CN216309253U - 腔体设备的测温装置及其九点温度测量支架 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种腔体设备的测温装置及其九点温度测量支架。由于在本实用新型提供了一种九点温度测量支架中，可以在腔体设备外部就可以把提供的形状和高度调试好，然后，再把多个电热偶，如9个电热偶，通过支架上的锁紧结构3方便、省时、准确的固定在该支架上，从而实现了准确地将热电偶的测温端放置在预定的测温位置，且无需利用大量的高温胶带，既降低了测试成本，又避免了现有技术中利用高温胶带将热电偶固定在腔体设备的侧壁上，由于热电偶的热测温端在腔内气流的作用下或者由于高温胶带的脱落等原因触碰到内腔壁上，从而造成记录的温度失实的问题。

Description

腔体设备的测温装置及其九点温度测量支架

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种腔体设备的测温装置及其九点温度测量支架。

背景技术

在半导体加工领域，晶圆的多种工艺流程均需要在工艺腔体设备中完成，例如，晶圆的离子注入工艺、晶圆的清洗工艺以及晶圆的薄膜工艺。在这些工艺中，工艺腔体设备(或温控类设备)的温度将直接影响工艺的反应结果，因此，对于一些工艺在进入工艺腔体设备之前，如何检测其工艺腔体设备的温度成为尤为重要的问题。

针对此问题，现有的做法是采用9点温度检测法对工艺腔体设备进行温度测量，具体的，其是利用9个热电偶按“腔体上部四点、腔体下部四点以及腔体中心点”的规律，悬空放置在待测试腔体内进行半小时以上的温度记录。由于每个热电偶一般是外层材质为耐高温绝缘材料，内芯为单股合金导线，物理性质为可任意角度弯折并保持形状，因此，每个热电偶的一端需要连接在测量仪器上，而其另一端需采用高温胶带固定在腔体设备内的内腔壁上，且在靠近测温端的地方将其折弯，使得测温端悬空在待测温度的位置。

显然，现有技术中，腔体设备内并无放置用于固定热电偶的独立装置，而是利用高温胶带直接把各个热电偶的一端分别粘贴在腔体设备的内腔壁的相应位置处，该操作不但费时、费力，还无法确保热电偶的热测温端不会在腔内气流的作用下或者由于高温胶带的脱落等原因触碰到内腔壁上，从而导致记录的温度失实。并且，高温胶带属于一次性使用物质，用完需废弃，即，每次工艺前，均需要大量的高温胶带固定所述9个热电偶，还会造成测温装置成本高的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种腔体设备的测温装置及其九点温度测量支架，为腔体设备提供一种独立的用于固定多个电热偶的温度测量支架，从而解决现有技术中利用高温胶带将热电偶固定在腔体设备的侧壁上，由于热电偶的热测温端在腔内气流的作用下或者由于高温胶带的脱落等原因触碰到内腔壁上，从而造成记录的温度失实的问题。

第一方面，为解决上述技术问题，本实用新型提供一种九点温度测量支架，用于固定测量腔体温度的电热偶，包括：连接轴(1)和两个支撑基座(2)；所述连接轴(1)包括两个第一伸缩杆(11)和一套杆(12)，所述套杆(12)的两端分别套接一所述第一伸缩杆(11)，所述套杆(12)的端面中部设置有一用于固定所述电热偶的锁紧结构 (3)，且每一所述第一伸缩杆(11)的另一端分别与一所述支撑基座 (2)固定连接；

其中，每个所述支撑基座(2)包括沿与所述连接轴(1)的轴向方向垂直的方向上交叉设置的四个连接件(4)，且每一所述连接件(4) 包括与所述第一伸缩杆(11)固定连接且内部是中空结构的连杆(41) 和连接在所述连杆(41)末端处的第二伸缩杆(42)，所述第二伸缩杆(42)的端面上设置有用于固定所述电热偶的锁紧结构(3)。

进一步的，所述连接轴(1)和所述支撑基座(2)的材质可以为铝合金。

进一步的，所述第一伸缩杆(11)上可以开设有若干个孔，所述套杆(12)与所述第一伸缩杆(11)套接的一端设置有与孔匹配的弹性卡头，以使所述第一伸缩杆(11)套接在所述套杆(12)的内部并且通过弹性卡头卡扣在孔内来决定连接轴(1)的长度。

进一步的，所述第二伸缩杆(42)包括一级伸缩杆(421)和二级伸缩杆(422)，所述一级伸缩杆(421)的内部是中空结构，且所述一级伸缩杆(421)的一端与所述连杆(41)套接，另一端与所述二级伸缩杆(422)的一端套接，以通过拉伸所述一级伸缩杆(421) 和/或所述二级伸缩杆(422)来改变每一所述连接件(4)的长度。

进一步的，所述连杆(41)上可以开设有若干个孔，所述一级伸缩杆(421)与所述连杆(41)套接的一端设置有与孔匹配的弹性卡头，所述一级伸缩杆(421)与所述二级伸缩杆(422)套接的一端也开设有若干个孔，且所述二级伸缩杆(422)与所述一级伸缩杆(421) 套接的一端也设置有与孔匹配的弹性卡头，以使所述一级伸缩杆(421) 套接在所述连杆(41)的内部、所述二级伸缩杆(422)套接在所述一级伸缩杆(421)的内部并且通过弹性卡头卡扣在孔内来确定每一所述连接件(4)的长度。

进一步的，所述锁紧结构(3)可以包括开设在所述第二伸缩杆 (42)或所述二级伸缩杆(422)的端面上且形状呈条状的滑行槽(31) 和固定座(32)，所述固定座(32)嵌入到所述滑行槽(31)内并能够在所述滑行槽(31)内滑动。

进一步的，所述一级伸缩杆(421)和所述二级伸缩杆(422)的长度范围可以为：40cm～100cm。

第二方面，基于相同的发明构思，本实用新型还提供了一种腔体设备的测温装置，具体可以包括：多个电热偶以及如上所述的九点温度测量支架。

进一步的，所述腔体设备的温度范围为-65℃～300℃

与现有技术相比，本实用新型至少具有如下技术效果：

在本实用新型提供了一种九点温度测量支架中，其是针对现有的待进行温度测量或矫正的腔体设备，为其设计了一款独立于腔体设备并且可以根据腔体设备的高度而自由调节布设在腔体设备中的多个电热偶的位置的九点温度测量支架。由于在本实用新型中，可以在腔体设备外部就可以把提供的形状和高度调试好，然后，再把多个电热偶，如9个电热偶，通过支架上的锁紧结构3方便、省时、准确的固定在该支架上，从而实现了准确地将热电偶的测温端放置在预定的测温位置，且无需利用大量的高温胶带，既降低了测试成本，又避免了现有技术中利用高温胶带将热电偶固定在腔体设备的侧壁上，由于热电偶的热测温端在腔内气流的作用下或者由于高温胶带的脱落等原因触碰到内腔壁上，从而造成记录的温度失实的问题。

附图说明

图1为本实施例中提供的一种九点温度测量支架的结构示意图；

图2为图1中锁紧结构3的放大结构示意图。

图中，1-连接轴，2-支撑基座，3-锁紧结构，4-连接件，11-第一伸缩杆，12-套杆，41-连杆，42-第二伸缩杆，421-一级伸缩杆，422- 二级伸缩杆，31-滑行槽，32-固定座。

具体实施方式

承如背景技术所述，目前，还未存在一款用于固定腔体设备内用于测量腔体设备温度的热电偶的独立装置，即，腔体设备内并无放置用于固定热电偶的独立装置，而是利用高温胶带直接把各个热电偶的一端分别粘贴在腔体设备的内腔壁的相应位置处，该操作不但费时、费力，还无法确保热电偶的热测温端不会在腔内气流的作用下或者由于高温胶带的脱落等原因触碰到内腔壁上，从而导致记录的温度失实。并且，高温胶带属于一次性使用物质，用完需废弃，即，每次工艺前，均需要大量的高温胶带固定所述9个热电偶，还会造成测温装置成本高的问题。

为此，本实用新型提供了一种腔体设备的测温装置及其九点温度测量支架，为腔体设备提供一种独立的用于固定多个电热偶的温度测量支架，从而解决现有技术中利用高温胶带将热电偶固定在腔体设备的侧壁上，由于热电偶的热测温端在腔内气流的作用下或者由于高温胶带的脱落等原因触碰到内腔壁上，从而造成记录的温度失实的问题。

以下将对本实用新型的一种腔体设备的测温装置及其九点温度测量支架作进一步的详细描述。下面将参照附图1和附图2对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

参考图1，图1为本实用新型一实施例中提供的九点温度测量支架的结构示意图。如图1所示，本实用新型提供的九点温度测量支架可以包括：连接轴1和两个支撑基座2。

具体的，所述连接轴1包括两个第一伸缩杆11和一套杆12，所述套杆12的两端分别套接一所述第一伸缩杆11，所述套杆12的端面中部设置有一用于固定所述电热偶的锁紧结构3，且每一所述第一伸缩杆11的另一端分别与一所述支撑基座2固定连接。

在本实施例中，通过在连接轴1的两端分别固定一支撑基座2的方式，形成一个可以在水平方向和垂直方向均可以调节长度的立体结构，然后，利用该立体结构中的两个支撑基座2分别固定四个电热偶和连接轴1固定一个电热偶从而将用于测量腔体设备温度的九点温度测量方法的九个电热偶，分布在待测量温度的腔体设备的上部、中心点和下部，进而准确的测量腔体设备的温度。

进一步的，为了降低九点温度测量支架的设计成本，可以利用如铝合金这样的轻型金属材质作为所述连接轴1和所述支撑基座2(本实用新型提供的九点温度测量支架)的材质。

更进一步的，所述连接轴1的第一伸缩杆11上可以开设有若干个孔(未图示)，所述套杆12与所述第一伸缩杆11套接的一端设置有与孔匹配的弹性卡头(未图示)，以使所述两个第一伸缩杆11均套接在所述套杆12的内部并且通过弹性卡头卡扣在孔内来灵活调整连接轴1的长度，以满足实际的腔体设备对热电偶的位置要求。

继续参考图1，如图1可知，每个所述支撑基座2可以包括沿与所述连接轴1的轴向方向垂直的方向上交叉设置的四个连接件4，且每一所述连接件4可以包括与所述第一伸缩杆11固定连接且内部是中空结构的连杆41和连接在所述连杆41末端处的第二伸缩杆42，所述第二伸缩杆42的端面上设置有用于固定所述电热偶的锁紧结构 3。

在本实施例中，所述两个支撑基座2可以对称设置在所述连接轴 1的两端，并且，由于本实用新型用于九点温度测量方法，因此，每个所述支撑基座2均需要包含四个连接件4，而每个连接件4分别用于固定一个电热偶。除此之外，所述每个连接件4均至少包含一个伸缩杆，从而实现连接件4沿水平方向延伸，进而调整其固定的电热偶的位置。由于在本实用新型中，可以在腔体设备外部就可以把提供的形状和高度调试好，然后，再把多个电热偶，如9个电热偶，通过支架上的锁紧结构3方便、省时、准确的固定在该支架上，而无需利用大量的高温胶带，避免了现有技术中利用高温胶带固定电热偶造成的污染待测温(待校正)的腔体设备的问题。

作为一个示例，本实用新型提供的每个所述连接件4的第二伸缩杆42可以包括一个一级伸缩杆421和一个二级伸缩杆422，所述一级伸缩杆421的内部是中空结构，且所述一级伸缩杆421的一端与所述连杆41套接，另一端与所述二级伸缩杆422的一端套接，以通过拉伸所述一级伸缩杆421和/或所述二级伸缩杆422来改变每一所述连接件4的长度。其中，所述一级伸缩杆421和所述二级伸缩杆422 的长度范围可以为：40cm～100cm。

其中，所述连杆41上开设有若干个孔，所述一级伸缩杆421与所述连杆41套接的一端设置有与孔匹配的弹性卡头，所述一级伸缩杆421与所述二级伸缩杆422套接的一端也开设有若干个孔，且所述二级伸缩杆422与所述一级伸缩杆421套接的一端也设置有与孔匹配的弹性卡头，以使所述一级伸缩杆421套接在所述连杆41的内部、所述二级伸缩杆422套接在所述一级伸缩杆421的内部并且通过弹性卡头卡扣在孔内来确定每一所述连接件4的长度。

可以理解的是，在其他实施例中，所述连接件4的第二伸缩杆 42也可以只是一个一级伸缩杆421，或者，所述第二伸缩杆42还可以为包含多个套接的伸缩杆的其他结构，对此本实用新型不做具体限定。

由上述描述可知，为了解决现有技术中利用高温胶带将热电偶固定在腔体设备的侧壁上，造由于热电偶的热测温端在腔内气流的作用下或者由于高温胶带的脱落等原因触碰到内腔壁上，从而造成记录的温度失实的问题，本实用新型提供了一种用于固定多个热电偶的九点温度测量支架，而在该九点温度测量支架中具体用于固定热电偶的结构为位于每个连接件4的端面上和位于连接轴1的套杆12的端面上的锁紧结构3。为了便于清楚的查看锁紧结构3的结构，本实用新型提供了如图2所示的，锁紧结构3的放大结构示意图。

具体的，如图2所示，所述锁紧结构3可以包括开设在所述第二伸缩杆42或所述二级伸缩杆422的端面上且形状呈条状的滑行槽31 和固定座32，所述固定座32嵌入到所述滑行槽31内并能够在所述滑行槽31内滑动。

在本实施例中，操作者可以在待测腔体设备外部，先调整本实用新型提供的九点温度测量支架和九个热电偶的位置关系，然后，再将固定好热电偶的九点温度测量支架放进待测腔体设备，以实现对待测腔体设备进行温度测量。因此，与现有技术相比，本实用新型提供的九点温度测量支架可以高效地、准确地将热电偶的测温端放置在工艺腔体设备的预定测温位置，且不使用任何一次性的耗材，从而降低了测试成本。并且，如果需要对多台相同型号的或内部空间大小接近的工艺腔体设备进行温度校准时，我们只需要在首次测试时调节固定好测温端的位置，后续便可直接使用，无需重复拆装。进一步的，本实用新型将测温线放置在支架内部，从而在一定程度上起到保护测温线，避免其反复弯折，进而降低测温线的使用寿命的作用。

可以理解的是，在实际操作中，操作者可以通过如图2所示的固定座32上的凸块来带动所述固定座32在所述滑行槽31中滑行，以实现卡住热电偶。

此外，基于相同的构思，本实用新型还提供了一种腔体设备的测温装置，所述腔体设备的测温装置可以包括：多个电热偶以及如图1 所示的九点温度测量支架。其中，利用图1所示的九点温度测量支架可以测量的腔体设备的温度范围可以为-65℃～300℃。

综上所述，在本实用新型提供了一种九点温度测量支架中，其是针对现有的待进行温度测量或矫正的腔体设备，为其设计了一款独立于腔体设备并且可以根据腔体设备的高度而自由调节布设在腔体设备中的多个电热偶的位置的九点温度测量支架。由于在本实用新型中，可以在腔体设备外部就可以把提供的形状和高度调试好，然后，再把多个电热偶，如9个电热偶，通过支架上的锁紧结构3方便、省时、准确的固定在该支架上，从而实现了准确地将热电偶的测温端放置在预定的测温位置，且无需利用大量的高温胶带，既降低了测试成本，又避免了现有技术中利用高温胶带将热电偶固定在腔体设备的侧壁上，由于热电偶的热测温端在腔内气流的作用下或者由于高温胶带的脱落等原因触碰到内腔壁上，从而造成记录的温度失实的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

本说明书中的各个实施例均采用相关的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于装置、电子设备以及计算机可读存储介质实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均包含在本实用新型的保护范围内。

Claims (9)

1.一种九点温度测量支架，用于固定测量腔体温度的电热偶，其特征在于，包括：连接轴(1)和两个支撑基座(2)；所述连接轴(1)包括两个第一伸缩杆(11)和一套杆(12)，所述套杆(12)的两端分别套接一所述第一伸缩杆(11)，所述套杆(12)的端面中部设置有一用于固定所述电热偶的锁紧结构(3)，且每一所述第一伸缩杆(11)的另一端分别与一所述支撑基座(2)固定连接；

其中，每个所述支撑基座(2)包括沿与所述连接轴(1)的轴向方向垂直的方向上交叉设置的四个连接件(4)，且每一所述连接件(4)包括与所述第一伸缩杆(11)固定连接且内部是中空结构的连杆(41)和连接在所述连杆(41)末端处的第二伸缩杆(42)，所述第二伸缩杆(42)的端面上设置有用于固定所述电热偶的锁紧结构(3)。

2.如权利要求1所述的九点温度测量支架，其特征在于，所述连接轴(1)和所述支撑基座(2)的材质为铝合金。

3.如权利要求1所述的九点温度测量支架，其特征在于，所述第一伸缩杆(11)上开设有若干个孔，所述套杆(12)与所述第一伸缩杆(11)套接的一端设置有与孔匹配的弹性卡头，以使所述第一伸缩杆(11)套接在所述套杆(12)的内部并且通过弹性卡头卡扣在孔内来决定连接轴(1)的长度。

4.如权利要求3所述的九点温度测量支架，其特征在于，所述第二伸缩杆(42)包括一级伸缩杆(421)和二级伸缩杆(422)，所述一级伸缩杆(421)的内部是中空结构，且所述一级伸缩杆(421)的一端与所述连杆(41)套接，另一端与所述二级伸缩杆(422)的一端套接，以通过拉伸所述一级伸缩杆(421)和/或所述二级伸缩杆(422)来改变每一所述连接件(4)的长度。

5.如权利要求4所述的九点温度测量支架，其特征在于，所述连杆(41)上开设有若干个孔，所述一级伸缩杆(421)与所述连杆(41)套接的一端设置有与孔匹配的弹性卡头，所述一级伸缩杆(421)与所述二级伸缩杆(422)套接的一端也开设有若干个孔，且所述二级伸缩杆(422)与所述一级伸缩杆(421)套接的一端也设置有与孔匹配的弹性卡头，以使所述一级伸缩杆(421)套接在所述连杆(41)的内部、所述二级伸缩杆(422)套接在所述一级伸缩杆(421)的内部并且通过弹性卡头卡扣在孔内来确定每一所述连接件(4)的长度。

6.如权利要求5所述的九点温度测量支架，其特征在于，所述锁紧结构(3)包括开设在所述第二伸缩杆(42)或所述二级伸缩杆(422)的端面上且形状呈条状的滑行槽(31)和固定座(32)，所述固定座(32)嵌入到所述滑行槽(31)内并能够在所述滑行槽(31)内滑动。

7.如权利要求6所述的九点温度测量支架，其特征在于，所述一级伸缩杆(421)和所述二级伸缩杆(422)的长度范围为：40cm～100cm。

8.一种腔体设备的测温装置，其特征在于，包括：多个电热偶以及如权利要求1～7任一项所述的九点温度测量支架。

9.如权利要求8所述的腔体设备的测温装置，其特征在于，所述腔体设备的温度范围为-65℃～300℃。

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