CN221051984U - 一种硅片承载用载板 - Google Patents
一种硅片承载用载板 Download PDFInfo
- Publication number
- CN221051984U CN221051984U CN202323013288.XU CN202323013288U CN221051984U CN 221051984 U CN221051984 U CN 221051984U CN 202323013288 U CN202323013288 U CN 202323013288U CN 221051984 U CN221051984 U CN 221051984U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- bearing
- carrier
- frame
- silicon wafers
- set forth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 32
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 32
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 32
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 32
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 claims description 8
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 claims description 8
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000007770 graphite material Substances 0.000 claims description 4
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型属于载板技术领域，具体涉及一种硅片承载用载板，本装置包括：承载架和设置在所述承载架上的若干承载区，所述承载区包括边框、设置在所述边框四周的若干台阶面和设置在所述台阶面上的承载凸点，其中，若干台阶面围合形成若干个尺寸不同的承载腔。本实用新型通过设置在台阶面上的承载凸点，实现不同尺寸的硅片承载。
Description
技术领域
本实用新型属于载板领域，具体涉及一种硅片承载用载板。
背景技术
真空镀光电薄膜是太阳能电池制造必要的工艺制程之一。现有技术中，如申请号为CN202023229189.1，名称为一种硅片载板，公开了本体；第一凹槽，由所述本体的一面向内凹陷形成；第二凹槽，由所述第一凹槽的槽底向内凹陷形成，所述第一凹槽与所述第二凹槽之间的区域形成台阶面，适于支撑硅片的边缘区域；凸起，设置在所述第二凹槽的槽底，适于支撑硅片的中间区域。但上述专利中，只可以适应同一种尺寸的硅片，每当硅片尺寸不一时，需要更换载板，再进行镀膜。
实用新型内容
本实用新型为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片承载用载板，包括
承载架和设置在所述承载架上的若干承载区，所述承载区包括边框、设置在所述边框四周的若干台阶面和设置在所述台阶面上的承载凸点，其中，
若干台阶面围合形成若干个尺寸不同的承载腔。
进一步地，所述台阶面包括第一台阶和第二台阶，所述第一台阶位于所述第二台阶的上方，且所述第一台阶的宽度小于所述第二台阶的宽度。
进一步地，所述第一台阶和第二台阶的高度方向上均开设有若干部导向槽，所述导向槽内滑动设置有所述承载凸点，以调节硅片的不同高度。
进一步地，所述承载凸点包括提拉部和承载部，所述提拉部高出相应的所述台阶面，所述第一台阶上的承载部的长度低于所述第二台阶的长度。
进一步地，所述承载部的两侧设置有翅片，所述导向槽的两侧还设置有定位槽，其中，所述翅片滑动设置在所述定位槽内。
进一步地，所述承载部的端面倾斜设置，且倾斜角度为15°～30°。
进一步地，所述承载架和承载区的材质为长碳纤维材质，所述承载架和承载区的表面的材质为短碳纤维材质。
进一步地，所述边框的另外两侧还设置有加强筋，所述加强筋位于所述边框的底部。
进一步地，所述边框的两侧设置有载板导条，所述载板导条位于所述边框的底部。
进一步地，所述载板导条内填充有石墨材料。
本实用新型的有益效果是，本实用新型通过设置在台阶面上的承载凸点，实现不同尺寸的硅片承载。加强筋能根据所述载板本体变形方向变化厚度，同时加强筋可以根据载板本体使用场景变化位置以解决所述加强筋边缘效应问题；面板能稳固架设承载区从而使承载区平稳承载硅片，载板导条能引导载板本体循环运动。承载部的端面倾斜设置，不会因为高温变形陷落，承载部既保证了承载稳定性又缩小了未镀膜面积。
本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。
为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本实用新型的的优选实施例的整体示意图；
图2是本实用新型的的优选实施例的图1中的A处放大图；
图3是本实用新型的的优选实施例的正视图。
图中：100、承载架，110、承载区，111、边框，120、台阶面，121、第一台阶，122、第二台阶，123、导向槽，124、定位槽，130、承载凸点，131、提拉部，132、承载部，133、翅片，140、加强筋，150、载板导条。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
实施例1
如图1所示，本实施例的一种硅片承载用载板，包括承载架100和设置在所述承载架图中：100上的若干承载区110，所述承载区110包括边框111、设置在所述边框111四周的若干台阶面120和设置在所述台阶面120上的承载凸点130，其中，若干台阶面120围合形成若干个尺寸不同的承载腔。
所述台阶面120包括第一台阶121和第二台阶122，所述第一台阶121位于所述第二台阶122的上方，且所述第一台阶121的宽度小于所述第二台阶122的宽度。台阶面120在本实施例以两个为例进行说明。第一台阶121在第二台阶122的上方，第二台阶122延伸出第一台阶121。
所述第一台阶121和第二台阶122的高度方向上均开设有若干部导向槽123，所述导向槽123内滑动设置有所述承载凸点130，以调节硅片的不同高度。第一台阶121和第二台阶122具有一定的高度，承载凸点130滑动设置在导向槽123内，承载凸点130和导向槽123过盈配合，以使所述承载凸点130能够卡在不同高度的导向槽123内。
所述承载凸点130包括提拉部131和承载部132，所述提拉部131高出相应的所述台阶面120，所述第一台阶121上的承载部132的长度低于所述第二台阶122的长度。提拉部131便于拉动承载部132，承载部132延伸出第一台阶121，但承载部132不伸出第二台阶122，以防止在第二台阶122上放置硅片时，第一台阶121上的承载部132干涉第二台阶122上的硅片。为了便于承载部132移动，第一台阶121的承载部132不会接触到第二台阶122的提升部。
为了便于将承载部132稳定的滑动设置在导向槽123内，所述承载部132的两侧设置有翅片133，所述导向槽123的两侧还设置有定位槽124，其中，所述翅片133滑动设置在所述定位槽124内。翅片133提高了承载部132滑动的稳定性，而且也防止了承载部132在承载硅片过程中的稳定性。
所述承载部132的端面倾斜设置，且倾斜角度为15°～30°。承载部132倾斜设置，保证硅片不会因为高温变形陷落，也起到了和硅片贴合得作用。
所述承载架100和承载区110的材质为长碳纤维材质，所述承载架100和承载区110的表面的材质为短碳纤维材质。使用短碳纤维材质，可以起到满足表面光滑的作用，不会对硅片表面造成刮伤，采用长碳纤维材质，使得更加结实。
所述边框111的另外两侧还设置有加强筋140，所述加强筋140位于所述边框111的底部。通过该设计可以提升所述边框111的稳定性。
所述边框111的两侧设置有载板导条150，所述载板导条150位于所述边框111的底部。所述载板导条150起到支撑所述载板和减少传动部件磨损的作用。所述载板导条150内填充有石墨材料。所述石墨材料能够提高所述载板导条150抵抗热变形的能力。
本申请中选用的各个器件(未说明具体结构的部件)均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。并且，本申请所涉及的软件程序均为现有技术，本申请不涉及对软件程序作出任何改进。
在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外，在本实用新型各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (10)
1.一种硅片承载用载板，其特征在于，包括：
承载架和设置在所述承载架上的若干承载区，所述承载区包括边框、设置在所述边框四周的若干台阶面和设置在所述台阶面上的承载凸点，其中，
若干台阶面围合形成若干个尺寸不同的承载腔。
2.如权利要求1所述的一种硅片承载用载板，其特征在于，
所述台阶面包括第一台阶和第二台阶，所述第一台阶位于所述第二台阶的上方，且所述第一台阶的宽度小于所述第二台阶的宽度。
3.如权利要求2所述的一种硅片承载用载板，其特征在于，
所述第一台阶和第二台阶的高度方向上均开设有若干部导向槽，所述导向槽内滑动设置有所述承载凸点，以调节硅片的不同高度。
4.如权利要求3所述的一种硅片承载用载板，其特征在于，
所述承载凸点包括提拉部和承载部，所述提拉部高出相应的所述台阶面，所述第一台阶上的承载部的长度低于所述第二台阶的长度。
5.如权利要求4所述的一种硅片承载用载板，其特征在于，
所述承载部的两侧设置有翅片，所述导向槽的两侧还设置有定位槽，其中，
所述翅片滑动设置在所述定位槽内。
6.如权利要求4所述的一种硅片承载用载板，其特征在于，
所述承载部的端面倾斜设置，且倾斜角度为15°~30°。
7.如权利要求3所述的一种硅片承载用载板，其特征在于，
所述承载架和承载区的材质为长碳纤维材质，所述承载架和承载区的表面的材质为短碳纤维材质。
8.如权利要求1所述的一种硅片承载用载板，其特征在于，
所述边框的另外两侧还设置有加强筋，所述加强筋位于所述边框的底部。
9.如权利要求8所述的一种硅片承载用载板，其特征在于，
所述边框的两侧设置有载板导条，所述载板导条位于所述边框的底部。
10.如权利要求9所述的一种硅片承载用载板，其特征在于，
所述载板导条内填充有石墨材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202323013288.XU CN221051984U (zh) | 2023-11-08 | 2023-11-08 | 一种硅片承载用载板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202323013288.XU CN221051984U (zh) | 2023-11-08 | 2023-11-08 | 一种硅片承载用载板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN221051984U true CN221051984U (zh) | 2024-05-31 |
Family
ID=91203527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202323013288.XU Active CN221051984U (zh) | 2023-11-08 | 2023-11-08 | 一种硅片承载用载板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN221051984U (zh) |
-
2023
- 2023-11-08 CN CN202323013288.XU patent/CN221051984U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN221051984U (zh) | 一种硅片承载用载板 | |
| CN210006747U (zh) | 一种太阳能电池片 | |
| CN108024475B (zh) | 一种带有自锁式插盘的插框装置 | |
| CN215034777U (zh) | 一种可实现自动化取放的高压igbt模块焊接限位工装 | |
| CN112071952B (zh) | 一种硅片的制作方法及电池片、光伏组件 | |
| WO2023072185A1 (zh) | 光伏组件 | |
| CN211929663U (zh) | 一种用于电池模组的液冷板 | |
| CN103258918A (zh) | 硅片的制绒方法、太阳能电池片及其制作方法 | |
| CN214689668U (zh) | 一种设有压紧限位结构的电池转运装置 | |
| CN209963035U (zh) | 一种硅片承载盘及硅片承载装置 | |
| CN116247121A (zh) | 电池片栅线的制备方法和异质结电池 | |
| CN220830065U (zh) | 一种光伏堆叠储能电池包的主控箱体 | |
| CN212344300U (zh) | 一种容错服务器用便于安装的导轨 | |
| CN217507279U (zh) | 一种用于硅片镀膜的承载装置 | |
| CN218124644U (zh) | 一种光伏发电用光伏组件 | |
| CN221913370U (zh) | 一种龙门式过辊及电池制造设备 | |
| CN213977871U (zh) | 气相沉积用硅片载具及硅片载板 | |
| CN210516688U (zh) | 一种石英舟 | |
| CN210723079U (zh) | 一种稳定刻蚀槽液面的装置 | |
| CN211732214U (zh) | 一种集成电路封装装置 | |
| CN218975687U (zh) | 一种新能源动力电池模组端板 | |
| TWI597854B (zh) | 具射極與背面鈍化之太陽能電池及其製造方法 | |
| CN214265356U (zh) | 数据终端机壳多功能组装工装 | |
| CN218123494U (zh) | 一种电芯弹夹 | |
| CN221806867U (zh) | 一种光伏组件以及安装边框 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |