CN220919783U - 一种带基片加热的匀胶机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种带基片加热的匀胶机，属于匀胶机技术领域，用于解决现有匀胶机需要人工上下料，操作繁琐，且基片表面胶液未及时干燥容易发生滴落或在基片表面流动，影响匀胶质量的问题；包括机体，所述机体的内部从左往右依次设置有第一载片台、滴胶匀胶区、热板加热区和第二载片台，所述滴胶匀胶区的内部从上往下依次设置有整平机构、滴胶机构和匀胶机构，所述匀胶机构包括第一升降气缸；通过设置的第一载片台、滴胶匀胶区、热板加热区、第二载片台和传输机械手，能够自动的对基片进行上下料工作，使得基片进行滴胶匀胶工作，无需停机操作，也无需工作人员手动上下料，操作简单方便，工作效率高。
Description
技术领域
本实用新型属于匀胶机技术领域，具体涉及一种带基片加热的匀胶机。
背景技术
匀胶机也称为旋转涂覆仪、旋转涂膜仪等，是用于涂覆各类胶液的设备诸如半导体产业和科研领域中常见的设备，匀胶机其能够快速、精准的在基片上形成涂覆层，因此被广泛用于OLED和QLED等发光器件的制备，相关技术中，匀胶机的工作原理是：将基片放置于匀胶机的一承载组件诸如托盘上，托盘采用真空吸片的方式吸住基片，托盘能够被匀胶机的一旋转轴驱动旋转以带动基片高速旋转，利用旋转轴旋转所产生的离心力使滴在基片上的胶涂覆在基片上。
然而匀胶机在涂胶过程中，需要人工将基片放入匀胶机内部或从匀胶机内部取出，操作较为繁琐，且在取放基片时，需要停机操作，无法持续进行涂胶工作，涂胶效率低下，同时现有的匀胶机内部一般不设置加热机构，基片匀胶完成后，胶液有时未完全干燥，导致胶料滴落或流动影响涂胶质量，为此我们提出一种带基片加热的匀胶机。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种带基片加热的匀胶机，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种带基片加热的匀胶机，包括机体，所述机体的内部从左往右依次设置有第一载片台、滴胶匀胶区、热板加热区和第二载片台，所述滴胶匀胶区的内部从上往下依次设置有整平机构、滴胶机构和匀胶机构，所述匀胶机构包括第一升降气缸，且第一升降气缸设置在机体的内底部，所述第一升降气缸的上端通过电机座设置有旋转电机，所述旋转电机的动力输出端通过联轴器传动连接有电机轴，且电机轴的上端设置有吸盘，所述吸盘的下端内部通过转动环活动连接有真空管，且真空管的右端设置有真空泵，所述热板加热区的内部设置有加热机构。
优选的，所述整平机构包括安装块，且安装块前后对称设置有两个，两个所述安装块的内部均通过电动伸缩杆活动连接有托板和弧形整平板，且弧形整平板设置在托板的上方。
优选的，所述滴胶机构包括伺服电机，且伺服电机设置在机体的内部，所述伺服电机的动力输出端通过联轴器传动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的圆周表面螺纹连接有移动板，所述移动板前端的底部设置有滴胶头，所述滴胶头通过滴胶管连接有滴胶泵，且滴胶泵设置在机体的左端内部。
优选的，所述加热机构包括第二升降气缸，且第二升降气缸设置在机体的内部并位于热板加热区处，所述第二升降气缸的上端设置有升降板，所述升降板的上表面设置有支撑杆，所述机体的上表面设置有加热板，且加热板位于热板加热区，所述支撑杆的上端贯穿加热板并延伸至加热板的上方。
优选的，所述第一载片台、滴胶匀胶区、热板加热区和第二载片台均前后阵列设置有两组，所述第一载片台和滴胶匀胶区之间、滴胶匀胶区和热板加热区之间、热板加热区和第二载片台之间均设置有传输机械手。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
(1)、该带基片加热的匀胶机，通过设置的第一载片台、滴胶匀胶区、热板加热区、第二载片台和传输机械手，能够自动的对基片进行上下料工作，使得基片进行滴胶匀胶工作，无需停机操作，也无需工作人员手动上下料，操作简单方便，工作效率高。
(2)、该带基片加热的匀胶机，通过设置的加热机构，能够对滴胶匀胶完成的基片进行加热，使得基片表面胶液快速干燥，避免胶液未及时干燥发生滴落或在基片表面流动，影响基片的匀胶质量。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构示意图；
图2为本实用新型的正剖立体图；
图3为本实用新型的俯剖立体图。
图中：1、机体；2、第一载片台；3、滴胶匀胶区；4、热板加热区；5、第二载片台；6、整平机构；601、安装块；602、托板；603、弧形整平板；7、滴胶机构；701、伺服电机；702、螺纹杆；703、移动板；704、滴胶头；8、匀胶机构；801、第一升降气缸；802、电机座；803、旋转电机；804、吸盘；805、真空管；806、真空泵；9、加热机构；901、第二升降气缸；902、升降板；903、支撑杆；904、加热板；10、传输机械手；11、滴胶泵。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1－图3，本实用新型提供一种带基片加热的匀胶机，包括机体1，机体1的内部从左往右依次设置有第一载片台2、滴胶匀胶区3、热板加热区4和第二载片台5，第一载片台2、滴胶匀胶区3、热板加热区4和第二载片台5均前后阵列设置有两组，第一载片台2和滴胶匀胶区3之间、滴胶匀胶区3和热板加热区4之间、热板加热区4和第二载片台5之间均设置有传输机械手10，机体1内部两条生产线的设置，能够同时对两个基片进行滴胶匀胶工作，提高了基片的涂胶效率，传输机械手10的设置，通过传输机械手10能够自动将基片一步步向右移送，使得基片依次进行滴胶、匀胶和加热的工作。
本实施例中，优选的，滴胶匀胶区3的内部从上往下依次设置有整平机构6、滴胶机构7和匀胶机构8，整平机构6包括安装块601，且安装块601前后对称设置有两个，两个安装块601的内部均通过电动伸缩杆活动连接有托板602和弧形整平板603，且弧形整平板603设置在托板602的上方，托板602的设置，在最左端的传输机械手10将第一载片台2上待滴胶的基片传输至滴胶匀胶区3正上方时，托板602能够对基片托举支撑，接着电动伸缩杆带动弧形整平板603靠近基片，对基片进行整平，使其中心对准下方的匀胶机构8，便于后续的滴胶匀胶工作，滴胶机构7包括伺服电机701，且伺服电机701设置在机体1的内部，伺服电机701的动力输出端通过联轴器传动连接有螺纹杆702，螺纹杆702的圆周表面螺纹连接有移动板703，移动板703前端的底部设置有滴胶头704，滴胶头704通过滴胶管连接有滴胶泵11，且滴胶泵11设置在机体1的左端内部，在基片移动至滴胶头704的下方后，启动伺服电机701，伺服电机701带动螺纹杆702转动，使得移动板703带动滴胶头704向右移动至基片的正上方，接着滴胶泵11工作，在滴胶头704处将胶液滴在基片表面，完成滴胶工作，匀胶机构8包括第一升降气缸801，且第一升降气缸801设置在机体1的内底部，第一升降气缸801的上端通过电机座802设置有旋转电机803，旋转电机803的动力输出端通过联轴器传动连接有电机轴，且电机轴的上端设置有吸盘804，吸盘804的下端内部通过转动环活动连接有真空管805，且真空管805的右端设置有真空泵806，在基片整平完成后，第一升降气缸801工作带动电机座802、旋转电机803和吸盘804向上移动，使得吸盘804与基片接触，然后启动真空泵806，使得吸盘804吸附基片，接着托板602移入安装块601内部，使得托板602失去对基片的托举效果，此时再启动第一升降气缸801，第一升降气缸801带动吸盘804和基片向下移入机体1的内部，然后在滴胶机构7滴胶完成后，启动旋转电机803，旋转电机803带动吸盘804和基片进行转动，使得基片表面的胶液在离心作用下均匀分布在基片的表面，完成匀胶工作。
本实施例中，优选的，热板加热区4的内部设置有加热机构9，加热机构9包括第二升降气缸901，且第二升降气缸901设置在机体1的内部并位于热板加热区4处，第二升降气缸901的上端设置有升降板902，升降板902的上表面设置有支撑杆903，机体1的上表面设置有加热板904，且加热板904位于热板加热区4，支撑杆903的上端贯穿加热板904并延伸至加热板904的上方，在传输机械手10将匀胶完成的基片传输至支撑杆903的上方，并使得支撑杆903对基片进行托举时，启动第二升降气缸901，第二升降气缸901带动升降板902和支撑杆903向下移动，使得基片向下移动并与加热板904表面接触，继而加热板904对基片进行加热，使得基片表面的胶液快速干燥，避免胶液未及时干燥发生滴落或流动影响匀胶质量。
本实用新型的工作原理及使用流程：在对基片进行滴胶匀胶工作时，首先将等待滴胶的基片堆叠在第一载片台2上，接着使得机体1内部工作，最左端传输机械手10将第一载片台2上的一张基片传输至滴胶匀胶区3的上方，接着通过整平机构6、滴胶机构7和匀胶机构8依次对基片进行工作或，使得基片表面均匀涂抹胶液，然后第一升降气缸801再带动基片向上移动至机体1上方，接着通过中间的传输机械手10将匀胶完成的基片传输至热板加热区4，接着通过加热机构9对基片进行加热工作，使得基片表面的胶液快速干燥，然后再通过右端的传输机械手10将干燥完成的基片传输至第二载片台5处，完成一张基片的滴胶、匀胶和加热工作。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (4)
1.一种带基片加热的匀胶机，包括机体(1)，其特征在于：所述机体(1)的内部从左往右依次设置有第一载片台(2)、滴胶匀胶区(3)、热板加热区(4)和第二载片台(5)，所述滴胶匀胶区(3)的内部从上往下依次设置有整平机构(6)、滴胶机构(7)和匀胶机构(8)，所述匀胶机构(8)包括第一升降气缸(801)，且第一升降气缸(801)设置在机体(1)的内底部，所述第一升降气缸(801)的上端通过电机座(802)设置有旋转电机(803)，所述旋转电机(803)的动力输出端通过联轴器传动连接有电机轴，且电机轴的上端设置有吸盘(804)，所述吸盘(804)的下端内部通过转动环活动连接有真空管(805)，且真空管(805)的右端设置有真空泵(806)，所述热板加热区(4)的内部设置有加热机构(9)，所述加热机构(9)包括第二升降气缸(901)，且第二升降气缸(901)设置在机体(1)的内部并位于热板加热区(4)处，所述第二升降气缸(901)的上端设置有升降板(902)，所述升降板(902)的上表面设置有支撑杆(903)，所述机体(1)的上表面设置有加热板(904)，且加热板(904)位于热板加热区(4)，所述支撑杆(903)的上端贯穿加热板(904)并延伸至加热板(904)的上方。
2.根据权利要求1所述的一种带基片加热的匀胶机，其特征在于：所述整平机构(6)包括安装块(601)，且安装块(601)前后对称设置有两个，两个所述安装块(601)的内部均通过电动伸缩杆活动连接有托板(602)和弧形整平板(603)，且弧形整平板(603)设置在托板(602)的上方。
3.根据权利要求1所述的一种带基片加热的匀胶机，其特征在于：所述滴胶机构(7)包括伺服电机(701)，且伺服电机(701)设置在机体(1)的内部，所述伺服电机(701)的动力输出端通过联轴器传动连接有螺纹杆(702)，所述螺纹杆(702)的圆周表面螺纹连接有移动板(703)，所述移动板(703)前端的底部设置有滴胶头(704)，所述滴胶头(704)通过滴胶管连接有滴胶泵(11)，且滴胶泵(11)设置在机体(1)的左端内部。
4.根据权利要求1所述的一种带基片加热的匀胶机，其特征在于：所述第一载片台(2)、滴胶匀胶区(3)、热板加热区(4)和第二载片台(5)均前后阵列设置有两组，所述第一载片台(2)和滴胶匀胶区(3)之间、滴胶匀胶区(3)和热板加热区(4)之间、热板加热区(4)和第二载片台(5)之间均设置有传输机械手(10)。
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| CN202322521010.7U CN220919783U (zh) | 2023-09-18 | 2023-09-18 | 一种带基片加热的匀胶机 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN118311832A (zh) * | 2024-06-11 | 2024-07-09 | 香港科技大学(广州) | 一种科研用全自动涂胶烘烤设备 |
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2023
- 2023-09-18 CN CN202322521010.7U patent/CN220919783U/zh active Active
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