CN216838138U - 一种铜片退火治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种铜片退火治具，包括不锈钢底板，所述不锈钢底板的顶部两侧分别固定连接有第一固定板和第二固定板，所述第一固定板与第二固定板之间固定连接有不锈钢侧板，所述第二固定板的内部设置有限位组件，所述第一固定板通过调节机构活动连接有不锈钢导柱，所述不锈钢导柱的另一端延伸至第二固定板内部并与限位组件固定连接，使得本装置可以通过调节机构对两根不锈钢导柱之间的距离进行调节，从而使得本装置可以适用于各种规格的铜片放置，进而大大提高了本装置的适用范围，且本装置采用矩形开口式框架竖向配置铜片，可充分利用退火炉内的有效空间，满足铜片批量化退火要求。

Description

一种铜片退火治具

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体为一种铜片退火治具。

背景技术

覆铜陶瓷基板（AMB基板）在烧结前，需要对铜片进行退火处理，消除内应力以达到更好的烧结效果。对箱式退火炉而言，通常是将工件放置于平台表面，由于炉内空间有限，需要通过设计多层平台实现炉内空间使用最大化，对于箱式退火方式，存在以下问题：

（1）每层平台使用空间有限，单一铜片横向占用面积大，即使设计成多层平台，每炉装载量仍然无法满足大规模生产要求；

（2）铜片规格尺寸不一，固定尺寸退火工装适应性差，无法满足所有规格产品放置要求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种铜片退火治具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供如下技术方案：一种铜片退火治具，包括不锈钢底板，所述不锈钢底板的顶部两侧分别固定连接有第一固定板和第二固定板，所述第一固定板与第二固定板之间固定连接有不锈钢侧板，所述第二固定板的内部设置有限位组件，所述第一固定板通过调节机构活动连接有不锈钢导柱，所述不锈钢导柱的另一端延伸至第二固定板内部并与限位组件固定连接，所述不锈钢侧板的内壁固定连接有多个夹持机构。

优选的，所述调节机构包括有转柄，所述转柄的一侧固定连接有正反丝杆，所述正反丝杆的另一端延伸至第一固定板的内部，所述正反丝杆的外表面活动连接有丝杆螺母，所述丝杆螺母的一侧与不锈钢导柱固定连接，从而大大提高了本装置的适用范围。

优选的，所述丝杆螺母共设置有两个，且两个所述丝杆螺母分别位于正反丝杆的正反两端，两个所述丝杆螺母相对正反丝杆的中心呈对称分布，从而大大提高了本装置的调节效率。

优选的，所述限位组件包括有安装在第二固定板内部的滑杆，所述滑杆的外表面活动连接有滑块，所述滑块的一侧与不锈钢导柱固定连接，从而大大提高了本装置的实用性。

优选的，所述夹持机构包括有与不锈钢侧板固定连接的挡板，所述挡板的外壁两侧均固定连接有限位板，两个所述限位板的内部均开设有限位槽，所述限位槽的内壁均固定连接有限位弹簧，所述限位弹簧的另一端固定连接有夹持板，所述夹持板远离限位弹簧的一端延伸至限位板的外部，从而进一步提高了本装置的适用范围。

优选的，所述转柄的外表面套设有耐热套，所述耐热套的外表面开设有防滑纹，从而大大提高了本装置的工作效率。

与现有技术相比，本实用新型所达到的有益效果是：

1、本实用新型通过设置第一固定板、第二固定板、转柄、正反丝杆、丝杆螺母、不锈钢导柱、滑杆和滑块，使得本装置可以通过调节机构对两根不锈钢导柱之间的距离进行调节，从而使得本装置可以适用于各种规格的铜片放置，进而大大提高了本装置的适用范围，且本装置采用矩形开口式框架竖向配置铜片，可充分利用退火炉内的有效空间，满足铜片批量化退火要求；

2、本实用新型还通过设置挡板、限位板、限位槽、限位弹簧和夹持板，使得本装置可以通过夹持机构对不同厚度的铜片进行夹紧固定，从而使得本装置可以更稳定的放置各种厚度的铜片，进而进一步提高了本装置的适用范围和实用性。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型整体的俯视图；

图2是本实用新型第一固定板的内部结构示意图；

图3是本实用新型第二固定板的内部结构示意图；

图4是本实用新型夹持机构的内部结构示意图；

图中：1、不锈钢底板；2、第一固定板；3、第二固定板；4、不锈钢侧板；5、挡板；6、限位板；7、限位槽；8、限位弹簧；9、夹持板；10、转柄；11、正反丝杆；12、丝杆螺母；13、不锈钢导柱；14、滑杆；15、滑块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图4，本实用新型提供一种铜片退火治具，包括不锈钢底板1，不锈钢底板1的顶部两侧分别固定连接有第一固定板2和第二固定板3，第一固定板2与第二固定板3之间固定连接有不锈钢侧板4，第二固定板3的内部设置有限位组件，限位组件包括有安装在第二固定板3内部的滑杆14，滑杆14的外表面活动连接有滑块15，滑块15的一侧与不锈钢导柱13固定连接，利用限位组件对不锈钢导柱13和丝杆螺母12进行限位，使得丝杆螺母12不能随着正反丝杆11进行转动，第一固定板2通过调节机构活动连接有不锈钢导柱13，调节机构包括有转柄10，转柄10的外表面套设有耐热套，耐热套的外表面开设有防滑纹，利用防滑纹增大转柄10的摩擦阻力，从而使得操作人员再转动转柄10时不易发生手滑现象，转柄10的一侧固定连接有正反丝杆11，正反丝杆11的另一端延伸至第一固定板2的内部，正反丝杆11的外表面活动连接有丝杆螺母12，丝杆螺母12的一侧与不锈钢导柱13固定连接，丝杆螺母12共设置有两个，且两个丝杆螺母12分别位于正反丝杆11的正反两端，两个丝杆螺母12相对正反丝杆11的中心呈对称分布，通过对称设置在正反丝杆11正反两端的两个丝杆螺母12，使得正反丝杆11在转动时可以带动两个丝杆螺母12做相向或相背方向的运动，从而极大的方便了操作人员对不锈钢导柱13的位置调节，利用调节机构可以对不锈钢导柱13的位置进行调节，从而可以改变不锈钢导柱13与不锈钢侧板4之间的距离，进而使得本装置可以适用于不同长度规格的铜片，不锈钢导柱13的另一端延伸至第二固定板3内部并与限位组件固定连接，不锈钢侧板4的内壁固定连接有多个夹持机构，夹持机构包括有与不锈钢侧板4固定连接的挡板5，挡板5的外壁两侧均固定连接有限位板6，两个限位板6的内部均开设有限位槽7，限位槽7的内壁均固定连接有限位弹簧8，限位弹簧8的另一端固定连接有夹持板9，夹持板9远离限位弹簧8的一端延伸至限位板6的外部，利用夹持机构可以调节两个夹持板9之间的距离，从而使得本装置可以更稳定的对不同厚度的铜片进行固定。

本实用新型的工作原理：在使用时，操作人员先根据实际钢片的长度调节两个不锈钢导柱13的位置，在调节时，操作人员可以通过转动转柄10，使得转柄10带动正反丝杆11转动，由于丝杆螺母12被不锈钢导柱13另一侧的滑块15与滑杆14所限位，从而使得丝杆螺母12会带动正反两端的不锈钢导柱13沿着正反丝杆11做相向或相背方向的运动，进而使得不锈钢导柱13与不锈钢侧板4之间的距离可以调节，当不锈钢导柱13调节至合适的位置后，操作人员再将清洗好的铜片通过夹持机构固定在不锈钢导柱13与不锈钢侧板4之间，在固定时，操作人员可以通过按压夹持板9，使得夹持板9通过压缩限位弹簧8进入限位槽7内部，当两个夹持板9之间的距离与铜片厚度大小相适配后，操作人员将铜片插入两个夹持板9之间，并释放推动夹持板9的力，使得夹持板9在限位弹簧8的弹性作用下会快速对铜片进行夹紧固定，从而使得本装置可以更稳定的对不同厚度不同长度的各种规格的铜片进行竖向固定，进而大大提高了本装置的适用范围，并能充分利用退火炉内的有效空间，满足铜片批量化退火要求。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种铜片退火治具，包括不锈钢底板（1），其特征在于：所述不锈钢底板（1）的顶部两侧分别固定连接有第一固定板（2）和第二固定板（3），所述第一固定板（2）与第二固定板（3）之间固定连接有不锈钢侧板（4），所述第二固定板（3）的内部设置有限位组件，所述第一固定板（2）通过调节机构活动连接有不锈钢导柱（13），所述不锈钢导柱（13）的另一端延伸至第二固定板（3）内部并与限位组件固定连接，所述不锈钢侧板（4）的内壁固定连接有多个夹持机构。

2.根据权利要求1所述的一种铜片退火治具，其特征在于：所述调节机构包括有转柄（10），所述转柄（10）的一侧固定连接有正反丝杆（11），所述正反丝杆（11）的另一端延伸至第一固定板（2）的内部，所述正反丝杆（11）的外表面活动连接有丝杆螺母（12），所述丝杆螺母（12）的一侧与不锈钢导柱（13）固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种铜片退火治具，其特征在于：所述丝杆螺母（12）共设置有两个，且两个所述丝杆螺母（12）分别位于正反丝杆（11）的正反两端，两个所述丝杆螺母（12）相对正反丝杆（11）的中心呈对称分布。

4.根据权利要求1所述的一种铜片退火治具，其特征在于：所述限位组件包括有安装在第二固定板（3）内部的滑杆（14），所述滑杆（14）的外表面活动连接有滑块（15），所述滑块（15）的一侧与不锈钢导柱（13）固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种铜片退火治具，其特征在于：所述夹持机构包括有与不锈钢侧板（4）固定连接的挡板（5），所述挡板（5）的外壁两侧均固定连接有限位板（6），两个所述限位板（6）的内部均开设有限位槽（7），所述限位槽（7）的内壁均固定连接有限位弹簧（8），所述限位弹簧（8）的另一端固定连接有夹持板（9），所述夹持板（9）远离限位弹簧（8）的一端延伸至限位板（6）的外部。

6.根据权利要求2所述的一种铜片退火治具，其特征在于：所述转柄（10）的外表面套设有耐热套，所述耐热套的外表面开设有防滑纹。

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