CN217563853U - 扩散炉管控温热电偶连接pcb电路板 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种扩散炉管控温热电偶连接PCB电路板，包括PCB板本体，所述PCB板本体上设置有外部导线压线端子和多个热电偶压线端子；多个所述外部导线压线端子与多个所述热电偶压线端子一一对应连接，所述外部导线压线端子与所述热电偶压线端子通过连接导线相连接；所述外部导线压线端子用于连接外部导线，所述热电偶压线端子用于连接热电偶导线。本实用新型实现扩散炉管温控热电偶的快速更换。

Description

扩散炉管控温热电偶连接PCB电路板

技术领域

本实用新型涉及温控技术领域，具体地，涉及一种扩散炉管控温热电偶连接PCB电路板。

背景技术

在半导体分立器件生产制造过程中，很多关键工序都需要使用扩散炉,比如沉积，氧化，掺杂等工艺。其中扩散炉管温度的管控，直接关系到半导体产品的良率。控温需要热电偶，由于扩散炉管的使用温度最高可达2000℃，所以为了保证扩散炉管的控温精度，需要定期对控温热电偶进行检查和更换。更换控温热电偶时需要拆除相应的连接导线，原有的PCB连接电路板，在拆除和安装过程比较繁琐，需要拆除所有的与控温热电偶的连接导线，并且安装时需要将控温热电偶输出端的导线与外部导线相互缠绕，然后接入相应的压线端子，此安装过程容易造成导线内部有损伤造成接触不良，从而导致整个扩散炉管的控温异常，导致产品良率下降，如图1和图2所示。

公开号为CN204832996U的专利文献公开了一种热电偶发热盘，包括底座、电源插口、热电偶感应线、温控器、电路板、继电器、导线和发热炉盘，所述底座上设有发热炉盘，所述发热炉盘由底盘、发热带、热电偶温度感应头、陶瓷座和端子组成，所述陶瓷座固定在底盘的一侧，所述端子固定在陶瓷座上，所述发热带卷曲固定在底盘上，发热带两端位于底盘边缘，所述发热带的两端各与一个端子焊接，所述热电偶温度感应头固定在底盘的中心，所述底座的左侧中间位置设有电源插口，所述电路板固定在底座的右侧，电路板上设有继电器，所述电路板的左侧设有温控器。但是该专利文献仍然存在拆除和安装过程比较繁琐，容易造成导线内部有损伤造成接触不良的缺陷。

实用新型内容

针对现有技术中的缺陷，本实用新型的目的是提供一种扩散炉管控温热电偶连接PCB电路板。

根据本实用新型提供的一种扩散炉管控温热电偶连接PCB电路板，包括PCB 板本体，所述PCB板本体上设置有外部导线压线端子和多个热电偶压线端子；

多个所述外部导线压线端子与多个所述热电偶压线端子一一对应连接，所述外部导线压线端子与所述热电偶压线端子通过连接导线相连接；

所述外部导线压线端子用于连接外部导线，所述热电偶压线端子用于连接热电偶导线；

所述外部导线压线端子设置为六个，所述热电偶压线端子设置为六个；

六个所述外部导线压线端子分别为第一外部导线压线端子、第二外部导线压线端子、第三外部导线压线端子、第四外部导线压线端子、第五外部导线压线端子、第六外部导线压线端子；

六个所述热电偶压线端子为第一热电偶压线端子、第二热电偶压线端子、第三热电偶压线端子、第四热电偶压线端子、第五热电偶压线端子、第六热电偶压线端子；

所述第一外部导线压线端子与所述第一热电偶压线端子通过所述连接导线连接；所述第二外部导线压线端子与所述第二热电偶压线端子通过所述连接导线连接；所述第三外部导线压线端子与所述第三热电偶压线端子通过所述连接导线连接；

所述第四外部导线压线端子与所述第四热电偶压线端子通过所述连接导线连接；所述第五外部导线压线端子与所述第五热电偶压线端子通过所述连接导线连接；所述第六外部导线压线端子与所述第六热电偶压线端子通过所述连接导线连接。

优选的，所述第一热电偶压线端子、所述第二热电偶压线端子、所述第三热电偶压线端子、所述第四热电偶压线端子均为双组分组成热电偶的压线端子。

优选的，所述第五热电偶压线端子和所述第六热电偶压线端子均为单组分组成热电偶的压线端子。

与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：

1、本实用新型能够实现快速，牢固的进行控温热电偶的更换；

2、本实用新型省去了导线相互缠绕的过程，避免在缠绕过程中对导线造成损伤，从而造成接触不良；

3、本实用新型的外部两根导线之间的连接通过对应的压线端子，因此在更换扩散炉管的温控热电偶时，只需要拆下热电偶对应的压线端子，省去外部两根导线相互缠绕后接入相应压线端子的过程，使得更换扩散炉管热电偶更为方便快捷。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本实用新型的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为现有的扩散炉管控温热电偶连接PCB电路板的结构图；

图2为现有的扩散炉管控温热电偶连接PCB电路板的立体结构图；

图3为本实用新型的扩散炉管控温热电偶连接PCB电路板的结构图一；

图4为本实用新型的扩散炉管控温热电偶连接PCB电路板的结构图二；

图5为本实用新型的扩散炉管控温热电偶连接PCB电路板的立体结构图。

图中示出：

PCB板本体1 热电偶压线端子3

外部导线压线端子2 第一热电偶压线端子301

第一外部导线压线端子201 第二热电偶压线端子302

第二外部导线压线端子202 第三热电偶压线端子303

第三外部导线压线端子203 第四热电偶压线端子304

第四外部导线压线端子204 第五热电偶压线端子305

第五外部导线压线端子205 第六热电偶压线端子306

第六外部导线压线端子206

具体实施方式

下面结合具体实施例对本实用新型进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本实用新型，但不以任何形式限制本实用新型。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本实用新型的保护范围。

实施例1：

如图3～5所示，本实施例提供一种扩散炉管控温热电偶连接PCB电路板，包括 PCB板本体1，PCB板本体1上设置有外部导线压线端子2和多个热电偶压线端子3，多个外部导线压线端子2与多个热电偶压线端子3一一对应连接，外部导线压线端子2 与热电偶压线端子3通过连接导线相连接，外部导线压线端子2用于连接外部导线，热电偶压线端子3用于连接热电偶导线。

外部导线压线端子2设置为六个，热电偶压线端子3设置为六个。六个外部导线压线端子2分别为第一外部导线压线端子201、第二外部导线压线端子202、第三外部导线压线端子203、第四外部导线压线端子204、第五外部导线压线端子205、第六外部导线压线端子206；六个热电偶压线端子3为第一热电偶压线端子301、第二热电偶压线端子302、第三热电偶压线端子303、第四热电偶压线端子304、第五热电偶压线端子 305、第六热电偶压线端子306。

第一外部导线压线端子201与第一热电偶压线端子301通过连接导线连接；第二外部导线压线端子202与第二热电偶压线端子302通过连接导线连接；第三外部导线压线端子203与第三热电偶压线端子303通过连接导线连接；第四外部导线压线端子204与第四热电偶压线端子304通过连接导线连接；第五外部导线压线端子205与第五热电偶压线端子305通过连接导线连接；第六外部导线压线端子206与第六热电偶压线端子306 通过连接导线连接。

第一热电偶压线端子301、第二热电偶压线端子302、第三热电偶压线端子303、第四热电偶压线端子304均为双组分组成热电偶的压线端子。第五热电偶压线端子305和第六热电偶压线端子306均为单组分组成热电偶的压线端子。

工作原理：

通过电路图可以看出第一外部导线压线端子201和第一热电偶压线端子301是同一根线路，当使用时，固定一端导线在外部导线压线端子201上，热电偶的一端接在第一热电偶压线端子301上，当更换热电偶时，拆除第一热电偶压线端子301、第二热电偶压线端子302、第三热电偶压线端子303、第四热电偶压线端子304、第五热电偶压线端子305以及第六热电偶压线端子306上的热电偶的接线，第一外部导线压线端子201、第二外部导线压线端子202、第三外部导线压线端子203、第四外部导线压线端子204、第五外部导线压线端子205以及第六外部导线压线端子206固定不动，方便快捷。

省去第一外部导线压线端子201和第一热电偶压线端子301相互缠绕的过程,避免在缠绕过程中对导线造成损伤，从而造成接触不良。由于更换过程中省去拆除第一外部导线压线端子201、第二外部导线压线端子202、第三外部导线压线端子203、第四外部导线压线端子204、第五外部导线压线端子205以及第六外部导线压线端子206的导线，使得更换扩散炉管热电偶更为方便快捷。

本实施例主要是在原有电路的基础上增加支路电路，使用该电路设计的PCB电路板，方便不同区域的控温热电偶与温控系统的连接，对比传统扩散炉管控温热电偶的 PCB连接板，改进后的PCB电路板由于在传统的电路上每条连接电路增加一个电路，在PCB板上的体现是通过增加压线端子的数量，外部两根导线之间的连接通过对应的压线端子，因此在更换扩散炉管的温控热电偶时，只需要拆下热电偶对应的压线端子，省去外部两根导线相互缠绕后接入相应压线端子的过程，另外的连接线固定在压线端子上不做任何处理，从而能够实现快速，牢固的进行控温热电偶的更换。

实施例2：

本领域技术人员可以将本实施例理解为实施例1的更为具体的说明。

本实施例提供一种扩散炉管的控温热电偶连接PCB板，主要由内部的连接导线，外部压线端子组成，通过对压线端子上的固定螺丝实现扩散炉管温控热电偶的快速更换。

与传统的连接电路相比在已有的电路上增加电路数量，与传统的PCB连接电路板相比增加了压线端子的数量。

如图2进行连接，第一热电偶压线端子301、第二热电偶压线端子302、第三热电偶压线端子303、第四热电偶压线端子304、第五热电偶压线端子305以及第六热电偶压线端子306接热电偶的正负极和相应的输出导线，通常我们在更换扩撒炉管控温热电偶时，只用拆卸热电偶对应的压线端子(即第一热电偶压线端子301、第二热电偶压线端子302、第三热电偶压线端子303、第四热电偶压线端子304、第五热电偶压线端子 305、第六热电偶压线端子306)，而不用拆卸信号输出的压线端子(即第一外部导线压线端子201、第二外部导线压线端子202、第三外部导线压线端子203、第四外部导线压线端子204、第五外部导线压线端子205、第六外部导线压线端子206)。

第一外部导线压线端子201和第一热电偶压线端子301在同一根导线上；第二外部导线压线端子202和第二热电偶压线端子302在同一根导线上；第三外部导线压线端子 203和第三热电偶压线端子303在同一根导线上；第四外部导线压线端子204和第四热电偶压线端子304在同一根导线上；第五外部导线压线端子205和第五热电偶压线端子 305在同一根导线上；第六外部导线压线端子206和第六热电偶压线端子306在同一根导线上。

第一热电偶压线端子301、第二热电偶压线端子302、第三热电偶压线端子303以及第四热电偶压线端子304均为双组分组成热电偶的接线端子。第五热电偶压线端子 305和第六热电偶压线端子306均为单组分组成热电偶的接线端子。第一外部导线压线端子201、第二外部导线压线端子202、第三外部导线压线端子203、第四外部导线压线端子204、第五外部导线压线端子205以及第六外部导线压线端子206均为输出端信号端子，R+代表R型热电偶的正极，R-代表R型热电偶的负极。

本实用新型还提供上述的PCB板的制备及使用方法，包括如下步骤：

步骤1：根据连接需求，设计好相应原理图以及PCB layout；

步骤2：根据PCB layout图纸，做出相的PCB板；

步骤3：在做出的PCB板上选择合适的压线端子(第一热电偶压线端子301、第二热电偶压线端子302、第三热电偶压线端子303、第四热电偶压线端子304、第五热电偶压线端子305、第六热电偶压线端子306、第一外部导线压线端子201、第二外部导线压线端子202、第三外部导线压线端子203、第四外部导线压线端子204、第五外部导线压线端子205、第六外部导线压线端子206)，将它们焊接到PCB板上。

本实用新型能够实现快速，牢固的进行控温热电偶的更换。本实用新型省去了导线相互缠绕的过程，避免在缠绕过程中对导线造成损伤，从而造成接触不良。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

以上对本实用新型的具体实施例进行了描述。需要理解的是，本实用新型并不局限于上述特定实施方式，本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变化或修改，这并不影响本实用新型的实质内容。在不冲突的情况下，本申请的实施例和实施例中的特征可以任意相互组合。

Claims (3)

1.一种扩散炉管控温热电偶连接PCB电路板，其特征在于，包括PCB板本体(1)，所述PCB板本体(1)上设置有外部导线压线端子(2)和多个热电偶压线端子(3)；

多个所述外部导线压线端子(2)与多个所述热电偶压线端子(3)一一对应连接，所述外部导线压线端子(2)与所述热电偶压线端子(3)通过连接导线相连接；

所述外部导线压线端子(2)用于连接外部导线，所述热电偶压线端子(3)用于连接热电偶导线；

所述外部导线压线端子(2)设置为六个，所述热电偶压线端子(3)设置为六个；

六个所述外部导线压线端子(2)分别为第一外部导线压线端子(201)、第二外部导线压线端子(202)、第三外部导线压线端子(203)、第四外部导线压线端子(204)、第五外部导线压线端子(205)、第六外部导线压线端子(206)；

六个所述热电偶压线端子(3)为第一热电偶压线端子(301)、第二热电偶压线端子(302)、第三热电偶压线端子(303)、第四热电偶压线端子(304)、第五热电偶压线端子(305)、第六热电偶压线端子(306)；

所述第一外部导线压线端子(201)与所述第一热电偶压线端子(301)通过所述连接导线连接；所述第二外部导线压线端子(202)与所述第二热电偶压线端子(302)通过所述连接导线连接；所述第三外部导线压线端子(203)与所述第三热电偶压线端子(303)通过所述连接导线连接；

所述第四外部导线压线端子(204)与所述第四热电偶压线端子(304)通过所述连接导线连接；所述第五外部导线压线端子(205)与所述第五热电偶压线端子(305)通过所述连接导线连接；所述第六外部导线压线端子(206)与所述第六热电偶压线端子(306)通过所述连接导线连接。

2.根据权利要求1所述的扩散炉管控温热电偶连接PCB电路板，其特征在于，所述第一热电偶压线端子(301)、所述第二热电偶压线端子(302)、所述第三热电偶压线端子(303)、所述第四热电偶压线端子(304)均为双组分组成热电偶的压线端子。

3.根据权利要求2所述的扩散炉管控温热电偶连接PCB电路板，其特征在于，所述第五热电偶压线端子(305)和所述第六热电偶压线端子(306)均为单组分组成热电偶的压线端子。

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