CN214812275U - 一种自动涂胶显影装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种自动涂胶显影装置，包括底架，所述底架的顶部转动连接有主轴，主轴的下端连接有驱动装置，主轴上转动套接有轴套，轴套的下端连接有承载板，承载板与底架之间设有升降部件。本实用新型结构简单，将晶圆置于转盘，通过气管抽气，使转盘内部形成负压状态，从而吸盘将晶圆紧紧吸附在转盘上，在晶圆中心置入光阻胶，气缸伸长，保证转盘进入储胶罩中，此时电机通过齿轮传动，带动转盘转动，在离心力的作用下，光阻均匀涂抹在转盘，多余的的光阻则进入储胶罩，避免随处乱溅，随后气缸回缩，转盘相对储胶罩上升，直至伸出储胶罩，方便拿取晶圆。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种自动涂胶显影装置。
背景技术
在半导体制造过程中，一般的光刻工艺要经历晶圆表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，其中涂胶工序是光刻工艺中重要的工序之一，晶圆表面涂胶的均匀程度以及厚度直接影响光刻效果。涂胶工序是在一涂胶腔室内完成的，涂胶腔室内设置有用于承载晶圆的可旋转的静电吸盘，在静电吸盘的上方设置有光阻喷嘴，用于在晶圆表面涂覆光阻，在涂胶工序中，晶圆的边缘放置在涂胶腔室的排气通道内，排气通道连接一排气泵，排气通道和排气泵构成排气系统。在涂胶工序中，晶圆一般会置于腔室中，不方便晶圆的上下料。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种自动涂胶显影装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种自动涂胶显影装置，包括底架，所述底架的顶部转动连接有主轴，主轴的下端连接有驱动装置，主轴上转动套接有轴套，轴套的下端连接有承载板，承载板与底架之间设有升降部件，轴套上套接有储胶罩，主轴的上端连接有转盘，转盘和主轴均为中空结构，转盘下端转动连接有气管，气管位于主轴中，转盘的顶部均匀分布于与转盘连通的吸盘。
优选地，所述转盘的外圈等距连接有吸气头，吸气头与转盘内部连通。
优选地，所述驱动装置包括安装在底架上的电机，电机的输出端连接有主动锥齿轮，主动锥齿轮啮合有从动锥齿轮，从动锥齿轮与主轴连接。
优选地，所述升降部件包括安装在底架顶部的气缸，气缸的输出端与承载板连接，多个气缸等间距分布在承载板与底架之间。
优选地，所述储胶罩的底部外侧连通有出胶管，出胶管的端部螺纹连接有密封盖。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，将晶圆置于转盘，通过气管抽气，使转盘内部形成负压状态，从而吸盘将晶圆紧紧吸附在转盘上，在晶圆中心置入光阻胶，气缸伸长，保证转盘进入储胶罩中，此时电机通过齿轮传动，带动转盘转动，在离心力的作用下，光阻均匀涂抹在转盘，多余的的光阻则进入储胶罩，避免随处乱溅，随后气缸回缩，转盘相对储胶罩上升，直至伸出储胶罩，方便拿取晶圆。
附图说明
图1为本实用新型提出的结构示意图。
图中：底架1、气管2、电机3、从动锥齿轮4、气缸5、主轴6、承载板7、轴套8、储胶罩9、出胶管10、吸气头11、转盘12、吸盘13。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1，一种自动涂胶显影装置，包括底架1，底架1的顶部转动连接有主轴6，主轴6的下端连接有驱动装置，主轴6上转动套接有轴套8，轴套8的下端连接有承载板7，承载板7与底架1之间设有升降部件，轴套8上套接有储胶罩9，主轴6的上端连接有转盘12，转盘12和主轴6均为中空结构，转盘12下端转动连接有气管2，气管2位于主轴6中，转盘12的顶部均匀分布于与转盘12连通的吸盘13，气管2的另一端与外部气泵连接。
其中，转盘12的外圈等距连接有吸气头11，吸气头11与转盘12内部连通，该吸气头11吸收多余的光阻薄雾，避免其扩散，对匀胶产生影响。
驱动装置包括安装在底架1上的电机3，电机3的输出端连接有主动锥齿轮，主动锥齿轮啮合有从动锥齿轮4，从动锥齿轮4与主轴6连接，实现转盘12转动，利用其离心力，使光阻均匀涂抹在晶圆上。
升降部件包括安装在底架1顶部的气缸5，气缸5的输出端与承载板7连接，多个气缸5等间距分布在承载板7与底架1之间，实现储胶罩9下降，将转盘12伸出储胶罩9，方便拿取晶圆，储胶罩9的底部外侧连通有出胶管10，出胶管10的端部螺纹连接有密封盖，便于排出多余的光阻。
本案中，将晶圆置于转盘12，通过气管2抽气，使转盘12内部形成负压状态，从而吸盘13将晶圆紧紧吸附在转盘12上，在晶圆中心置入光阻胶，气缸5伸长，保证转盘12进入储胶罩9中，此时电机3通过齿轮传动，带动转盘12转动，在离心力的作用下，光阻均匀涂抹在转盘12，多余的的光阻则进入储胶罩9，避免随处乱溅，随后气缸5回缩，转盘12相对储胶罩9上升，直至伸出储胶罩9，方便拿取晶圆。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种自动涂胶显影装置，包括底架(1)，其特征在于，所述底架(1)的顶部转动连接有主轴(6)，主轴(6)的下端连接有驱动装置，主轴(6)上转动套接有轴套(8)，轴套(8)的下端连接有承载板(7)，承载板(7)与底架(1)之间设有升降部件，轴套(8)上套接有储胶罩(9)，主轴(6)的上端连接有转盘(12)，转盘(12)和主轴(6)均为中空结构，转盘(12)下端转动连接有气管(2)，气管(2)位于主轴(6)中，转盘(12)的顶部均匀分布于与转盘(12)连通的吸盘(13)。
2.根据权利要求1所述的一种自动涂胶显影装置，其特征在于，所述转盘(12)的外圈等距连接有吸气头(11)，吸气头(11)与转盘(12)内部连通。
3.根据权利要求2所述的一种自动涂胶显影装置，其特征在于，所述驱动装置包括安装在底架(1)上的电机(3)，电机(3)的输出端连接有主动锥齿轮，主动锥齿轮啮合有从动锥齿轮(4)，从动锥齿轮(4)与主轴(6)连接。
4.根据权利要求3所述的一种自动涂胶显影装置，其特征在于，所述升降部件包括安装在底架(1)顶部的气缸(5)，气缸(5)的输出端与承载板(7)连接，多个气缸(5)等间距分布在承载板(7)与底架(1)之间。
5.根据权利要求4所述的一种自动涂胶显影装置，其特征在于，所述储胶罩(9)的底部外侧连通有出胶管(10)，出胶管(10)的端部螺纹连接有密封盖。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023309929.2U CN214812275U (zh) | 2020-12-30 | 2020-12-30 | 一种自动涂胶显影装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202023309929.2U CN214812275U (zh) | 2020-12-30 | 2020-12-30 | 一种自动涂胶显影装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN214812275U true CN214812275U (zh) | 2021-11-23 |
Family
ID=78874815
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202023309929.2U Active CN214812275U (zh) | 2020-12-30 | 2020-12-30 | 一种自动涂胶显影装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN214812275U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114887831A (zh) * | 2022-05-12 | 2022-08-12 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 一种晶圆自动涂胶设备 |
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2020
- 2020-12-30 CN CN202023309929.2U patent/CN214812275U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114887831A (zh) * | 2022-05-12 | 2022-08-12 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 一种晶圆自动涂胶设备 |
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