CN217369059U - 一种轨道式匀胶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种轨道式匀胶机，涉及基片旋柱涂胶技术领域，包括箱体，箱体的顶部对称安装有伸缩块，箱体的顶部对称开设有匀胶槽，且位于匀胶槽的顶部通过螺栓对称固定有盒体；本实用新型先通过伸缩块上安装的放料架和重力传感器，使得第二电动推杆推动整个放料架中的基片组在箱体的顶部上下运动，使得壳体上的转臂能够稳定地将隔板间的基片传送到伸缩支撑板上，通过盒体内的两个伸缩限位板对基片的夹紧和限位，使得基片能够准确的落到转盘的中心位置处，使得后期旋转基片上的光刻胶涂抹得更加均匀，基片也不会因为旋转的离心力从吸盘上脱落。

Description

一种轨道式匀胶机

技术领域

本实用新型涉及基片旋柱涂胶技术领域，具体为一种轨道式匀胶机。

背景技术

匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。

传统的匀胶机上料时，部分采用手工上料，上料时部分基片由于没有限位固定，导致真空泵吸取基片转动时，滴在基片上的光刻胶涂抹不均匀，同时也容易导致高速旋转的基片从吸盘上脱落，造成基片的损坏，同时部分采用自动化上料的匀胶机上下基片速率较低，加工完成的基片还需要另外采用加热装置加热，使得整个晶片涂抹光刻胶的速率大大降低。

为此，我们提出一种轨道式匀胶机。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种轨道式匀胶机，解决基片上下料、匀胶机整体加工速率低、匀胶机功能不完善和基片位置放置不固定容易脱盘的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种轨道式匀胶机，包括箱体，所述箱体的顶部对称安装有伸缩块，所述箱体的顶部对称开设有匀胶槽，且位于匀胶槽的顶部通过螺栓对称固定有盒体；

所述匀胶槽的底部通过螺栓固定有第一电动推杆，且位于第一电动推杆的一端通过点焊固定有电机，所述电机的输出端通过点焊固定有转盘，且位于转盘的顶部安装有吸盘；

所述匀胶槽的一侧内壁开设有滑槽，且位于滑槽的两侧通过轴承活动连接有螺纹杆，所述螺纹杆的外壁套设有滴胶装置，所述螺纹杆的外壁通过点焊固定有限位块，所述匀胶槽的底部对称开设有出胶口。

进一步的，所述伸缩块的顶部安装有放料架，且位于放料架的两侧内壁对称均匀安装有隔板，所述伸缩块的底部通过螺栓固定有重力传感器，且位于重力传感器的底部且位于箱体的顶部通过螺栓固定有第二电动推杆，所述第二电动推杆的一端通过点焊与重力传感器的底部相固定。

进一步的，所述箱体的顶部均匀对称安装有转向抬料机构，所述转向抬料机构包括壳体、第一转轴、第一齿套、第一齿轮、第二齿轮、第二转轴、转臂和第二齿套，所述壳体的底部内壁通过轴承活动连接有第一转轴，且位于第一转轴的外壁套设有第一齿套，所述壳体的底部内壁通过轴承活动连接有第一齿轮和第二齿轮，所述第一齿轮与第一齿套啮合连接，所述盒体的底部内壁通过轴承活动连接有第二转轴，且位于第二转轴的一端贯穿壳体的一侧并通过点焊固定有转臂，所述第二转轴的外壁套设有第二齿套，且位于第二齿套的一侧与第二齿轮啮合连接。

进一步的，所述箱体的顶部对称安装有加热盘，且位于加热盘的顶部安装有伸缩柱，所述伸缩柱的数量为3根。

进一步的，所述盒体的一侧安装有伸缩支撑板，且位于伸缩支撑板的顶部安装有伸缩限位板，所述箱体顶部安装的转向抬料机构数量为3组。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过伸缩块上安装的放料架和重力传感器，使得第二电动推杆推动整个放料架中的基片组在箱体的顶部上下运动，使得壳体上的转臂能够稳定地将隔板间的基片传送到伸缩支撑板上，通过盒体内的两个伸缩限位板对基片的夹紧和限位，使得基片能够准确的落到转盘的中心位置处，使得后期旋转基片上的光刻胶涂抹得更加均匀，基片也不会因为旋转的离心力从吸盘上脱落；

2、本实用新型中，通过将基片放置到轨道式的匀胶机上，涂抹光刻胶完毕的基片被转向抬料机构送到加热盘上加热，完成的加热后的基片又被送到放料架上储存，整套流程使得整个涂有光刻胶的晶片生产速率大大提高。

附图说明

图1为本实用新型的轨道式匀胶机整体结构示意图；

图2为本实用新型的放料架与第二电动推杆连接结构示意图；

图3为本实用新型的匀胶槽与盒体连接剖面结构示意图；

图4为本实用新型的A处结构放大示意图；

图5为本实用新型的转向抬料机构内部结构连接示意图。

图中：1、箱体；2、伸缩块；3、转向抬料机构；301、壳体；302、第一转轴；303、第一齿套；304、第一齿轮；305、第二齿轮；306、第二转轴；307、转臂；308、第二齿套；4、加热盘；5、伸缩柱；6、匀胶槽；7、盒体；8、伸缩支撑板；9、伸缩限位板；10、滑槽；11、螺纹杆；12、滴胶装置；13、限位块；14、第一电动推杆；15、电机；16、转盘；17、吸盘；18、出胶口；19、放料架；20、隔板；21、重力传感器；22、第二电动推杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：

实施例1：

如图1所示，整个轨道式匀胶机采用两条生产线同时进行的工作模式对基片涂抹光刻胶，工作效率提高一倍，同时整个匀胶机的自动化程度较高，只需将原料基片放到放料架19和将完成作业的基片从另一侧的放料架19上取出即可，操作简单快捷；

具体操作时，将装满原料基片的放料架19搬到箱体1的伸缩块2上，此时如图2所示，整个伸缩块2底部的重力传感器21开始对整个放料架19上的基片称重，同时将采集的信息反馈到控制模块，当放料架19上的一块基片被取走后，重力传感器21采集到的信息又一次反馈到控制模块中，此时控制模块调控第二电动推杆22伸长，伸长的高度正好是放料架19内两块基片之间的高度，当箱体1上的转向抬料机构3再次拿取基片时，就会将放料架19顶部数第二块基片移走，同时位于箱体1另一侧伸缩块2上的放料架19收到第一块加工完成的基片时，整个控制模块同样控制第二电动推杆22收缩一段距离，第二块涂抹完成的基片就会进入到放料架19从底部数第二个隔板20上储存；

箱体1两端的伸缩板，装有原料基片的放料架19不断上升，装有完成加工基片的放料架19不断下降，直到原料基片全部加工完成。

实施例2：

整个装置在对基片滴胶旋转时，如图3所示，整个装置上安装有3组转向抬料机构3，通过转向抬料机构3的运输搬运，大大提高了基片涂胶的效率；

具体操作时，位于箱体1内的动力机构连接着壳体301的底部，整个动力机构带动整个壳体301在箱体1上旋转时，动力机构同时还连接着壳体301内的第一转轴302，第一转轴302上套设有第一齿套303，第一齿套303的旋转带动第一齿轮304和第二齿轮305转动，第二齿轮305啮合连接有第二齿套308，第二齿套308上安装有第二转轴306，第二转轴306的一端连接有转臂307，通过第一齿轮304和第二齿轮305之间的转向连接，当整个壳体301顺时针转动时，壳体301上的转臂307在第二转轴306的带动下开始逆时针转动，壳体301和壳体301上转臂307同时展开，将放料架19上的基片取出，再将取出的基片放入到盒体7上的伸缩支撑板8上，整个盒体7上安装有伸缩支撑板8和伸缩限位板9，伸缩限位板9的形状为两个半圆形圆环组成，当两个伸缩支撑板8对基片支撑后，此时的伸缩限位板9开始伸长，将位于限位支撑板上的基片夹紧固定，此时位于匀胶槽6底部的第一电动推杆14伸长，第一电动推杆14上安装有电机15，电机15的输出端上安装有转盘16，伸长的转盘16与伸缩限位板9上的基片接触后，转盘16上的吸盘17将基片吸住，此时伸缩限位板9收缩停止对基片的夹紧固定；

第一电动推杆14收缩将转盘16上的基片带到匀胶槽6内开设涂胶处理，如图3所示，转盘16上安装有吸盘17，通过转盘16的固定，这样电机15带动转盘16转动时，位于螺纹杆11上的滴胶装置12相基片上的滴胶时，利用旋转的离心力将胶均匀地涂抹在基片的表面，位于螺纹杆11的一端安装有动力机构，通过动力机构的定时旋转，将位于滑槽10中的滴胶装置12带到转盘16的正上方，为了防止滴胶装置12运动存在误差，螺纹杆11上安装有限位块13，避免了滴胶装置12运动过远导致光刻胶滴在转盘16上得别的位置；

位于匀胶槽6的底部开设有出胶口18，当转盘16上的基片飞速转动时，滴落到基片上的胶水将会被甩到匀胶槽6的侧壁上，胶水通过重力的作用渐渐来到匀胶槽6的底部，并从出胶口18进入到提前准备的胶水收集装置中，避免了胶水的浪费；

涂完胶水的基片再次被转向抬料机构3送到加热盘4上，加热盘4上安装有伸缩柱5，通过伸缩柱5的上下运动将涂完胶水的基片送到加热盘4上加热处理，等加热盘4加热完成后，转向抬料机构3再将基片运送到放料架19中集中储存。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种轨道式匀胶机，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)的顶部对称安装有伸缩块(2)，所述箱体(1)的顶部对称开设有匀胶槽(6)，且位于匀胶槽(6)的顶部通过螺栓对称固定有盒体(7)；

所述匀胶槽(6)的底部通过螺栓固定有第一电动推杆(14)，且位于第一电动推杆(14)的一端通过点焊固定有电机(15)，所述电机(15)的输出端通过点焊固定有转盘(16)，且位于转盘(16)的顶部安装有吸盘(17)；

所述匀胶槽(6)的一侧内壁开设有滑槽(10)，且位于滑槽(10)的两侧通过轴承活动连接有螺纹杆(11)，所述螺纹杆(11)的外壁套设有滴胶装置(12)，所述螺纹杆(11)的外壁通过点焊固定有限位块(13)，所述匀胶槽(6)的底部对称开设有出胶口(18)。

2.根据权利要求1所述的一种轨道式匀胶机，其特征在于：所述伸缩块(2)的顶部安装有放料架(19)，且位于放料架(19)的两侧内壁对称均匀安装有隔板(20)，所述伸缩块(2)的底部通过螺栓固定有重力传感器(21)，且位于重力传感器(21)的底部且位于箱体(1)的顶部通过螺栓固定有第二电动推杆(22)，所述第二电动推杆(22)的一端通过点焊与重力传感器(21)的底部相固定。

3.根据权利要求1所述的一种轨道式匀胶机，其特征在于：所述箱体(1)的顶部均匀对称安装有转向抬料机构(3)，所述转向抬料机构(3)包括壳体(301)、第一转轴(302)、第一齿套(303)、第一齿轮(304)、第二齿轮(305)、第二转轴(306)、转臂(307)和第二齿套(308)，所述壳体(301)的底部内壁通过轴承活动连接有第一转轴(302)，且位于第一转轴(302)的外壁套设有第一齿套(303)，所述壳体(301)的底部内壁通过轴承活动连接有第一齿轮(304)和第二齿轮(305)，所述第一齿轮(304)与第一齿套(303)啮合连接，所述盒体(7)的底部内壁通过轴承活动连接有第二转轴(306)，且位于第二转轴(306)的一端贯穿壳体(301)的一侧并通过点焊固定有转臂(307)，所述第二转轴(306)的外壁套设有第二齿套(308)，且位于第二齿套(308)的一侧与第二齿轮(305)啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种轨道式匀胶机，其特征在于：所述箱体(1)的顶部对称安装有加热盘(4)，且位于加热盘(4)的顶部安装有伸缩柱(5)，所述伸缩柱(5)的数量为3根。

5.根据权利要求1所述的一种轨道式匀胶机，其特征在于：所述盒体(7)的一侧安装有伸缩支撑板(8)，且位于伸缩支撑板(8)的顶部安装有伸缩限位板(9)，所述箱体(1)顶部安装的转向抬料机构(3)数量为3组。

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