CN219430165U - 一种电镀用花篮式硅片夹具及其电极对接结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种电镀用花篮式硅片夹具及其电极对接结构，其中电镀用花篮式硅片夹具包括平行间隔排列的载片板，载片板上表面开设有载片槽，载片槽的内侧壁上设置有弹性承托夹头，各载片板共同连接有第一花篮杆；每个载片板的上方设置有一个夹头组，夹头组包括弹性压固夹头，各夹头组共同连接有第二花篮杆；对应载片板和夹头组可分离式对接，使弹性压固夹头和弹性承托夹头配合将硅片固定在载片槽内。本实用新型提供的电镀用花篮式硅片夹具，利用弹性装夹头与硅片接触，保证有效装夹的同时降低碎片率；压固排组和承托排组之间采用磁性吸附或弹力对夹，硅片取放方便，耗时短，提高了生产效率；采用花篮式夹具进行层叠式装载，减小占用面积，降低了对设备体积和电镀液用量的需求。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种夹具，尤其涉及一种电镀用花篮式硅片夹具及其电极对接结构。
背景技术
太阳能电池电极的制备大多采用的是电镀镍铜等金属电极，电镀时需要将硅片放入电镀液当中，在此过程中，硅片需要以夹具作为载体。目前所使用的夹具采用平板式夹具，存在以下缺陷：
1、从两侧将硅片夹在中间，硅片表面由硬质装夹头夹紧，装夹力度较大，碎片率较高；
2、夹具采用锁紧装置锁紧，拆装耗时长，降低了生产效率；
3、硅片采用平铺式装载，占用面积较大，不仅容易出现夹具变形的情况，还导致设备体积较大，电镀液消耗较大。
实用新型内容
本实用新型的目的是克服现有的缺陷，提供一种电镀用花篮式硅片夹具及其电极对接结构，解决目前平板式夹具存在碎片率高、生产效率低、占用面积大的问题。
为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：
一种电镀用花篮式硅片夹具，包括若干平行间隔排列的载片板，每个所述载片板上表面开设有载片槽，所述载片槽的内侧壁上设置有若干弹性承托夹头，各所述载片板共同连接有至少一个第一花篮杆；每个所述载片板的上方设置有一个夹头组，每个所述夹头组包括若干弹性压固夹头，各所述夹头组共同连接有至少一个第二花篮杆；对应所述载片板和夹头组能够实现可分离式对接，使所述弹性压固夹头和弹性承托夹头配合将硅片固定在所述载片槽内；所述第一花篮杆和载片板内置有导电通路使弹性承托夹头与设备阴极连接和/或所述第二花篮杆和夹头组内置有导电通路使弹性压固夹头与设备阴极连接。
进一步地，所述夹头组包括第一固定框，所述第一固定框的内侧壁上设置有所述弹性压固夹头；各所述载片板的外侧面共同连接有所述第一花篮杆，各所述第一固定框的外侧面共同连接有所述第二花篮杆，所述第一固定框和载片板均内置有磁性材料。
进一步地，每个所述夹头组内所述弹性压固夹头的数量与所述第二花篮杆的数量相同；各所述载片板的外侧面共同连接有所述第一花篮杆，每个所述第二花篮杆贯穿各所述载片板的外缘且底端与最底层载片板固定连接，所述第二花篮杆上套设有滑套，所述滑套能够沿所述第二花篮杆自由滑动，所述滑套上对应每个所述夹头组的位置均连接有一个所述弹性压固夹头，所述第二花篮杆的顶端设置有第一限位环状结构，所述滑套顶端与所述第一限位环状结构之间设置有复位弹簧。
进一步地，所述夹头组包括第二固定框，所述第二固定框的内侧壁上设置有所述弹性压固夹头，各所述第二固定框的外侧面共同连接有所述第二花篮杆；每个所述第一花篮杆同时贯穿各所述载片板的外缘和第二固定框且底端与最底层载片板固定连接，每个所述第二固定框能够沿所述第一花篮杆自由滑动，所述第一花篮杆的顶端设置有第二限位环状结构，最上层所述第二固定框的上端面与所述第二限位环状结构之间设置有复位弹簧，其它所述第二固定框的上端面与其上方所述载片板的下端面之间设置有复位弹簧。
进一步地，所述载片板的外侧面共同连接有第三花篮杆，每个所述第二固定框的上端面连接有阳极板，各所述阳极板共同连接有一个阳极接线条，所述阳极接线条用于与设备阳极连接。
进一步地，任一所述第一花篮杆或第二花篮杆的两端连接有机械手挂钩或向外延伸形成机械手挂钩。
进一步地，所述载片槽的内侧壁上端设置有倒角斜坡。
进一步地，至少一个所述载片板的外缘设置有阴极连接挂勾。
进一步地，任一所述第一花篮杆或第二花篮杆上设置有阴极引出杆。
一种适配上述电镀用花篮式硅片夹具的电极对接结构，包括V型导电固定座或气缸连杆搭接组件；所述V型导电固定座设置在电镀槽体的侧壁上或侧壁内上部，硅片夹具放置在电镀槽体内时，所述阴极引出杆位于所述V型导电固定座的V型槽内；所述气缸连杆搭接组件包括伸缩气缸，所述伸缩气缸固定在电镀槽体的侧壁外上部，所述伸缩气缸的伸缩杆通过连杆连接有导电连接杆，硅片夹具防止在电镀槽体内后，所述伸缩杆下降使导电连接杆与所述阴极引出杆搭接。
本实用新型一种电镀用花篮式硅片夹具及其电极对接结构，利用弹性装夹头与硅片接触，保证有效装夹的同时降低碎片率；压固排组和承托排组之间采用磁性吸附或弹力对夹，硅片取放方便，耗时短，提高了生产效率；采用花篮式夹具进行层叠式装载，减小占用面积，降低了对设备体积和电镀液用量的需求。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型实施例1对接前的结构示意图；
图2是本实用新型实施例1对接后的结构示意图；
图3是本实用新型中带接触凸点的U型弹片结构的示意图；
图4是本实用新型中第一种弹簧触头结构的示意图；
图5是本实用新型中第二种弹簧触头结构的示意图；
图6是本实用新型实施例2的结构示意图；
图7是本实用新型实施例3中含挂勾载片板的示意图；
图8是本实用新型实施例4的结构示意图；
图9是本实用新型实施例5的结构示意图；
图10是本实用新型实施例6采用V型导电固定座作为电极对接结构的主视示意图；
图11是本实用新型实施例6采用V型导电固定座作为电极对接结构的侧视示意图；
图12是本实用新型实施例6采用气缸连杆搭接组件作为电极对接结构的主视示意图；
图13是本实用新型实施例6采用气缸连杆搭接组件作为电极对接结构的侧视示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
实施例1
如图1-5所示，一种电镀用花篮式硅片夹具，包括六个平行间隔排列的载片板1，每个载片板1上表面开设有载片槽，载片槽的内侧壁上设置有十二个弹性承托夹头2，各载片板1的外侧面共同连接有三个第一花篮杆3；每个载片板1的上方设置有一个夹头组，夹头组包括第一固定框4，第一固定框4的内侧壁上设置有十二个弹性压固夹头5，各第一固定框4的外侧面共同连接有两个第二花篮杆6；第一固定框4和载片板1均内置有磁性材料，对应载片板1和第一固定框4能够实现可分离式对接，使弹性压固夹头5和弹性承托夹头2配合将硅片固定在载片槽内；第一花篮杆3上设置有阴极接点，第一花篮杆3和载片板1内置有导电通路使弹性承托夹头2与设备阴极连接。
工作原理：
使用时，夹具先处于分离状态，向载片槽内放入硅片后，将夹具对接组合完成，放入电镀槽内进行电镀作业，对接后的夹具至少有一个侧面既不设置第一花篮杆也不设置第二花篮杆，便于向夹具内插设阳极板。
载片槽的内侧壁上端设置有倒角斜坡，硅片自动化放入载片槽后，通过斜坡滑入槽底，不易发生碎片情况。
弹性承托夹头2和弹性压固夹头4采用U型弹片结构或弹簧触头结构。
U型弹片结构的接触端设置有接触凸点7，减少与硅片的接触面积，降低硅片表面出现电镀夹点印的概率。
第一种弹簧触头结构包括第一固定座8，第一固定座8上设置有连接柱9，连接柱9通过第一弹簧10连接有实心触头11。连接柱与实心触头之间存在间隙，保证弹簧足够的压缩空间。
第二种弹簧触头结构包括第二固定座12，第二固定座12上设置有固定柱13，固定柱13的端部套设有空心触头14，空心触头14通过第二弹簧15与第二固定座12连接。空心触头能够沿固定柱滑动，保证弹力正对硅片。
实施例2
如图6所示，本实施例与实施例1的区别在于：
每个夹头组内弹性压固夹头5的数量与第二花篮杆6的数量相同，均为四个；各载片板1的外侧面共同连接有第一花篮杆3，每个第二花篮杆6贯穿各载片板1的外缘且底端与最底层载片板1固定连接，第二花篮杆6上套设有滑套16，滑套16能够沿第二花篮杆6自由滑动，滑套16上对应每个夹头组的位置均连接有一个弹性压固夹头5，第二花篮杆6的顶端设置有第一限位环状结构17，滑套16顶端与第一限位环状结构17之间设置有复位弹簧18。
工作原理：
先将载片板和第一花篮杆固定住，同时控制四个滑套上移，弹簧收缩，此时向载片槽内放入硅片，然后松开滑套，滑套在弹簧作用下复位，压住硅片。
实施例3
如图7所示，本实施例与实施例2的区别在于：
载片板1的外缘设置有两个阴极连接挂勾19，这种结构适用于夹具利用挂勾放置在阴极支架上且自身处于电镀液中的情况，通过上述结构完成夹具与设备阴极的连接。
实施例4
如图8所示，本实施例与实施例2的区别在于：
夹头组包括第二固定框20，第二固定框20的内侧壁上设置有弹性压固夹头5，各第二固定框20的外侧面共同连接有第二花篮杆6；每个第一花篮杆3同时贯穿各载片板1的外缘和第二固定框20且底端与最底层载片板1固定连接，每个第二固定框20能够沿第一花篮杆3自由滑动，第一花篮杆3的顶端设置有第二限位环状结构21，最上层第二固定框20的上端面与第二限位环状结构21之间设置有复位弹簧18，其它第二固定框20的上端面与其上方载片板1的下端面之间设置有复位弹簧18。
工作原理：
先将载片板和第一花篮杆固定住，控制第二花篮杆和第二固定框整体上移，弹簧收缩，此时向载片槽内放入硅片，然后松开第二花篮杆和第二固定框，第二固定框在弹簧作用下复位，压住硅片。
实施例5
如图9所示，本实施例与实施例4的区别在于：
增加载片板和第二固定框的数量，载片板的外侧面共同连接有第三花篮杆A，用来提高整体强度，每个第二固定框20的上端面连接有阳极板21，各阳极板21共同连接有一个阳极接线条22，阳极接线条22用于与设备阳极连接。采用上述结构，放入硅片的方法是一样的，阳极板与夹具一同放入电镀液中，省略了单独放置阳极板的操作，提高了生产效率。
实施例6
如图10-13所示，本实施例与实施例5的区别在于：
其中一个第一花篮杆3两端向外延伸形成机械手挂钩23，其中一个第二花篮杆6上设置有阴极引出杆24。
一种适配上述电镀用花篮式硅片夹具的电极对接结构，包括V型导电固定座25或气缸连杆搭接组件；V型导电固定座25设置在电镀槽体的侧壁内上部，硅片夹具放置在电镀槽体内时，阴极引出杆24位于V型导电固定座25的V型槽内；气缸连杆搭接组件包括伸缩气缸26，伸缩气缸26固定在电镀槽体的侧壁外上部，伸缩气缸26的伸缩杆通过连杆27连接有导电连接杆28，硅片夹具防止在电镀槽体内后，伸缩杆下降使导电连接杆28与阴极引出杆24搭接。根据实际需求，可以选择不同的电极对接结构。
本实用新型一种电镀用花篮式硅片夹具及其电极对接结构，利用弹性装夹头与硅片接触，保证有效装夹的同时降低碎片率；压固排组和承托排组之间采用磁性吸附或弹力对夹，硅片取放方便，耗时短，提高了生产效率；采用花篮式夹具进行层叠式装载，减小占用面积，降低了对设备体积和电镀液用量的需求。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种电镀用花篮式硅片夹具，其特征在于：包括若干平行间隔排列的载片板，每个所述载片板上表面开设有载片槽，所述载片槽的内侧壁上设置有若干弹性承托夹头，各所述载片板共同连接有至少一个第一花篮杆；
每个所述载片板的上方设置有一个夹头组，每个所述夹头组包括若干弹性压固夹头，各所述夹头组共同连接有至少一个第二花篮杆；
对应所述载片板和夹头组能够实现可分离式对接，使所述弹性压固夹头和弹性承托夹头配合将硅片固定在所述载片槽内；
所述第一花篮杆和载片板内置有导电通路使弹性承托夹头与设备阴极连接和/或所述第二花篮杆和夹头组内置有导电通路使弹性压固夹头与设备阴极连接。
2.根据权利要求1所述的一种电镀用花篮式硅片夹具，其特征在于：所述夹头组包括第一固定框，所述第一固定框的内侧壁上设置有所述弹性压固夹头；
各所述载片板的外侧面共同连接有所述第一花篮杆，各所述第一固定框的外侧面共同连接有所述第二花篮杆，所述第一固定框和载片板均内置有磁性材料。
3.根据权利要求1所述的一种电镀用花篮式硅片夹具，其特征在于：每个所述夹头组内所述弹性压固夹头的数量与所述第二花篮杆的数量相同；
各所述载片板的外侧面共同连接有所述第一花篮杆，每个所述第二花篮杆贯穿各所述载片板的外缘且底端与最底层载片板固定连接，所述第二花篮杆上套设有滑套，所述滑套能够沿所述第二花篮杆自由滑动，所述滑套上对应每个所述夹头组的位置均连接有一个所述弹性压固夹头，所述第二花篮杆的顶端设置有第一限位环状结构，所述滑套顶端与所述第一限位环状结构之间设置有复位弹簧。
4.根据权利要求1所述的一种电镀用花篮式硅片夹具，其特征在于：所述夹头组包括第二固定框，所述第二固定框的内侧壁上设置有所述弹性压固夹头，各所述第二固定框的外侧面共同连接有所述第二花篮杆；
每个所述第一花篮杆同时贯穿各所述载片板的外缘和第二固定框且底端与最底层载片板固定连接，每个所述第二固定框能够沿所述第一花篮杆自由滑动，所述第一花篮杆的顶端设置有第二限位环状结构，最上层所述第二固定框的上端面与所述第二限位环状结构之间设置有复位弹簧，其它所述第二固定框的上端面与其上方所述载片板的下端面之间设置有复位弹簧。
5.根据权利要求4所述的一种电镀用花篮式硅片夹具，其特征在于：所述载片板的外侧面共同连接有第三花篮杆，每个所述第二固定框的上端面连接有阳极板，各所述阳极板共同连接有一个阳极接线条，所述阳极接线条用于与设备阳极连接。
6.根据权利要求3或4所述的一种电镀用花篮式硅片夹具，其特征在于：任一所述第一花篮杆或第二花篮杆的两端连接有机械手挂钩或向外延伸形成机械手挂钩。
7.根据权利要求1所述的一种电镀用花篮式硅片夹具，其特征在于：所述载片槽的内侧壁上端设置有倒角斜坡。
8.根据权利要求1所述的一种电镀用花篮式硅片夹具，其特征在于：至少一个所述载片板的外缘设置有阴极连接挂勾。
9.根据权利要求1所述的一种电镀用花篮式硅片夹具，其特征在于：任一所述第一花篮杆或第二花篮杆上设置有阴极引出杆。
10.一种适配如权利要求9所述的电镀用花篮式硅片夹具的电极对接结构，其特征在于：包括V型导电固定座或气缸连杆搭接组件；
所述V型导电固定座设置在电镀槽体的侧壁上或侧壁内上部，硅片夹具放置在电镀槽体内时，所述阴极引出杆位于所述V型导电固定座的V型槽内；
所述气缸连杆搭接组件包括伸缩气缸，所述伸缩气缸固定在电镀槽体的侧壁外上部，所述伸缩气缸的伸缩杆通过连杆连接有导电连接杆，硅片夹具防止在电镀槽体内后，所述伸缩杆下降使导电连接杆与所述阴极引出杆搭接。
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| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |