CN216719900U - 一种三轴传输石英舟的传输机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种三轴传输石英舟的传输机构，包括输送单元、升降单元以及机架，升降单元包括第一过渡支架和第一升降动力设备，第一升降动力设备安装于机架上并带动第一过渡支架升降，输送单元包括第一水平输送设备、第二过渡支架、第二升降动力设备以及第二水平输送设备，第一水平输送设备安装于第一过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第一水平方向移动，第二升降动力设备安装于第一过渡支架上并带动第二过渡支架升降，第二水平输送设备安装于第二过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第二水平方向移动。本实用新型通过将第一水平输送设备和第二水平输送设备各自设置，传输机构的尺寸不会过大，而且承载式传输保证了石英舟传输的可靠性。

Description

一种三轴传输石英舟的传输机构

技术领域

本实用新型属于石英舟传输领域，具体涉及一种三轴传输石英舟的传输机构。

背景技术

在太阳能电池制程工艺中，需要对硅片进行扩散、退火以及热氧等处理，需要通过石英舟承载硅片在扩散设备、退火设备、热氧设备等工艺设备中进行工艺处理。处理前和处理后的硅片一般被存放在花篮中，因此还需要通过石英舟承载硅片在工艺设备与花篮之间转运。由于各个工艺设备和花篮之间具有高度差，石英舟通常需要被传输到不同的高度。授权公开号为CN207967028U的中国实用新型专利公开了一种石英舟传输系统，包括插片机、若干扩散炉、检测装置和机械手，上述机械手设置在上述插片机和若干上述扩散炉之间，上述机械手与上述扩散炉之间设置有第一缓存台和第二缓存台，上述检测装置与上述扩散炉相对应设置，上述检测装置包括滑台、检测单元和处理单元，上述实用新型中通过机械手将石英舟抓取到扩散炉口的滑台上，机械手适合抓取体积和重量较小的部件，石英舟尺寸和重量较大，通过机械手抓取石英舟存在不可靠性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种三轴传输石英舟的传输机构，可以对石英舟进行稳定可靠的传输。

为实现上述目的，本实用新型提供以下的技术方案：一种三轴传输石英舟的传输机构，包括用于承载和带动石英舟组件水平移动的输送单元、用于带动所述输送单元升降的升降单元以及用于安装所述升降单元的机架，所述升降单元包括第一过渡支架和第一升降动力设备，所述第一升降动力设备安装于所述机架上并带动所述第一过渡支架升降，所述输送单元包括第一水平输送设备、第二过渡支架、第二升降动力设备以及第二水平输送设备，所述第一水平输送设备安装于所述第一过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第一水平方向移动，所述第二升降动力设备安装于所述第一过渡支架上并带动所述第二过渡支架升降，所述第二水平输送设备安装于所述第二过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第二水平方向移动，所述第一水平方向与所述第二水平方向非平行设置。

本实用新型的其中一个实施例中，所述第一水平输送设备设置为两个，两个所述第一水平输送设备并列输送同一石英舟组件，所述第二水平输送设备设于所述两个第一水平输送设备之间。

本实用新型的其中一个实施例中，所述第二水平输送设备设置为两个，两个所述第二水平输送设备并列输送同一石英舟组件。

本实用新型的其中一个实施例中，所述第一升降动力设备为电机，所述电机通过丝杆螺母组件带动所述第一过渡支架升降。

本实用新型的其中一个实施例中，所述第一过渡支架通过并列设置的两个导轨组件连接所述机架，所述升降单元包括设于所述两个导轨组件之间的一个所述第一升降动力设备。

本实用新型的其中一个实施例中，所述第二升降动力设备为气缸。

本实用新型的其中一个实施例中，所述输送单元包括并列支撑所述第二水平输送设备的两个所述第二升降动力设备。

本实用新型的其中一个实施例中，所述第一水平输送设备和所述第二水平输送设备均为皮带输送设备。

本实用新型的其中一个实施例中，所述输送单元还包括设于所述第二水平输送设备的输出侧的限位阻挡部件。

本实用新型的其中一个实施例中，所述石英舟组件包括石英舟和用于承载所述石英舟的舟托。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

1)本实用新型公开的三轴传输石英舟的传输机构，通过将第一水平输送设备和第二水平输送设备各自设置，传输机构的尺寸不会过大，而且承载式传输保证了石英舟传输的可靠性；

2)本实用新型公开的三轴传输石英舟的传输机构，第一水平输送设备包括并列的两个第一水平输送设备，第二水平输送设备包括并列的两个第二水平输送设备，适合较大尺寸石英舟的输送；

3)本实用新型公开的三轴传输石英舟的传输机构，第一升降动力设备采用电机，电机精准度高、适应性好、稳定性好，适合于提升输送单元和石英舟组件；

4)本实用新型公开的三轴传输石英舟的传输机构，通过设置两个导轨组件，提高了石英舟提升稳定性；

5)本实用新型公开的三轴传输石英舟的传输机构，第二升降动力设备为气缸，其体积较小，适合于设置在第一过渡支架上；

6)本实用新型公开的三轴传输石英舟的传输机构，输送单元包括两个第二升降动力设备，可以更加平稳可靠的顶升第二过渡支架；

7)本实用新型公开的三轴传输石英舟的传输机构，通过设置第一输送皮带和第二输送皮带，适合于石英舟的输送；

8)本实用新型公开的三轴传输石英舟的传输机构，第二水平输送设备的输出侧的阻挡装置，可将石英舟限定在设定的位置处；

9)本实用新型公开的三轴传输石英舟的传输机构，石英舟组件包括石英舟和舟托，舟托为平板结构，更适合与输送装置接触。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。

图1为本实用新型公开的三轴传输石英舟的传输机构的结构示意图；

图2为图1中A处的局部放大图；

图3为本实用新型公开的三轴传输石英舟的传输机构的工作示意图。

其中，1、石英舟组件；11、石英舟；12、舟托；2、机架；31、第一过渡支架；32、第一升降动力设备；33、丝杆螺母组件；34、导轨组件；41、第一水平输送设备；42、第二过渡支架；43、第二升降动力设备；44、第二水平输送设备；45、阻挡部件；5、硅片。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。

应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。在本公开中，术语如“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“侧”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，只是为了便于叙述本公开各部件或元件结构关系而确定的关系词，并非特指本公开中任一部件或元件，不能理解为对本公开的限制。本公开中，术语如“固接”、“相连”、“连接”等应做广义理解，表示可以是固定连接,也可以是一体地连接或可拆卸连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的相关科研或技术人员，可以根据具体情况确定上述术语在本公开中的具体含义，不能理解为对本公开的限制。

以下为用于说明本实用新型的一较佳实施例，但不用来限制本实用新型的范围。

参见图1至图3，如其中的图例所示，一种三轴传输石英舟的传输机构，包括用于承载和带动石英舟组件1水平移动的输送单元、用于带动上述输送单元升降的升降单元以及用于安装上述升降单元的机架2，上述升降单元包括第一过渡支架31和第一升降动力设备32，上述第一升降动力设备32安装于上述机架2 上并带动上述第一过渡支架31升降，上述输送单元包括第一水平输送设备41、第二过渡支架42、第二升降动力设备43以及第二水平输送设备44，上述第一水平输送设备41安装于上述第一过渡支架31上并承载和带动石英舟组件1沿第一水平方向移动，上述第二升降动力设备43安装于上述第一过渡支架31上并带动上述第二过渡支架42升降，上述第二水平输送设备44安装于上述第二过渡支架 42上并承载和带动石英舟组件1沿第二水平方向移动，上述第一水平方向与上述第二水平方向非平行设置。

本实用新型通过将第一水平输送设备和第二水平输送设备各自设置，传输机构的尺寸不会过大，而且承载式传输保证了石英舟传输的可靠性。

本实施例中优选的实施方式，上述第一水平方向和第二水平方向相互垂直，第一过渡支架31和第二过渡支架42沿竖直方向升降，该种设置方式结构紧凑，石英舟组件在第一水平输送设备和第二水平输送设备之间转移时可以保证较好的对中，上述第一过渡支架和第二过渡支架均为板状支架。在其他实施例中还可以是：上述第一水平方向和第二水平方向形成锐角夹角和钝角夹角，此时，第一过渡支架和第二过渡支架沿倾斜方向升降，但是第一过渡支架和第二过渡支架升降过程中，输送单元的姿态不会改变，保证石英舟稳定承载硅片。

本实施例中优选的实施方式，上述设置为并列输送石英舟组件1的两个，上述第二水平输送设备44设于两个上述第一水平输送设备41之间。通过两个尺寸较小的第一水平输送设备可以输送较大尺寸的石英舟，同时利于第一水平输送设备与第二水平输送设备之间石英舟的转移。在其他实施例中还可以是：上述两个第一水平输送设备替换为尺寸较大的一个第一水平输送设备，两个第二水平输送设备设置在一个第一水平输送设备的前侧和后侧。

本实施例中优选的实施方式，上述第二水平输送设备44设置为并列输送石英舟组件1的两个。通过两个尺寸较小的第二水平输送设备可以输送较大尺寸的石英舟，同时利于第一水平输送设备与第二水平输送设备之间石英舟的转移。在其他实施例中还可以是：上述两个第二水平输送设备替换为尺寸较大的一个第二水平输送设备。

本实施例中优选的实施方式，上述第一升降动力设备32为电机，上述电机通过丝杆螺母组件33带动上述第一过渡支架31升降。第一升降动力设备采用电机，电机精准度高、适应性好、稳定性好，适合于提升输送单元和石英舟组件。在其他实施例中还可以是：上述第一升降动力设备为气缸，不设置上述丝杆螺母组件。

本实施例中优选的实施方式，上述第一过渡支架31通过并列设置的两个导轨组件34连接上述机架2，上述升降单元包括设于上述两个导轨组件34之间的一个上述第一升降动力设备32。通过设置两个导轨组件，提高了石英舟提升稳定性。在其他实施例中还可以是：设置一个导轨组件和两个第一升降动力设备。导轨组件为与第一升降动力设备之间。

本实施例中优选的实施方式，上述第二升降动力设备43为气缸。第二升降动力设备为气缸，其体积较小，使得整个设备结构更加紧凑。在其他实施例中还可以是：上述第二升降动力设备包括电机和丝杆螺母组件。

本实施例中优选的实施方式，上述输送单元包括并列支撑上述第二水平输送设备44的两个上述第二升降动力设备43。两个第二升降动力设备43能够更可靠稳固的支撑第二过渡支架。在其他实施例中还可以是：上述输送单元包括一个或更多的第二升降动力设备。

本实施例中优选的实施方式，上述第一水平输送设备41和上述第二水平输送设备44均为皮带输送设备。皮带输送设备包括圆周形皮带、带动圆周形皮带运转的皮带轮以及带动皮带轮转动的电机。在其他实施例中还可以是：上述第一水平输送设备和上述第二水平输送设备均为链条输送设备。

本实施例中优选的实施方式，上述输送单元还包括设于上述第二水平输送设备的输出侧的限位阻挡部件45。第二水平输送设备的输出侧的阻挡装置，可将石英舟限定在设定的位置处。上述阻挡部件45为阻挡气缸或者可浮动的弹性缓冲部件。在其他实施例中还可以是：上述输送单元不包括阻挡部件。

本实施例中优选的实施方式，上述石英舟组件1包括石英舟11和用于承载上述石英舟的舟托12。上述舟托12包括平板部，该平板部可以更便于在输送单元上进行输送。在其他实施例中还可以是：上述石英舟组件只包括石英舟。

下面介绍本实用新型优选实施例中的三轴传输石英舟的传输机构的工作过程：

1)初始状态时，输送单元位于低位，石英舟组件1从某个工艺设备(例如扩散炉)中被工艺设备输出设备沿石英舟长度方向传输出来，石英舟11放在舟托12 上，石英舟11中放置硅片5；

2)第二升降动力设备43将第二过渡支架42顶起，进而带动第二水平输送设备44高于第一水平输送设备41；

3)石英舟组件1沿石英舟长度方向从上述工艺设备输出设备被转移到第二水平输送设备44上，第二水平输送设备44沿石英舟长度方向将石英舟组件1传输到两个第一水平输送设备41的中间位置；

4)第二升降动力设备43带动第二过渡支架42落下，进而带动第二水平输送设备44低于第一水平输送设备41，石英舟组件1落在第一水平输送设备41上；

5)第一升降动力设备32通过丝杆螺母组件33带动输送单元上升到高位；

6)第一水平输送设备41将石英舟组件1沿石英舟宽度方向传输到另一个石英舟传输机构或者第一水平输送设备41将石英舟组件1输出，然后机械手将石英舟中的硅片取出后转移到花篮中。

以上为对本实用新型实施例的描述，通过对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (10)

1.一种三轴传输石英舟的传输机构，包括用于承载和带动石英舟组件水平移动的输送单元、用于带动所述输送单元升降的升降单元以及用于安装所述升降单元的机架，所述升降单元包括第一过渡支架和第一升降动力设备，所述第一升降动力设备安装于所述机架上并带动所述第一过渡支架升降，其特征在于，所述输送单元包括第一水平输送设备、第二过渡支架、第二升降动力设备以及第二水平输送设备，所述第一水平输送设备安装于所述第一过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第一水平方向移动，所述第二升降动力设备安装于所述第一过渡支架上并带动所述第二过渡支架升降，所述第二水平输送设备安装于所述第二过渡支架上并承载和带动石英舟组件沿第二水平方向移动，所述第一水平方向与所述第二水平方向非平行设置。

2.根据权利要求1所述的三轴传输石英舟的传输机构，其特征在于，所述第一水平输送设备设置为两个，两个所述第一水平输送设备并列输送同一石英舟组件，所述第二水平输送设备设于两个所述第一水平输送设备之间。

3.根据权利要求1所述的三轴传输石英舟的传输机构，其特征在于，所述第二水平输送设备设置为两个，两个所述第二水平输送设备并列输送同一石英舟组件。

4.根据权利要求1所述的三轴传输石英舟的传输机构，其特征在于，所述第一升降动力设备为电机，所述电机通过丝杆螺母组件带动所述第一过渡支架升降。

5.根据权利要求1所述的三轴传输石英舟的传输机构，其特征在于，所述第一过渡支架通过并列设置的两个导轨组件连接所述机架，所述升降单元包括设于所述两个导轨组件之间的一个所述第一升降动力设备。

6.根据权利要求1所述的三轴传输石英舟的传输机构，其特征在于，所述第二升降动力设备为气缸。

7.根据权利要求1所述的三轴传输石英舟的传输机构，其特征在于，所述输送单元包括并列支撑所述第二水平输送设备的两个所述第二升降动力设备。

8.根据权利要求1所述的三轴传输石英舟的传输机构，其特征在于，所述第一水平输送设备和所述第二水平输送设备均为皮带输送设备。

9.根据权利要求1所述的三轴传输石英舟的传输机构，其特征在于，所述输送单元还包括设于所述第二水平输送设备的输出侧的限位阻挡部件。

10.根据权利要求1所述的三轴传输石英舟的传输机构，其特征在于，所述石英舟组件包括石英舟和用于承载所述石英舟的舟托。

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