CN216422497U - 一种自适应轨道调整装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种自适应轨道调整装置，包括基准轨道、调节轨道、基准轨道安装板、调节轨道安装板、轨道调节机构和模块安装基座，所述基准轨道安装板设于所述模块安装基座上，所述基准轨道设于所述基准轨道安装板的顶部；所述调节轨道安装板设于所述模块安装基座上且位于所述基准轨道安装板的一侧；所述轨道调节机构分别设于所述调节轨道安装板的两端；所述调节轨道设于所述轨道调节机构的顶部。本实用新型以基准轨道的高度为基准，调节轨道的高度可根据检测需要自动调整，能满足于不同规格料片的支撑。

Description

一种自适应轨道调整装置

技术领域

本实用新型涉及半导体的料片检测领域，具体涉及一种自适应轨道调整装置。

背景技术

现有技术中，针对半导体的料片检测，大部分的料片具有较类似且平整的形状特点，因此一般检测方法是直接将料片从同一水平面的轨道高度通过光学设备进行检测，但有的料片外形相对不平整，如IGBT的料片(IGBT为Insulated Gate Bipolar Transistor的英文缩写，具体指绝缘栅双极型晶体管)，支撑位置前后高度不同；其次对一些平整的料片可能需要从不同角度进行检测会得到更精确的结果。现有检测设备结构上不方便满足该需求，或直接将料片设置成固定高度，灵活性不足。

实用新型内容

鉴于上述现有技术的不足之处，本实用新型的目的在于提供一种自适应轨道调整装置，该装置以一侧的轨道高度为基准，另一侧的高度可根据检测需要自动调整，满足不同规格料片的支撑。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案如下：

一种自适应轨道调整装置，包括基准轨道、基准轨道安装板和模块安装基座，所述基准轨道安装板设于所述模块安装基座上，所述基准轨道设于所述基准轨道安装板的顶部，还包括：

调节轨道安装板，所述调节轨道安装板设于所述模块安装基座上且位于所述基准轨道安装板的一侧；

轨道调节机构，所述轨道调节机构分别设于所述调节轨道安装板的两端；

调节轨道，所述调节轨道设于所述轨道调节机构的顶部。

作为进一步的改进技术方案，上述的自适应轨道调整装置中，所述轨道调节机构包括：

驱动模块安装座，所述驱动模块安装座设置在所述调节轨道安装板的两端；

驱动件，所述驱动件设于所述驱动模块安装座的下层；

丝杆和导轨，所述丝杆上设有丝杆螺母，所述丝杆和导轨均竖直设于所述驱动模块安装座的上层，且所述丝杆的一端和导轨的一端与所述驱动件连接，所述丝杆的另一端和导轨的另一端连接在所述驱动模块安装座的顶部；

滑块，所述滑块分别与丝杆螺母和导轨连接。

通过驱动件驱动使得滑块在丝杆和导轨上进行上下移动，从而使调节轨道的所在高度得以调节。

作为进一步的改进技术方案，上述的自适应轨道调整装置中，所述驱动模块安装座的中部设有用于分层的中间板，所述中间板与所述驱动模块安装座的侧壁垂直。

作为进一步的改进技术方案，上述的自适应轨道调整装置中，所述驱动件可拆卸连接在所述驱动模块安装座的下层，具体可通过螺栓或插销的方式连接，以便于进行拆卸或更换。

作为进一步的改进技术方案，上述的自适应轨道调整装置中，所述驱动件为电机或气缸。

作为进一步的改进技术方案，上述的自适应轨道调整装置中，所述调节轨道至少一端设有用于插入料片的开口，当调节轨道安装完成后，在调节轨道的开口处插入料片，从而满足于不同规格的料片用于支撑。

作为进一步的改进技术方案，上述的自适应轨道调整装置中，所述基准轨道与所述调节轨道呈平行设置。

作为进一步的改进技术方案，上述的自适应轨道调整装置中，所述调节轨道的两端设有料片导向机构，其中所述料片导向机构为调节轨道的安装提供导向。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：因为自适应轨道调整装置能将调节轨道通过驱动件提升至目标高度，所以才能灵活满足于不同规格的料片上下料进行自动检测的功能；同时通过外设的拍摄机构可实时根据视觉系统反馈调整料片的相对角度，从而获得更好的补光和采图，使得检测结果更为精准，检测区域更加灵活。

附图说明

图1为本实用新型提供的自适应轨道调整装置的立体结构示意图；

图2为基准轨道与基准轨道安装板的连接示意图；

图3为调节轨道与轨道调节机构的连接示意图；

图4为图1中轨道调节机构的结构示意图。

图中所述数字标注表示为：1、基准轨道；2、基准轨道安装板；3、调节轨道；4、调节轨道安装板；5、轨道调节机构；6、模块安装基座；7、料片导向机构；8、驱动模块安装座；9、中间板；10、驱动件；11、丝杆；12、导轨；13、滑块；14、丝杆螺母。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本实用新型进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

实施例1

如图1-图3所示，一种自适应轨道调整装置，包括基准轨道1、调节轨道3、基准轨道安装板2、调节轨道安装板4、轨道调节机构5和模块安装基座6，所述基准轨道安装板2设于所述模块安装基座6上，所述基准轨道1设于所述基准轨道安装板2的顶部，所述调节轨道安装板4设于所述模块安装基座6上且位于所述基准轨道安装板2的一侧；所述轨道调节机构5分别设于所述调节轨道安装板4的两端；所述调节轨道3设于所述轨道调节机构5的顶部。

其中所述调节轨道3与所述基准轨道1呈平行设置，且选用与所述基准轨道1同种制作材料，使其具备同种机械性能，共同支撑起待检测的料片。

所述自适应轨道调整装置的工作原理是：通过轨道调节机构5中的驱动件10，为调节轨道3的升降提供了动力，使调节轨道3所在高度直至与所述基准轨道1平齐或者提升至目标高度。

如图4所示，所述轨道调节机构5包括驱动模块安装座8、驱动件10、丝杆11和导轨12、滑块13，所述驱动模块安装座8设置在所述调节轨道安装板4的两端；所述驱动件10设于所述驱动模块安装座8的下层；所述丝杆上设有丝杆螺母，所述丝杆11和导轨12均竖直设于所述驱动模块安装座8的上层，且所述丝杆11的一端和导轨12的一端与所述驱动件10连接，所述丝杆11的另一端和导轨12的另一端连接在所述驱动模块安装座8的顶部；所述滑块13分别与丝杆螺母14和导轨12连接。通过驱动件10使得滑块13在丝杆11和导轨12上进行上下移动，从而使调节轨道3的所在高度得以调节。

具体的，所述驱动模块安装座8的中部设有用于分层的中间板9，所述中间板9与所述驱动模块安装座8的侧壁垂直，并且将所述驱动模块安装座8分为上层和下层，从而确定所述驱动件10、所述丝杆11和导轨12的安装位置。

具体的，所述驱动件10可选用电机，为所述调节轨道3的升降提供动力；当然，如果采用气动的方式进行驱动，也可将所述驱动件10选用为气缸。制造人员可根据实际情况进行灵活选择，从而确定好所选用的驱动件10，在这里将不做限定。

所述驱动件10可拆卸连接在所述驱动模块安装座8的下层，可选地，所述驱动件10可通过螺栓或插销的方式连接在所述驱动模块安装座8的下层，以便于进行拆卸或更换。当然，应理解的，上述螺栓或插销的连接方式仅用于举例说明，不可理解为对本实用新型的限定。

所述调节轨道3的两端设有料片导向机构7，其中所述料片导向机构7为调节轨道3的安装提供导向，所述调节轨道3至少一端设有用于插入料片的开口，当调节轨道3安装完成后，在所述调节轨道3的开口处插入料片，从而满足于不同规格的料片用于支撑。

综上所述，本实用新型提供了一种自适应轨道调整装置，包括基准轨道1、调节轨道3、基准轨道安装板2、调节轨道安装板4、轨道调节机构5和模块安装基座6，所述基准轨道安装板2设于所述模块安装基座6上，所述基准轨道1设于所述基准轨道安装板2的顶部；所述调节轨道安装板4设于所述模块安装基座6上且位于所述基准轨道安装板2的一侧；所述轨道调节机构5分别设于所述调节轨道安装板4的两端；所述调节轨道3设于所述轨道调节机构5的顶部。本实用新型以基准轨道1的高度为基准，调节轨道3的高度可根据检测需要自动调整，能满足于不同规格料片的支撑。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的方案后，将容易想到本实用新型的其它实施方案。本实用新型旨在涵盖本实用新型的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本实用新型的一般性原理并包括本方案未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本实用新型的真正范围和精神由权利要求指出。

Claims (8)

1.一种自适应轨道调整装置，包括基准轨道、基准轨道安装板和模块安装基座，所述基准轨道安装板设于所述模块安装基座上，所述基准轨道设于所述基准轨道安装板的顶部，其特征在于，还包括：

调节轨道安装板，所述调节轨道安装板设于所述模块安装基座上且位于所述基准轨道安装板的一侧；

轨道调节机构，所述轨道调节机构分别设于所述调节轨道安装板的两端；

调节轨道，所述调节轨道设于所述轨道调节机构的顶部。

2.根据权利要求1所述的自适应轨道调整装置，其特征在于，所述轨道调节机构包括：

驱动模块安装座，所述驱动模块安装座设置在所述调节轨道安装板的两端；

驱动件，所述驱动件设于所述驱动模块安装座的下层；

丝杆和导轨，所述丝杆上设有丝杆螺母，所述丝杆和导轨均竖直设于所述驱动模块安装座的上层，且所述丝杆的一端和导轨的一端与所述驱动件连接，所述丝杆的另一端和导轨的另一端连接在所述驱动模块安装座的顶部；

滑块，所述滑块分别与丝杆螺母和导轨连接。

3.根据权利要求2所述的自适应轨道调整装置，其特征在于，所述驱动模块安装座的中部设有用于分层的中间板，所述中间板与所述驱动模块安装座的侧壁垂直。

4.根据权利要求2所述的自适应轨道调整装置，其特征在于，所述驱动件可拆卸连接在所述驱动模块安装座的下层。

5.根据权利要求2所述的自适应轨道调整装置，其特征在于，所述驱动件为电机或气缸。

6.根据权利要求1所述的自适应轨道调整装置，其特征在于，所述调节轨道至少一端设有用于插入料片的开口。

7.根据权利要求1所述的自适应轨道调整装置，其特征在于，所述基准轨道与所述调节轨道呈平行设置。

8.根据权利要求1所述的自适应轨道调整装置，其特征在于，所述调节轨道的两端设有料片导向机构。

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