CN216998665U - 一种集中预热节能型球化退火炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种集中预热节能型球化退火炉，包括支撑板，所述支撑板顶部设有主体，所述主体顶部沿圆周方向设有若干个凹槽，所述主体的顶部设有盖板，所述盖板的底部设有若干个与所述凹槽相配合的框架，所述框架内部设有放置槽，所述放置槽内部设有保温隔热件，所述放置槽的内壁上设有若干个与所述保温隔热件相配合的夹持机构，所述框架带着所述保温隔热件贯穿至所述凹槽内，所述主体一侧连接有冷风机箱，所述主体另一侧设有收集箱，所述收集箱一侧连通有出料箱。有益效果：通过夹持机构的设计，从而可以对框架内的保温隔热件进行夹持固定，提高保温隔热件在框架内的稳定性。

Description

一种集中预热节能型球化退火炉

技术领域

本实用新型涉及退火炉技术领域，具体来说，涉及一种集中预热节能型球化退火炉。

背景技术

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的，退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。

但是现有的节能型双通道球化退火炉在实际使用时不能对装置内部温度进行保温，使装置下次对物品加工时需要从新开启装置加热，导致装置节能性不好，提高燃料使用量，不利于实际使用。

针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

实用新型内容

针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种集中预热节能型球化退火炉，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

为此，本实用新型采用的具体技术方案如下：

一种集中预热节能型球化退火炉，包括支撑板，所述支撑板顶部设有主体，所述主体顶部沿圆周方向设有若干个凹槽，所述主体的顶部设有盖板，所述盖板的底部设有若干个与所述凹槽相配合的框架，所述框架内部设有放置槽，所述放置槽内部设有保温隔热件，所述放置槽的内壁上设有若干个与所述保温隔热件相配合的夹持机构，所述框架带着所述保温隔热件贯穿至所述凹槽内，所述主体一侧连接有冷风机箱，所述主体另一侧设有收集箱，所述收集箱一侧连通有出料箱。

作为优选，所述夹持机构包括位于所述放置槽内壁的容纳槽，所述容纳槽内部设有固定板，所述固定板一侧设有电机，所述电机的侧面输出端设有转轴，所述转轴的另一端贯穿至所述固定板的另一侧与摆动件连接，所述摆动件的另一端设有滑动块，所述固定板远离所述电机一侧设有固定轴与轨道板。

作为优选，所述固定轴上套设有旋转杆，所述旋转杆中部开设有滑槽，所述滑动块位于所述滑槽内，所述旋转杆的另一端设有连接杆。

作为优选，所述轨道板内部一侧设有触碰开关，所述触碰开关的外表面设有弹簧，所述弹簧的另一端设有夹持杆，所述连接杆的另一端与所述夹持杆活动连接，所述夹持杆的另一端贯穿至所述放置槽内部与所述保温隔热件夹持在一起。

作为优选，所述盖板的顶部中心处设有吊装杆，所述弹簧为压缩弹簧，所述弹簧的两端均设有弹簧垫圈。

作为优选，所述盖板的底部设有与所述凹槽相配合的密封垫，所述主体上设有炉门与加燃口。

作为优选，所述盖板内部设有蓄电池、控制器，所述电机、所述触碰开关以及所述蓄电池均与所述控制器电性连接。

本实用新型的有益效果为：通过夹持机构的设计，从而可以对框架内的保温隔热件进行夹持固定，提高保温隔热件在框架内的稳定性；通过触碰开关的设计，从而使得夹持机构在松开对保温隔热件的夹持时，可以在夹持杆收纳到轨道板内后，向控制器发射一个信号，从而达到停止电机运行的目的；通过滑槽与滑动块的设计，从而方便摆动件在旋转时可以带动旋转杆旋转；通过吊装杆的设计，从而可以将盖板从主体上吊装起来，从而对保温隔热件进行检修与更换工作。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据本实用新型实施例的一种集中预热节能型球化退火炉总的结构示意图；

图2是根据本实用新型实施例的一种集中预热节能型球化退火炉的主体结构示意图；

图3是根据本实用新型实施例的一种集中预热节能型球化退火炉的盖板结构示意图；

图4是根据本实用新型实施例的一种集中预热节能型球化退火炉的夹持机构结构示意图。

图中：

1、支撑板；2、主体；3、凹槽；4、盖板；5、框架；6、放置槽；7、保温隔热件；8、固定板；9、电机；10、转轴；11、摆动件；12、滑动块；13、固定轴；14、旋转杆；15、滑槽；16、连接杆；17、轨道板；18、弹簧；19、触碰开关；20、夹持杆；21、吊装杆；22、冷风机箱；23、收集箱；24、出料箱。

具体实施方式

为进一步说明各实施例，本实用新型提供有附图，这些附图为本实用新型揭露内容的一部分，其主要用以说明实施例，并可配合说明书的相关描述来解释实施例的运作原理，配合参考这些内容，本领域普通技术人员应能理解其他可能的实施方式以及本实用新型的优点，图中的组件并未按比例绘制，而类似的组件符号通常用来表示类似的组件。

根据本实用新型的实施例，提供了一种集中预热节能型球化退火炉。

实施例一，如图1-4所示，根据本实用新型实施例的一种集中预热节能型球化退火炉，包括支撑板1，所述支撑板1顶部设有主体2，所述主体2顶部沿圆周方向设有若干个凹槽3，所述主体2的顶部设有盖板4，所述盖板4的底部设有若干个与所述凹槽3相配合的框架5，所述框架5内部设有放置槽6，所述放置槽6内部设有保温隔热件7，所述放置槽6的内壁上设有若干个与所述保温隔热件7相配合的夹持机构，所述框架5带着所述保温隔热件7贯穿至所述凹槽3内，所述主体2一侧连接有冷风机箱22，所述主体2另一侧设有收集箱23，所述收集箱23一侧连通有出料箱24。

实施例二，如图1-4所示，根据本实用新型实施例的一种集中预热节能型球化退火炉，包括支撑板1，所述支撑板1顶部设有主体2，所述主体2顶部沿圆周方向设有若干个凹槽3，所述主体2的顶部设有盖板4，所述盖板4的底部设有若干个与所述凹槽3相配合的框架5，所述框架5内部设有放置槽6，所述放置槽6内部设有保温隔热件7，所述放置槽6的内壁上设有若干个与所述保温隔热件7相配合的夹持机构，所述框架5带着所述保温隔热件7贯穿至所述凹槽3内，所述主体2一侧连接有冷风机箱22，所述主体2另一侧设有收集箱23，所述收集箱23一侧连通有出料箱24，所述夹持机构包括位于所述放置槽6内壁的容纳槽，所述容纳槽内部设有固定板8，所述固定板8一侧设有电机9，所述电机9的侧面输出端设有转轴10，所述转轴10的另一端贯穿至所述固定板8的另一侧与摆动件11连接，所述摆动件11的另一端设有滑动块12，所述固定板8远离所述电机9一侧设有固定轴13与轨道板17，所述固定轴13上套设有旋转杆14，所述旋转杆14中部开设有滑槽15，所述滑动块12位于所述滑槽15内，所述旋转杆14的另一端设有连接杆16，所述轨道板17内部一侧设有触碰开关19，所述触碰开关19的外表面设有弹簧18，所述弹簧18的另一端设有夹持杆20，所述连接杆16的另一端与所述夹持杆20活动连接，所述夹持杆20的另一端贯穿至所述放置槽6内部与所述保温隔热件7夹持在一起。从上述的设计不难看出，通过夹持机构的设计，从而可以对框架5内的保温隔热件7进行夹持固定，提高保温隔热件7在框架5内的稳定性。

实施例三，如图1-4所示，根据本实用新型实施例的一种集中预热节能型球化退火炉，包括支撑板1，所述支撑板1顶部设有主体2，所述主体2顶部沿圆周方向设有若干个凹槽3，所述主体2的顶部设有盖板4，所述盖板4的底部设有若干个与所述凹槽3相配合的框架5，所述框架5内部设有放置槽6，所述放置槽6内部设有保温隔热件7，所述放置槽6的内壁上设有若干个与所述保温隔热件7相配合的夹持机构，所述框架5带着所述保温隔热件7贯穿至所述凹槽3内，所述主体2一侧连接有冷风机箱22，所述主体2另一侧设有收集箱23，所述收集箱23一侧连通有出料箱24，所述盖板4的顶部中心处设有吊装杆21，所述弹簧18为压缩弹簧，所述弹簧18的两端均设有弹簧垫圈，所述盖板4的底部设有与所述凹槽3相配合的密封垫，所述主体2上设有炉门与加燃口，所述盖板4内部设有蓄电池、控制器，所述电机9、所述触碰开关19以及所述蓄电池均与所述控制器电性连接。从上述的设计不难看出，通过吊装杆21的设计，从而可以将盖板4从主体2上吊装起来，从而对保温隔热件7进行检修与更换工作。

在实际应用中，在主体2工作时，若干个保温隔热件7对主体2进行保温，降低主体2的热传导率，在使用时，需要定期对保温隔热件7进行检查，查看是否有损坏，损坏了则需要及时更换新的保温隔热件7，即，首先，通过吊装设备与吊装杆21将盖板4吊起，然后，查看是否有保温隔热件7损坏，当发现有损坏时，通过控制开关启动该保温隔热件7相对应夹持机构，夹持机构松开对保温隔热件7的夹持，然后换上新的保温隔热件7，然后再次启动夹持机构，夹持机构上的电机9通过转轴10带动摆动件11旋转，摆动件11的另一端通过滑动块12带动旋转杆14以固定轴13位支点旋转，旋转杆14的另一端通过连接杆16带动夹持杆20在轨道板17上移动，从而对保温隔热件7进行夹持。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种集中预热节能型球化退火炉，其特征在于，包括支撑板(1)，所述支撑板(1)顶部设有主体(2)，所述主体(2)顶部沿圆周方向设有若干个凹槽(3)，所述主体(2)的顶部设有盖板(4)，所述盖板(4)的底部设有若干个与所述凹槽(3)相配合的框架(5)，所述框架(5)内部设有放置槽(6)，所述放置槽(6)内部设有保温隔热件(7)，所述放置槽(6)的内壁上设有若干个与所述保温隔热件(7)相配合的夹持机构，所述框架(5)带着所述保温隔热件(7)贯穿至所述凹槽(3)内，所述主体(2)一侧连接有冷风机箱(22)，所述主体(2)另一侧设有收集箱(23)，所述收集箱(23)一侧连通有出料箱(24)。

2.根据权利要求1所述的一种集中预热节能型球化退火炉，其特征在于，所述夹持机构包括位于所述放置槽(6)内壁的容纳槽，所述容纳槽内部设有固定板(8)，所述固定板(8)一侧设有电机(9)，所述电机(9)的侧面输出端设有转轴(10)，所述转轴(10)的另一端贯穿至所述固定板(8)的另一侧与摆动件(11)连接，所述摆动件(11)的另一端设有滑动块(12)，所述固定板(8)远离所述电机(9)一侧设有固定轴(13)与轨道板(17)。

3.根据权利要求2所述的一种集中预热节能型球化退火炉，其特征在于，所述固定轴(13)上套设有旋转杆(14)，所述旋转杆(14)中部开设有滑槽(15)，所述滑动块(12)位于所述滑槽(15)内，所述旋转杆(14)的另一端设有连接杆(16)。

4.根据权利要求3所述的一种集中预热节能型球化退火炉，其特征在于，所述轨道板(17)内部一侧设有触碰开关(19)，所述触碰开关(19)的外表面设有弹簧(18)，所述弹簧(18)的另一端设有夹持杆(20)，所述连接杆(16)的另一端与所述夹持杆(20)活动连接，所述夹持杆(20)的另一端贯穿至所述放置槽(6)内部与所述保温隔热件(7)夹持在一起。

5.根据权利要求4所述的一种集中预热节能型球化退火炉，其特征在于，所述盖板(4)的顶部中心处设有吊装杆(21)，所述弹簧(18)为压缩弹簧，所述弹簧(18)的两端均设有弹簧垫圈。

6.根据权利要求5所述的一种集中预热节能型球化退火炉，其特征在于，所述盖板(4)的底部设有与所述凹槽(3)相配合的密封垫，所述主体(2)上设有炉门与加燃口。

7.根据权利要求6所述的一种集中预热节能型球化退火炉，其特征在于，所述盖板(4)内部设有蓄电池、控制器，所述电机(9)、所述触碰开关(19)以及所述蓄电池均与所述控制器电性连接。

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