CN217677755U - 一种真空环境用开合挡板装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空环境用开合挡板装置，该真空环境用开合挡板装置包括被遮挡组件、升降旋转机构和卡爪。其中，被遮挡组件包括第一驱动件、安装板以及固定设置于安装板的多个被遮挡件，第一驱动件能带动安装板沿设定轨道移动，被遮挡件设有挡板；升降旋转机构能带动卡爪升降，且能带动卡爪转动，卡爪用于抓取挡板。该真空环境用开合挡板装置，仅需一个升降旋转机构即能实现转移多个被遮挡件的挡板，结构简单，有效减小了真空环境用开合挡板装置的体积，降低了真空环境用开合挡板装置的造价。

Description

一种真空环境用开合挡板装置

技术领域

本实用新型涉及真空设备技术领域，尤其涉及一种真空环境用开合挡板装置。

背景技术

目前常见的真空环境用开合挡板装置中，每个溅射源需通过独立溅射源挡板开合装置。具体地，真空环境用开合挡板装置包括多个靶材、多个溅射源挡板以及多个驱动机构，多个靶材与多个溅射源挡板一一对应设置，每个驱动机构均包括驱动马达、与驱动马达相连接的齿轮以及与齿轮啮合的齿轨，驱动马达用于驱动齿轮转动，齿轮用于在驱动马达的驱动下带动齿轨移动，多个驱动机构的齿轨与多个溅射源挡板一一对应，每个齿轨上均固设有一个与其对应的溅射源挡板，用于通过与齿轮的啮合带动该溅射源挡板相对于与该溅射源挡板对应的靶材移动。这种真空环境用开合挡板装置，整台设备的体积大、造价高，当多个溅射源分布较紧凑时溅射源挡板开合时受空间大小制约等。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空环境用开合挡板装置，以解决现有技术中多个靶材对应多个挡板和多个驱动机构，导致真空环境用开合挡板装置的体积大，造价高的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种真空环境用开合挡板装置，其包括：

被遮挡组件，所述被遮挡组件包括第一驱动件、安装板以及固定设置于所述安装板的多个被遮挡件，所述第一驱动件能带动所述安装板沿设定轨道移动，所述被遮挡件设有挡板；

升降旋转机构和卡爪，所述升降旋转机构能带动所述卡爪升降，且能带动所述卡爪转动，所述卡爪用于抓取所述挡板。

作为优选，所述挡板包括挡板本体、连杆以及第一连接板，所述连杆的两端分别连接所述挡板本体和所述第一连接板，所述卡爪能与所述连杆插接。

作为优选，所述卡爪和所述第一连接板的其中一个设有插柱，另一个设有插孔，所述插柱能插接于所述插孔。

作为优选，所述插柱设有导向面。

作为优选，所述升降旋转机构包括升降机构和旋转机构，所述卡爪固定连接于所述旋转机构，所述升降机构能带动所述旋转机构升降。

作为优选，所述旋转机构包括驱动组件和转轴，所述驱动组件与所述转轴传动连接且能带动所述转轴自转，所述转轴和所述卡爪固定连接。

作为优选，所述旋转机构还包括真空馈入装置和波纹管，所述真空馈入装置的一端与所述驱动组件的输出轴固定连接，另一端与所述转轴固定连接，所述真空环境用开合挡板装置还包括真空腔体，所述转轴依次穿过所述波纹管和所述真空腔体与所述卡爪固定连接；

所述波纹管的一端通过第一连接件与所述真空馈入装置密封连接，另一端通过第二连接件与所述真空腔体密封连接，所述升降机构与所述第一连接件连接。

作为优选，所述驱动组件包括第二驱动件，所述第二驱动件和所述真空馈入装置传动连接。

作为优选，所述升降机构包括第三驱动件、升降组件和与所述升降组件的输出端连接的第二连接板，所述第二连接板与所述第一连接件固定连接。

作为优选，所述第一连接件和所述第二连接件均为法兰。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的目的在于提供一种真空环境用开合挡板装置，该真空环境用开合挡板装置包括被遮挡组件、升降旋转机构和卡爪。其中，被遮挡组件包括第一驱动件、安装板以及固定设置于安装板的多个被遮挡件，第一驱动件能带动安装板沿设定轨道移动，被遮挡件设有挡板；升降旋转机构能带动卡爪升降，且能带动卡爪转动，卡爪用于抓取挡板。该真空环境用开合挡板装置，当需要转移被遮挡件上的挡板时，升降旋转机构先带动卡爪做升降运动，使得卡爪沿高度方向移动至挡板所在的高度位置，再带动卡爪做旋转运动，使得卡爪转动并与挡板配合，再通过升降旋转机构带动卡爪和挡板上升并旋转，以实现从被遮挡件上取走挡板；其中，当升降旋转机构带动卡爪将其中一个被遮挡件的挡板转移后，通过第一驱动件带动安装板移动，从而带动固定设置于安装板上的多个被遮挡件同步移动，使得升降旋转机构能够依次转移各个被遮挡件的挡板，从而仅需一个升降旋转机构即能实现转移多个被遮挡件的挡板，结构简单，有效减小了真空环境用开合挡板装置的体积，降低了真空环境用开合挡板装置的造价。

附图说明

图1是本实用新型的具体实施例提供的真空环境用开合挡板装置的结构示意图；

图2是本实用新型的具体实施例提供的真空环境用开合挡板装置的部分结构示意图；

图3是本实用新型的具体实施例提供的真空环境用开合挡板装置的卡爪的结构示意图；

图4是本实用新型的具体实施例提供的真空环境用开合挡板装置的挡板的结构示意图。

图中：

1、被遮挡组件；11、安装板；12、被遮挡件；13、挡板；131、挡板本体；132、连杆；133、第一连接板；1331、插孔；

2、升降旋转机构；21、旋转机构；211、驱动组件；212、转轴；213、真空馈入装置；214、波纹管；22、升降机构；221、第三驱动件；222、升降组件；223、第二连接板；

3、卡爪；31、插柱；311、导向面；32、U形槽；

4、真空腔体。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

本实用新型提供一种真空环境用开合挡板装置，如图1所示，该真空环境用开合挡板装置包括被遮挡组件1、升降旋转机构2和卡爪3。其中，被遮挡组件1包括第一驱动件(图中未示出)、安装板11以及固定设置于安装板11的多个被遮挡件12，第一驱动件能带动安装板11沿设定轨道移动，被遮挡件12设有挡板13；升降旋转机构2能带动卡爪3升降，且能带动卡爪3转动，卡爪3用于抓取挡板13。

该真空环境用开合挡板装置，如图1所示，当需要转移被遮挡件12上的挡板13时，升降旋转机构2先带动卡爪3做升降运动，使得卡爪3沿高度方向移动至挡板13所在的高度位置，再带动卡爪3做旋转运动，使得卡爪3转动并与挡板13配合，再通过升降旋转机构2带动卡爪3和挡板13上升并旋转，以实现从被遮挡件12上取走挡板13；其中，当升降旋转机构2带动卡爪3将其中一个被遮挡件12的挡板13转移后，通过第一驱动件带动安装板11移动，从而带动固定设置于安装板11上的多个被遮挡件12同步移动，使得升降旋转机构2能够依次转移各个被遮挡件12的挡板13，从而仅需一个升降旋转机构2即能实现转移多个被遮挡件12的挡板13，结构简单，有效减小了真空环境用开合挡板装置的体积，降低了真空环境用开合挡板装置的造价。

具体地，在本实施例中，如图1所示，安装板11上的多个被遮挡件12线性分布，第一驱动件带动安装板11直线运动，使得升降旋转机构2带动卡爪3依次转移各个被遮挡件12的挡板13。作为一种替代方案，安装板11上的多个被遮挡件12环形分布，第一驱动件带动安装板11绕其中心轴线转动，使得升降旋转机构2带动卡爪3依次转移各个被遮挡件12的挡板13。

示例性地，第一驱动件为电机，第一驱动件通过传动机构带动安装板11移动，其中，传动机构可为带轮传动机构(图中未示出)，第一驱动件的输出轴和带轮传动机构的输入轴固定连接，安装板11固定设置于带轮传动机构的皮带上，从而实现带动安装板11直线移动，从而带动多个被遮挡件12直线移动。其中，带轮传动机构的具体结构属于现有技术，在此不再赘述。作为一种替代方案，第一驱动件也可为气缸，能够实现带动安装板11直线移动即可。

其中，如图1-4所示，挡板13包括挡板本体131、连杆132以及第一连接板133，连杆132的两端分别连接挡板本体131和第一连接板133，卡爪3能与连杆132插接。具体地，卡爪3设有U形槽32，当需要转移挡板13时，升降旋转机构2带动卡爪3运动，以使卡爪3的U形槽32和连杆132插接配合，再通过升降旋转机构2带动卡爪3上升，以同步带动升降旋转机构2上升，从而实现转移挡板13。

具体地，在本实施例中，挡板本体131和第一连接板133之间的间距为15mm，卡爪3的厚度为5mm。其中，挡板本体131和第一连接板133之间的间距即为连杆132的长度。可以理解的是，也可依据实际工况适应性的调整挡板本体131和第一连接板133之间的间距，以及卡爪3的厚度。

具体地，如图2-4所示，卡爪3和第一连接板133的其中一个设有插柱31，另一个设有插孔1331，插柱31能插接于插孔1331。如此设置，能够防止在转移挡板13的过程中，挡板13从卡爪3上脱落，具体地，在本实施例中，卡爪3上设有两个插柱31，第一连接板133沿周向间隔设有四个插孔1331，两个插柱31能分别和第一连接板133上的两个插孔1331插接，通过设置插孔1331的数量多于插柱31，便于卡爪3上的插柱31能够快速的插接于第一连接板133上的插孔1331，以提高工作效率。

示例性地，插柱31为固定设置于卡爪3上的销，插孔1331为销孔。插孔1331的深度为2mm。可以理解的是，也可依据实际工况适应性的调整插孔1331的深度。

具体地，如图3所示，插柱31设有导向面311。通过在插柱31的自由端设置导向面311，能够进一步提高插柱31插接于插孔1331的插接效率，从而进一步提高了工作效率。

其中，如图1所示，升降旋转机构2包括升降机构22和旋转机构21，卡爪3固定连接于旋转机构21，升降机构22能带动旋转机构21升降。可以理解的是，升降机构22带动旋转机构21升降时，同步带动固定连接于旋转机构21的卡爪3升降，从而实现带动卡爪3升降和旋转。

具体地，如图1所示，旋转机构21包括驱动组件211和转轴212，驱动组件211与转轴212传动连接且能带动转轴212自转，转轴212和卡爪3固定连接。驱动组件211带动转轴212自转，同步带动卡爪3绕转轴212的中心轴线转动。

具体地，如图1所示，旋转机构21还包括真空馈入装置213和波纹管214，真空馈入装置213的一端与驱动组件211的输出轴固定连接，另一端与转轴212固定连接，真空环境用开合挡板装置还包括真空腔体4，转轴212依次穿过波纹管214和真空腔体4与卡爪3固定连接；波纹管214的一端通过第一连接件与真空馈入装置213密封连接，另一端通过第二连接件与真空腔体4密封连接，升降机构22与第一连接件连接。波纹管214的一端通过第一连接件与真空馈入装置213密封连接，另一端通过第二连接件与真空腔体4密封连接，以使波纹管214和真空腔体4形成封闭的真空腔室，从而保证被遮挡件12处于真空环境中；其中，通过将升降机构22和第一连接件连接，升降机构22带动第一连接件升降，从而带动旋转机构21和卡爪3同步升降，可以理解的，升降机构22带动旋转机构21和卡爪3升降的同时，同步带动波纹管214拉伸或收缩。示例性地，真空馈入装置213可以是磁流体，也可为其他能够密封波纹管214的结构。

具体地，如图1所示，驱动组件211包括第二驱动件，第二驱动件和真空馈入装置213传动连接。具体地，在本实施例中，驱动组件211还包括减速器，第二驱动件通过减速器和真空馈入装置213传动连接，即第二驱动件的输出轴和减速器的输入轴固定连接，减速器的输出轴和真空馈入装置213固定连接，从而带动真空馈入装置213工作，进而带动与真空馈入装置213固定连接的转轴212转动，以实现带动卡爪3绕转轴212的中心轴线转动。作为一种替代方案，第二驱动件通过联轴器和真空馈入装置213连接，从而带动真空馈入装置213工作。作为一种替代方案，第二驱动件通过齿轮传动机构和真空馈入装置213连接，从而带动真空馈入装置213工作。可以理解的是，驱动组件211的具体结构可以依据实际需求适应性的调整，能够实现带动真空馈入装置213工作即可。

其中，如图1所示，在本实施例中，升降机构22包括第三驱动件221、升降组件222和与升降组件222的输出端连接的第二连接板223，第二连接板223与第一连接件固定连接。具体地，在本实施例中，升降组件222包括与第三驱动件221的输出轴固定连接的丝杆，第二连接板223与丝杆螺纹连接，通过将丝杆和第二连接板223螺纹连接，第三驱动件221带动丝杆转动的同时，第二连接板223沿丝杆的轴向升降，第二连接板223与第一连接件固定连接，从而第一连接件升降，进而带动旋转机构21和卡爪3同步升降。在其他实施例中，升降组件222的具体结构也可替换为其他升降组件，能够实现带动旋转机构21和卡爪3同步升降即可。

具体地，在本实施例中，第一连接件和第二连接件均为法兰。通过法兰将波纹管214的一端与真空馈入装置213密封连接，通过法兰将波纹管214的另一端与真空腔体4密封连接。在其他实施例中，第一连接件和第二连接件也可为其他连接件，能够将波纹管214的一端与真空馈入装置213密封连接，以及将波纹管214的另一端与真空腔体4密封连接即可。

具体地，旋转机构21还包括支撑架，支撑架用于支撑旋转机构21的驱动组件211，驱动组件211的第二驱动件和减速器均通过螺栓固定连接于支撑架，支撑架通过螺栓与真空馈入装置213固定连接。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种真空环境用开合挡板装置，其特征在于，包括：

被遮挡组件(1)，所述被遮挡组件(1)包括第一驱动件、安装板(11)以及固定设置于所述安装板(11)的多个被遮挡件(12)，所述第一驱动件能带动所述安装板(11)沿设定轨道移动，所述被遮挡件(12)设有挡板(13)；

升降旋转机构(2)和卡爪(3)，所述升降旋转机构(2)能带动所述卡爪(3)升降，且能带动所述卡爪(3)转动，所述卡爪(3)用于抓取所述挡板(13)。

2.根据权利要求1所述的真空环境用开合挡板装置，其特征在于，所述挡板(13)包括挡板本体(131)、连杆(132)以及第一连接板(133)，所述连杆(132)的两端分别连接所述挡板本体(131)和所述第一连接板(133)，所述卡爪(3)能与所述连杆(132)插接。

3.根据权利要求2所述的真空环境用开合挡板装置，其特征在于，所述卡爪(3)和所述第一连接板(133)的其中一个设有插柱(31)，另一个设有插孔(1331)，所述插柱(31)能插接于所述插孔(1331)。

4.根据权利要求3所述的真空环境用开合挡板装置，其特征在于，所述插柱(31)设有导向面(311)。

5.根据权利要求1-4任一项所述的真空环境用开合挡板装置，其特征在于，所述升降旋转机构(2)包括升降机构(22)和旋转机构(21)，所述卡爪(3)固定连接于所述旋转机构(21)，所述升降机构(22)能带动所述旋转机构(21)升降。

6.根据权利要求5所述的真空环境用开合挡板装置，其特征在于，所述旋转机构(21)包括驱动组件(211)和转轴(212)，所述驱动组件(211)与所述转轴(212)传动连接且能带动所述转轴(212)自转，所述转轴(212)和所述卡爪(3)固定连接。

7.根据权利要求6所述的真空环境用开合挡板装置，其特征在于，所述旋转机构(21)还包括真空馈入装置(213)和波纹管(214)，所述真空馈入装置(213)的一端与所述驱动组件(211)的输出轴固定连接，另一端与所述转轴(212)固定连接，所述真空环境用开合挡板装置还包括真空腔体(4)，所述转轴(212)依次穿过所述波纹管(214)和所述真空腔体(4)与所述卡爪(3)固定连接；

所述波纹管(214)的一端通过第一连接件与所述真空馈入装置(213)密封连接，另一端通过第二连接件与所述真空腔体(4)密封连接，所述升降机构(22)与所述第一连接件连接。

8.根据权利要求7所述的真空环境用开合挡板装置，其特征在于，所述驱动组件(211)包括第二驱动件，所述第二驱动件的输出轴和所述真空馈入装置(213)传动连接。

9.根据权利要求7所述的真空环境用开合挡板装置，其特征在于，所述升降机构(22)包括第三驱动件(221)、升降组件(222)和与所述升降组件(222)的输出端连接的第二连接板(223)，所述第二连接板(223)与所述第一连接件固定连接。

10.根据权利要求7所述的真空环境用开合挡板装置，其特征在于，所述第一连接件和所述第二连接件均为法兰。

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