CN216004387U - 一种晶圆下片设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶圆下片设备，包括旋转架体，所述旋转架体的外侧呈环状均匀分布有多个成对设置的机械臂，所述机械臂远离旋转架体的端部处设有活动连接组件，且活动连接组件均与片盒的两端可拆卸式固定连接，所述旋转架体的一侧设有用于供料盒的第一输送带，另一侧设有用于送走片料的第二输送带。本实用新型中，旋转架体转动带动机械臂移动，经过第一输送带处时，活动连接组件动作，将位于第一输送带上的片盒与对应的机械臂连接，使得空的盒体随着机械臂向上移动，在移动至最上方时，接收片料，并在完成接收后，片盒随机械臂向另一侧移动直至到达第二输送带处，随着活动连接组件的动作，完成片盒的放置和运输。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆下片设备。
背景技术
随着半导体工业的发展，器件工艺技术的关键尺寸不断缩小，在每道加工工艺中对晶圆的清洁度有了更高的要求。然而，现有的对晶圆进行清洗过程中，使用的晶圆下片装置，在同一下料台上仅能存在一个片盒，机械手在取走装有晶圆的片盒后，再换上料盒会浪费一定的时间，从而降低下片的工作效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶圆下片设备，以解决机械手在取走装有晶圆的片盒后，再换上料盒会浪费一定的时间的技术问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种晶圆下片设备，包括旋转架体，所述旋转架体的外侧呈环状均匀分布有多个成对设置的机械臂，所述机械臂远离旋转架体的端部处设有活动连接组件，且活动连接组件均与片盒的两端可拆卸式固定连接，所述旋转架体的一侧设有用于供料盒的第一输送带，另一侧设有用于送走片料的第二输送带，且第一输送带和第二输送带均与机械臂配合。
进一步的，所述活动连接组件包括设置在机械臂相离一侧的伸缩电机，所述伸缩电机上的伸缩杆体穿过机械臂上的过孔。
进一步的，所述片盒的两端处的顶面设有撑板，且撑板上设有与伸缩杆体配合的定位槽。
进一步的，所述第一输送带和第二输送带的宽度均小于同一对机械臂之间的间距。
进一步的，相邻所述机械臂之间的夹角为45°或90°。
进一步的，所述旋转架体的中部穿插设有驱动轴。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型中，旋转架体转动带动机械臂移动，经过第一输送带处时，活动连接组件动作，将位于第一输送带上的片盒与对应的机械臂连接，使得空的盒体随着机械臂向上移动，在移动至最上方时，接收片料，并在完成接收后，片盒随机械臂向另一侧移动直至到达第二输送带处，随着活动连接组件的动作，完成片盒的放置和运输。
附图说明
图1为一种晶圆下片设备的整体结构示意图；
图2为一种晶圆下片设备中的活动连接组件的结构示意图。
图中：1、旋转架体；2、机械臂；3、活动连接组件；31、伸缩电机；32、伸缩杆体；33、过孔；4、片盒；5、第一输送带；6、第二输送带；7、撑板； 8、定位槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型的实施例，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-2，本实用新型提供技术方案：
一种晶圆下片设备，包括旋转架体1，旋转架体1的外侧呈环状均匀分布有多个成对设置的机械臂2，机械臂2远离旋转架体1的端部处设有活动连接组件3，且活动连接组件3均与片盒4的两端可拆卸式固定连接，旋转架体1 的一侧设有用于供料盒的第一输送带5，另一侧设有用于送走片料的第二输送带6，且第一输送带5和第二输送带6均与机械臂2配合。
旋转架体1转动带动机械臂2移动，经过第一输送带5处时，活动连接组件3动作，将位于第一输送带5上的片盒4与对应的机械臂2连接，使得空的盒体随着机械臂2向上移动，在移动至最上方时，接收片料，并在完成接收后，片盒4随机械臂2向另一侧移动直至到达第二输送带6处，随着活动连接组件3的动作，完成片盒4的放置和运输。
活动连接组件3包括设置在机械臂2相离一侧的伸缩电机31，伸缩电机 31上的伸缩杆体32穿过机械臂2上的过孔33，伸缩电机31带动伸缩杆体32 移动，使其能够伸出过孔33或收入过孔33中。
片盒4的两端处的顶面设有撑板7，且撑板7上设有与伸缩杆体32配合的定位槽8，当伸缩杆体32伸出过孔33后与定位槽8对接，以实现定位槽8 与机械臂2的连接，且伸缩杆体32与定位槽8间隙配合，使得片盒4在提升过程中，自身重力能够保持片盒4的姿态稳定。
第一输送带5和第二输送带6的宽度均小于同一对机械臂2之间的间距，使得机械臂2的移动不与第一输送带5和第二输送带6干涉。
相邻机械臂2之间的夹角为45°或90°，使得其中以一个机械臂2位于最高位时，一个机械臂2与第一输送带5位置对应，另一个机械臂2与第二输送带6位置对应，从而在片盒4装料的过程中，同时实现空盒的固定连接和装满物料盒的放置。
旋转架体1的中部穿插设有驱动轴，实现旋转架体1的稳定转动，并提供足够的支撑性。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围包括所附权利要求及其等同物。
Claims (6)
1.一种晶圆下片设备，其特征在于：包括旋转架体(1)，所述旋转架体(1)的外侧呈环状均匀分布有多个成对设置的机械臂(2)，所述机械臂(2)远离旋转架体(1)的端部处设有活动连接组件(3)，且活动连接组件(3)均与片盒(4)的两端可拆卸式固定连接，所述旋转架体(1)的一侧设有用于供料盒的第一输送带(5)，另一侧设有用于送走片料的第二输送带(6)，且第一输送带(5)和第二输送带(6)均与机械臂(2)配合。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆下片设备，其特征在于：所述活动连接组件(3)包括设置在机械臂(2)相离一侧的伸缩电机(31)，所述伸缩电机(31)上的伸缩杆体(32)穿过机械臂(2)上的过孔(33)。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆下片设备，其特征在于：所述片盒(4)的两端处的顶面设有撑板(7)，且撑板(7)上设有与伸缩杆体(32)配合的定位槽(8)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆下片设备，其特征在于：所述第一输送带(5)和第二输送带(6)的宽度均小于同一对机械臂(2)之间的间距。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆下片设备，其特征在于：相邻所述机械臂(2)之间的夹角为45°或90°。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆下片设备，其特征在于：所述旋转架体(1)的中部穿插设有驱动轴。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122430734.1U CN216004387U (zh) | 2021-10-09 | 2021-10-09 | 一种晶圆下片设备 |
Applications Claiming Priority (1)
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| CN202122430734.1U CN216004387U (zh) | 2021-10-09 | 2021-10-09 | 一种晶圆下片设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN216004387U true CN216004387U (zh) | 2022-03-11 |
Family
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Family Applications (1)
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| CN202122430734.1U Active CN216004387U (zh) | 2021-10-09 | 2021-10-09 | 一种晶圆下片设备 |
Country Status (1)
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|---|---|
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2021
- 2021-10-09 CN CN202122430734.1U patent/CN216004387U/zh active Active
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