CN215496662U - 一种机器人插取片装置 - Google Patents
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- 238000003780 insertion Methods 0.000 title description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 title description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 73
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 73
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 73
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 32
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 47
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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Abstract
一种机器人插取片装置，涉及硅片转移装置领域。包括机械手、料板、硅片安置架、皮带传输机；硅片安置架料板上设有驱动装置和料板滑动装置，硅片安置架驱动装置的驱动端与硅片安置架料板滑动装置连接，硅片安置架料板旁配置有机械手；硅片安置架皮带传输机固定安装于硅片安置架料板上，硅片安置架硅片安置架分别设置于硅片安置架皮带传输机的两侧，硅片安置架硅片安置架固定安装于硅片安置架料板上。通过设置料板滑动装置，料板滑动装置通过伺服电机驱动齿轮齿条精准度传动，可以使得料板自动移动，解决了机械手的机械臂活动范围有限，而且硅片安置架长度较长，使得机械手无法对超过活动范围的硅片安置架进行规整的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片转移装置领域，尤其涉及一种机器人插取片装置。
背景技术
硅片是生产半导体芯片的原材料，且广泛的运用在微电子技术中。在硅片的生产制造中，对硅片整理和运输是其生产制造中重要的一个环节，在处理时通过机械手需要将硅片插取进入整理的硅片安置架中，然而机械手有效作用长度有限，硅片安置架较长，所如何使得在有限的机械手的作用范围内对硅片进行高效对硅片进行整理，成为亟需解决的问题。
实用新型内容
为了在处理时需要对硅片进行插取进入整理的硅片安置架中，使得硅片进行有效快捷的上下料运输，本实用新型采用以下技术方案：
一种机器人插取片装置，其特征在于，包括机械手、料板、硅片安置架、皮带传输机；所述料板上设有驱动装置和料板滑动装置，所述驱动装置的驱动端与所述料板滑动装置连接，所述料板旁配置有机械手；所述皮带传输机固定安装于所述料板上，所述硅片安置架分别设置于所述皮带传输机的两侧，所述硅片安置架固定安装于所述料板上。
具体的，驱动装置为伺服电机。
具体的，料板滑动装置包括滑轨、齿轮、齿条；所述滑轨固定安装于所述料板底面，所述滑轨与所述齿条固定连接；所述料板上开设有连接孔，所述驱动装置的驱动端穿过所述连接孔，所述驱动装置的驱动端与所述齿轮固定连接，所述齿轮与所述齿条传动连接。
具体的，还包括限位装置，所述限位装置固定安装于所述料板上，所述限位装置用于固定所述硅片安置架的位置。
具体的，限位装置包括导杆气缸和弹性销，所述导杆气缸固定安装于所述料板上，所述弹性销固定安装于所述导杆气缸的导杆上，所述硅片安置架的底部开设有与所述导杆气缸位置对应的销孔，所述弹性销与所述销孔连接。
综上所述，本实用新型本装置具有以下优点：通过设置传送皮带机可传输硅片，通过配合使用机械手，实现对硅片的自动化规整。除此之外，通过设置料板滑动装置，料板滑动装置通过伺服电机驱动齿轮齿条精准度传动，可以使得料板自动移动，解决了机械手的机械臂活动范围有限，而且硅片安置架长度较长，使得机械手无法对超过活动范围的硅片安置架进行规整的问题。
附图说明
图1是一种机器人插取片装置的结构示意图；
图2是一种机器人插取片装置中料板局部结构的仰视图；
图3是一种机器人插取片装置中料板局部结构示意图；
附图标记：1机械手；2硅片安置架；3滑动装置；
201伺服电机；202滑轨；203齿轮；204齿条；205滑轨固定支架；
301传送皮带机；302导杆气缸驱动；303弹性销；304气缸。
具体实施方式
下面结合图1至图3对本实用新型做进一步说明。
一种机器人插取片装置，包括机械手1、料板4、硅片安置架2；
为了将硅片进行转移和规整，所述在料板4上设置了传送皮带机301，传送皮带机301用于传输硅片，在传送皮带机301的两侧边上分别设置可放置硅片的硅片安置架2，为了将硅片安置架2固定安装于料板4上，防止硅片转移的过程中硅片安置架2摇晃导致硅片损坏，所以通过在料板4上设置有限位装置，限位装置包括导杆气缸和弹性销303，导杆气缸的导杆与弹性销303，硅片安置架2上开设有与限位装置对应的销孔，导杆气缸驱动302弹性销303插入销孔中实现硅片安置架2的固定。料板4旁配置安装有机械手1，机械手1用于硅片的转移。由于机械手1的机械臂活动范围有限，而且硅片安置架2长度较长，使得机械手1无法对超过活动范围的硅片安置架2进行规整。所以通过在料板4上设有伺服电机201和料板4滑动装置3，通过伺服电机201和料板4滑动装置3使得料板4相对于机械手1移动，这样调节硅片安置架2的位置，可以使得机械手1继续对硅片进行转移和规整。料板4滑动装置3包括滑轨202、齿轮203、齿条204。料板4底面的两侧边分别设置了两条滑轨202，每条滑轨202上设置多个滑轨固定支架205，滑轨固定支架205的顶部与料板4底面通过螺丝固定连接，滑轨固定支架205的侧面分别与齿条204和滑轨202固定连接，齿条204和滑轨202互相平行。料板4上开设有连接孔，伺服电机201的转轴穿过连接孔，且伺服电机201的转轴与齿轮203固定连接，齿轮203与齿条204传动连接。通过伺服电机201驱动齿轮203转动，齿轮203在齿条204上移动，这样使得料板4相对于齿条204相对移动。当齿条204放置在滑轨202的不同位置处时，可实现在料板4在不同范围内的移动。
当该装置运行时，导杆气缸驱动302弹性销303插入销孔中实现硅片安置架2的固定，然后将硅片放置在传送皮带机301上，然后通过机械手1抓取硅片放置在硅片安置架2上，当机械手1无法抓取硅片放置在远距离的硅片安置架2上时，驱动导杆气缸将弹性销303从销孔中离开，然后驱动伺服电机201，驱动齿轮203在齿条204上传动，使得料板4移动。这样机械手1就能将硅片放置在远距离的硅片安置架2上。除此之外，还可以调节齿条204在滑轨202上的位置，还可实现料板4上硅片安置架2与上一生产线的硅片安置架2的对接。
从上面描述可得，该装置具有以下优点：通过设置传送皮带机可传输硅片，通过配合使用机械手，实现对硅片的自动化规整。除此之外，通过设置料板滑动装置，料板滑动装置通过伺服电机驱动齿轮齿条精准度传动，可以使得料板自动移动，解决了机械手的机械臂活动范围有限，而且硅片安置架长度较长，使得机械手无法对超过活动范围的硅片安置架进行规整的问题。
可以理解的是，以上关于本实用新型的具体描述，仅用于说明本实用新型而并非受限于本实用新型实施例所描述的技术方案。本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换，以达到相同的技术效果；只要满足使用需要，都在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种机器人插取片装置，其特征在于，包括机械手、料板、硅片安置架、皮带传输机；所述料板上设有驱动装置和料板滑动装置，所述驱动装置的驱动端与所述料板滑动装置连接，所述料板旁配置有机械手；所述皮带传输机固定安装于所述料板上，所述硅片安置架分别设置于所述皮带传输机的两侧，所述硅片安置架固定安装于所述料板上。
2.根据权利要求1所述一种机器人插取片装置，其特征在于，所述驱动装置为伺服电机。
3.根据权利要求1所述一种机器人插取片装置，其特征在于，所述料板滑动装置包括滑轨、齿轮、齿条；所述滑轨固定安装于所述料板底面，所述滑轨与所述齿条固定连接；所述料板上开设有连接孔，所述驱动装置的驱动端穿过所述连接孔，所述驱动装置的驱动端与所述齿轮固定连接，所述齿轮与所述齿条传动连接。
4.根据权利要求1所述一种机器人插取片装置，其特征在于，还包括限位装置，所述限位装置固定安装于所述料板上，所述限位装置用于固定所述硅片安置架的位置。
5.根据权利要求4所述一种机器人插取片装置，其特征在于，所述限位装置包括导杆气缸和弹性销，所述导杆气缸固定安装于所述料板上，所述弹性销固定安装于所述导杆气缸的导杆上，所述硅片安置架的底部开设有与所述导杆气缸位置对应的销孔，所述弹性销与所述销孔连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122101910.7U CN215496662U (zh) | 2021-09-01 | 2021-09-01 | 一种机器人插取片装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202122101910.7U CN215496662U (zh) | 2021-09-01 | 2021-09-01 | 一种机器人插取片装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN215496662U true CN215496662U (zh) | 2022-01-11 |
Family
ID=79767155
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202122101910.7U Active CN215496662U (zh) | 2021-09-01 | 2021-09-01 | 一种机器人插取片装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN215496662U (zh) |
-
2021
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