CN217575318U - 一种用于分子束外延设备的料渣收集装置 - Google Patents
一种用于分子束外延设备的料渣收集装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN217575318U CN217575318U CN202221270266.4U CN202221270266U CN217575318U CN 217575318 U CN217575318 U CN 217575318U CN 202221270266 U CN202221270266 U CN 202221270266U CN 217575318 U CN217575318 U CN 217575318U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- hydraulic oil
- oil storage
- storehouse
- installation
- molecular beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 title claims description 18
- 239000002893 slag Substances 0.000 title claims description 12
- 239000010720 hydraulic oil Substances 0.000 claims abstract description 50
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims abstract description 44
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000013049 sediment Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 5
- 239000010985 leather Substances 0.000 claims description 4
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 abstract description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种用于分子束外延设备的料渣收集装置，包括安装仓，所述安装仓的顶部安装有冷泵吸附组件，所述安装仓内部底部的四角位置处皆安装有第一液压油存储仓，且第一液压油存储仓内部的底部贯穿有活塞杆，并且活塞杆贯穿安装仓，所述活塞杆与第一液压油存储仓之间连接有第一弹簧，且活塞杆的底端安装有万向轮。本实用新型通过安装板与丝杆的螺纹连接，安装板与安装仓的滑动连接，以及多组丝杆之间通过皮带轮和皮带主体连接，使得操作人员通过正向转动任意一组丝杆即可带动多组橡胶块向下移动与地面接触，从而保证该装置在使用时的稳定性，且可以避免在移动过程中冷泵吸附组件受到的震动幅度过大对冷泵吸附组件造成不必要的损伤。
Description
技术领域
本实用新型涉及分子束外延设备配件技术领域，尤其涉及一种用于分子束外延设备的料渣收集装置。
背景技术
分子束外延设备主要是用于各种半导体的研发和生产，针对不同生产需求所需要使用到的分子束外延设备也不尽相同，因此分子束外延设备分为很多种类，同时分子束外延设备在使用一段时间后，一般需要利用冷泵来吸附生长室中的杂质，从而完成对各种渣料的收集任务。
现有的用于分子束外延设备的料渣收集装置在使用时，一般都是通过将冷泵与分子束外延设备连通，通过冷泵将料渣进行吸附收集，同时为了便于对装置本身进行移动，一般会在其底部设置滚轮部分，但是在实际使用过程中，冷泵部分在使用时会产生一定幅度的震动，进而导致滚轮虽然处于锁定状态，但是整个装置与地面的接触面不足，依旧容易发生偏移等情况，进而影响整个吸附收集过程的顺利进行。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于分子束外延设备的料渣收集装置，其通过安装板与丝杆的螺纹连接，安装板与安装仓的滑动连接，以及多组丝杆之间通过皮带轮和皮带主体连接，使得操作人员通过正向转动任意一组丝杆即可带动多组橡胶块向下移动与地面接触，从而保证该装置在使用时的稳定性，且可以避免在移动过程中冷泵吸附组件受到的震动幅度过大对冷泵吸附组件造成不必要的损伤。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种用于分子束外延设备的料渣收集装置，包括安装仓，所述安装仓的顶部安装有冷泵吸附组件，所述安装仓内部底部的四角位置处皆安装有第一液压油存储仓，且第一液压油存储仓内部的底部贯穿有活塞杆，并且活塞杆贯穿安装仓，所述活塞杆与第一液压油存储仓之间连接有第一弹簧，且活塞杆的底端安装有万向轮，所述安装仓内部顶部的四角位置处皆安装有第二液压油存储仓，且第二液压油存储仓与第一液压油存储仓相互连通，所述第二液压油存储仓内设置有用于带动第二液压油存储仓内液压油向第一液压油存储仓内挤压输送的弹性机构，所述安装仓顶部的四角位置处皆贯穿有丝杆，且丝杆外侧的中间位置处安装有皮带轮，并且皮带轮的外侧安装有皮带主体，所述丝杆靠近底端的外侧套设有安装板，且安装板贯穿安装仓，所述安装板的底部安装有橡胶块。
优选地，所述安装仓的一侧安装有连接杆，且连接杆远离安装仓的一端安装有推拉杆。
优选地，所述弹性机构包括设置在第二液压油存储仓内的活塞主体，所述活塞主体与第二液压油存储仓之间连接有第二弹簧。
优选地，所述丝杆的中心轴线与安装仓的横向中心轴线相互垂直，且丝杆与安装仓为转动连接。
优选地，所述丝杆靠近顶端的外侧均匀安装有操作杆，且操作杆的外侧安装有防滑皮套。
优选地，所述安装板与丝杆为螺纹连接，且安装板与安装仓为滑动连接。
本实用新型与现有技术相比，其有益效果为：
1、通过安装板与丝杆的螺纹连接，安装板与安装仓的滑动连接，以及多组丝杆之间通过皮带轮和皮带主体连接，使得操作人员通过正向转动任意一组丝杆即可带动多组橡胶块向下移动与地面接触，从而保证该装置在使用时的稳定性。
2、通过第二液压油存储仓内设置有弹性机构，使得操作人员通过万向轮对该装置进行移动发生震动时，活塞杆和活塞主体可以对应移动，第二弹簧和第一弹簧可以对应形变，同时液压油可以在第二液压油存储仓与第一液压油存储仓之间流动，进而可以充分减小震动对冷泵吸附组件的影响，进而避免在移动过程中冷泵吸附组件受到的震动幅度过大对冷泵吸附组件造成不必要的损伤。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于分子束外延设备的料渣收集装置的主视剖视结构示意图；
图2为本实用新型图1的A处放大结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种用于分子束外延设备的料渣收集装置的俯视剖视结构示意图；
图4为本实用新型提出的一种用于分子束外延设备的料渣收集装置安装板的立体结构示意图。
图中：1安装仓、2冷泵吸附组件、3连接杆、4第一液压油存储仓、5活塞杆、6第一弹簧、7万向轮、8第二液压油存储仓、9活塞主体、10第二弹簧、11丝杆、12皮带轮、13皮带主体、14操作杆、15防滑皮套、16安装板、17橡胶块、18推拉杆。
具体实施方式
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。
参照图1-4，一种用于分子束外延设备的料渣收集装置，包括安装仓1，安装仓1的顶部安装有冷泵吸附组件2，安装仓1的一侧安装有连接杆3，且连接杆3远离安装仓1的一端安装有推拉杆18，便于操作人员通过握住推拉杆18对该装置进行移动；
安装仓1内部底部的四角位置处皆安装有第一液压油存储仓4，且第一液压油存储仓4内部的底部贯穿有活塞杆5，并且活塞杆5贯穿安装仓1，活塞杆5与第一液压油存储仓4之间连接有第一弹簧6，且活塞杆5的底端安装有万向轮7，安装仓1内部顶部的四角位置处皆安装有第二液压油存储仓8，且第二液压油存储仓8与第一液压油存储仓4相互连通，第二液压油存储仓8内设置有用于带动第二液压油存储仓8内液压油向第一液压油存储仓4内挤压输送的弹性机构，弹性机构包括设置在第二液压油存储仓8内的活塞主体9，活塞主体9与第二液压油存储仓8之间连接有第二弹簧10，使得在移动过程中，活塞杆5发生震动时，第一液压油存储仓4与第二液压油存储仓8内液压油可以发生对应流动，活塞主体9可以发生对应滑动，第二弹簧10可以发生对应形变，从而减小震动对安装仓1和冷泵吸附组件2的影响；
安装仓1顶部的四角位置处皆贯穿有丝杆11，且丝杆11外侧的中间位置处安装有皮带轮12，并且皮带轮12的外侧安装有皮带主体13，丝杆11的中心轴线与安装仓1的横向中心轴线相互垂直，且丝杆11与安装仓1为转动连接，使得操作人员可以对任意一组丝杆11进行转动；
丝杆11靠近顶端的外侧均匀安装有操作杆14，且操作杆14的外侧安装有防滑皮套15，便于操作人员对丝杆11进行转动；
丝杆11靠近底端的外侧套设有安装板16，且安装板16贯穿安装仓1，安装板16的底部安装有橡胶块17，安装板16与丝杆11为螺纹连接，且安装板16与安装仓1为滑动连接，使得丝杆11正向转动时，安装板16可以带动橡胶块17向下移动与地面贴合，从而保证装置在使用过程中的稳定性。
本实用新型使用时，如图1-4所示，握住推拉杆18通过万向轮7将该装置移动至指定位置处，在移动过程中，当地面不顾平整造成万向轮7发生震动颠簸时，通过活塞杆5分别与第一液压油存储仓4和安装仓1的滑动连接，第一弹簧6的弹性，使得活塞杆5可以发生对应滑动，同时可以使得第一液压油存储仓4与第二液压油存储仓8内的液压油对应流动，活塞主体9发生对应滑动，第二弹簧10发生对应形变，从而可以减小传递给安装仓1和冷泵吸附组件2的震动，避免在移动过程中冷泵吸附组件2受到的震动幅度过大造成不必要的损伤，移动完成后，将万向轮7锁定，正向转动任意一组丝杆11，通过多组丝杆11之间皮带轮12和皮带主体13的连接，使得此时多组丝杆11可以同时转动，通过安装板16与对应丝杆11的螺纹连接，使得此时安装板16可以带动其上的橡胶块17向下移动，直至多组橡胶块17充分与地面接触，进而保证在后续使用过程中该装置的稳定性，将该装置接通电源，将冷泵吸附组件2的输入端与分子束外延设备连通，并通过冷泵吸附组件2对其内部料渣进行吸附收集即可。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种用于分子束外延设备的料渣收集装置，包括安装仓(1)，其特征在于，所述安装仓(1)的顶部安装有冷泵吸附组件(2)，所述安装仓(1)内部底部的四角位置处皆安装有第一液压油存储仓(4)，且第一液压油存储仓(4)内部的底部贯穿有活塞杆(5)，并且活塞杆(5)贯穿安装仓(1)，所述活塞杆(5)与第一液压油存储仓(4)之间连接有第一弹簧(6)，且活塞杆(5)的底端安装有万向轮(7)，所述安装仓(1)内部顶部的四角位置处皆安装有第二液压油存储仓(8)，且第二液压油存储仓(8)与第一液压油存储仓(4)相互连通，所述第二液压油存储仓(8)内设置有用于带动第二液压油存储仓(8)内液压油向第一液压油存储仓(4)内挤压输送的弹性机构，所述安装仓(1)顶部的四角位置处皆贯穿有丝杆(11)，且丝杆(11)外侧的中间位置处安装有皮带轮(12)，并且皮带轮(12)的外侧安装有皮带主体(13)，所述丝杆(11)靠近底端的外侧套设有安装板(16)，且安装板(16)贯穿安装仓(1)，所述安装板(16)的底部安装有橡胶块(17)。
2.根据权利要求1所述的一种用于分子束外延设备的料渣收集装置，其特征在于，所述安装仓(1)的一侧安装有连接杆(3)，且连接杆(3)远离安装仓(1)的一端安装有推拉杆(18)。
3.根据权利要求1所述的一种用于分子束外延设备的料渣收集装置，其特征在于，所述弹性机构包括设置在第二液压油存储仓(8)内的活塞主体(9)，所述活塞主体(9)与第二液压油存储仓(8)之间连接有第二弹簧(10)。
4.根据权利要求1所述的一种用于分子束外延设备的料渣收集装置，其特征在于，所述丝杆(11)的中心轴线与安装仓(1)的横向中心轴线相互垂直，且丝杆(11)与安装仓(1)为转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于分子束外延设备的料渣收集装置，其特征在于，所述丝杆(11)靠近顶端的外侧均匀安装有操作杆(14)，且操作杆(14)的外侧安装有防滑皮套(15)。
6.根据权利要求1所述的一种用于分子束外延设备的料渣收集装置，其特征在于，所述安装板(16)与丝杆(11)为螺纹连接，且安装板(16)与安装仓(1)为滑动连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221270266.4U CN217575318U (zh) | 2022-05-25 | 2022-05-25 | 一种用于分子束外延设备的料渣收集装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202221270266.4U CN217575318U (zh) | 2022-05-25 | 2022-05-25 | 一种用于分子束外延设备的料渣收集装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN217575318U true CN217575318U (zh) | 2022-10-14 |
Family
ID=83553781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202221270266.4U Active CN217575318U (zh) | 2022-05-25 | 2022-05-25 | 一种用于分子束外延设备的料渣收集装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN217575318U (zh) |
-
2022
- 2022-05-25 CN CN202221270266.4U patent/CN217575318U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107487632B (zh) | 一种玻璃上片和下片的一体机 | |
| CN102581606B (zh) | 一种高压输电线路防振锤安装拆卸装置 | |
| CN210671043U (zh) | 一种防爆机柜安装导轨架 | |
| CN110803233B (zh) | 一种计算机控制爬行机器人 | |
| CN112607344A (zh) | 一种具有顶升及换向功能的穿梭车 | |
| CN217575318U (zh) | 一种用于分子束外延设备的料渣收集装置 | |
| CN212387279U (zh) | 物料传送装置 | |
| CN205018962U (zh) | 擦窗机器人 | |
| CN109434755A (zh) | 一种汽车玻璃卡条安装装置 | |
| CN218595382U (zh) | 天然气管道放空回收装置 | |
| CN205441987U (zh) | 一种玻璃装卸车 | |
| CN210875502U (zh) | 一种便于调节研磨效果的新型二氧化钛研磨机 | |
| CN113620207A (zh) | 一种具有防打滑功能的液压设备 | |
| CN208181175U (zh) | 一种差速驱动总成 | |
| CN112179680A (zh) | 一种带有弹性支撑架构体的车辆轮胎测试系统 | |
| CN112081658A (zh) | 柴油机水泵机组 | |
| CN214526442U (zh) | 一种传送皮带清扫装置 | |
| CN219409102U (zh) | 用于扫地机器人的物料升降搬运装置 | |
| CN217097764U (zh) | 具有自动抓取料移动式轨道操作机 | |
| CN210665084U (zh) | 多角度安全带锁止安装治具 | |
| CN112259324B (zh) | 一种磁钢预充磁设备 | |
| CN214729196U (zh) | 一种履带式工程机械分体式引导轮总成 | |
| CN108917362A (zh) | 一种流水线式出料成型一体装置 | |
| CN220258845U (zh) | 一种露天矿山设备清洗设备 | |
| CN220906098U (zh) | 一种立体仓储用搬运机构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CB03 | Change of inventor or designer information |
Inventor after: Lu Yunfeng Inventor after: Gong Lianguo Inventor before: Lu Yunfeng Inventor before: Wen Han |
|
| CB03 | Change of inventor or designer information |