CN216638154U - 一种料框水平旋转提升机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种料框水平旋转提升机构，包括底板、通过导向柱与底板相连的升降板、驱动升降板沿导向柱升降的丝杆单元、通过连接柱与升降板相连的安装板、设置于安装板底部的旋转单元、设置于安装板上方与旋转单元相连的旋转平台、设置于旋转平台两侧的两个夹持单元及设置于旋转平台上的检测传感器；夹持单元包括一端与旋转平台一角铰接的L型摆座、与L型摆座另一端铰接的摆座连杆及设置于旋转平台一侧驱动摆座连杆进退的摆座气缸。晶圆承载框及晶圆放置到所述旋转平台上，所述夹持单元将晶圆承载框夹持固定，所述旋转单元驱动所述旋转平台在预设角度范实现了晶圆承载框的自动化旋转及升降。

Description

一种料框水平旋转提升机构

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产技术领域，尤其涉及一种料框水平旋转提升机构。

背景技术

在晶圆生产过程中，需要确保晶圆承载框及晶圆能够在一预设角度范围内旋转，同时能够驱动晶圆承载框在一预设高速范围内升降，满足生产（或者清洗）过程中的需求。现有的机构，通常只能满足旋转或者升降需求，通过两个机构驱动旋转及升降的方式，工序复杂，效率低下。

实用新型内容

本实用新型所解决的技术问题在于提供一种料框水平旋转提升机构。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种料框水平旋转提升机构，包括底板、通过导向柱与所述底板相连的升降板、驱动所述升降板沿所述导向柱升降的丝杆单元、通过连接柱与所述升降板相连的安装板、设置于所述安装板底部的旋转单元、设置于所述安装板上方与所述旋转单元相连的旋转平台、设置于所述旋转平台两侧的两个夹持单元以及设置于所述旋转平台上的检测传感器；所述夹持单元包括一端与所述旋转平台一角铰接的L型摆座、与所述L型摆座另一端铰接的摆座连杆以及设置于所述旋转平台一侧驱动所述摆座连杆进退的摆座气缸。

进一步的是，所述旋转单元包括与所述旋转平台底部相连的转台、设置于所述转台外围的齿轮、与所述齿轮啮合的齿条以及驱动所述齿条进退的水平旋转气缸。

进一步的是，所述安装板的底部两侧设置有连接板，所述连接板上分别设置有左限位螺钉和右限位螺钉。

进一步的是，所述底板的中部设置有立板，所述立板上设置有上下极限感应片。

进一步的是，所述旋转平台的两侧设置有限位板，所述L型摆座一端与所述限位板的一端铰接，所述摆座气缸设置于所述限位板的外侧。

进一步的是，所述丝杆单元包括与所述升降板滑动配合的丝杆以及驱动所述丝杆转动的伺服电机。

本实用新型的料框水平旋转提升机构，晶圆承载框及晶圆放置到所述旋转平台上，所述夹持单元将晶圆承载框夹持固定，所述检测传感器检测到产品到达后，所述旋转单元驱动所述旋转平台在预设角度范围内旋转，所述丝杆单元驱动所述升降板沿所述导向柱在预设高度范围内升降，即实现了晶圆承载框的自动化旋转及升降；

夹持时，所述摆座气缸驱动所述摆座连杆前进，所述摆座连杆带动所述L型摆座旋转至与所述旋转平台的一个侧边平齐，所述定位凸台与晶圆承载框抵接，将晶圆承载框夹持，操作简单，响应快。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的料框水平旋转提升机构的示意图；

图2为本实用新型的料框水平旋转提升机构的夹持单元的示意图；

图中标记为：

底板1，导向柱11，立板12，上下极限感应片13，

升降板2，连接柱21，

丝杆单元3，丝杆31，伺服电机32，

安装板4，连接板41，左限位螺钉42，右限位螺钉43，

旋转单元5，转台51，齿轮52，齿条53，水平旋转气缸54，

旋转平台6，检测传感器61，限位板62，

夹持单元7，L型摆座71，摆座连杆72，摆座气缸73，定位凸台74。

具体实施方式

以下结合具体实施例对上述方案做进一步说明。应理解，这些实施例是用于说明本实用新型而不限于限制本实用新型的范围。实施例中采用的实施条件可以根据具体厂家的条件做进一步调整，未注明的实施条件通常为常规实验中的条件。

参见图1至图2所示，一种料框水平旋转提升机构，包括底板1、通过导向柱11与所述底板1相连的升降板2、驱动所述升降板2沿所述导向柱11升降的丝杆单元3、通过连接柱21与所述升降板2相连的安装板4、设置于所述安装板4底部的旋转单元5、设置于所述安装板4上方与所述旋转单元5相连的旋转平台6、设置于所述旋转平台6两侧的两个夹持单元7以及设置于所述旋转平台6上的检测传感器61；所述夹持单元7包括一端与所述旋转平台6一角铰接的L型摆座71、与所述L型摆座71另一端铰接的摆座连杆72以及设置于所述旋转平台6一侧驱动所述摆座连杆72进退的摆座气缸73，所述L型支架靠近所述旋转平台的一面设置有定位凸台74。晶圆承载框及晶圆放置到所述旋转平台6上，所述夹持单元7将晶圆承载框夹持固定，所述检测传感器61检测到产品到达后，所述旋转单元5驱动所述旋转平台6在预设角度范围内旋转，所述丝杆单元3驱动所述升降板2沿所述导向柱11在预设高度范围内升降，即实现了晶圆承载框的自动化旋转及升降；具体的，夹持时，所述摆座气缸73驱动所述摆座连杆72前进，所述摆座连杆72带动所述L型摆座71旋转至与所述旋转平台6的一个侧边平齐，所述定位凸台74与晶圆承载框抵接，将晶圆承载框夹持，操作简单，响应快。

所述旋转单元5包括与所述旋转平台6底部相连的转台51、设置于所述转台51外围的齿轮52、与所述齿轮52啮合的齿条53以及驱动所述齿条53进退的水平旋转气缸54。所述水平旋转气缸54驱动所述齿条53进退，所述齿条53带动所述齿轮52及所述转台51旋转，即可带动所述旋转平台6旋转，结构简单可靠。

所述安装板4的底部两侧设置有连接板41，所述连接板41上分别设置有左限位螺钉42和右限位螺钉43。在所述旋转平台6旋转过程中，所述左限位螺钉42和所述右限位螺钉43分别对左旋及右旋角度起到限位作用，确保所述旋转平台6在预设角度范围内旋转。

所述底板1的中部设置有立板12，所述立板12上设置有上下极限感应片13。所述上下极限感应片13用于检测所述升降板3的升降高度，确保所述升降板在预设高度范围内升降。

所述旋转平台6的两侧设置有限位板62，所述L型摆座71一端与所述限位板62的一端铰接，所述摆座气缸73设置于所述限位板62的外侧。

所述丝杆单元包3括与所述升降板2滑动配合的丝杆31以及驱动所述丝杆31转动的伺服电机32。所述升降板2的顶部设置有直线轴承22，所述导向柱11与所述直线轴承22滑动配合。

上述实例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人是能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所做的等效变换或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种料框水平旋转提升机构，其特征在于：包括底板、通过导向柱与所述底板相连的升降板、驱动所述升降板沿所述导向柱升降的丝杆单元、通过连接柱与所述升降板相连的安装板、设置于所述安装板底部的旋转单元、设置于所述安装板上方与所述旋转单元相连的旋转平台、设置于所述旋转平台两侧的两个夹持单元以及设置于所述旋转平台上的检测传感器；所述夹持单元包括一端与所述旋转平台一角铰接的L型摆座、与所述L型摆座另一端铰接的摆座连杆以及设置于所述旋转平台一侧驱动所述摆座连杆进退的摆座气缸。

2.如权利要求1所述的料框水平旋转提升机构，其特征在于：所述旋转单元包括与所述旋转平台底部相连的转台、设置于所述转台外围的齿轮、与所述齿轮啮合的齿条以及驱动所述齿条进退的水平旋转气缸。

3.如权利要求1所述的料框水平旋转提升机构，其特征在于：所述安装板的底部两侧设置有连接板，所述连接板上分别设置有左限位螺钉和右限位螺钉。

4.如权利要求1所述的料框水平旋转提升机构，其特征在于：所述底板的中部设置有立板，所述立板上设置有上下极限感应片。

5.如权利要求1所述的料框水平旋转提升机构，其特征在于：所述旋转平台的两侧设置有限位板，所述L型摆座一端与所述限位板的一端铰接，所述摆座气缸设置于所述限位板的外侧。

6.如权利要求1所述的料框水平旋转提升机构，其特征在于：所述丝杆单元包括与所述升降板滑动配合的丝杆以及驱动所述丝杆转动的伺服电机。

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