CN210837690U - 一种适用于承载大尺寸硅片的石英舟 - Google Patents
一种适用于承载大尺寸硅片的石英舟 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及一种适用于承载大尺寸硅片的石英舟。它包括有两块间隔设置的侧板，两侧板之间连接有两根上槽棒和两根下槽棒，两根上槽棒分别位于两根下槽棒的外侧上方，上槽棒和下槽棒的中部还共同连接有中间支撑板，中间支撑板的底部与两侧板的底部齐平，两侧板的外侧均凸设有两根抓取杆，上槽棒的内侧设有若干相互等间隔设置的上卡槽，下槽棒的内侧设有与上卡槽等间隔设置的下卡槽，位于同一侧的上卡槽的槽底面与下卡槽的槽底面共面，且两侧的槽底面相互垂直。中间支撑板可以支撑上槽棒和下槽棒的中部，缩短上槽棒和下槽棒受力的力矩，提升两者的承重能力。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种石英舟，尤其是涉及一种适用于承载大尺寸硅片的石英舟。
背景技术
在光伏硅片领域，大尺寸化正在成为行业发展趋势，硅片尺寸增加，能有效提升电池和组件生产线的产出量，降低每瓦生产成本，提升组件功率和转换效率。
然而，硅片尺寸增加的同时，其重量也在不断上升，导致硅片生产中出现其他问题，列如，扩散及退火使用的载具石英舟中间部易断裂，与此同时，尺寸的增加导致工艺的管控要求也越来越难，列如，硅片在磷扩散工序的方阻均匀性变差。
发明内容
本实用新型提供了一种适用于承载大尺寸硅片的石英舟；解决现有技术中存在不适合承载大尺寸硅片的问题。
本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：一种适用于承载大尺寸硅片的石英舟，其特征在于：包括有两块间隔设置的侧板，两侧板之间连接有两根上槽棒和两根下槽棒，两根上槽棒分别位于两根下槽棒的外侧上方，上槽棒和下槽棒的中部还连接有中间支撑板，中间支撑板的具体形状并无要求，可以是任意形状，其作用为将上槽棒和下槽棒连接固定，中间支撑板可以是两片且分别固定两侧的上槽棒和下槽棒，也可以是一片且同时固定两根上槽棒和两根下槽棒；两侧板的外侧均凸设有两根抓取杆，上槽棒的内侧设有若干相互等间隔设置的上卡槽，下槽棒的内侧设有与上卡槽等间隔设置的下卡槽，位于同一侧的上卡槽的槽底面与下卡槽的槽底面共面，且两侧的槽底面相互垂直。
本实用新型上的硅片为呈菱形角度竖直摆放，相比现有的正摆放，菱形摆放可以减少硅片发生形变的概率，硅片自身更不容易发生隐裂，提高良品率。同时中间支撑板可以支撑上槽棒和下槽棒的中部，缩短上槽棒和下槽棒受力的力矩，提升两者的承重能力。
作为优选，所述的两根上槽棒和两根下槽棒分别关于侧板的中线对称设置。
作为优选，相邻上卡槽之间形成有上隔片，相邻下卡槽之间形成有下隔片，上隔片和下隔片的两侧都设有切角。上隔片和下隔片的尺寸本身就设置比较小，同时还设有切角，是为了尽可能减少与硅片的接触面积，增加硅片的外露面积，保证磷化的均匀性。
作为优选，所述两侧板和中间支撑板的外形为相同设置，两侧板和中间支撑板的同一位置处设有贯通的观测孔，观测孔的位置位于两槽底面所形成的夹角之间。本实用新型在实际使用中为纯机械化作业，因此用于放置本实用新型的工位上可搭配光线检测装置，光线检测装置可通过检测观测孔是否通光来得知本实用新型上是否载有硅片。
作为优选，所述两侧板和中间支撑板的底部均设有两个左右对称设置的定位槽，定位槽用于定位。
作为优选，相邻上卡槽和相邻下卡槽的间距相同，均为2.5mm～3.5mm，相比现有间距2mm，本实用新型的间距扩大，有利于硅片更好的与环境气体接触，提高磷化处理的均匀性。
因此，本实用新型相比现有技术具有以下特点：1.本实用新型上的硅片为呈菱形角度竖直摆放，相比现有的正摆放，菱形摆放可以减少硅片发生形变的概率，硅片自身更不容易发生隐裂，提高良品率；2.中间支撑板可以支撑上槽棒和下槽棒的中部，缩短上槽棒和下槽棒受力的力矩，提升两者的承重能力，避免了石英舟中部容易断裂的问题。
附图说明
附图1是本实用新型的一种结构示意图；
附图2是本实用新型的一种剖视图。
具体实施方式
下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
实施例1：见图1，一种适用于承载大尺寸硅片的石英舟，包括有两块间隔设置的侧板1，两侧板1之间连接有两根上槽棒2和两根下槽棒3，两根上槽棒2和两根下槽棒3分别关于侧板1的中线对称设置，两根上槽棒2分别位于两根下槽棒3的外侧上方，上槽棒2和下槽棒3的中部还共同连接有一片中间支撑板4，中间支撑板4的底部与两侧板1的底部齐平，两侧板1的外侧均凸设有两根抓取杆5，上槽棒2的内侧设有若干相互等间隔设置的上卡槽21，下槽棒3的内侧设有与上卡槽21等间隔设置的下卡槽31，位于同一侧的上卡槽21的槽底面与下卡槽31的槽底面共面，两侧的槽底面相互垂直且相互对称。
上卡槽和下卡槽之间可以插入硅电池片的尺寸为160mm*160mm到230mm*230mm之间，本实用新型上的硅片为呈菱形角度竖直摆放（参见图2），相比现有的正摆放，菱形摆放可以减少硅片发生形变的概率，硅片自身更不容易发生隐裂，提高良品率。同时中间支撑板可以支撑上槽棒和下槽棒的中部，缩短上槽棒和下槽棒受力的力矩，提升两者的承重能力，避免了石英舟中部容易断裂的问题。
见图2，相邻上卡槽21之间形成有上隔片22，相邻下卡槽31之间形成有下隔片32，上隔片22和下隔片32的两侧都设有切角。上隔片和下隔片的尺寸本身就设置比较小，同时还设有切角，是为了尽可能减少与硅片的接触面积，增加硅片的外露面积，保证磷化的均匀性。
见图1，两侧板1和中间支撑板4的外形为相同设置，两侧板1和中间支撑板4的同一位置处设有贯通的观测孔6，观测孔6的位置位于两槽底面所形成的夹角之间。本实用新型在实际使用中为纯机械化作业，因此用于放置本实用新型的工位上可搭配光线检测装置，光线检测装置可通过检测观测孔是否通光来得知本实用新型上是否载有硅片。
见图1和图2，两侧板1和中间支撑板4的底部均设有两个左右对称设置的定位槽11、定位槽41，定位槽用于定位。
相邻上卡槽21和相邻下卡槽31的间距相同，均为2.5mm～3.5mm，相比现有间距2mm，本实用新型的间距扩大，有利于硅片更好的与环境气体接触，提高磷化处理的均匀性。
本实用新型可改变为多种方式对本领域的技术人员是显而易见的，这样的改变不认为脱离本实用新型的范围。所有这样的对所述领域技术人员显而易见的修改将包括在本权利要求的范围之内。
Claims (6)
1.一种适用于承载大尺寸硅片的石英舟，其特征在于：包括有两块间隔设置的侧板（1），两侧板（1）之间连接有两根上槽棒（2）和两根下槽棒（3），两根上槽棒（2）分别位于两根下槽棒（3）的外侧上方，上槽棒（2）和下槽棒（3）的中部还连接有中间支撑板（4），两侧板（1）的外侧均凸设有两根抓取杆（5），上槽棒（2）的内侧设有若干相互等间隔设置的上卡槽（21），下槽棒（3）的内侧设有与上卡槽（21）等间隔设置的下卡槽（31），位于同一侧的上卡槽（21）的槽底面与下卡槽（31）的槽底面共面，且两侧的槽底面相互垂直。
2.根据权利要求1所述的适用于承载大尺寸硅片的石英舟，其特征在于：所述的两根上槽棒（2）和两根下槽棒（3）分别关于侧板（1）的中线对称设置。
3.根据权利要求1或2所述的适用于承载大尺寸硅片的石英舟，其特征在于：相邻上卡槽（21）之间形成有上隔片（22），相邻下卡槽（31）之间形成有下隔片（32），上隔片（22）和下隔片（32）的两侧都设有切角。
4.根据权利要求1所述的适用于承载大尺寸硅片的石英舟，其特征在于：所述两侧板（1）和中间支撑板（4）的外形为相同设置，两侧板（1）和中间支撑板（4）的同一位置处设有贯通的观测孔（6），观测孔（6）的位置位于两槽底面所形成的夹角之间。
5.根据权利要求4所述的适用于承载大尺寸硅片的石英舟，其特征在于：所述两侧板（1）和中间支撑板（4）的底部均设有两个左右对称设置的定位槽（11、41）。
6.根据权利要求3所述的适用于承载大尺寸硅片的石英舟，其特征在于：相邻上卡槽（21）和相邻下卡槽（31）的间距相同，均为2.5mm～3.5mm。
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