CN217046124U - 一种晶盘固定机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶盘固定机构，包括基板，该基板的盘面上具有圆孔，晶盘固定机构还包括两组气缸、多组弹簧装置、夹紧板和两组基座。两组气缸安装于基板的一面且分居圆孔的两侧；多组弹簧装置设于圆孔的周边且和两组气缸同侧；夹紧板设于基板的另一面且其和两组气缸的驱动端连接，两组气缸同步驱动夹紧板运动；两组基座设于夹紧板的两侧且两组基座的延伸板和夹紧板之间形成夹持结构，各弹簧装置的活动端均穿过基板和对应的基座连接。本实用新型的晶盘固定机构通过夹紧板的前伸和两组基座形成夹持腔，晶盘进入夹持腔后，两组气缸缩回，使夹紧板和两组基座夹紧晶盘，由于四组弹簧装置的弹力作用，使晶盘夹持稳定。

Description

一种晶盘固定机构

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体的说是涉及一种晶盘固定机构。

背景技术

在半导体领域，晶圆分选作为半导体生产过程中重要环节，取晶圆的效率与良率显得尤为重要，传统的取晶圆分选晶盘固定方案比较多，成本比较高，稳定性比较差，经常会出现多轴压紧卡顿的现象，导致晶盘无法固定。

因此，需要提供一种低成本稳定性高的晶盘固定机构以解决上述技术问题。

实用新型内容

针对现有技术中的不足，本实用新型要解决的技术问题在于提供了一种晶盘固定机构，设计该晶盘固定机构的目的是提高晶盘被夹持后的稳定性。

为解决上述技术问题，本实用新型通过以下方案来实现：本实用新型的一种晶盘固定机构，包括基板，该基板的盘面上具有圆孔，所述晶盘固定机构还包括：

两组气缸，安装于所述基板的一面且分居所述圆孔的两侧；

多组弹簧装置，设于所述圆孔的周边且和所述两组气缸同侧；

夹紧板，设于所述基板的另一面且其和所述两组气缸的驱动端连接，所述两组气缸同步驱动所述夹紧板运动；

两组基座，设于所述夹紧板的两侧且两组基座的延伸板和所述夹紧板之间形成夹持结构，各弹簧装置的活动端均穿过所述基板和对应的所述基座连接。

进一步的，所述弹簧装置设有四组，四组弹簧装置分居所述基板的盘面四角。

相对于现有技术，本实用新型的有益效果是：本实用新型的晶盘固定机构通过夹紧板的前伸和两组基座形成夹持腔，晶盘进入夹持腔后，两组气缸缩回，使夹紧板和两组基座夹紧晶盘，由于四组弹簧装置的弹力作用，使晶盘夹持稳定。

附图说明

图1为本实用新型晶盘固定机构的一面结构示意图。

图2为本实用新型晶盘固定机构的另一面结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。显然，本发明所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1：本实用新型的具体结构如下：

请参照附图1-2，本实用新型的一种晶盘固定机构，包括基板1，该基板1的盘面上具有圆孔4，所述晶盘固定机构还包括：

两组气缸，安装于所述基板1的一面且分居所述圆孔4的两侧；

多组弹簧装置2，设于所述圆孔4的周边且和所述两组气缸同侧；

夹紧板10，设于所述基板1的另一面且其和所述两组气缸的驱动端连接，所述两组气缸同步驱动所述夹紧板10运动；

两组基座，设于所述夹紧板10的两侧且两组基座的延伸板和所述夹紧板10之间形成夹持结构，各弹簧装置2的活动端均穿过所述基板1和对应的所述基座连接。

本实施例的一种优选技术方案：所述弹簧装置2设有四组，四组弹簧装置2分居所述基板1的盘面四角。

实施例2：

如图1-2所示，图1中，两组气缸分别设为第一气缸3和第二气缸6，第一气缸3和第二气缸6分居于圆孔4的两侧，第一气缸3和第二气缸6的驱动端均穿过基板1和夹紧板10连接，夹紧板10被同步运行的第一气缸3和第二气缸6驱动做前伸和后退动作。

弹簧装置2的结构是在一套管内装有弹簧，弹簧的一端固定连接柱，连接柱和基座固定。本实施例2的弹簧装置2设置有四组，即有四组连接柱分别和两组基座固定。

如图1-2所示，基座分别是第一基座8和第二基座9，第一基座8固定有两个连接柱，第二基座9固定有两个连接柱，第一基座8和第二基座9的延伸板相向且和所述夹紧板10之间形成夹持结构。

当晶盘11进入晶盘固定机构前，两组气缸同步驱动夹紧板10向前伸，使夹紧板10分别和第一基座8的延伸板、第二基座9的延伸板之间形成夹腔，送入晶盘11于夹腔内。两组气缸缩回，进而夹紧板10向圆孔方向运动，两组气缸停止工作，此时，夹紧板10和两组基座共同作用将晶盘11夹紧。由于四组弹簧装置2的作用，晶盘11被夹持稳定，受力均匀。

综上所述，本实用新型的晶盘固定机构通过夹紧板的前伸和两组基座形成夹持腔，晶盘进入夹持腔后，两组气缸缩回，使夹紧板和两组基座夹紧晶盘，由于四组弹簧装置的弹力作用，使晶盘夹持稳定。

以上所述仅为本实用新型的优选实施方式，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (2)

1.一种晶盘固定机构，包括基板(1)，该基板(1)的盘面上具有圆孔(4)，其特征在于，所述晶盘固定机构还包括：

两组气缸，安装于所述基板(1)的一面且分居所述圆孔(4)的两侧；

多组弹簧装置(2)，设于所述圆孔(4)的周边且和所述两组气缸同侧；

夹紧板(10)，设于所述基板(1)的另一面且其和所述两组气缸的驱动端连接，所述两组气缸同步驱动所述夹紧板(10)运动；

两组基座，设于所述夹紧板(10)的两侧且两组基座的延伸板和所述夹紧板(10)之间形成夹持结构，各弹簧装置(2)的活动端均穿过所述基板(1)和对应的所述基座连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶盘固定机构，其特征在于，所述弹簧装置(2)设有四组，四组弹簧装置(2)分居所述基板(1)的盘面四角。

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