JP5101953B2 - 多点温度センサ - Google Patents
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Description
第1実施形態の多点温度センサを図1、4、5に基づいて説明する。
前記第1実施形態の多点温度センサでは、固定部24として切り欠き25を設けたが、図6のように、板状部材23の各設定位置に前記熱電対21の2本の金属線26を通す2つの孔30を備えてもよい。これにより、前記熱電対21の2本の金属線26は2つの孔30にそれぞれ通されて固定される。各金属線26はすべて、板状部材23の下側面に沿って配設されている。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
前記第2実施形態の多点温度センサでは、固定部24として切り欠き39を設けたが、図15のように、丸棒部36の各設定位置に前記熱電対21の2本の金属線26を通す2つの孔42を備えてもよい。これにより、前記熱電対21の2本の金属線26は2つの孔42にそれぞれ通されて固定される。各金属線26は、丸棒部36の背面に沿って配設されている。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
前記第1実施形態の変形例の場合と同様に、固定部52としての切り欠き53の代わりに、図24のように、固定板51に前記熱電対21の2本の金属線26を通す2つの孔54を備えてもよい。また、図25のように、固定板51に前記熱電対21の測温接点27を通す1つの孔55を備えてもよい。また、図26,27のように、固定板51に、前記熱電対21の測温接点27を引っ掛けるフック56を備えてもよい。また、図28,29のように、固定板51に、前記熱電対21の測温接点27を引っ掛けるフランジ57を備えてもよい。
前記各実施形態では、支持部材22として、板状部材23や丸棒部36や管棒材48を用いたが、図30に示すように、半円棒材59を用いても良い。この場合、前記熱電対21の測温接点27は、円弧面59Aに取り付けられたり、平坦面59Bに取り付けられたりする。
Claims (7)
- 温度を検出する複数の熱電対と、この熱電対を内部に納める保護管とを備えた多点温度センサであって、
全長が前記保護管とほぼ同じ寸法に構成され、前記各熱電対を支持した状態で前記保護管内に挿入されて固定される支持部材と、
当該支持部材に設けられ、前記各熱電対を前記保護管内の設定位置で前記支持部材に固定する固定部とを備え、
当該固定部によって、前記各熱電対の測温接点が前記支持部材の一方の面にすべて向くように配置され、前記測温接点の各金属線が前記支持部材の他方の面に沿って配設されたことを特徴とする多点温度センサ。 - 請求項1に記載の多点温度センサにおいて、
前記固定部が、各設定位置の周囲に前記熱電対の2本の前記金属線をかける切り欠きを備えたことを特徴とする多点温度センサ。 - 請求項1に記載の多点温度センサにおいて、
前記固定部が、各設定位置に前記熱電対の2本の前記金属線を通す2つの孔を備えたことを特徴とする多点温度センサ。 - 請求項1に記載の多点温度センサにおいて、
前記固定部が、各設定位置に前記熱電対の測温接点を引っ掛けるフックを備えたことを特徴とする多点温度センサ。 - 請求項1に記載の多点温度センサにおいて、
前記固定部が、各設定位置に前記熱電対の測温接点を引っ掛けるフランジを備えたことを特徴とする多点温度センサ。 - 請求項1に記載の多点温度センサにおいて、
前記支持部材が、前記保護管内に挿入される板状部材で構成されたことを特徴とする多点温度センサ。 - 請求項1に記載の多点温度センサにおいて、
前記支持部材が、前記保護管内に挿入される半円棒材で構成されたことを特徴とする多点温度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007220028A JP5101953B2 (ja) | 2007-08-27 | 2007-08-27 | 多点温度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009053038A JP2009053038A (ja) | 2009-03-12 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5101953B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5451793B2 (ja) * | 2012-02-10 | 2014-03-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 温度センサ及び熱処理装置 |
JP5644007B2 (ja) * | 2012-02-10 | 2014-12-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 温度センサ及び熱処理装置 |
JP6294737B2 (ja) * | 2014-04-04 | 2018-03-14 | 日本フェンオール株式会社 | 温度センサ |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH088430Y2 (ja) * | 1989-05-31 | 1996-03-06 | 株式会社神戸製鋼所 | 温度分布検知センサ |
JPH04131735U (ja) * | 1991-05-24 | 1992-12-04 | 神鋼電機株式会社 | 測温センサ |
JP3740587B2 (ja) * | 1996-11-25 | 2006-02-01 | 山里産業株式会社 | 熱電対 |
JP2006234734A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Fenwall Controls Of Japan Ltd | 温度センサ配置部材およびこれを備えた温度計 |
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2007
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009053038A (ja) | 2009-03-12 |
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A621 | Written request for application examination |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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