CN217628589U - 一种镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机，包括镀膜腔壳、气罐、真空泵和加热器，所述镀膜腔壳的内部设有真空镀膜腔，所述真空镀膜腔的腔底部通过架支杆支撑安装有放置工架，所述真空镀膜腔的上下腔壁上均安装有所述加热器，所述镀膜腔壳的顶部支撑固定有所述气罐和所述真空泵，所述真空泵的进气端连接安装有真空泵进管，所述真空泵的排气端安装有三通阀，所述三通阀的一个阀口上安装有回气管，所述真空泵进管的末端端口通过所述镀膜腔壳的侧腔壁延伸到所述真空镀膜腔的腔内所述，回气管的末端安装到所述气罐上。有益效果在于：本实用新型在镀膜后可以通过制冷惰性气体的实现腔内降温，避免工件在高温下发生氧化变黄变黑现象。

Description

一种镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜装置领域，特别是涉及一种镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法，在使用真空镀膜机镀膜后，由于镀膜腔内温度太高，通过空气冷却后其镀层表面在高温下也会发生变化，容易发黄发黑。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：

一种镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机，包括镀膜腔壳、气罐、真空泵和加热器，所述镀膜腔壳的内部设有真空镀膜腔，所述真空镀膜腔的腔底部通过架支杆支撑安装有放置工架，所述真空镀膜腔的上下腔壁上均安装有所述加热器，所述镀膜腔壳的顶部支撑固定有所述气罐和所述真空泵，所述真空泵的进气端连接安装有真空泵进管，所述真空泵的排气端安装有三通阀，所述三通阀的一个阀口上安装有回气管，所述真空泵进管的末端端口通过所述镀膜腔壳的侧腔壁延伸到所述真空镀膜腔的腔内所述，回气管的末端安装到所述气罐上，所述气罐的底部安装有冷气排管，所述冷气排管的底端延伸到所述真空镀膜腔内并安装有流控阀，所述气罐的侧罐壁上安装有热气气管，所述热气气管的末端延伸到所述真空镀膜腔内，所述气罐的内部还放置有冷循环管，所述冷循环管的两个管口延伸到所述气罐的外侧。

进一步的，所述真空泵进管的管体上安装有泵进端管阀，所述热气气管的管体上安装有进气管阀。

进一步的，所述气罐的顶部罐壁上安装有罐阀，所述气罐的内罐壁上安装有罐气压传感器。

进一步的，所述真空镀膜腔的顶腔壁上通过连杆安装有挡气板，所述挡气板设置在所述流控阀的下方，所述镀膜腔壳的侧壳壁上开设有门孔，所述门孔上安装有箱门。

进一步的，所述真空镀膜腔的腔壁上安装有腔气压传感器，所述镀膜腔壳的外壳壁上安装有控制面板。

有益效果在于：本实用新型所述的镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机在镀膜后可以通过制冷惰性气体的实现腔内降温，避免工件在高温下发生氧化变黄变黑现象。

附图说明

图1是本实用新型所述一种镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机的结构示意图。

附图标记说明如下：

1、镀膜腔壳；2、气罐；3、真空泵；4、加热器；5、放置工架；6、架支杆；7、箱门；8、流控阀；9、冷气排管；10、控制面板；11、冷循环管；12、罐气压传感器；13、罐阀；14、进气管阀；15、热气气管；16、回气管；17、三通阀；18、泵进端管阀；19、真空泵进管；20、连杆；21、腔气压传感器； 22、挡气板。

具体实施方式

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

如图1所示的一种镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机，所述镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机由镀膜腔壳1、气罐2、真空泵3和加热器4组成；

镀膜腔壳1的内部设有真空镀膜腔，所述真空镀膜腔的腔底部通过架支杆6 支撑安装有放置工架5，放置工架5用于放置需要镀膜的工件，所述真空镀膜腔的上下腔壁上均安装有加热器4，底部的加热器4设置在放置工架5的下方；

镀膜腔壳1的顶部支撑固定有气罐2和真空泵3，气罐2内盛放有惰性气体，以一个大气压为最佳，真空泵3的进气端连接安装有真空泵进管19，真空泵3 的排气端安装有三通阀17，三通阀17的一个阀口上安装有回气管16，回气管 16用于将惰性气体重新排入气罐2，真空泵进管19的末端端口处通过镀膜腔壳 1的侧腔壁延伸到所述真空镀膜腔的腔内，回气管16的末端安装到气罐2上，便于其与气罐2连通，气罐2的底部安装有冷气排管9，冷气排管9的底端延伸到所述真空镀膜腔内并安装有流控阀8，流控阀8用于控制气罐2内部气体进入所述真空镀膜腔的流速，气罐2的侧罐壁上安装有热气气管15，热气气管15的末端延伸到所述真空镀膜腔内，气罐2的内部还放置有冷循环管11，冷循环管 11的两个管口延伸到气罐2的外侧。

在本实施例中，真空泵进管19的管体上安装有泵进端管阀18，热气气管 15的管体上安装有进气管阀14，在所述真空镀膜腔处于真空状态时，进气管阀 14为关闭状态，避免与气罐2内进行气体交换。

在本实施例中，气罐2的顶部罐壁上安装有罐阀13，气罐2的内罐壁上安装有罐气压传感器12，罐气压传感器12用于监测气罐2内的气压，在回气过程中，当到达指定气压时，停止回气。

在本实施例中，所述真空镀膜腔的顶腔壁上通过连杆20安装有挡气板22，挡气板22设置在流控阀8的下方，其用于对冲击气流进行挡设，避免气罐2和所述真空镀膜腔二者气压差过大时产生大气流对工件造成冲击，镀膜腔壳1的侧壳壁上开设有门孔，所述门孔上安装有箱门7，箱门7闭合后为密封设置，内部避免内外气体交换。

在本实施例中，所述真空镀膜腔的腔壁上安装有腔气压传感器21，镀膜腔壳1的外壳壁上安装有控制面板10，控制面板10上有用于控制真空本3、加热器4及阀门启闭的按键。

上述结构中，镀膜腔壳1上还开设有进气孔，所述进气孔上安装有用于进气的空气进阀，在进行工件镀膜时，真空泵3将所述真空镀膜腔内的气体通过三通阀17排出到外部，混入空气中，启动加热器然后进行真空镀膜，真空镀膜后，内部热量散热较慢，将冷循环管11连接到外部制冷器上进行制冷并实现内部冷媒的循环，使得气罐2内部惰性气体降温，开启流控阀8，由小变大逐渐放开，直到气压平衡，气罐内气体冷却下降，所述真空镀膜腔内热气体通过热气气管15上升，实现降温，再通过真空泵3将散热后的惰性气体沿着回气管16回收到气罐2内，然后打开空气进阀并打开箱门7取出工件。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其效物界定。

Claims (5)

1.一种镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机，其特征在于：包括镀膜腔壳、气罐、真空泵和加热器，所述镀膜腔壳的内部设有真空镀膜腔，所述真空镀膜腔的腔底部通过架支杆支撑安装有放置工架，所述真空镀膜腔的上下腔壁上均安装有所述加热器，所述镀膜腔壳的顶部支撑固定有所述气罐和所述真空泵，所述真空泵的进气端连接安装有真空泵进管，所述真空泵的排气端安装有三通阀，所述三通阀的一个阀口上安装有回气管，所述真空泵进管的末端端口通过所述镀膜腔壳的侧腔壁延伸到所述真空镀膜腔的腔内所述，回气管的末端安装到所述气罐上，所述气罐的底部安装有冷气排管，所述冷气排管的底端延伸到所述真空镀膜腔内并安装有流控阀，所述气罐的侧罐壁上安装有热气气管，所述热气气管的末端延伸到所述真空镀膜腔内，所述气罐的内部还放置有冷循环管，所述冷循环管的两个管口延伸到所述气罐的外侧。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机，其特征在于：所述真空泵进管的管体上安装有泵进端管阀，所述热气气管的管体上安装有进气管阀。

3.根据权利要求1所述的一种镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机，其特征在于：所述气罐的顶部罐壁上安装有罐阀，所述气罐的内罐壁上安装有罐气压传感器。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机，其特征在于：所述真空镀膜腔的顶腔壁上通过连杆安装有挡气板，所述挡气板设置在所述流控阀的下方，所述镀膜腔壳的侧壳壁上开设有门孔，所述门孔上安装有箱门。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜材料不易发黄发黑的真空镀膜机，其特征在于：所述真空镀膜腔的腔壁上安装有腔气压传感器，所述镀膜腔壳的外壳壁上安装有控制面板。

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