CN216138330U - 一种高精度紫外激光切割器 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及激光切割器技术领域，具体的说是一种高精度紫外激光切割器，包括工作台，所述工作台上表面两侧均安装有横向电动滑轨,两个所述横向电动滑轨的滑块上均固定安装有支撑柱，两个所述支撑柱上端均固定连接在纵向电动滑轨的两端，所述纵向电动滑轨的滑块下表面固定安装有液压缸，所述液压缸的输出端固定安装有固态激光器，所述工作台上表面开设有矩形槽，所述矩形槽内部表面设置有旋转机构，所述旋转机构上侧连接有调节机构，通过激光切割硅片，使硅片切割时切割线宽小、深度深，切割应力小、边缘锐利，不会产生裂纹，并且激光划切速度明显优于传统刀划，使得产量更高，从而在增加设备切割精度的同时使设备产量大大提升。

Description

一种高精度紫外激光切割器

技术领域

本实用新型涉及激光切割器技术领域，具体而言，涉及一种高精度紫外激光切割器。

背景技术

在芯片等多种电子元件的生产中硅片是一种必不可少的零件之一，硅片在生产时需要对其进行划片处理，在划片领域，传统硅片切割采用高速旋转刀片或金刚石刀预先在硅片上产生预切痕，然后按切痕方向裂开，这种方式会产生微裂纹、碎片等现象而且刀片磨损很严重，因此我们提出了一种高精度紫外激光切割器。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种高精度紫外激光切割器，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种高精度紫外激光切割器，包括工作台，所述工作台上表面两侧均安装有横向电动滑轨,两个所述横向电动滑轨的滑块上均固定安装有支撑柱，两个所述支撑柱上端均固定连接在纵向电动滑轨的两端，所述纵向电动滑轨的滑块下表面固定安装有液压缸，所述液压缸的输出端固定安装有固态激光器，所述工作台上表面开设有矩形槽，所述矩形槽内部表面设置有旋转机构，所述旋转机构上侧连接有调节机构，所述矩形槽上端通过凹槽固定安装有挡板。

作为优选，所述旋转机构包括支撑轴、从动齿轮、转盘、主动齿轮和第一电机，所述支撑轴下端通过轴承转动连接在矩形槽的内部表面上。

作为优选，所述支撑轴上端固定连接有转盘，支撑轴上固定安装有从动齿轮，所述从动齿轮一侧啮合连接有主动齿轮。

作为优选，所述主动齿轮的下表面与第一电机的输出端固定连接，所述第一电机固定安装在矩形槽的上表面一侧。

作为优选，所述调节机构包括第二电机、转轴、固定块和摄像头，所述固定块有两个均固定安装在转盘的上表面，两个所述固定块上通过轴承转动连接有转轴。

作为优选，所述转轴外侧表面上固定安装有摄像头，所述转轴的一端贯穿固定块与第二电机的输出端固定连接，所述第二电机固定安装在转盘的上表面。

作为优选，所述工作台上表面固定安装有PLC控制器，所述PLC控制器分别通过线路与两个横向电动滑轨、纵向电动滑轨、液压缸、固态激光器、摄像头、第一电机和第二电机连接。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

(1)通过激光切割硅片，使硅片切割时切割线宽小、深度深，切割应力小、边缘锐利，不会产生裂纹，并且激光划切速度明显优于传统刀划，使得产量更高，从而在增加设备切割精度的同时使设备产量大大提升。

(2)通过设置在矩形槽中的旋转机构与调节机构，通过旋转机构和调节机构可旋转调节摄像头监测角度，使摄像头可以360度调节角度对硅片切割进行监测，从而进一步增强设备的切割精度。

附图说明

图1为本实用新型一种高精度紫外激光切割器的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种高精度紫外激光切割器的侧视结构示意图；

图3为本实用新型一种高精度紫外激光切割器的旋转机构结构示意图；

图4为本实用新型一种高精度紫外激光切割器的调节机构结构示意图；

图5为本实用新型一种高精度紫外激光切割器的电路图。

图中：1、工作台；2、PLC控制器；3、矩形槽；4、挡板；5、旋转机构；6、调节机构；7、横向电动滑轨；8、支撑柱；9、纵向电动滑轨；10、液压缸；11、固态激光器；501、支撑轴；502、从动齿轮；503、转盘；504、主动齿轮；505、第一电机；601、第二电机；602、转轴；603、固定块；604、摄像头。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

如图1-5所示，一种高精度紫外激光切割器，包括工作台1，工作台1上表面两侧均安装有横向电动滑轨7,两个横向电动滑轨7的滑块上均固定安装有支撑柱8，两个支撑柱8上端均固定连接在纵向电动滑轨9的两端，纵向电动滑轨9的滑块下表面固定安装有液压缸10，液压缸10的输出端固定安装有固态激光器11，工作台1上表面开设有矩形槽3，矩形槽3内部表面设置有旋转机构5，旋转机构5上侧连接有调节机构6，矩形槽3上端通过凹槽固定安装有挡板4。

通过上述技术方案，将需要切割的硅片放置在挡板4上表面，接着通过控制横向电动滑轨7与纵向电动滑轨9将固态激光器11移动到需要切割的位置，通过液压缸10的输出端与固态激光器11固定连接，通过启动液压缸10可以调节设备的切割高度，通过控制横向电动滑轨7与纵向电动滑轨9，从而达到控制设备切割方向的目的，在切割时，通过旋转连接在矩形槽3内部表面的支撑轴501，支撑轴501上端固定连接的转盘503，通过旋转支撑轴501从而带动转盘503与转盘503上表面设置的调节机构6同步旋转，通过支撑轴501上固定安装的从动齿轮502与主动齿轮504啮合连接，主动齿轮504固定安装在第一电机505的输出端，通过启动第一电机505从而带动转盘503与调节机构6以支撑轴501为圆心360度调节角度，通过转盘503上表面固定安装的两个固定块603，两个固定块603之间通过轴承转动连接有转轴602，使摄像头604可以旋转调节监测角度，可以实时监测硅片的切割位置与切割路径，从而增加了设备的切割精度，通过转轴602的一端贯穿固定块603与第二电机601的输出端固定连接，通过控制第二电机601旋转方向，从而达到控制摄像头604监测角度的目的，挡板4是一种具有耐高温且透明的材料制成。

在本实施例中，旋转机构5包括支撑轴501、从动齿轮502、转盘503、主动齿轮504和第一电机505，支撑轴501下端通过轴承转动连接在矩形槽3的内部表面上，支撑轴501上端固定连接有转盘503，支撑轴501上固定安装有从动齿轮502，从动齿轮502一侧啮合连接有主动齿轮504，主动齿轮504的下表面与第一电机505的输出端固定连接，第一电机505固定安装在矩形槽3的上表面一侧，通过旋转连接在矩形槽3内部表面的支撑轴501，支撑轴501上端固定连接的转盘503，通过旋转支撑轴501从而带动转盘503与转盘503上表面设置的调节机构6同步旋转，通过支撑轴501上固定安装的从动齿轮502与主动齿轮504啮合连接，主动齿轮504固定安装在第一电机505的输出端，通过启动第一电机505从而带动转盘503与调节机构6以支撑轴501为圆心360度调节角度。

需要说明的是，调节机构6包括第二电机601、转轴602、固定块603和摄像头604，固定块603有两个均固定安装在转盘503的上表面，两个固定块603上通过轴承转动连接有转轴602，转轴602外侧表面上固定安装有摄像头604，转轴602的一端贯穿固定块603与第二电机601的输出端固定连接，第二电机601固定安装在转盘503的上表面，通过转盘503上表面固定安装的两个固定块603，两个固定块603之间通过轴承转动连接有转轴602，使摄像头604可以旋转调节监测角度，可以实时监测硅片的切割位置与切割路径，从而增加了设备的切割精度，通过转轴602的一端贯穿固定块603与第二电机601的输出端固定连接，通过控制第二电机601旋转方向，从而达到控制摄像头604监测角度的目的。

可以理解，在本申请中，工作台1上表面固定安装有PLC控制器2，PLC控制器2分别通过线路与两个横向电动滑轨7、纵向电动滑轨9、液压缸10、固态激光器11、摄像头604、第一电机505和第二电机601连接，通过PLC控制器2可以显示摄像头604监测的画面，并且可以控制横向电动滑轨7、纵向电动滑轨9、液压缸10、固态激光器11、摄像头604、第一电机505和第二电机601的启动。

该一种高精度紫外激光切割器的工作原理：

在使用时，将需要切割的硅片放置在挡板4上表面，接着通过控制横向电动滑轨7与纵向电动滑轨9将固态激光器11移动到需要切割的位置，通过液压缸10的输出端与固态激光器11固定连接，通过启动液压缸10可以调节设备的切割高度，通过控制横向电动滑轨7与纵向电动滑轨9，从而达到控制设备切割方向的目的，在切割时，通过旋转连接在矩形槽3内部表面的支撑轴501，支撑轴501上端固定连接的转盘503，通过旋转支撑轴501从而带动转盘503与转盘503上表面设置的调节机构6同步旋转，通过支撑轴501上固定安装的从动齿轮502与主动齿轮504啮合连接，主动齿轮504固定安装在第一电机505的输出端，通过启动第一电机505从而带动转盘503与调节机构6以支撑轴501为圆心360度调节角度，通过转盘503上表面固定安装的两个固定块603，两个固定块603之间通过轴承转动连接有转轴602，使摄像头604可以旋转调节监测角度，可以实时监测硅片的切割位置与切割路径，从而增加了设备的切割精度，通过转轴602的一端贯穿固定块603与第二电机601的输出端固定连接，通过控制第二电机601旋转方向，从而达到控制摄像头604监测角度的目的。

需要说明的是，第一电机505具体的型号是V5-040130FC2A，第二电机601具体的型号是V5-040130FC2A，横向电动滑轨7具体的型号是LM-LINEAR，纵向电动滑轨9具体的型号是LM-LINEAR，液压缸10具体的型号是DYTZ，固态激光器11具体的型号是Centurion系列，摄像头604具体的型号是QQSJ-8865。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种高精度紫外激光切割器，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上表面两侧均安装有横向电动滑轨(7),两个所述横向电动滑轨(7)的滑块上均固定安装有支撑柱(8)，两个所述支撑柱(8)上端均固定连接在纵向电动滑轨(9)的两端，所述纵向电动滑轨(9)的滑块下表面固定安装有液压缸(10)，所述液压缸(10)的输出端固定安装有固态激光器(11)，所述工作台(1)上表面开设有矩形槽(3)，所述矩形槽(3)内部表面设置有旋转机构(5)，所述旋转机构(5)上侧连接有调节机构(6)，所述矩形槽(3)上端通过凹槽固定安装有挡板(4)。

2.根据权利要求1所述的一种高精度紫外激光切割器，其特征在于：所述旋转机构(5)包括支撑轴(501)、从动齿轮(502)、转盘(503)、主动齿轮(504)和第一电机(505)，所述支撑轴(501)下端通过轴承转动连接在矩形槽(3)的内部表面上。

3.根据权利要求2所述的一种高精度紫外激光切割器，其特征在于：所述支撑轴(501)上端固定连接有转盘(503)，支撑轴(501)上固定安装有从动齿轮(502)，所述从动齿轮(502)一侧啮合连接有主动齿轮(504)。

4.根据权利要求3所述的一种高精度紫外激光切割器，其特征在于：所述主动齿轮(504)的下表面与第一电机(505)的输出端固定连接，所述第一电机(505)固定安装在矩形槽(3)的上表面一侧。

5.根据权利要求1所述的一种高精度紫外激光切割器，其特征在于：所述调节机构(6)包括第二电机(601)、转轴(602)、固定块(603)和摄像头(604)，所述固定块(603)有两个均固定安装在转盘(503)的上表面，两个所述固定块(603)上通过轴承转动连接有转轴(602)。

6.根据权利要求5所述的一种高精度紫外激光切割器，其特征在于：所述转轴(602)外侧表面上固定安装有摄像头(604)，所述转轴(602)的一端贯穿固定块(603)与第二电机(601)的输出端固定连接，所述第二电机(601)固定安装在转盘(503)的上表面。

7.根据权利要求1所述的一种高精度紫外激光切割器，其特征在于：所述工作台(1)上表面固定安装有PLC控制器(2)，所述PLC控制器(2)分别通过线路与两个横向电动滑轨(7)、纵向电动滑轨(9)、液压缸(10)、固态激光器(11)、摄像头(604)、第一电机(505)和第二电机(601)连接。

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