储料盘，分别为左边端储料盘和右边端储料盘，且左边端储料盘和右边端储料盘是通过旋转调节轴进行旋转操作的，可以使左边端储料盘和右边端储料盘进行交替使用，使其预留一定的操作时间，旋转的方式更省力，便于将储料盘进行更换，且定位压板是通过高度调节螺杆进行固定调节的，通过定位压板可以将磨盘的边缘进行按压，使磨盘与取料之间连接更紧密，从而提高抛光效果。
附图说明
图1为本实用新型的一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备的结构示意图；
图2为本实用新型的A部细节结构示意图；
图3为本实用新型的抛光座的俯视图；
图4为本实用新型的定位压板的结构示意图；
图5为本实用新型的镶嵌槽的结构示意图。
图中：1、防护罩；2、升降组件；3、电机；4、研磨抛光机；5、磨盘；6、定位压板；7、右边端储料盘；8、左边端储料盘；9、镶嵌块；10、机架体；11、旋转调节轴；12、支撑柱；13、紧固螺栓；14、高度调节滑套；15、定位圈；16、碳化硅晶圆定位座；17、抛光座；18、连接杆；19、高度调节螺杆；20、伸缩弹簧；21、滚珠；22、镶嵌槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
请参阅图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备，包括研磨抛光机4、定位压板6和机架体10，机架体10的上方的后端设有防护罩1，研磨抛光机4通过升降组件2连接设在防护罩1的内部，研磨抛光机4的顶部设有电机3，研磨抛光机4的底部设有磨盘5，机架体10的内部的上方设有抛光座17，抛光座17的两侧分别设有左边端储料盘8和右边端储料盘7，且左边端储料盘8和右边端储料盘7的内部结构设为相同的，机架体10的上方位于抛光座17的外圈的位置处设有支撑柱12，定位压板6通过伸缩弹簧20连接设在支撑柱12的上方。
通过防护罩1用于减少灰尘，通过研磨抛光机4用来对碳化硅晶圆进行研磨抛光的，通过抛光座17用于将左边端储料盘8和右边端储料盘7进行放置操作的，通过左边端储料盘8和右边端储料盘7用于增加取料存放的空间，通过支撑柱12用于将定位压板6安装定位。
进一步，左边端储料盘8的上方共设有两个碳化硅晶圆定位座16，碳化硅晶圆定位座16的外圈设有定位圈15，且定位圈15与碳化硅晶圆定位座16通过卡嵌固定连接。
通过碳化硅晶圆定位座16便于将物料放置，便于抛光，通过定位圈15便于将取料进行定位。
进一步，右边端储料盘7与机架体10通过高度调节滑套14与旋转调节轴11连接，右边端储料盘7与高度调节滑套14通过连接杆18焊接连接，且高度调节滑套14与旋转调节轴11通过紧固螺栓13固定连接。
通过通过高度调节滑套14与旋转调节轴11连接便于将右边端储料盘7升高和旋转调节。
进一步，左边端储料盘8与右边端储料盘7设为中心对称结构。
通过中心对称结构，便于工作人员双手操作。
进一步，抛光座17的中间位置设有镶嵌槽22，左边端储料盘8和右边端储料盘7的底部均设有镶嵌块9，且左边端储料盘8和右边端储料盘7与抛光座17均通过镶嵌块9与镶嵌槽22固定连接。
通过镶嵌块9与镶嵌槽22连接便于将调节至抛光座17上方的左边端储料盘8或右边端储料盘7进行定位，防止抛光的过程，发生移位。
进一步，定位压板6的一端与磨盘5的顶部通过滚珠21滑动连接，且定位压板6的另一端与支撑柱12通过高度调节螺杆19固定连接。
通过滚珠21可以增加定位压板6的滑动性，可以对磨盘5进行均匀使力。
工作原理：使用时，将碳化硅晶圆分别放置在右边端储料盘7和左边端储料盘8内的碳化硅晶圆定位座16上，盖上定位圈15进行定位，通过高度调节滑套14将右边端储料盘7向上升高，并通过旋转调节轴11旋转至抛光座17的上方，松开高度调节滑套14，使镶嵌块9与镶嵌槽22连接固定，通过升降组件2将研磨抛光机4向下降低，使磨盘5与碳化硅晶圆贴合，通过定位压板6将磨盘5的边缘进行按压，启动电机3，将电能转化为机械能带动磨盘5旋转对碳化硅晶圆进行研磨抛光，抛光完成后，再使用同样的方法，将左边端储料盘8进行更换即可。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备，包括研磨抛光机(4)、定位压板(6)和机架体(10)，其特征在于：所述机架体(10)的上方的后端设有防护罩(1)，所述研磨抛光机(4)通过升降组件(2)连接设在防护罩(1)的内部，所述研磨抛光机(4)的顶部设有电机(3)，所述研磨抛光机(4)的底部设有磨盘(5)，所述机架体(10)的内部的上方设有抛光座(17)，所述抛光座(17)的两侧分别设有左边端储料盘(8)和右边端储料盘(7)，且左边端储料盘(8)和右边端储料盘(7)的内部结构设为相同的，所述机架体(10)的上方位于抛光座(17)的外圈的位置处设有支撑柱(12)，所述定位压板(6)通过伸缩弹簧(20)连接设在支撑柱(12)的上方。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备，其特征在于：所述左边端储料盘(8)的上方共设有两个碳化硅晶圆定位座(16)，所述碳化硅晶圆定位座(16)的外圈设有定位圈(15)，且定位圈(15)与碳化硅晶圆定位座(16)通过卡嵌固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备，其特征在于：所述右边端储料盘(7)与机架体(10)通过高度调节滑套(14)与旋转调节轴(11)连接，所述右边端储料盘(7)与高度调节滑套(14)通过连接杆(18)焊接连接，且高度调节滑套(14)与旋转调节轴(11)通过紧固螺栓(13)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备，其特征在于：所述左边端储料盘(8)与右边端储料盘(7)设为中心对称结构。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备，其特征在于：所述抛光座(17)的中间位置设有镶嵌槽(22)，所述左边端储料盘(8)和右边端储料盘(7)的底部均设有镶嵌块(9)，且左边端储料盘(8)和右边端储料盘(7)与抛光座(17)均通过镶嵌块(9)与镶嵌槽(22)固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶圆的研磨抛光设备，其特征在于：所述定位压板(6)的一端与磨盘(5)的顶部通过滚珠(21)滑动连接，且定位压板(6)的另一端与支撑柱(12)通过高度调节螺杆(19)固定连接。
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2022
- 2022-06-09 CN CN202221421928.3U patent/CN217992125U/zh active Active
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