CN215467500U

CN215467500U - 一种稳定型防静电晶圆储存盒加工专用冲压设备

Info

Publication number: CN215467500U
Application number: CN202121906462.1U
Authority: CN
Inventors: 刘建蔚
Original assignee: Kunshan Xingyuhong Machinery Technology Co ltd
Current assignee: Kunshan Xingyuhong Machinery Technology Co ltd
Priority date: 2021-08-16
Filing date: 2021-08-16
Publication date: 2022-01-11
Anticipated expiration: 2031-08-16

Abstract

本实用新型公开了一种稳定型防静电晶圆储存盒加工专用冲压设备，包括机体，所述机体的表面形成有用于冲压的腔槽，在该腔槽的内侧底端面上放置有承载板，所述承载板的顶端面上设置有放置腔板，所述承载板的表面开设有滑槽，所述放置腔板的底端面固定有滑动嵌入至滑槽内的凸起，所述放置腔板与承载板的一端表面开设有限位孔，且承载板与放置腔板之间通过螺栓贯穿限位孔固定，所述承载板的端面还设置有限位组件，该限位组件与限位孔处于同侧；通过设计的承载板与放置腔板，能够根据不同晶圆盒的加工需求，来同一冲压设备上做出相对应的更换，使用起来十分方便，同时也降低了前期的投入成本，完善了现有结构中的不足。

Description

一种稳定型防静电晶圆储存盒加工专用冲压设备

技术领域

本实用新型属于晶圆储存盒加工设备技术领域，具体涉及一种稳定型防静电晶圆储存盒加工专用冲压设备。

背景技术

晶圆盒在半导体生产中主要起到放置和输送晶圆的作用，为了简化运输和尽可能降低被污染的风险，芯片制造商利用晶圆盒来搬运和储存晶圆，而在前期对晶圆盒的加工中，会使用多种设备进行辅助生产，其中包括对晶圆盒原材料进行预处理的专用冲压设备。

现有的冲压设备在对晶圆盒加工中，需要根据不同晶圆盒的类型来选择不同的冲压模具，导致前期使用设备的数量较多，一定程度上增加了使用成本，以及在对控制盒的走线中，电线数量较多，容易产生缠绕等现象，因此存在较大的局限性，具有可改进的空间。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种稳定型防静电晶圆储存盒加工专用冲压设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种稳定型防静电晶圆储存盒加工专用冲压设备，包括机体，所述机体的表面形成有用于冲压的腔槽，在该腔槽的内侧底端面上放置有承载板，所述承载板的顶端面上设置有放置腔板，所述承载板的表面开设有滑槽，所述放置腔板的底端面固定有滑动嵌入至滑槽内的凸起，所述放置腔板与承载板的一端表面开设有限位孔，且承载板与放置腔板之间通过螺栓贯穿限位孔固定，所述承载板的端面还设置有限位组件，该限位组件与限位孔处于同侧。

优选的，所述限位组件包括开设在承载板端面的端孔，所述端孔的内侧放置有限位板，所述限位板朝向端孔的侧面一端固定有连接杆，所述连接杆的端面以及端孔的底端面上均固定有限位环，两个限位环之间连接有连接弹簧。

优选的，所述限位板的长度小于所述端孔的宽度，所述限位板的长度大于所述端孔的高度，所述限位板朝向端孔的侧面与放置腔板的端面贴合。

优选的，所述机体的底部还形成有机座，所述机座的表面固定有控制盒，所述控制盒的底端面上设置有电线，在所述控制盒的底部还设置有供电线贯穿的收集板，所述机座的表面焊接有固定板，所述固定板的顶部固定有贯穿收集板两端的固定柱。

优选的，所述固定柱的高度大于收集板的高度，且固定柱为圆柱体结构。

优选的，所述机体的侧边安装有控制箱，在所述机体表面腔槽的内侧顶部还设置有伸缩轴，在所述伸缩轴的底端面上安装有冲压板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.通过设计的承载板与放置腔板，能够根据不同晶圆盒的加工需求，来同一冲压设备上做出相对应的更换，使用起来十分方便，同时也降低了前期的投入成本，完善了现有结构中的不足；

2.通过设计的收集板，能够将电线进行分类归纳，避免电线因缠绕造成的损坏，同时收集板的拆装都十分方便，无需任何外部连接件的辅助，整体灵活性较高。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型承载板与放置腔板的连接俯视图；

图3为本实用新型图2中A区域的放大示意图；

图4为本实用新型图1中B区域的放大示意图。

图中：1、机体；2、冲压板；3、承载板；4、机座；5、放置腔板；6、控制箱；7、伸缩轴；8、限位孔；9、滑槽；10、连接杆；11、限位板；12、端孔；13、限位环；14、连接弹簧；15、控制盒；16、电线；17、收集板；18、固定板；19、固定柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种稳定型防静电晶圆储存盒加工专用冲压设备，包括机体1，机体1的表面形成有用于冲压的腔槽，在该腔槽的内侧底端面上放置有承载板3，承载板3的顶端面上设置有放置腔板5，通过设计的承载板3与放置腔板5，能够根据不同晶圆盒的加工需求，来同一冲压设备上做出相对应的更换，使用起来十分方便，同时也降低了前期的投入成本，完善了现有结构中的不足，承载板3的表面开设有滑槽9，放置腔板5的底端面固定有滑动嵌入至滑槽9内的凸起，放置腔板5与承载板3的一端表面开设有限位孔8，且承载板3与放置腔板5之间通过螺栓贯穿限位孔8固定，承载板3的端面还设置有限位组件，用于提高装置的稳定性，该限位组件与限位孔8处于同侧。

本实施例中，优选的，限位组件包括开设在承载板3端面的端孔12，端孔12的内侧放置有限位板11，限位板11朝向端孔12的侧面一端固定有连接杆10，用于限位，连接杆10的端面以及端孔12的底端面上均固定有限位环13，两个限位环13之间连接有连接弹簧14。

本实施例中，优选的，限位板11的长度小于端孔12的宽度，限位板11的长度大于端孔12的高度，从而保证正常限位不受影响，限位板11朝向端孔12的侧面与放置腔板5的端面贴合。

本实施例中，优选的，机体1的底部还形成有机座4，机座4的表面固定有控制盒15，控制盒15的底端面上设置有电线16，在控制盒15的底部还设置有供电线16贯穿的收集板17，通过设计的收集板17，能够将电线16进行分类归纳，避免电线16因缠绕造成的损坏，同时收集板17的拆装都十分方便，无需任何外部连接件的辅助，整体灵活性较高，机座4的表面焊接有固定板18，固定板18的顶部固定有贯穿收集板17两端的固定柱19。

本实施例中，优选的，固定柱19的高度大于收集板17的高度，从而方便固定，且固定柱19为圆柱体结构。

本实施例中，优选的，机体1的侧边安装有控制箱6，在机体1表面腔槽的内侧顶部还设置有伸缩轴7，在伸缩轴7的底端面上安装有冲压板2，在冲压板2的底部还覆有防静电膜，用于防止在加工中静电的产生。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型在使用时，先根据需要加工的晶圆盒来选择相适配的放置腔板5，随后将放置腔板5底部的凸起卡入滑槽9内进行滑动，在滑动前，将限位板11从端孔12的内部移动出来，在移动中，连接弹簧14受到限位环13的限位被拉伸，此时将限位板11进行旋转，并将限位板11旋转至竖直状态，随后松开对限位板11的拉动，在连接弹簧14的回弹下，限位板11与承载板3的端面贴合，从而保证在后期推动放置腔板5时，放置腔板5能够被限位板11限位，此时即可完成对承载板3以及放置腔板5的对齐，接着通过螺栓贯穿限位孔8将承载板3和放置腔板5固定即可，在加工中，将晶圆盒的原材料放置在放置腔板5的顶部，在伸缩轴7的带动下，冲压板2朝向放置腔板5的顶部运动，以此完成对晶圆盒原材料的冲压加工，在前期的安装中，将所有的电线16贯穿过收集板17，再将收集板17整体放置在固定板18的顶部，并被固定柱19贯穿，以此完成安装限位。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims

1.一种稳定型防静电晶圆储存盒加工专用冲压设备，包括机体（1），所述机体（1）的表面形成有用于冲压的腔槽，在该腔槽的内侧底端面上放置有承载板（3），其特征在于：所述承载板（3）的顶端面上设置有放置腔板（5），所述承载板（3）的表面开设有滑槽（9），所述放置腔板（5）的底端面固定有滑动嵌入至滑槽（9）内的凸起，所述放置腔板（5）与承载板（3）的一端表面开设有限位孔（8），且承载板（3）与放置腔板（5）之间通过螺栓贯穿限位孔（8）固定，所述承载板（3）的端面还设置有限位组件，该限位组件与限位孔（8）处于同侧。

2.根据权利要求1所述的一种稳定型防静电晶圆储存盒加工专用冲压设备，其特征在于：所述限位组件包括开设在承载板（3）端面的端孔（12），所述端孔（12）的内侧放置有限位板（11），所述限位板（11）朝向端孔（12）的侧面一端固定有连接杆（10），所述连接杆（10）的端面以及端孔（12）的底端面上均固定有限位环（13），两个限位环（13）之间连接有连接弹簧（14）。

3.根据权利要求2所述的一种稳定型防静电晶圆储存盒加工专用冲压设备，其特征在于：所述限位板（11）的长度小于所述端孔（12）的宽度，所述限位板（11）的长度大于所述端孔（12）的高度，所述限位板（11）朝向端孔（12）的侧面与放置腔板（5）的端面贴合。

4.根据权利要求1所述的一种稳定型防静电晶圆储存盒加工专用冲压设备，其特征在于：所述机体（1）的底部还形成有机座（4），所述机座（4）的表面固定有控制盒（15），所述控制盒（15）的底端面上设置有电线（16），在所述控制盒（15）的底部还设置有供电线（16）贯穿的收集板（17），所述机座（4）的表面焊接有固定板（18），所述固定板（18）的顶部固定有贯穿收集板（17）两端的固定柱（19）。

5.根据权利要求4所述的一种稳定型防静电晶圆储存盒加工专用冲压设备，其特征在于：所述固定柱（19）的高度大于收集板（17）的高度，且固定柱（19）为圆柱体结构。

6.根据权利要求1所述的一种稳定型防静电晶圆储存盒加工专用冲压设备，其特征在于：所述机体（1）的侧边安装有控制箱（6），在所述机体（1）表面腔槽的内侧顶部还设置有伸缩轴（7），在所述伸缩轴（7）的底端面上安装有冲压板（2）。