CN215235620U - 干燥装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种干燥装置。干燥装置具有干燥炉、排气部、检测部、控制部，使涂敷在基材的第一面上的涂敷液干燥。干燥炉包括：框体，以从周围覆盖基材的方式配置；加热部，通过对涂敷在第一面上的涂敷液进行加热使溶剂从涂敷液气化，干燥炉具有被基材划分为第一面侧的第一区域和第二面侧的第二区域的内部空间。检测部检测通过排气部从内部空间排出的气体以及内部空间内的气体中的至少一种气体中的溶剂的浓度。排气部包括：第一排气机构，使气体从第一区域向框体外排出；第二排气机构，使气体从第二区域向框体外排出，在由检测部检测的溶剂的浓度达到阈值以上的情况下，通过控制部使从第二区域向框体外的每单位时间的气体的排出量增加。

Description

干燥装置

技术领域

本实用新型涉及使涂敷在基材的表面上的涂敷液干燥的干燥装置。

背景技术

以往，在锂离子二次电池等化学电池的制造工序中，进行在长条带状的基材(例如，金属箔)的表面上形成作为电极膜的涂膜的处理。在此，例如一边通过所谓的辊对辊方式搬运基材，一边在基材的表面上涂敷含有电极材料的涂敷液。然后，一边进一步搬运基材，一边通过使涂敷在基材的表面上的涂敷液的溶剂气化来使涂敷液干燥。使涂敷在该基材的表面上的涂敷液干燥的干燥装置例如记载在专利文献1、2等中。

专利文献1：日本特开2016-65649号公报

专利文献2：日本专利第5887437号公报

但是，在上述使涂敷液干燥的干燥装置中，例如，涂膜的厚度的增加以及干燥的高速化等导致从干燥装置排出的排气中的溶剂的浓度增大。另外，干燥装置存在如下情况：例如在排气中的溶剂的浓度上升至规定值时，变为干燥处理停止的规格。

然而，在干燥装置中，例如，需要根据形成的涂膜的厚度和宽度等的变化来变更使涂敷液干燥的条件。因此，例如，在干燥装置中刚开始涂敷液的干燥之后，不容易实现通过干燥形成的涂膜的品质的稳定化以及来自干燥装置的排气中的溶剂的浓度的降低。因此，存在因干燥装置的停止导致干燥装置的生产率降低的情况。

实用新型内容

本实用新型鉴于上述课题而提出，其目的在于，提供生产率高的干燥装置。

为了解决上述课题，第一技术方案的干燥装置具有干燥炉、排气部、检测部以及控制部，该干燥装置使涂敷在具有第一面以及与该第一面相反一侧的第二面的基材的所述第一面上的涂敷液干燥。所述干燥炉包括：框体，以从周围覆盖所述基材的方式配置；以及加热部，通过对涂敷在所述第一面上的所述涂敷液进行加热来使溶剂从所述涂敷液气化，所述干燥炉具有被所述基材划分为位于所述第一面侧的第一区域和位于所述第二面侧的第二区域的内部空间。所述排气部从所述内部空间排出气体。所述检测部检测通过所述排气部从所述内部空间排出的气体以及所述内部空间内的气体中的至少一种气体中的所述溶剂的浓度。所述控制部对所述排气部的动作进行控制。所述排气部包括：第一排气机构，使气体从所述第一区域向所述框体外排出；以及第二排气机构，使气体从所述第二区域向所述框体外排出，并且，在由所述检测部检测到的所述溶剂的浓度达到阈值以上的情况下，通过所述控制部使从所述第二区域向所述框体外的每单位时间的气体的排出量增加。

第二技术方案的干燥装置，在第一技术方案的干燥装置中，所述干燥装置具有向所述内部空间供给气体的供气部。所述供气部包括供气机构，所述供气机构向所述第二区域供给气体，并且，在由所述检测部检测到的所述溶剂的浓度达到阈值以上的情况下，通过所述控制部使向所述第二区域供给的每单位时间的气体的供给量增加。

第三技术方案的干燥装置，在第二技术方案的干燥装置中，所述供气机构向所述第二区域供给加热后的气体，所述干燥炉具有将所述加热后的气体向所述基材的所述第二面吹送的喷嘴。

第四技术方案的干燥装置，在第一至第三技术方案中任意一个技术方案的干燥装置中，所述加热部对涂敷在所述基材的所述第一面上的所述涂敷液吹送加热后的气体。

第五技术方案的干燥装置，在第一至第三技术方案中任意一个技术方案的干燥装置中，所述加热部是通过红外线的照射对涂敷在所述基材的所述第一面上的所述涂敷液进行加热的红外线加热器。

第六技术方案的干燥装置，在第一至第五技术方案中任意一个技术方案的干燥装置中，所述干燥装置具有沿搬运路径搬运所述基材的搬运机构，所述基材具有长条带状的形状，所述框体从周围覆盖所述搬运路径的一部分区域。

第七技术方案的干燥装置，在第一至第六技术方案中任意一个技术方案的干燥装置中，所述第二排气机构包括排气风门，所述排气风门通过增大开度，使从所述第二区域向所述框体外的每单位时间的气体的排出量增加。

第八技术方案的干燥装置，在第一至第七技术方案中任意一个技术方案的干燥装置中，所述第二排气机构包括排气鼓风机，所述排气鼓风机通过增加风扇的旋转频率，使从所述第二区域向所述框体外的每单位时间的气体的排出量增加。

第九技术方案的干燥装置，在第二或第三技术方案的干燥装置中，所述供气部包括供气风门，所述供气风门通过增大开度，使向所述第二区域供给的每单位时间的气体的供给量增加。

第十技术方案的干燥装置，在第二或第三技术方案的干燥装置中，所述供气部包括供气鼓风机，所述供气鼓风机通过增加风扇的旋转频率，使向所述第二区域供给的每单位时间的气体的供给量增加。

根据第一技术方案的干燥装置，例如，在来自干燥炉的排气以及干燥炉内的环境气体中的至少一种中的溶剂的浓度上升一定程度时，使来自干燥炉内的与涂敷液相反一侧的区域的每单位时间的气体的排出量增加。由此，例如，通过干燥形成的涂膜的品质难以降低，来自干燥炉的排气中的溶剂的浓度难以上升至使干燥装置停止的规定值。其结果，例如，能够实现生产率高的干燥装置。

根据第二技术方案的干燥装置，例如，在来自干燥炉的排气以及干燥炉内的环境气体中的至少一种中的溶剂的浓度上升一定程度时，使向干燥炉内的与涂敷液相反一侧的区域供给的每单位时间的气体的供给量增加，并且，使从干燥炉内的与涂敷液相反一侧的区域向干燥炉外的每单位时间的气体的排出量增加。由此，例如，通过干燥形成的涂膜的品质难以降低，来自干燥炉的排气中的溶剂的浓度难以上升至使干燥装置停止的规定值。其结果，例如，能够实现生产率高的干燥装置。

根据第三技术方案的干燥装置，例如，通过用热风对基材的与涂敷有涂敷液的一面相反一侧的面进行加热，来促进干燥炉中的涂敷液的干燥。

根据第四技术方案的干燥装置，例如，由于通过热风的吹送对涂敷液进行干燥，因此，能够促进干燥炉内的涂敷液的干燥。

根据第五技术方案的干燥装置，例如，能够提高通过红外线的照射使涂敷液干燥的干燥装置的生产率。

根据第六技术方案的干燥装置，例如，能够提高一边搬运长条带状的基材一边连续地对涂敷在基材的第一面上的涂敷液进行干燥的干燥装置的生产率。

附图说明

图1是表示涂膜形成装置的结构的一个例子的图。

图2是表示涂膜形成装置内的各部与控制部的连接结构的一个例子的框图。

图3是表示干燥装置的结构的一个例子的图。

图4是表示干燥装置中的干燥处理的动作流程的一个例子的流程图。

图5是表示干燥处理的初期阶段中的鼓风机的旋转频率、各风门的开度以及各种测量值的时间变化的一个例子的时序图。

图6是表示一变形例的干燥装置中的干燥处理的动作流程的流程图。

图7是表示一变形例的干燥装置的结构的一个例子的图。

图8是表示一变形例的干燥装置的各部与控制部的连接结构的一个例子的框图。

图9是表示一变形例的干燥装置的结构的一个例子的图。

图10是表示一变形例的干燥装置的结构的一个例子的图。

附图标记的说明：

1 搬运机构

100 涂膜形成装置

1r 搬运路径

2f0 涂敷液

2f1 涂膜

3、3B 干燥装置

4 控制部

5 干燥炉

51 框体

51s 内部空间

52 第一供气口

52B 红外线加热器

53 第二供气口

54 第一排气口

55 第二排气口

6、6B 供气部

61 第一供气机构

613 第一加热器

62 第二供气机构

622 第二供气鼓风机

623 第二加热器

624 第二供气风门

7 排气部

71 第一排气机构

712 第一排气鼓风机

714 第一排气风门

72 第二排气机构

722 第二排气鼓风机

724 第二排气风门

8 检测部

9 基材

9a 表面

9b 背面

A0 一部分搬运区域

A1 第一区域

A2 第二区域

具体实施方式

下面，参照附图对本实用新型的一实施方式和各种变形例进行说明。在附图中，对具有同样的结构和功能的部分标注相同的附图标记，在以下说明中省略重复说明。附图只是示意性地示出，各图中的各种结构的尺寸以及位置关系等并没有被准确地图示。

<1.涂膜形成装置的结构>

图1是表示一实施方式的涂膜形成装置100的结构的图。该涂膜形成装置100是例如一边沿着该基材9的长度方向搬运具有长条带状的形状的基材9一边在基材9的表面9a涂敷包含作为电极材料的活性物质的涂敷液2f0，然后使涂敷液2f0干燥，从而制造锂离子二次电池的电极的装置。基材9具有作为第一面的表面9a以及与该表面9a相反一侧的作为第二面的背面9b。作为基材9，例如使用能够作为锂离子二次电池的集电体发挥作用的金属箔。在此，在涂膜形成装置100中制造锂离子二次电池的正极的情况下，作为基材9，例如，能够使用铝(A1)箔。另外，在涂膜形成装置100中制造锂离子二次电池的负极的情况下，作为基材9，例如，能够使用铜(Cu)箔。如图1所示，涂膜形成装置100例如具有搬运机构1、涂敷装置2、干燥装置3以及控制部4。

搬运机构1在沿着基材9的长度方向的搬运方向上搬运基材9。搬运机构1例如具有开卷辊11、多个搬运辊12以及卷绕辊13。基材9从开卷辊11被送出，沿着由多个搬运辊12规定的搬运路径1r被搬运。换言之，搬运机构1沿着搬运路径1r搬运基材9。多个搬运辊12例如分别通过以沿着水平方向的轴(也称为水平轴)为中心旋转，将基材9向搬运路径1r的下游侧引导。在此，多个搬运辊12例如通过与基材9接触对基材9赋予张力。由此，例如，抑制了在搬运机构1中沿着搬运路径1r搬运的基材9的松弛和褶皱。由多个搬运辊12搬运后的基材9由卷绕辊13卷绕。搬运辊12的位置和个数并不限于图1所示的一个例子。

涂敷装置2向由搬运机构1搬运的基材9的表面9a涂敷涂敷液2f0。基材9在搬运路径1r中的开卷辊11与干燥装置3之间被也具有搬运辊的功能的支撑辊14支撑。支撑辊14例如为圆柱形状的辊，一边与基材9的背面9b接触，一边以沿着水平方向的轴(水平轴)为中心旋转。涂敷装置2例如具有与被支撑辊14支撑的基材9的表面9a相对的涂敷喷嘴21。作为涂敷喷嘴21，例如使用具有沿着宽度方向(与基材9的长度方向正交的水平方向)延伸的狭缝状的喷出口的所谓的狭缝喷嘴。涂敷喷嘴21例如经由供液配管22与涂敷液供给源23连接。在供液配管22中安装有开闭阀24。在该情况下，通过开闭阀24的开放，从涂敷液供给源23通过供液配管22向涂敷喷嘴21供给涂敷液2f0，从涂敷喷嘴21的喷出口向处于被支撑辊14支撑的状态的基材9的表面9a喷出涂敷液2f0。由此，向基材9的表面9a涂敷涂敷液2f0。在此，涂敷喷嘴21也可以不必具有对处于被支撑辊14支撑的状态的基材9的表面9a喷出涂敷液2f0的结构。涂敷喷嘴21例如也可以具有向处于架设在相邻的辊之间的状态的基材9的表面9a喷出涂敷液2f0的结构。

在此，在涂膜形成装置100中制造锂离子二次电池的正极的情况下，作为来自涂敷喷嘴21的正极的材料(也称为正极材料)，例如，将作为正极活性物质的钴酸锂(LiCoO₂)、作为导电助剂的碳(C)、作为粘合剂的聚偏氟乙烯(PVDF)以及作为溶剂的N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)的混合液涂敷在基材9的表面9a。代替钴酸锂，例如，也可以使用镍酸锂(LiNiO₂)、锰酸锂(LiMn₂O₄)或磷酸铁锂(LiFePO₄)等作为正极活性物质。另外，在涂膜形成装置100中制造锂离子二次电池的负极的情况下，作为来自涂敷喷嘴21的负极的材料(也称为负极材料)，例如，将作为负极活性物质的石墨(graphite)、作为粘合剂的PVDF以及作为溶剂的NMP的混合液涂敷在基材9的表面9a。代替石墨，可以使用硬碳、钛酸锂(Li₄Ti₅O₁₂)、硅合金或锡合金等作为负极活性物质。另外，在制造正极材料和负极材料两者时，代替作为粘合剂的PVDF，例如，可以使用苯乙烯-丁二烯橡胶(SBR)等，代替作为溶剂的NMP，例如，可以使用水(H₂O)等。而且，例如在使用SBR作为粘合剂并使用水作为溶剂的情况下，也能够一并使用羧甲基纤维素(CMC)作为增粘剂。

干燥装置3沿着搬运路径1r中的位于沿涂敷装置2的部分与卷绕辊13之间的一部分区域(也称为一部分搬运区域)A0配置。换言之，干燥装置3沿着比由涂敷装置2对表面9a涂敷涂敷液2f0的区域更靠搬运路径1r的下游侧配置。干燥装置3在干燥炉5内加热由搬运机构搬运的在表面9a上涂敷有涂敷液2f0的基材9。由此，通过使涂敷在基材9的表面9a上的涂敷液2f0的溶剂气化来使涂敷液2f0干燥。即，干燥装置3使涂敷在基材9的表面9a上的涂敷液2f0干燥。在此，在基材9的表面9a上涂敷液2f0被干燥而固化后形成涂膜2f1。接着，在表面9a上形成有涂膜2f1的基材9由卷绕辊13卷绕。

控制部4是对涂膜形成装置100内的各部的动作进行控制的部分。如图1中概念性所示，控制部4例如由具有中央处理装置(CPU：Central Processing Unit)等运算处理部41、RAM(Random access memory，随机存取存储器)等存储器42以及硬盘驱动器等存储部43的计算机构成。控制部4例如将存储于存储部43的计算机程序和数据临时读取至存储器42，使运算处理部41基于这些计算机程序和数据进行各种运算处理，从而对涂膜形成装置100内的各部的动作进行控制。由此，在涂膜形成装置100中进行涂敷和干燥处理。另外，例如，输入部44和输出部45与控制部4连接。输入部44例如输入与操作者的动作相对应的各种信息。在该输入部44中包括各种按钮等。输入部44例如可以包括输入来自其他装置的信号的通信部。输出部45例如包括能够以操作者可识别的方式输出各种信息的显示器和扬声器等。

图2是表示涂膜形成装置100内的各部与控制部4的连接结构的一个例子的框图。如图2所示，作为与控制部4电连接的涂膜形成装置100内的各部，例如，可举出搬运机构1、开闭阀24、输入部44、输出部45、后述的第一供气鼓风机612、第一加热器613、第一供气风门614、第一供气流量计615、第二供气鼓风机622、第二加热器623、第二供气风门624、第二供气流量计625、第一排气鼓风机712、第一排气风门714、第一排气流量计715、第二排气鼓风机722、第二排气风门724、第二排气流量计725以及检测部8。

<2.干燥装置的结构>

图3是表示干燥装置3的结构的一个例子的图。如图3所示，干燥装置3例如具有干燥炉5、供气部6、排气部7以及检测部8。上述搬运机构1也作为干燥装置3中的搬运机构发挥作用。上述控制部4也作为干燥装置3中的控制部发挥作用。例如，控制部4对供气部6和排气部7的动作进行控制。

干燥炉5例如具有框体51。框体51例如以从周围覆盖搬运路径1r的一部分搬运区域A0的方式配置。因此，在搬运路径1r的一部分搬运区域A0配置有基材9的情况下，干燥炉5以从周围覆盖配置于一部分搬运区域A0的基材9的方式配置。该框体51具有用于使涂敷在基材9的表面9a上的涂敷液2f0干燥的作为处理空间的内部空间51s。在框体51的一个端面上设置有基材9的搬入口1o。另外，在框体51的另一个端面上设置有基材9的搬出口2o。由搬运机构1沿着搬运路径1r搬运的基材9从搬入口1o被搬入至框体51的内部，在框体51内实施干燥处理后，从搬出口2o被搬出至框体51外。因此，在框体51的内部空间51s配置有作为基材9的搬运路径1r的一部分区域的一部分搬运区域A0。而且，框体51的内部空间51s被基材9划分为位于表面9a侧的区域(也称为第一区域)A1和位于背面9b侧的区域(也称为第二区域)A2。

在一实施方式中，例如，在框体51的内部空间51s中，基材9以将涂敷有涂敷液2f0的作为处理面的表面9a朝向上方的状态沿着水平方向被搬运。在该情况下，例如，框体51的内部空间51s被配置于一部分搬运区域A0的基材9划分为位于比该基材9更靠上方的第一区域A1和位于比该基材9更靠下方的第二区域A2。从另一观点来说，例如，内部空间51s被虚拟的带状区域划分为上方的第一区域A1和下方的第二区域A2，所述虚拟的带状区域由一部分搬运区域A0以及在与在该一部分搬运区域A0中搬运基材9的方向正交的方向(也称为宽度方向)上虚拟地延伸一部分搬运区域A0的区域规定。另外，在该情况下，沿着水平方向的狭缝状的开口例如分别适用于搬入口1o和搬出口2o以使基材9能够通过。需要说明的是，在框体51内，基材9可以不必沿着水平方向配置。

在框体51的内部空间51s设置有多个第一供气口52、多个第二供气口53、多个第一排气口54以及多个第二排气口55。多个第一供气口52和多个第一排气口54例如配置在框体51的内部空间51s中的比作为基材9的搬运路径1r的一部分搬运区域A0更靠上侧的空间即第一区域A1。在一实施方式中，多个第一供气口52和多个第一排气口54例如配置为与作为基材9的上表面的表面9a相对。另外，多个第二供气口53和多个第二排气口55例如配置在框体51的内部空间51s中的比作为基材9的搬运路径1r的一部分搬运区域A0更靠下侧的空间即第二区域A2。在一实施方式中，多个第二供气口53和多个第二排气口55例如配置为与作为基材9的下表面的背面9b相对。

在干燥装置3运行时，如图3中用空心箭头绘制那样，从多个第一供气口52和多个第二供气口53分别向基材9喷出热风。在此，各第一供气口52向涂敷在基材9的表面9a上的涂敷液2f0吹送加热后的气体。由此，例如，通过对涂敷在基材9的表面9a上的涂敷液2f0进行加热，使溶剂从涂敷液2f0气化。换言之，多个第一供气口52具有作为例如通过对涂敷在配置于框体51的内部空间51s的基材9的表面9a上的涂敷液2f0进行加热而使溶剂从涂敷液2f0气化的部分(也称为加热部)的功能。即，干燥炉5具有作为加热部的多个第一供气口52。在一实施方式中，例如，通过作为加热部的多个第一供气口52对涂敷液2f0吹送加热后的气体，促进干燥炉5内的涂敷液2f0的干燥。各第一供气口52和各第二供气口53例如可以在基材9的宽度方向上具有具有长度方向的狭缝状的开口，也可以具有在基材9的宽度方向上排列的多个开口。另外，如图3中用带斜线阴影线的箭头绘制那样，框体51的内部空间51s的气体被吸入至多个第一排气口54和多个第二排气口55。换言之，在框体51的内部空间51s中包括从涂敷液2f0气化的溶剂的环境气体被吸入至多个第一排气口54和多个第二排气口55。各第一排气口54和各第二排气口55例如可以在基材9的宽度方向上具有具有长度方向的狭缝状的开口，也可以具有在基材9的宽度方向上排列的多个开口。在一实施方式中，在框体51的内部空间51s中，基材9在由多个第一供气口52、多个第二供气口53、多个第一排气口54以及多个第二排气口55中的供气和排气产生的压力的作用下以上浮至规定的高度状态被搬运。

在图3的例子中，在框体51中，3个第一供气口52和1个第一排气口54沿着基材9的搬运方向交替配置。另外，在框体51中，多个第二供气口53沿着基材9的搬运方向等间隔排列，在框体51中的基材9的搬运方向的上游侧和下游侧的各端部附近配置有第二排气口55。其中，多个第一供气口52、多个第二供气口53、多个第一排气口54以及多个第二排气口55可以配置在框体51的内部空间51s的其他位置。例如，第一供气口52和第一排气口54可以沿着基材9的搬运方向逐个交替配置。

供气部6是向框体51的内部空间51s供给气体的部分。在一实施方式中，供气部6例如经由多个第一供气口52和多个第二供气口53向框体51的内部空间51s供给气体。该供气部6包括第一供气机构61以及第二供气机构62。

第一供气机构61向内部空间51s中的第一区域A1供给气体。在一实施方式中，第一供气机构61经由多个第一供气口52向框体51的内部空间51s供给气体。更具体地说，第一供气机构61经由多个第一供气口52向框体51的内部空间51s供给加热后的气体。换言之，第一供气机构61向内部空间51s中的第一区域A1供给加热后的气体。在此，第一供气机构61例如加热作为气体的空气来向内部空间51s的第一区域A1供给热风。如图3所示，第一供气机构61例如具有第一供气配管611、第一供气鼓风机612、第一加热器613、第一供气风门614以及第一供气流量计615。

第一供气配管611例如具有1根共通配管(也称为第一共通供气配管)611m以及多个分支配管(也称为第一分支供气配管)611b。第一共通供气配管611m的上游侧的端部与第一供气鼓风机612连接。第一共通供气配管611m的下游侧的端部与多个第一分支供气配管611b的各上游侧的端部彼此连接。另外，多个第一分支供气配管611b的下游侧的端部分别与多个第一供气口52连接。

第一供气鼓风机612例如向第一供气配管611送入空气。第一供气鼓风机612例如采用能够通过风扇的每单位时间的转速(也称为旋转频率)来变更向第一供气配管611送风的送风量的结构。第一加热器613安装在第一共通供气配管611m的路径上。在此，例如，在使第一供气鼓风机612和第一加热器613动作时，从第一供气鼓风机612向第一共通供气配管611m内送入空气，通过第一加热器613加热该空气，从而产生热风。该热风分支流入多个第一分支供气配管611b，从多个第一供气口52向作为基材9的上表面的表面9a喷出。在此，例如，如果在多个第一供气口52应用喷嘴，则加热后的气体从该喷嘴被吹送至基材9的表面9a。由此，例如，通过用热风加热涂敷在基材9的表面9a上的涂敷液2f0，促进干燥炉5中的涂敷液2f0的干燥。

第一供气风门614例如安装在第一共通供气配管611m的路径上。第一供气风门614例如通过响应于来自控制部4的指令来变更开度，从而调整通过第一共通供气配管611m和多个第一分支供气配管611b的热风的量。由此，调整从多个第一供气口52向基材9的表面9a喷出的热风的量。换言之，第一供气风门614调整从多个第一供气口52向内部空间51s的第一区域A1单位时间内供给的气体的量。在此，对于第一供气风门614的开度，例如考虑通过根据来自控制部4的信号的脉冲电机的驱动等调整的方式。

第一供气流量计615例如测量从第一供气风门614经由多个第一供气口52向内部空间51s的第一区域A1单位时间内供给的气体的量(也称为每单位时间的第一供气量)。作为第一供气流量计615，例如应用测定气流的压力并将该压力换算为气体的流量的流量计。第一供气流量计615例如将表示每单位时间的第一供气量的测量值的信号输送至控制部4。该第一供气量的测量值例如能够通过控制部4用于控制第一供气机构61向第一区域A1供给的每单位时间的气体的供给量。

第二供气机构62向内部空间51s中的第二区域A2供给气体。在一实施方式中，第二供气机构62经由多个第二供气口53向框体51的内部空间51s供给气体。更具体地说，第二供气机构62经由多个第二供气口53向框体51的内部空间51s供给加热后的气体。换言之，第二供气机构62向内部空间51s中的第二区域A2供给加热后的气体。在此，第二供气机构62例如加热作为气体的空气来向内部空间51s的第二区域A2供给热风。如图3所示，第二供气机构62例如具有第二供气配管621、第二供气鼓风机622、第二加热器623、第二供气风门624以及第二供气流量计625。

第二供气配管621例如具有1根共通配管(也称为第二共通供气配管)621m以及多个分支配管(也称为第二分支供气配管)621b。第二共通供气配管621m的上游侧的端部与第二供气鼓风机622连接。第二共通供气配管621m的下游侧的端部与多个第二分支供气配管621b的各上游侧的端部彼此连接。另外，多个第二分支供气配管621b的下游侧的端部分别与多个第二供气口53连接。

第二供气鼓风机622例如向第二供气配管621送入空气。第二供气鼓风机622例如采用能够通过风扇的每单位时间的转速(旋转频率)来变更向第二供气配管621的送风量的结构。第二加热器623安装在第二共通供气配管621m的路径上。在此，例如，如果使第二供气鼓风机622和第二加热器623动作，则从第二供气鼓风机622向第二共通供气配管621m内送入空气，通过第二加热器623加热该空气，从而产生热风。该热风分支流入多个第二分支供气配管621b，从多个第二供气口53向作为基材9的下表面的背面9b喷出。在此，例如，如果在多个第二供气口53应用喷嘴，则加热后的气体从该喷嘴被吹送至基材9的背面9b。由此，例如，通过用热风加热基材9的与涂敷有涂敷液2f0的表面9a相反一侧的背面9b，进一步促进干燥炉5中的涂敷液2f0的干燥。

第二供气风门624例如安装在第二共通供气配管621m的路径上。第二供气风门624例如通过响应于来自控制部4的指令来变更开度，从而调整通过第二共通供气配管621m和多个第二分支供气配管621b的热风的量。由此，调整从多个第二供气口53向基材9的背面9b喷出的热风的量。换言之，第二供气风门624调整从多个第二供气口53向内部空间51s的第二区域A2单位时间内供给的气体的量。在此，对于第二供气风门624的开度，例如考虑通过根据来自控制部4的信号的脉冲电机的驱动等调整的方式。

第二供气流量计625例如测量从第二供气风门624经由多个第二供气口53向内部空间51s的第二区域A2单位时间内供给的气体的量(也称为每单位时间的第二供气量)。第二供气流量计625例如与第一供气流量计615同样地应用测定气流的压力并将该压力换算为气体的流量的流量计。第二供气流量计625例如将表示每单位时间的第二供气量的测量值的信号输送至控制部4。该第二供气量的测量值例如能够通过控制部4用于控制第二供气机构62向第二区域A2供给的每单位时间的气体的供给量。

排气部7是用于从框体51的内部空间51s排出气体的部分。在一实施方式中，例如，排气部7经由多个第一排气口54和多个第二排气口55从框体51的内部空间51s排出气体。该排气部7例如包括第一排气机构71以及第二排气机构72。

第一排气机构71从内部空间51s中的第一区域A1向框体51外排出气体。在一实施方式中，第一排气机构71经由多个第一排气口54从框体51的内部空间51s排出气体。如图3所示，第一排气机构71例如具有第一排气配管711、第一排气鼓风机712、第一排气风门714以及第一排气流量计715。

第一排气配管711例如具有多个独立配管(也称为第一独立排气配管)711b以及1根共通配管(也称为第一共通排气配管)711m。多个第一独立排气配管711b的上游侧的端部分别与多个第一排气口54连接。另外，多个第一独立排气配管711b分别从第一排气口54向框体51外延伸。多个第一独立排气配管711b的下游侧的端部与第一共通排气配管711m的上游侧的端部彼此连接。另外，第一共通排气配管711m的下游侧的端部与第一排气鼓风机712连接。

第一排气鼓风机712例如从第一排气配管711吸出气体。第一排气鼓风机712例如采用能够通过风扇的每单位时间的转速(旋转频率)变更来自第一排气配管711的气体的吸出量(排出量)的结构。在此，例如，如果使第一排气鼓风机712动作，则在第一排气配管711内产生负压，框体51的内部空间51s的气体经由多个第一排气口54被吸入至多个第一独立排气配管711b。另外，多个第一独立排气配管711b内的气体向各第一独立排气配管711b的下游侧流动，从而向第一共通排气配管711m汇合。此时，第一共通排气配管711m内的气体例如通过第一排气鼓风机712向工厂内的排气线排出。

第一排气风门714例如安装在第一共通排气配管711m的路径上。第一排气风门714例如通过响应于来自控制部4的指令来变更开度，从而调整单位时间内通过多个第一独立排气配管711b和第一共通排气配管711m的气体的量。由此，调整从框体51的内部空间51s被吸入至多个第一排气口54的气体的量。换言之，第一排气风门714调整从内部空间51s的第一区域A1经由多个第一排气口54向框体51外单位时间内排气的气体的量。在此，对于第一排气风门714的开度，例如考虑通过根据来自控制部4的信号的脉冲电机的驱动等调整的方式。

第一排气流量计715例如测量从第一排气风门714向第一排气鼓风机712单位时间内排出的气体的量(也称为每单位时间的第一排气量)。第一排气流量计715例如与第一供气流量计615和第二供气流量计625同样地应用测定气流的压力并将该压力换算为气体的流量的流量计。第一排气流量计715例如将表示每单位时间的第一排气量的测量值的信号输送至控制部4。该第一排气量的测量值例如能够通过控制部4控制第一排气机构71从第一区域A1向框体51外的每单位时间的气体的排出量。

第二排气机构72从内部空间51s中的第二区域A2向框体51外排出气体。在一实施方式中，第二排气机构72经由多个第二排气口55从框体51的内部空间51s排出气体。如图3所示，第二排气机构72例如具有第二排气配管721、第二排气鼓风机722、第二排气风门724以及第二排气流量计725。

第二排气配管721例如具有多个独立配管(也称为第二独立排气配管)721b以及1根共通配管(也称为第二共通排气配管)721m。多个第二独立排气配管721b的上游侧的端部分别与多个第二排气口55连接。另外，多个第二独立排气配管721b分别从第二排气口55向框体51外延伸。多个第二独立排气配管721b的下游侧的端部与第二共通排气配管721m的上游侧的端部彼此连接。另外，第二共通排气配管721m的下游侧的端部与第二排气鼓风机722连接。

第二排气鼓风机722例如从第二排气配管721吸出气体。第二排气鼓风机722例如采用通过风扇的每单位时间的转速(旋转频率)变更来自第二排气配管721的气体的吸出量(排出量)的结构。在此，例如，如果使第二排气鼓风机722动作，则在第二排气配管721内产生负压，框体51的内部空间51s的气体经由多个第二排气口55被吸入至多个第二独立排气配管721b。另外，多个第二独立排气配管721b内的气体向各第二独立排气配管721b的下游侧流动，从而向第二共通排气配管721m汇合。此时，第二共通排气配管721m内的气体例如通过第二排气鼓风机722向工厂内的排气线排出。

第二排气风门724例如安装在第二共通排气配管721m的路径上。第二排气风门724例如通过响应于来自控制部4的指令来变更开度，从而调整单位时间内通过多个第二独立排气配管721b和第二共通排气配管721m的气体的量。由此，调整从框体51的内部空间51s被吸入至多个第二排气口55的气体的量。换言之，第二排气风门724调整从内部空间51s的第二区域A2经由多个第二排气口55向框体51外单位时间内排气的气体的量。在此，对于第二排气风门724的开度，例如考虑通过根据来自控制部4的信号的脉冲电机的驱动等调整的方式。

第二排气流量计725例如测量从第二排气风门724向第二排气鼓风机722单位时间内排出的气体的量(也称为每单位时间的第二排气量)。第二排气流量计725例如与第一排气流量计715等同样地应用测定气流的压力并将该压力换算为气体的流量的流量计。第二排气流量计725例如将表示每单位时间的第二排气量的测量值的信号输送至控制部4。该第二排气量的测量值例如能够通过控制部4用于控制第二排气机构72从第二区域A2向框体51外的每单位时间的气体的排出量。

检测部8检测通过排气部7从框体51的内部空间51s排出的气体中的溶剂的浓度(也称为溶剂浓度)。在一实施方式中，检测部8例如检测第二共通排气配管721m内的气体中的溶剂浓度。在图3的例子中，检测部8在第二共通排气配管721m内的第二排气风门724与第二排气鼓风机722之间检测气体中的溶剂浓度。检测部8例如应用接触燃烧式传感器。检测部8例如将表示溶剂浓度的检测值的信号输送至控制部4。

在一实施方式中，控制部4例如响应于通过检测部8检测的溶剂浓度达到阈值以上，使通过第二排气机构72从第二区域A2向框体51外的每单位时间的气体的排出量增加，并且使通过第二供气机构62向第二区域A2的每单位时间的气体的供给量增加。阈值例如可以用存储在存储部43中的计算机程序或数据等预先规定，也可以由控制部4根据与操作者的动作等对应的由输入部44输入的信号适当设定或变更。

在此，控制部4例如能够通过增大第二排气风门724的开度，使从第二区域A2向框体51外的每单位时间的气体的排出量增加。控制部4例如可以通过使第二排气鼓风机722的风扇的旋转频率增加，使从第二区域A2向框体51外的每单位时间的气体的排出量增加。控制部4例如可以根据通过第二排气流量计725得到的测量值进行控制，以使从第二区域A2向框体51外的每单位时间的气体的排出量的增加量达到规定的增加量。在此，增大第二排气风门724的开度的量、第二排气鼓风机722中的旋转频率的增加量以及从第二区域A2向框体51外的每单位时间的气体的排出量的规定增加量例如可以分别用存储在存储部43中的计算机程序或数据等预先规定，也可以由控制部4根据与操作者的动作等对应的由输入部44输入的信号适当设定和变更。

另外，在此，控制部4例如能够通过增大第二供气风门624的开度，使向第二区域A2的每单位时间的气体的供给量增加。另外，控制部4例如可以通过使第二供气鼓风机622的风扇的旋转频率增加，使向第二区域A2的每单位时间的气体的供给量增加。控制部4例如根据通过第二供气流量计625得到的测量值进行控制，以使向第二区域A2供给的每单位时间的气体的供给量的增加量达到规定增加量。在此，增大第二供气风门624的开度的量、第二供气鼓风机622中的旋转频率的增加量以及向第二区域A2供给的每单位时间的气体的供给量的规定增加量例如可以分别用存储在存储部43中的计算机程序或数据等预先规定，也可以由控制部4根据与操作者的动作等对应的由输入部44输入的信号适当设定和变更。

在干燥装置3中，例如，来自干燥炉5内的排气中的溶剂浓度上升一定程度时，使框体51的内部空间51s中以与涂敷液2f0相反一侧的第二区域A2作为对象的每单位时间的供气量和排出量。由此，例如，来自干燥炉5的排气被稀释，来自干燥炉5的排气中的溶剂浓度难以上升至使干燥装置3停止的规定值。另外，在此，例如，通过使与以第一区域A1作为对象的吸气和排气相比对涂敷液2f0的干燥的影响更小的以第二区域A2作为对象的吸气和排气的条件变化，降低排气部7从框体51的内部空间51s排气中的溶剂浓度。因此，例如，通过干燥形成的涂膜2f1的品质难以降低，来自干燥炉5的排气中的溶剂浓度难以上升至使干燥装置3停止的规定值。因此，能够提高干燥装置3的生产率。

<3.干燥装置的动作>

图4是表示干燥装置3中的干燥处理的动作流程的一个例子的流程图。该动作流程示出了使用干燥装置3使涂敷在基材9的表面9a上的涂敷液2f0干燥的方法(也称为干燥方法)的一个例子。本动作流程例如通过控制部4的控制来实现。

在本动作流程中，首先，例如，控制部4判定是否存在开始干燥处理的指令(步骤Sp1)。针对控制部4的开始干燥处理的指令例如根据与操作者的动作对应的来自输入部44的信号的输入或来自其他装置的经由通信线路的信号的输入等来实现。在此，反复进行步骤Sp1的处理直至存在开始干燥处理的指令，如果存在开始干燥处理的指令，则控制部4使开始干燥处理的工序执行(步骤Sp2)。在该干燥处理中，例如，在内部空间51s被基材9划分为表面9a侧的第一区域A1和背面9b侧的第二区域A2的状态下，一边通过对涂敷在基材9的表面9a上的涂敷液2f0进行加热来使溶剂从该涂敷液2f0气化，一边通过排气部7使气体从内部空间51s排出。在一实施方式中，在干燥处理中，例如，通过供气部6向框体51的内部空间51s供给气体。在此，例如，使第一供气机构61、第二供气机构62、第一排气机构71以及第二排气机构72启动。具体而言，使第一供气鼓风机612、第一加热器613、第二供气鼓风机622、第二加热器623、第一排气鼓风机712以及第二排气鼓风机722启动。由此，开始对干燥炉5中的框体51的内部空间51s供给热风以及从框体51的内部空间51s排出气体。此时，例如，通过包括第一供气鼓风机612以及第一加热器613等的第一供气机构61从多个第一供气口52向涂敷在基材9的表面9a上的涂敷液2f0吹送热风。由此，溶剂从涂敷液2f0气化，进行涂敷液2f0的干燥。另外，例如，通过包括第二供气鼓风机622以及第二加热器623的第二供气机构62从多个第二供气口53向基材9的背面9b吹送热风。另外，例如，通过包括第一排气鼓风机712的第一排气机构71进行经由多个第一排气口54从第一区域A1排气。另外，例如，通过包括第二排气鼓风机722的第二排气机构72进行经由多个第二排气口55从第二区域A2排气。

然后，控制部4通过检测部8检测通过排气部7从内部空间51s排出的气体中的溶剂浓度(步骤Sp3)。在一实施方式中，通过检测部8检测通过第二排气机构72从内部空间51s的第二区域A2排出的气体中的溶剂浓度。检测部8例如将检测到的溶剂浓度的值(也称为检测值)的信号输送至控制部4。

然后，控制部4判定在步骤Sp3中检测到的溶剂浓度是否变为阈值以上(步骤Sp4)。在此，例如，如果溶剂的浓度变为阈值以上，则控制部4使通过第二排气机构72从第二区域A2向框体51外的每单位时间的气体的排出量增加，并且使通过第二供气机构62向第二区域A2供给的每单位时间的气体的供给量增加(步骤Sp5)。在此，控制部4例如通过增大第二排气风门724的开度，使从第二区域A2向框体51外的每单位时间的气体的排出量增加，并且通过增大第二供气风门624的开度，使向第二区域A2供给的每单位时间的气体的供给量增加。由此，例如，通过干燥形成的涂膜2f1的品质难以降低，来自干燥炉5的排气中的溶剂浓度难以上升至规定值，因此干燥装置3难以停止。其结果，例如，能够提高干燥装置3的生产率。另一方面，在此，例如，如果溶剂的浓度未变为阈值以上，则不进行步骤Sp5的处理，而进入步骤Sp6。

然后，控制部4判定是否存在结束干燥处理的指令(步骤Sp6)。针对控制部4的结束干燥处理的指令例如根据与操作者的动作对应的来自输入部44的信号的输入或者来自其他装置的经由通信线路的信号的输入等来实现。在此，例如，反复进行步骤Sp3至步骤Sp6的处理，直至存在结束干燥处理的指令。另一方面，例如，如果存在结束干燥处理的指令，则使干燥处理结束(步骤Sp7)。

图5是表示图4中所示的干燥装置3中的干燥处理的动作流程被执行的情况下的使用干燥装置3的干燥处理的初期阶段中的鼓风机的旋转频率、各风门的开度以及各种测量值的时间变化的一个例子的时序图。在图5中，从上到下依次示出[A]通过检测部8检测的排气中的溶剂浓度的检测值、[B]通过第二排气流量计725测量的每单位时间的第二排气量(风量)的测量值、[C]第二排气风门724的开度、[D]通过第二供气流量计625测量的每单位时间的第二供气量(风量)的测量值、[E]第二供气风门624的开度以及[F]第二供气鼓风机622的旋转频率的时间变化。在此，溶剂浓度的值C1为阈值。

在图5的例子中，例如，在时刻T0，开始干燥处理，通过检测部8检测的溶剂浓度的检测值随着时间的经过从值C0上升，在时刻T1上升至作为阈值的值C1。与此对应地，从时刻T1到时刻T2使第二供气风门624的开度从开度O1增加至开度O2，并且使第二供气鼓风机622的旋转频率从频率F1增加至频率F2，从而从时刻T2到时刻T3，每单位时间的第二供气量的测量值从值S1增加至值S2。进一步，从时刻T3到时刻T4，通过使第二排气风门724的开度从开度O3增加至开度O4，从时刻T4到时刻T5，每单位时间的第二排气量的测量值从值E1增加至值E2。由此，从时刻T4到时刻T6，通过检测部8检测的溶剂浓度的检测值从值C1降低至值C2。而且，在时刻T6以后，通过检测部8检测的溶剂浓度的检测值稳定在值C2。

根据这样的动作，例如，在干燥装置3中的涂敷液2f0的干燥处理刚开始后，能够容易地实现通过干燥形成的涂膜2f1的品质的稳定化以及来自干燥炉5的排气中的溶剂的浓度的降低。其结果，例如，难以发生停止导致的干燥装置3的生产率降低。

<4.一实施方式的总结>

如上所述，在第一实施方式的干燥装置3中，例如，来自干燥炉5的排气中的溶剂浓度上升一定程度时，使向干燥炉5内的与涂敷液2f0相反一侧的第二区域A2供给的每单位时间的气体的供给量增加，并且使从第二区域A2排出的每单位时间的气体的排出量增加。由此，例如，通过干燥形成的涂膜2f1的品质难以降低，来自干燥炉5的排气中的溶剂浓度难以上升至使干燥装置3停止的规定值。其结果，例如，能够提高干燥装置3的生产率。

<5.其他实施方式>

本实用新型并不限于上述的一实施方式，在不脱离本实用新型的要旨的范围内能够进行各种变更和改良等。

<6.变形例>

例如，在上述一实施方式中，检测部8检测了第二共通排气配管721m内的气体中的溶剂浓度，但并不限于此。例如，像图3中用双点划线绘制那样，检测部8可以检测第一共通排气配管711m内的气体中的溶剂浓度，也可以检测框体51的内部空间51s的环境气体中的溶剂浓度。在此，例如，检测部8可以检测内部空间51s中的第一区域A1和第二区域A2中的任一环境气体中的溶剂浓度。另外，检测部8例如可以检测第一排气配管711中的第一共通排气配管711m内和多个第一独立排气配管711b内的任一个的气体中的溶剂浓度，也可以检测第二排气配管721中的第二共通排气配管721m内和多个第二独立排气配管721b内的任一个的气体中的溶剂浓度。即，例如，检测部8可以检测通过排气部7从内部空间51s排出的气体和内部空间51s中的气体中的至少一种气体中的溶剂浓度。即使采用这种结构，与上述一实施方式同样地，例如通过干燥形成的涂膜2f1的品质难以降低，来自干燥炉5的排气中的溶剂浓度难以上升至使干燥装置3停止的规定值。其结果，例如，能够提高干燥装置3的生产率。

另外，在上述一实施方式中，控制部4响应于通过检测部8检测的溶剂浓度达到阈值以上进行控制，以使通过第二排气机构72从第二区域A2向框体51外的每单位时间的气体的排出量以及通过第二供气机构62向第二区域A2供给的每单位时间的气体的供给量增加，但并不限于此。例如，控制部4也可以响应于通过检测部8检测的溶剂浓度达到阈值以上进行控制，以使通过第二排气机构72从第二区域A2向框体51外的每单位时间的气体的排出量增加。在此，例如，来自干燥炉5内的排气中的溶剂浓度上升一定程度时，使框体51的内部空间51s中的以与涂敷液2f0相反一侧的第二区域A2作为对象的每单位时间的第二排出量增加。此时，例如，从框体51的搬入口1o和搬出口2o等各处向内部空间51s流入的气体的流入量可以增加。由此，例如，来自干燥炉5的排气被稀释，从而来自干燥炉5的排气中的溶剂浓度难以上升至使干燥装置3停止的规定值。因此，例如，通过干燥形成的涂膜2f1的品质难以降低，来自干燥炉5的排气中的溶剂浓度难以上升至使干燥装置3停止的规定值。因此，能够提高干燥装置3的生产率。

在采用这种构成的情况下，图4中所示的动作流程例如像图6所示的一变形例的动作流程那样，只要步骤Sp5的工序变更为控制部4使通过第二排气机构72从第二区域A2向框体51外的每单位时间的气体的排出量增加的工序即可。

另外，在上述一实施方式中，多个第一供气口52具有作为通过向涂敷在配置于框体51的内部空间51s的基材9的表面9a上的涂敷液2f0吹送热风而使溶剂从涂敷液2f0气化的加热部的功能，但并不限于此。加热部例如只要通过对涂敷在配置于框体51的内部空间51s的基材9的表面9a上的涂敷液2f0进行加热来使溶剂从涂敷液2f0气化即可。例如，如图7所示，作为加热部，可以采用通过红外线的照射对涂敷在基材9的表面9a上的涂敷液2f0进行加热的红外线(IR)加热器52B。只要采用这种构成，例如能够提高通过红外线的照射使涂敷液2f0干燥的干燥装置3B的生产率。图7中所示的一变形例的干燥装置3B为如下结构：以上述一实施方式的干燥装置3为基础，多个第一供气口52被置换为多个IR加热器52B，供气部6被置换为不具有第一供气机构61且具有第二供气机构62的供气部6B，具有多个IR加热器52B的电源等能量源61B。在该情况下，在与控制部4电连接的涂膜形成装置100内的各部中，例如，如图8所示，可以包括IR加热器52B以及能量源61B，以代替图2所示的第一供气鼓风机612、第一加热器613、第一供气风门614、第一供气流量计615。

另外，在上述一实施方式中，第二供气机构62向内部空间51s中的第二区域A2供给加热后的气体，但并不限于此。例如，如图9所示那样，第二供气机构62可以不具有第二加热器623，而向内部空间51s中的第二区域A2供给气体。此时，例如，可以从多个第二供气口53向基材9的背面9b吹送气体，也可以不从多个第二供气口53向基材9的背面9b吹送气体而向第二区域A2导入气体。

另外，在上述一实施方式中，基材9具有长条带状的形状，但并不限于此。基材9例如只要是平板状的基板等具有作为第一面的表面9a以及作为与该表面9a相反一侧的第二面的背面9b即可。在此，例如，在基材9具有平板状的形状的情况下，如图10所示那样，搬运机构1可以在干燥装置3中通过多个辊R1从下方支撑基材9的状态下，通过以沿着这些多个辊R1的水平方向的轴(水平轴)为中心的旋转沿着搬运路径1r搬运基材9。但是，例如，只要基材9像上述一实施方式那样具有长条带状的形状，就能够提高一边搬运长条带状的基材9一边连续地干燥涂敷在基材9的表面9a上的涂敷液2f0的干燥装置3的生产率。

另外，在上述一实施方式中，第一供气风门614例如可以安装在各第一分支供气配管611b的路径上，来代替安装在第一共通供气配管611m的路径上。另外，第一供气风门614例如除了可以安装在第一共通供气配管611m的路径上以外，还可以安装在各第一分支供气配管611b的路径上。即，第一供气风门614例如也可以安装在第一供气配管611的路径上。另外，第二供气风门624例如可以安装在各第二分支供气配管621b的路径上，来代替安装在第二共通供气配管621m的路径上。另外，第二供气风门624例如除了可以安装在第二共通供气配管621m的路径上以外，还可以安装在各第二分支供气配管621b的路径上。即，第二供气风门624例如可以安装在第二供气配管621的路径上。另外，第一排气风门714例如可以安装在各第一独立排气配管711b的路径上，来代替安装在第一共通排气配管711m的路径上。另外，第一排气风门714例如可以安装在各第一独立排气配管711b的路径上，来代替安装在第一共通排气配管711m的路径上。即，第一排气风门714例如可以安装在第一排气配管711的路径上。另外，第二排气风门724例如可以安装在各第二独立排气配管721b的路径上，来代替安装在第二共通排气配管721m的路径上。另外，第二排气风门724例如可以安装在各第二独立排气配管721b的路径上，来代替安装在第二共通排气配管721m的路径上。即，第二排气风门724例如可以安装在第二排气配管721的路径上。

另外，在上述一实施方式中，干燥装置3、3B例如可以是不通过搬运机构1搬运基材9的所谓的批量式的干燥装置。在该情况下，框体51例如可以以从周围覆盖基材9的方式配置。

另外，在上述一实施方式中，第一分支供气配管611b和第一供气口52彼此的数量例如可以为两个以上的任意的数量。另外，例如，第一供气口52的数量为1个，第一共通供气配管611m可以与第一供气口52直接连接。另外，第二分支供气配管621b和第二供气口53彼此的数量例如可以为两个以上的任意的数量。另外，例如，第二供气口53的个数为1个，第二共通供气配管621m可以与第二供气口53直接连接。另外，第一独立排气配管711b和第一排气口54彼此的数量例如可以为两个以上的任意的数量。另外，例如，第一排气口54的个数为1个，第一共通排气配管711m可以与第一排气口54直接连接。另外，第二独立排气配管721b和第二排气口55彼此的数量例如可以为两个以上的任意的数量。另外，例如，第二排气口55的个数为1个，第二共通排气配管721m可以与第二排气口55直接连接。

另外，在上述一实施方式中，例如，第一区域A1可以是内部空间51s中的基材9的表面9a朝向的空间，也可以是位于基材9的表面9a的上方的空间。另外，例如，第二区域A2可以为内部空间51s中的基材9的背面9b朝向的空间，也可以为位于基材9的背面9b的下方的空间。

另外，在上述一实施方式中，例如，控制部4可以响应于通过检测部8检测的溶剂浓度达到阈值以上，通过输出部45以操作者可识别的方式输出警告等规定信息。而且，例如，控制部4可以根据基于操作者的动作的来自输入部44的信号的输入，使从第二区域A2向框体51外的每单位时间的气体的排出量增加，还可以使向第二区域A2供给的每单位时间的气体的供给量增加。即，例如，可以响应于通过检测部8检测到的溶剂浓度达到阈值以上，通过自动或手动使通过第二排气机构72从第二区域A2向框体51外的每单位时间的气体的排出量增加，也可以使通过第二排气机构72从第二区域A2向框体51外的每单位时间的气体的排出量，并且使通过第二供气机构62向第二区域A2供给的每单位时间的气体的供给量增加。

另外，在上述一实施方式中，第一排气鼓风机712和第二排气鼓风机722例如可以不包含在干燥装置3、3B中，而是设置于工厂内的排气线。

需要说明的是，当然能够在不产生矛盾的范围内适当组合分别构成上述实施方式和各种变形例的全部或一部分。

Claims (10)

1.一种干燥装置，使涂敷在具有第一面以及与该第一面相反一侧的第二面的基材的所述第一面上的涂敷液干燥，其中，

所述干燥装置具有：

干燥炉，包括：框体，以从周围覆盖所述基材的方式配置；以及加热部，通过对涂敷在所述第一面上的所述涂敷液进行加热来使溶剂从所述涂敷液气化，所述干燥炉具有被所述基材划分为位于所述第一面侧的第一区域和位于所述第二面侧的第二区域的内部空间；

排气部，从所述内部空间排出气体；

检测部，检测通过所述排气部从所述内部空间排出的气体以及所述内部空间内的气体中的至少一种气体中的所述溶剂的浓度；以及

控制部，对所述排气部的动作进行控制，

所述排气部包括：第一排气机构，使气体从所述第一区域向所述框体外排出；以及第二排气机构，使气体从所述第二区域向所述框体外排出，并且，在由所述检测部检测到的所述溶剂的浓度达到阈值以上的情况下，通过所述控制部使从所述第二区域向所述框体外的每单位时间的气体的排出量增加。

2.如权利要求1所述的干燥装置，其中，

所述干燥装置具有向所述内部空间供给气体的供气部，

所述供气部包括供气机构，所述供气机构向所述第二区域供给气体，并且，在由所述检测部检测到的所述溶剂的浓度达到阈值以上的情况下，通过所述控制部使向所述第二区域供给的每单位时间的气体的供给量增加。

3.如权利要求2所述的干燥装置，其中，

所述供气机构向所述第二区域供给加热后的气体，

所述干燥炉具有将所述加热后的气体向所述基材的所述第二面吹送的喷嘴。

4.如权利要求1～3中任一项所述的干燥装置，其中，

所述加热部对涂敷在所述基材的所述第一面上的所述涂敷液吹送加热后的气体。

5.如权利要求1～3中任一项所述的干燥装置，其中，

所述加热部是通过红外线的照射对涂敷在所述基材的所述第一面上的所述涂敷液进行加热的红外线加热器。

6.如权利要求1～3中任一项所述的干燥装置，其中，

所述干燥装置具有沿搬运路径搬运所述基材的搬运机构，

所述基材具有长条带状的形状，

所述框体从周围覆盖所述搬运路径的一部分区域。

7.如权利要求1～3中任一项所述的干燥装置，其中，

所述第二排气机构包括排气风门，所述排气风门通过增大开度，使从所述第二区域向所述框体外的每单位时间的气体的排出量增加。

8.如权利要求1～3中任一项所述的干燥装置，其中，

所述第二排气机构包括排气鼓风机，所述排气鼓风机通过增加风扇的旋转频率，使从所述第二区域向所述框体外的每单位时间的气体的排出量增加。

9.如权利要求2或3所述的干燥装置，其中，

所述供气部包括供气风门，所述供气风门通过增大开度，使向所述第二区域供给的每单位时间的气体的供给量增加。

10.如权利要求2或3所述的干燥装置，其中，

所述供气部包括供气鼓风机，所述供气鼓风机通过增加风扇的旋转频率，使向所述第二区域供给的每单位时间的气体的供给量增加。

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