CN216213327U - 一种芯片自动搬运加工装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及芯片加工技术领域，尤其涉及一种芯片自动搬运加工装置，包括机架、竖板、加工架、支撑板和气泵；机架上设置传送组件A，传送组件A的两侧设置固定板；竖板滑动设置在固定板上，竖板内滑动设置滑块A，滑块A上转动设置夹板；加工架设置在机架上，机架上设置放料台，放料台位于加工架的下方；支撑板设置在机架上，支撑板上设置转轴，转轴的底部与机架转动连接；支撑板上滑动设置滑块B，支撑板上设置液压缸B，液压缸B的输出端与滑块B连接；滑块B上滑动设置连接板，连接板的下方设置吸嘴，气泵设置在连接板上，气泵的输入端与气嘴连通。本实用新型能够自动对反向的芯片进行翻转，并且夹持紧固性更高。

Description

一种芯片自动搬运加工装置

技术领域

本实用新型涉及芯片加工技术领域，尤其涉及一种芯片自动搬运加工装置。

背景技术

集成电路英语或称微电路、微芯片、晶片/芯片，在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。在芯片生产过程中需要对芯片原料进行多层加工，因此需要利用到芯片搬运装置。

现有的芯片搬运装置基本上是机械手结构或者简单的吸盘结构，在芯片搬运的过程中芯片容易脱落，或者倾斜，并且这两种结构对芯片的摆放朝向有严格的要求，一旦芯片正反面混乱，则会导致加工失败。

实用新型内容

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种芯片自动搬运加工装置，在搬运的过程中不会出现芯片翻转倾斜的问题，并且在芯片朝向反向时自动对芯片进行翻转，同时本实用新型结构稳定性高。

本实用新型的技术方案：一种芯片自动搬运加工装置，包括机架、电机A、竖板、加工架、支撑板、电机C和气泵；

机架上设置传送组件A，传送组件A的两侧对称设置固定板，两侧固定板之间设置双向丝杆，双向丝杆的两端分别位于对应侧固定板的内部并与其转动连接，双向丝杆通过电机A驱动连接；竖板滑动设置在固定板上，竖板与双向丝杆螺纹连接，竖板内滑动设置滑块A，滑块A上转动设置夹板；其中一个滑块A上设置电机B，电机B的输出端与该滑块A上的夹板连接；竖板上设置液压缸A，液压缸A的输出端与滑块A连接；

加工架设置在机架上，机架上设置放料台，放料台位于加工架的下方；支撑板设置在机架上，支撑板位于固定板与加工架之间；支撑板上设置转轴，转轴的底部与机架转动连接，转轴上设置齿轮A；电机C设置在机架上，电机C的输出端设置齿轮B，齿轮B与齿轮A啮合；

支撑板上滑动设置滑块B，支撑板上设置液压缸B，液压缸B的输出端与滑块B连接；滑块B上滑动设置连接板，连接板上设置CCD相机；滑块B上设置液压缸C，液压缸C的输出端与连接板连接，连接板的下方设置吸嘴，气泵设置在连接板上，气泵的输入端与气嘴连通。

优选的，机架上设置放料箱，放料箱的出料口位于传送组件A的输入端上方，放料箱上设置进料口。

优选的，机架上对称设置两个导向板，两侧导向板关于传送组件A对称，导向板相互靠近的一侧设置导向槽，导向板的输出端设置凹槽。

优选的，夹板相互靠近的一侧设置上下两组楔形块，位于下方的楔形块与凹槽滑动配合。

优选的，支撑板上设置滑轨A，滑块B滑动设置在滑轨A上；滑块B上设置滑轨B，连接板滑动设置在滑轨B上。

优选的，加工架的内部滑动设置加工机头，加工机头位于放料台的上方。

优选的，机架的底部设置支撑脚，支撑脚的底部设置橡胶垫，支撑脚与机架的连接处设置减震组件。

与现有技术相比，本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

通过设置导向板，并在导向板上设置导向槽，芯片的两侧分别在两侧导向槽内部滑动，可有效的防止芯片在传动过程中角度偏移；通过设置固定板，在固定板上设置滑块A和夹板，利用夹板从芯片的两侧将芯片夹起并利用电机A的转动实现芯片的翻转，该结构用于传送组件A上朝向反向的芯片上；通过设置转动的支撑板，支撑板转动时可实现夹取物料料和下料，结构相对简单，降低产品成本，同时本实用新型结构稳定性高，操作简单，维修方便，非常实用。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种芯片自动搬运加工装置的结构示意图。

图2为本实用新型提出的一种芯片自动搬运加工装置中固定架与夹板的连接结构示意图。

图3为本实用新型提出的一种芯片自动搬运加工装置中支撑板与吸嘴的连接结构示意图。

附图标记：1、机架；2、放料箱；3、导向板；4、传送组件A；5、导向槽；6、凹槽；7、固定板；8、双向丝杆；9、电机A；10、竖板；11、滑块A；12、电机B；13、夹板；14、液压缸A；15、加工架；16、放料台；17、支撑板；18、转轴；19、齿轮A；20、电机C；21、齿轮B；22、滑轨A；23、滑块B；24、液压缸B；25、滑轨B；26、连接板；27、液压缸C；28、吸嘴；29、气泵。

具体实施方式

实施例一

如图1-3所示，本实用新型提出的一种芯片自动搬运加工装置，包括机架1、电机A、竖板10、加工架15、支撑板17、电机C20和气泵29；

机架1上设置传送组件A4，传送组件A4的两侧对称设置固定板7，两侧固定板7之间设置双向丝杆8，双向丝杆8的两端分别位于对应侧固定板7的内部并与其转动连接，双向丝杆8通过电机A9驱动连接；竖板10滑动设置在固定板7上，竖板10与双向丝杆8螺纹连接，竖板10内滑动设置滑块A11，滑块A11上转动设置夹板13；其中一个滑块A11上设置电机B12，电机B12的输出端与该滑块A11上的夹板13连接；竖板10上设置液压缸A14，液压缸A14的输出端与滑块A11连接；

加工架15设置在机架1上，机架1上设置放料台16，放料台16位于加工架15的下方；支撑板17设置在机架1上，支撑板17位于固定板7与加工架15之间；支撑板17上设置转轴18，转轴18的底部与机架1转动连接，转轴18上设置齿轮A19；电机C20设置在机架1上，电机C20的输出端设置齿轮B21，齿轮B21与齿轮A19啮合；

支撑板17上滑动设置滑块B23，支撑板17上设置液压缸B24，液压缸B24的输出端与滑块B23连接；滑块B23上滑动设置连接板26，连接板26上设置CCD相机；滑块B23上设置液压缸C27，液压缸C27的输出端与连接板26连接，连接板26的下方设置吸嘴28，气泵29设置在连接板26上，气泵29的输入端与气嘴28连通。

本实用新型中，芯片在传送组件A的传动作用下移动至两侧固定板7之间，此时支撑板17端头处的CCD相机进行拍摄对比，芯片如果朝向反向时，电机A9启动，电机A9转动带动双向丝杆8转动，从而使两侧竖板10相互靠近，两侧夹板13沿芯片两侧将其夹紧；启动液压缸A14，液压缸A14带动滑块11向上滑动，此时芯片在夹板13的带动下同步上升一定的高度，启动电机B12，电机B12转动带动夹板13转动，将芯片转向至正面朝上；

芯片方向正确之后，启动液压缸B24，液压缸B24推动连接板26移动至芯片上方，启动气泵29，吸嘴28产生大吸力将芯片吸紧；启动电机C20，电机C20转动带动转轴18转动，从而使连接板26带动芯片移动至放料台16上，气泵29关闭，此时芯片落在放料台16上，加工架15上的加工机头对其进行加工。

实施例二

如图1所示，本实用新型提出的一种芯片自动搬运加工装置，相较于实施例一，机架1上对称设置两个导向板3，两侧导向板3关于传送组件A4对称，导向板3相互靠近的一侧设置导向槽5，导向板3的输出端设置凹槽6；夹板13相互靠近的一侧设置上下两组楔形块，位于下方的楔形块与凹槽6滑动配合。

本实施例中，下方楔形块插入凹槽6内，从芯片的下方对其进行托起，使芯片在楔形块的挤压导向下逐渐抬升并夹紧，有效的防止芯片脱落。

实施例三

如图1和3所示，本实用新型提出的一种芯片自动搬运加工装置，相较于实施例一，支撑板17上设置滑轨A22，滑块B23滑动设置在滑轨A22上；滑块B23上设置滑轨B25，连接板26滑动设置在滑轨B25上。

本实施例中，利用滑轨可有效的提高滑块和连接板的移动稳定性。

应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

Claims (7)

1.一种芯片自动搬运加工装置，其特征在于，包括机架(1)、电机A、竖板(10)、加工架(15)、支撑板(17)、电机C(20)和气泵(29)；

机架(1)上设置传送组件A(4)，传送组件A(4)的两侧对称设置固定板(7)，两侧固定板(7)之间设置双向丝杆(8)，双向丝杆(8)的两端分别位于对应侧固定板(7)的内部并与其转动连接，双向丝杆(8)通过电机A(9)驱动连接；竖板(10)滑动设置在固定板(7)上，竖板(10)与双向丝杆(8)螺纹连接，竖板(10)内滑动设置滑块A(11)，滑块A(11)上转动设置夹板(13)；其中一个滑块A(11)上设置电机B(12)，电机B(12)的输出端与该滑块A(11)上的夹板(13)连接；竖板(10)上设置液压缸A(14)，液压缸A(14)的输出端与滑块A(11)连接；

加工架(15)设置在机架(1)上，机架(1)上设置放料台(16)，放料台(16)位于加工架(15)的下方；支撑板(17)设置在机架(1)上，支撑板(17)位于固定板(7)与加工架(15)之间；支撑板(17)上设置转轴(18)，转轴(18)的底部与机架(1)转动连接，转轴(18)上设置齿轮A(19)；电机C(20)设置在机架(1)上，电机C(20)的输出端设置齿轮B(21)，齿轮B(21)与齿轮A(19)啮合；

支撑板(17)上滑动设置滑块B(23)，支撑板(17)上设置液压缸B(24)，液压缸B(24)的输出端与滑块B(23)连接；滑块B(23)上滑动设置连接板(26)，连接板(26)上设置CCD相机；滑块B(23)上设置液压缸C(27)，液压缸C(27)的输出端与连接板(26)连接，连接板(26)的下方设置吸嘴(28)，气泵(29)设置在连接板(26)上，气泵(29)的输入端与气嘴连通。

2.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置，其特征在于，机架(1)上设置放料箱(2)，放料箱(2)的出料口位于传送组件A(4)的输入端上方，放料箱(2)上设置进料口。

3.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置，其特征在于，机架(1)上对称设置两个导向板(3)，两侧导向板(3)关于传送组件A(4)对称，导向板(3)相互靠近的一侧设置导向槽(5)，导向板(3)的输出端设置凹槽(6)。

4.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置，其特征在于，夹板(13)相互靠近的一侧设置上下两组楔形块，位于下方的楔形块与凹槽(6)滑动配合。

5.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置，其特征在于，支撑板(17)上设置滑轨A(22)，滑块B(23)滑动设置在滑轨A(22)上；滑块B(23)上设置滑轨B(25)，连接板(26)滑动设置在滑轨B(25)上。

6.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置，其特征在于，加工架(15)的内部滑动设置加工机头，加工机头位于放料台(16)的上方。

7.根据权利要求1所述的一种芯片自动搬运加工装置，其特征在于，机架(1)的底部设置支撑脚，支撑脚的底部设置橡胶垫，支撑脚与机架(1)的连接处设置减震组件。

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