CN220635100U - 一种加工晶圆涂胶用匀胶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种加工晶圆涂胶用匀胶机，包括底板，所述底板上表面的一侧转动连接有立柱，所述立柱的顶端固定连接有横板。该加工晶圆涂胶用匀胶机，通过立柱、齿盘、伺服电机和齿轮的设置，工作人员将一组晶圆固定在一组吸盘上后，启动伺服电机带动齿轮转动，通过齿轮与齿盘的啮合效果，使得齿盘受到作用力带动立柱转动，将横板转动到另一侧至涂胶处，此时启动涂胶机体对晶圆进行涂胶，在加工该组晶圆的同时，工作人员可将另一组晶圆固定在空档的吸盘上，上一组晶圆涂胶完成后，伺服电机再次启动，使横板水平转动将加工后的晶圆露出，此时另一组晶圆可继续进行加工，从而具有在加工一组的同时，能固定另外一组，大大增加工作效率。

Description

一种加工晶圆涂胶用匀胶机

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，特别涉及一种加工晶圆涂胶用匀胶机。

背景技术

半导体晶圆是的直径为四到十英寸的圆盘，在制造过程中可承载非本征半导体，晶圆的表面通常借助于匀胶机进行涂抹光刻胶，匀胶机能够利用离心力将光刻胶均匀地铺在晶圆的表面上，晶圆表面上光刻胶的厚度均匀性直接体现了匀胶效果的好坏，为了确保晶圆表面光刻胶的厚度均匀，通常是需要操作人员通过镊子夹持晶圆，并将晶圆放置于匀胶机吸盘的中心位置，即使得晶圆和吸盘的中心重合，再将光刻胶滴在晶圆的中心上，在离心力的作用下，光刻胶从中心向边缘处均匀的铺开，最后在材料表面得到厚度均匀的胶层，操作人员将晶圆放置于吸盘时，由于需要根据观察判定晶圆和吸盘的中心是否重合，故难以保证两者中心精准重合。

经检索，中国专利公开(公告)号201922126784.3公开了一种应用于晶圆的匀胶机，该专利通过驱动升降柱下降，进而带动限位件下降，可将光刻胶滴在晶圆基片圆心位置并进行匀胶，上述专利虽然具有固定在中心的作用，但是涂胶时效率较低，将晶圆固定在吸盘上后，由于匀胶机在进行涂胶的同时，会有空档期，如果需要大批量涂胶，就只能等待该组的晶圆涂胶后取出，再进行下一组固定，而该组晶圆在涂胶时，工作人员需要等待涂胶完成，在此期间等待的时候不能固定下一组晶圆，从而导致单次只能对一组晶圆进行加工和固定，并且目前的涂胶机不方便快速取出成品，加工完成后晶圆贴合在吸盘上，关闭吸盘后使用镊子时很容易夹伤晶圆片，因此设计一种加工晶圆涂胶用匀胶机很有必要。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种加工晶圆涂胶用匀胶机，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种加工晶圆涂胶用匀胶机，包括底板，所述底板上表面的一侧转动连接有立柱，所述立柱的顶端固定连接有横板，所述立柱外表面靠近底部的一侧固定连接有齿盘，所述底板上表面的一侧安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有齿轮；所述齿轮与齿盘呈啮合连接，所述横板上表面的一侧转动连接有导柱，所述导柱的数量为两个且对称排列，所述导柱的顶端固定连接有吸盘，所述横板上表面靠近伺服电机的一侧设置有控制器。

为了使得具有产生负压的作用，作为本实用新型一种加工晶圆涂胶用匀胶机，所述导柱的一端贯穿横板的上表面并延伸至横板的下表面，所述横板的下表面安装有负压泵，所述负压泵的输出端固定连接有转接头，所述转接头与导柱相导通。

为了使得具有传动的目的，作为本实用新型一种加工晶圆涂胶用匀胶机，所述导柱外表面靠近底端的一侧固定连接有传动轮，所述横板的下表面安装有第二电机。

为了使得具有转动的作用，作为本实用新型一种加工晶圆涂胶用匀胶机，所述第二电机的输出端固定连接有主动轮，所述主动轮与传动轮呈啮合连接。

为了使得具有回弹的效果，作为本实用新型一种加工晶圆涂胶用匀胶机，所述横板上表面靠近导柱的一侧固定连接有弹簧，所述弹簧的顶端固定连接有顶板，所述顶板为铁材料。

为了使得具有吸附的作用，作为本实用新型一种加工晶圆涂胶用匀胶机，所述横板上表面的一侧固定连接有伸缩限位柱，所述伸缩限位柱的顶端与顶板呈固定连接，所述横板上表面的一侧固定连接有电磁铁。

为了使得具有涂胶的效果，作为本实用新型一种加工晶圆涂胶用匀胶机，所述底板上表面的一侧固定连接有支撑板，所述支撑板的一侧设置有胶桶，所述支撑板的另一侧固定连接有涂胶机体。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1.本实用新型中，通过立柱、齿盘、伺服电机和齿轮的设置，使用过程中，工作人员将一组晶圆固定在一组吸盘上后，启动伺服电机带动齿轮转动，通过齿轮与齿盘的啮合效果，使得齿盘受到作用力带动立柱转动，将横板转动到另一侧至涂胶处，此时启动涂胶机对晶圆进行涂胶，在加工该组晶圆的同时，工作人员可将另一组晶圆固定在空档的吸盘上，当上一组晶圆涂胶完成后，伺服电机再次启动，使横板水平转动将加工后的晶圆露出，此时另一组晶圆可继续进行加工，从而具有在加工一组的同时，能固定另外一组，大大增加工作效率。

2.本实用新型中，通过弹簧、顶板、伸缩限位柱和电磁铁的设置，使用过程中，将电磁铁关闭后，再将晶圆放置在吸盘上固定，通过弹簧的弹性能始终顶动顶板，利用伸缩限位柱使顶板产生限位作用，使得弹簧顶动顶板与吸盘保持同一水平面，方便进行放置和固定晶圆，在该组晶圆涂胶完成后需要取出时，启动电磁铁通电后产生磁性，吸附铁质的顶板，使顶板向下压动伸缩限位柱，从而将晶圆边缘处裸露出，此时方便工作人员快速取出加工后的晶圆，具有方便取出的作用，需要固定下一组晶圆时，再次关闭电磁铁即可。

附图说明

图1为本实用新型实施例的正视结构示意图；

图2为本实用新型实施例的立柱结构示意图；

图3为本实用新型实施例的后视结构示意图；

图4为本实用新型实施例的横板结构示意图；

图5为本实用新型实施例的导柱结构示意图；

图6为本实用新型实施例的伸缩限位柱半剖结构示意图。

图中：1、底板；2、立柱；3、横板；4、齿盘；5、伺服电机；6、齿轮；7、导柱；8、吸盘；9、负压泵；10、传动轮；11、第二电机；12、主动轮；13、弹簧；14、顶板；15、伸缩限位柱；16、电磁铁；17、支撑板；18、涂胶机体。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

如图1-6所示，一种加工晶圆涂胶用匀胶机，包括底板1，底板1上表面的一侧转动连接有立柱2，立柱2的顶端固定连接有横板3，立柱2外表面靠近底部的一侧固定连接有齿盘4，底板1上表面的一侧安装有伺服电机5，伺服电机5的输出端固定连接有齿轮6；

在本实施例中，齿轮6与齿盘4呈啮合连接，横板3上表面的一侧转动连接有导柱7，导柱7的数量为两个且对称排列，导柱7的顶端固定连接有吸盘8，横板3上表面靠近伺服电机5的一侧设置有控制器。

具体使用时，工作人员将一组晶圆固定在一组吸盘8上后，启动伺服电机5带动齿轮6转动，通过齿轮6与齿盘4的啮合效果，使得齿盘4受到作用力带动立柱2转动，将横板3转动到另一侧至涂胶处，此时启动涂胶机体18对晶圆进行涂胶，在加工该组晶圆的同时，工作人员可将另一组晶圆固定在空档的吸盘8上，从而具有在加工一组的同时，能固定另外一组，大大增加工作效率。

在本实施例中，导柱7的一端贯穿横板3的上表面并延伸至横板3的下表面，横板3的下表面安装有负压泵9，负压泵9的输出端固定连接有转接头，转接头与导柱7相导通。

具体使用时，将晶圆放置在吸盘8上后，启动负压泵9能产生负压效果，使吸盘8将晶圆牢固吸附住，同时转接头具有转动且导通的效果，能使导柱7在横板3上转动。

在本实施例中，导柱7外表面靠近底端的一侧固定连接有传动轮10，横板3的下表面安装有第二电机11。

具体使用时，启动第二电机11后，能够带动主动轮12进行旋转，具有转动的目的。

在本实施例中，第二电机11的输出端固定连接有主动轮12，主动轮12与传动轮10呈啮合连接。

具体使用时，通过主动轮12与传动轮10的啮合效果，使得传动轮10受到作用力后能带动导柱7进行转动，从而使吸盘8产生旋转效果。

在本实施例中，横板3上表面靠近导柱7的一侧固定连接有弹簧13，弹簧13的顶端固定连接有顶板14，顶板14为铁材料。

具体使用时，通过弹簧13的弹性能始终顶动顶板14，利用伸缩限位柱15使顶板14产生限位作用，使得弹簧13顶动顶板14后与吸盘8保持将近同一水平面，便于对晶圆边缘处进行支撑，使放置晶圆时更加方便。

在本实施例中，横板3上表面的一侧固定连接有伸缩限位柱15，伸缩限位柱15的顶端与顶板14呈固定连接，横板3上表面的一侧固定连接有电磁铁16。

具体使用时，启动电磁铁16通电后产生磁性，吸附铁质的顶板14，使顶板14向下压动伸缩限位柱15，从而将晶圆边缘处裸露出，此时方便工作人员快速取出加工后的晶圆。

在本实施例中，底板1上表面的一侧固定连接有支撑板17，支撑板17的一侧设置有胶桶，支撑板17的另一侧固定连接有涂胶机体18。

具体使用时，通过支撑板17能够使涂胶机体18牢固的固定，具有支撑稳定的效果。

工作原理：在使用过程中，工作人员将一组晶圆放置在吸盘8上后，启动负压泵9能产生负压效果，使吸盘8将晶圆牢固吸附住，同时转接头具有转动且导通的效果，能使导柱7在横板3上转动同时导通负压气流，启动伺服电机5带动齿轮6转动，通过齿轮6与齿盘4的啮合效果，使得齿盘4受到作用力带动立柱2转动，将横板3转动到另一侧至涂胶处，启动第二电机11后，能够带动主动轮12进行旋转，通过主动轮12与传动轮10的啮合效果，使得传动轮10受到作用力后能带动导柱7进行转动，从而使吸盘8产生旋转效果，便于均匀涂胶，在加工该组晶圆的同时，工作人员可将另一组晶圆固定在空档的吸盘8上，当上一组晶圆涂胶完成后，伺服电机5再次启动，使横板3水平转动将加工后的晶圆露出，此时另一组晶圆可继续进行加工，从而具有在加工一组的同时，能固定另外一组，大大增加工作效率，在该组晶圆涂胶完成后需要取出时，启动电磁铁16通电后产生磁性，吸附铁质的顶板14，使顶板14向下压动伸缩限位柱15，从而将晶圆边缘处裸露出，此时方便工作人员快速取出加工后的晶圆，具有方便取出的作用，需要固定下一组晶圆时，再次关闭电磁铁16即可。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种加工晶圆涂胶用匀胶机，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上表面的一侧转动连接有立柱(2)，所述立柱(2)的顶端固定连接有横板(3)，所述立柱(2)外表面靠近底部的一侧固定连接有齿盘(4)，所述底板(1)上表面的一侧安装有伺服电机(5)，所述伺服电机(5)的输出端固定连接有齿轮(6)；所述齿轮(6)与齿盘(4)呈啮合连接，所述横板(3)上表面的一侧转动连接有导柱(7)，所述导柱(7)的数量为两个且对称排列，所述导柱(7)的顶端固定连接有吸盘(8)，所述横板(3)上表面靠近伺服电机(5)的一侧设置有控制器。

2.根据权利要求1所述的一种加工晶圆涂胶用匀胶机，其特征在于：所述导柱(7)的一端贯穿横板(3)的上表面并延伸至横板(3)的下表面，所述横板(3)的下表面安装有负压泵(9)，所述负压泵(9)的输出端固定连接有转接头，所述转接头与导柱(7)相导通。

3.根据权利要求1所述的一种加工晶圆涂胶用匀胶机，其特征在于：所述导柱(7)外表面靠近底端的一侧固定连接有传动轮(10)，所述横板(3)的下表面安装有第二电机(11)。

4.根据权利要求3所述的一种加工晶圆涂胶用匀胶机，其特征在于：所述第二电机(11)的输出端固定连接有主动轮(12)，所述主动轮(12)与传动轮(10)呈啮合连接。

5.根据权利要求1所述的一种加工晶圆涂胶用匀胶机，其特征在于：所述横板(3)上表面靠近导柱(7)的一侧固定连接有弹簧(13)，所述弹簧(13)的顶端固定连接有顶板(14)，所述顶板(14)为铁材料。

6.根据权利要求1所述的一种加工晶圆涂胶用匀胶机，其特征在于：所述横板(3)上表面的一侧固定连接有伸缩限位柱(15)，所述伸缩限位柱(15)的顶端与顶板(14)呈固定连接，所述横板(3)上表面的一侧固定连接有电磁铁(16)。

7.根据权利要求1所述的一种加工晶圆涂胶用匀胶机，其特征在于：所述底板(1)上表面的一侧固定连接有支撑板(17)，所述支撑板(17)的一侧设置有胶桶，所述支撑板(17)的另一侧固定连接有涂胶机体(18)。