CN217507279U - 一种用于硅片镀膜的承载装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于承载装置技术领域，尤其是一种用于硅片镀膜的承载装置，针对现有的承载装置多为固定设置，使用不够灵活，不能根据使用需求选择承载装置的使用数量的问题，现提出如下方案，其包括支撑板，支撑板的一侧安装有两个第二支撑条和多个第一支撑条，两个第二支撑条安装在支撑板的两端，多个第一支撑条位于两个第二支撑条之间，且多个第一支撑条为均匀排布，多个第一支撑条和两个第二支撑条之间设置有多个承载盘，承载盘上开设有承载槽，两个所述第二支撑条的内侧和多个第一支撑条的两侧均安装有导向条，承载盘的两侧均开设有导向缺口。本实用新型结构简单，使用灵活，能根据使用需求选择承载盘的使用数量。
Description
技术领域
本实用新型涉及承载装置技术领域，尤其涉及一种用于硅片镀膜的承载装置。
背景技术
硅片承载板是一种用于承载硅片的载具，广泛用于硅片加工的过程中，晶体硅太阳能电池是市场上的主流产品，其制造流程为：表面清洗及织构化、扩散、清洗刻蚀去边、镀膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触、测试，其中，镀膜工序是指在制备太阳能电池过程中镀减反射膜即制备氮化硅薄膜。公开(公告)号：CN206225383U提供了一种用于硅片镀膜的承载装置，所述承载装置包括承载装置本体，所述承载装置本体上设置有至少一个承载槽，其特征在于：所述承载槽内部设置有正方形的内承载槽；所述内承载槽上设置有至少三个小孔。所述内承载槽的槽距为159mm；所述至少三个小孔的孔径为8mm～10mm；所述至少三个小孔以所述内承载槽的中心点为原点在其周围均匀分布；所述承载装置本体的材料为石墨。
现有的承载装置多为固定设置，使用不够灵活，不能根据使用需求选择承载装置的使用数量。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有的承载装置多为固定设置，使用不够灵活，不能根据使用需求选择承载装置的使用数量的缺点，而提出的一种用于硅片镀膜的承载装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种用于硅片镀膜的承载装置，包括支撑板，支撑板的一侧安装有两个第二支撑条和多个第一支撑条，两个第二支撑条安装在支撑板的两端，多个第一支撑条位于两个第二支撑条之间，且多个第一支撑条为均匀排布，多个第一支撑条和两个第二支撑条之间设置有多个承载盘，承载盘上开设有承载槽。
优选的，两个所述第二支撑条的内侧和多个第一支撑条的两侧均安装有导向条，承载盘的两侧均开设有导向缺口，导向缺口与对应的导向条滑动连接。
优选的，所述导向缺口的内壁开设有弹力槽，弹力槽内滑动安装有弹力块，导向条的外侧开设有多个固定槽，弹力块与对应的固定槽双向卡接。
优选的，所述弹力块的外侧安装有弹簧的一端，弹簧的另一端与弹力槽的内壁相连。
优选的，所述承载槽的底部内壁开设有多个透气孔。
与现有技术相比，本实用新型的优点在于：
本方案将承载盘安装在第一支撑条与第二支撑条之间，通过导向条与导向缺口滑动连接，可以对承载盘进行支撑和导向，设置的弹簧为弹力块提供弹力，使得弹力块进入固定槽内，可以将承载盘固定，增加承载盘的稳定性，同理可以安装多个承载盘，使用灵活，可以根据需求进行承载盘的安装和使用，且拆卸方便；
本实用新型结构简单，使用灵活，能根据使用需求选择承载盘的使用数量。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于硅片镀膜的承载装置的结构示意图；
图2为本实用新型提出的图1中A部分结构示意图；
图3为本实用新型提出的图1的侧视结构示意图。
图中：1、支撑板；2、第一支撑条；3、承载盘；4、承载槽；5、透气孔；6、把手；7、导向条；8、导向缺口；9、弹簧；10、弹力槽；11、固定槽；12、弹力块；13、第二支撑条。
具体实施方式
下面将结合本实施例中的附图，对本实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实施例一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例一
参照图1-3，一种用于硅片镀膜的承载装置，包括支撑板1，支撑板1的一侧安装有两个第二支撑条13和多个第一支撑条2，两个第二支撑条13安装在支撑板1的两端，多个第一支撑条2位于两个第二支撑条13之间，且多个第一支撑条2为均匀排布，多个第一支撑条2和两个第二支撑条13之间设置有多个承载盘3，承载盘3上开设有承载槽4，承载槽4的底部内壁开设有多个透气孔5。
本实施例中，两个第二支撑条13的内侧和多个第一支撑条2的两侧均安装有导向条7，承载盘3的两侧均开设有导向缺口8，导向缺口8与对应的导向条7滑动连接。
本实施例中，导向缺口8的内壁开设有弹力槽10，弹力槽10内滑动安装有弹力块12，导向条7的外侧开设有多个固定槽11，弹力块12与对应的固定槽11双向卡接。
本实施例中，弹力块12的外侧安装有弹簧9的一端，弹簧9的另一端与弹力槽10的内壁相连。
工作原理，使用时，将承载盘3安装在第一支撑条2与第二支撑条13之间，通过导向条7与导向缺口8滑动连接，可以对承载盘3进行支撑和导向，设置的弹簧9为弹力块12提供弹力，使得弹力块12进入固定槽11内，可以将承载盘3固定，增加承载盘3的稳定性，同理可以安装多个承载盘3，使用灵活，可以根据需求进行承载盘3的安装和使用，且拆卸方便。
实施例二
参照图1-3，一种用于硅片镀膜的承载装置，包括支撑板1，支撑板1的一侧安装有两个第二支撑条13和多个第一支撑条2，两个第二支撑条13安装在支撑板1的两端，多个第一支撑条2位于两个第二支撑条13之间，且多个第一支撑条2为均匀排布，多个第一支撑条2和两个第二支撑条13之间设置有多个承载盘3，承载盘3上开设有承载槽4，承载槽4的底部内壁开设有多个透气孔5。
本实施例中，两个第二支撑条13的内侧和多个第一支撑条2的两侧均安装有导向条7，承载盘3的两侧均开设有导向缺口8，导向缺口8与对应的导向条7滑动连接。
本实施例中，导向缺口8的内壁开设有弹力槽10，弹力槽10内滑动安装有弹力块12，导向条7的外侧开设有多个固定槽11，弹力块12与对应的固定槽11双向卡接。
本实施例中，弹力块12的外侧安装有弹簧9的一端，弹簧9的另一端与弹力槽10的内壁相连。
本实施例中，两个第二支撑条13的外侧均安装有把手6。
工作原理，实施例二与实施例一之间的区别在于：设置的两个把手6方便对整体携带，本申请中的所有结构均可以根据实际使用情况进行材质和长度的选择，附图均为示意结构图，具体实际尺寸可以做出适当调整。
以上所述，仅为本实施例较佳的具体实施方式，但本实施例的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实施例揭露的技术范围内，根据本实施例的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实施例的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种用于硅片镀膜的承载装置，包括支撑板(1)，其特征在于，所述支撑板(1)的一侧安装有两个第二支撑条(13)和多个第一支撑条(2)，两个第二支撑条(13)安装在支撑板(1)的两端，多个第一支撑条(2)位于两个第二支撑条(13)之间，且多个第一支撑条(2)为均匀排布，多个第一支撑条(2)和两个第二支撑条(13)之间设置有多个承载盘(3)，承载盘(3)上开设有承载槽(4)。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片镀膜的承载装置，其特征在于，两个所述第二支撑条(13)的内侧和多个第一支撑条(2)的两侧均安装有导向条(7)，承载盘(3)的两侧均开设有导向缺口(8)，导向缺口(8)与对应的导向条(7)滑动连接。
3.根据权利要求2所述的一种用于硅片镀膜的承载装置，其特征在于，所述导向缺口(8)的内壁开设有弹力槽(10)，弹力槽(10)内滑动安装有弹力块(12)，导向条(7)的外侧开设有多个固定槽(11)，弹力块(12)与对应的固定槽(11)双向卡接。
4.根据权利要求3所述的一种用于硅片镀膜的承载装置，其特征在于，所述弹力块(12)的外侧安装有弹簧(9)的一端，弹簧(9)的另一端与弹力槽(10)的内壁相连。
5.根据权利要求1所述的一种用于硅片镀膜的承载装置，其特征在于，所述承载槽(4)的底部内壁开设有多个透气孔(5)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202123411088.0U CN217507279U (zh) | 2021-12-31 | 2021-12-31 | 一种用于硅片镀膜的承载装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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|---|---|
| CN217507279U true CN217507279U (zh) | 2022-09-27 |
Family
ID=83344192
Family Applications (1)
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| CN202123411088.0U Active CN217507279U (zh) | 2021-12-31 | 2021-12-31 | 一种用于硅片镀膜的承载装置 |
Country Status (1)
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2021
- 2021-12-31 CN CN202123411088.0U patent/CN217507279U/zh active Active
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