CN212791652U - 一种大面积均匀涂覆匀胶机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种大面积均匀涂覆匀胶机，包括工作台，所述工作台的顶部固定连接有旋转板，所述旋转板的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板顶部的四周均固定连接有夹持装置，所述支撑板的顶部固定连接有固定吸盘，所述夹持装置包括固定块和活动杆，本实用新型涉及匀胶设备技术领域。该大面积均匀涂覆匀胶机,通过夹持装置的设置，使得匀胶机在进行使用时，可以通过夹持装置对基片进行有效加持，同时通过固定块配合活动杆移动夹持块，可以实现匀胶机对不同大小的基片进行有效固定夹持，提高了匀胶机的实用性与适用性，避免了匀胶机不使用真空泵又缺乏有效的固定夹持装置对基片进行有效固定夹持的问题。

Description

一种大面积均匀涂覆匀胶机

技术领域

本实用新型涉及匀胶设备技术领域，具体是一种大面积均匀涂覆匀胶机。

背景技术

匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度，该设备主要用于晶片涂光刻胶，有自动、手动和半自动三种工作方式。

现有的匀胶机在进行使用时，需要通过真空泵对需要匀胶的基片进行有效固定吸附，保持匀胶的基片的固定性，但现有的真空泵内存在任何的油污都可能堵塞真空管道，真空吸附力会降低，导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况，但匀胶机不使用真空泵又缺乏有效的固定夹持装置对基片进行有效固定夹持。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种大面积均匀涂覆匀胶机，解决了现有的匀胶机在不使用真空泵的状态下，缺乏有效的固定夹持装置对基片进行有效固定夹持的问题。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种大面积均匀涂覆匀胶机，包括工作台，所述工作台的顶部固定连接有固定框架，所述固定框架的底部滑动连接有滴胶装置，所述工作台内腔的底部固定连接有一号电机，所述一号电机的输出端通过联轴器固定连接有一号旋转轴，所述工作台的顶部固定连接有旋转板，所述一号旋转轴的顶端贯穿工作台并延伸至工作台的外部，所述一号旋转轴的顶端与旋转板的底部固定连接，所述旋转板的顶部固定连接有支撑板，所述支撑板的底部固定连接有机械箱，所述支撑板顶部的四周均固定连接有夹持装置，所述支撑板的顶部固定连接有固定吸盘，所述夹持装置包括固定块和活动杆，所述活动杆相对的一侧均固定连接有夹持块，所述固定块的内腔转动连接有螺纹滑动杆，所述活动杆的内腔固定连接有固定螺母，所述螺纹滑动杆的外表面固定连接有一号从动轮，所述一号从动轮的外表面传动连接有动力传送带，两个所述固定块相对的一侧均与两个活动杆互相远离的一侧滑动连接，所述固定螺母的内表面与螺纹滑动杆的外表面螺纹连接，所述动力传送带的底部依次贯穿固定块、支撑板和机械箱并延伸至机械箱的内部，所述机械箱的内腔固定连接有驱动装置。

优选的，所述驱动装置包括二号电机，所述二号电机的输出端通过减速器固定连接有二号旋转轴，所述二号旋转轴的外表面固定连接有横向齿轮。

优选的，所述机械箱内腔顶部的四周均转动连接有传动轴，两个所述传动轴相对的一端均固定连接有纵向齿轮。

优选的，所述传动轴的外表面固定连接有二号从动轮，所述纵向齿轮的底部与横向齿轮的顶部相啮合。

优选的，所述二号从动轮的外表面与动力传送带的内表面传动连接，所述夹持块的顶部滑动连接有顶部夹持板。

优选的，所述顶部夹持板的底部且位于夹持块的内腔固定连接有限位杆，所述限位杆的外表面套摄有伸缩弹簧。

有益效果

本实用新型提供了一种大面积均匀涂覆匀胶机。与现有技术相比具备以下有益效果：

(1)、该大面积均匀涂覆匀胶机，通过在工作台的顶部固定连接有旋转板，旋转板的顶部固定连接有支撑板，支撑板顶部的四周均固定连接有夹持装置，支撑板的顶部固定连接有固定吸盘，夹持装置包括固定块和活动杆，活动杆相对的一侧均固定连接有夹持块，固定块的内腔转动连接有螺纹滑动杆，活动杆的内腔固定连接有固定螺母，螺纹滑动杆的外表面固定连接有一号从动轮，一号从动轮的外表面传动连接有动力传送带，通过夹持装置的设置，使得匀胶机在进行使用时，可以通过夹持装置对基片进行有效加持，同时通过固定块配合活动杆移动夹持块，可以实现匀胶机对不同大小的基片进行有效固定夹持，提高了匀胶机的实用性，避免了匀胶机不使用真空泵又缺乏有效的固定夹持装置对基片进行有效固定夹持的问题。

(2)、该大面积均匀涂覆匀胶机，通过在支撑板的顶部固定连接有固定吸盘，夹持块的顶部滑动连接有顶部夹持板，顶部夹持板的底部且位于夹持块的内腔固定连接有限位杆，限位杆的外表面套摄有伸缩弹簧，通过固定吸盘和顶部夹持板的设置，使得匀胶机在进行使用时，可以通过固定吸盘配合顶部夹持板分别对基片的四周顶部与底部进行固定夹持，提高了匀胶机对基片的有效固定，提高了匀胶机的夹持固定性。

附图说明

图1是本实用新型的外部结构主视图；

图2是本实用新型的夹持装置内部结构主视图；

图3是本实用新型的机械箱内部结构主视图；

图4是本实用新型的机械箱内部局部结构俯视图。

图中1、工作台；2、固定框架；3、滴胶装置；4、一号电机；5、一号旋转轴；6、旋转板；7、支撑板；8、机械箱；9、夹持装置；10、固定吸盘；11、固定块；12、活动杆；13、夹持块；14、螺纹滑动杆；15、固定螺母；16、一号从动轮；17、动力传送带；18、驱动装置；19、二号电机；20、二号旋转轴；21、横向齿轮；22、传动轴；23、纵向齿轮；24、二号从动轮；25、顶部夹持板；26、限位杆；27、伸缩弹簧。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种大面积均匀涂覆匀胶机，包括工作台1，工作台1的顶部固定连接有固定框架2，固定框架2的底部滑动连接有滴胶装置3，工作台1内腔的底部固定连接有一号电机4，一号电机4与外部电源电性连接，一号电机4受外部PLC编程程序控制，一号电机4的输出端通过联轴器固定连接有一号旋转轴5，工作台1的顶部固定连接有旋转板6，一号旋转轴5的顶端贯穿工作台1并延伸至工作台1的外部，一号旋转轴5的顶端与旋转板6的底部固定连接，旋转板6的顶部固定连接有支撑板7，支撑板7的底部固定连接有机械箱8，支撑板7顶部的四周均固定连接有夹持装置9，支撑板7的顶部固定连接有固定吸盘10，夹持装置9包括固定块11和活动杆12，固定块11为为螺纹滑动杆14提供了转动空间，活动杆12相对的一侧均固定连接有夹持块13，固定块11的内腔转动连接有螺纹滑动杆14，活动杆12的内腔固定连接有固定螺母15，螺纹滑动杆14的外表面固定连接有一号从动轮16，一号从动轮16的外表面传动连接有动力传送带17，两个固定块11相对的一侧均与两个活动杆12互相远离的一侧滑动连接，固定螺母15的内表面与螺纹滑动杆14的外表面螺纹连接，动力传送带17的底部依次贯穿固定块11、支撑板7和机械箱8并延伸至机械箱8的内部，机械箱8的内腔固定连接有驱动装置18，驱动装置18包括二号电机19，二号电机19与外部电源电性连接，二号电机19受外部PLC编程程序控制，二号电机19的输出端通过减速器固定连接有二号旋转轴20，二号旋转轴20的外表面固定连接有横向齿轮21，机械箱8内腔顶部的四周均转动连接有传动轴22，两个传动轴22相对的一端均固定连接有纵向齿轮23，传动轴22的外表面固定连接有二号从动轮24，纵向齿轮23的底部与横向齿轮21的顶部相啮合，二号从动轮24的外表面与动力传送带17的内表面传动连接，夹持块13的顶部滑动连接有顶部夹持板25，顶部夹持板25的底部且位于夹持块13的内腔固定连接有限位杆26，限位杆26的外表面套摄有伸缩弹簧27。

同时本说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术。

工作时，首先使用人员将加工硅片放置到支撑板7顶部，固定吸盘10对硅片底部进行固定吸持，使用人员再通过拉动顶部夹持板25，伸缩弹簧27受力收缩，同时控制面板启动二号电机19，二号电机19启动带动二号旋转轴20进行旋转，二号旋转轴20通过横向齿轮21配合纵向齿轮23旋转带动四组传动轴22进行旋转，传动轴22旋转带动二号从动轮24进行旋转，二号从动轮24通过动力传送带17配合一号从动轮16旋转带动螺纹滑动杆14进行旋转，螺纹滑动杆14旋转会带动固定螺母15和活动杆12进行位移位置调试，活动杆12位移带动夹持块13进行位移位置，夹持块13对硅片四周进行固定夹持，使用人员再通过松开顶部夹持板25，伸缩弹簧27解除受力并进行伸展，带动顶部夹持板25对硅片四周顶部进行夹持，使用人员接着通过控制面板启动一号电机4，一号电机4启动带动一号旋转轴5进行旋转，一号旋转轴5旋转带动旋转板6与支撑板7进行旋转，使用人员便可通过滴胶装置3对支撑板7上的硅片进行滴胶。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种大面积均匀涂覆匀胶机，包括工作台(1)，所述工作台(1)的顶部固定连接有固定框架(2)，所述固定框架(2)的底部滑动连接有滴胶装置(3)，其特征在于：所述工作台(1)内腔的底部固定连接有一号电机(4)，所述一号电机(4)的输出端通过联轴器固定连接有一号旋转轴(5)，所述工作台(1)的顶部固定连接有旋转板(6)，所述一号旋转轴(5)的顶端贯穿工作台(1)并延伸至工作台(1)的外部，所述一号旋转轴(5)的顶端与旋转板(6)的底部固定连接，所述旋转板(6)的顶部固定连接有支撑板(7)，所述支撑板(7)的底部固定连接有机械箱(8)，所述支撑板(7)顶部的四周均固定连接有夹持装置(9)，所述支撑板(7)的顶部固定连接有固定吸盘(10)，所述夹持装置(9)包括固定块(11)和活动杆(12)，所述活动杆(12)相对的一侧均固定连接有夹持块(13)，所述固定块(11)的内腔转动连接有螺纹滑动杆(14)，所述活动杆(12)的内腔固定连接有固定螺母(15)，所述螺纹滑动杆(14)的外表面固定连接有一号从动轮(16)，所述一号从动轮(16)的外表面传动连接有动力传送带(17)，两个所述固定块(11)相对的一侧均与两个活动杆(12)互相远离的一侧滑动连接，所述固定螺母(15)的内表面与螺纹滑动杆(14)的外表面螺纹连接，所述动力传送带(17)的底部依次贯穿固定块(11)、支撑板(7)和机械箱(8)并延伸至机械箱(8)的内部，所述机械箱(8)的内腔固定连接有驱动装置(18)。

2.根据权利要求1所述的一种大面积均匀涂覆匀胶机,其特征在于：所述驱动装置(18)包括二号电机(19)，所述二号电机(19)的输出端通过减速器固定连接有二号旋转轴(20)，所述二号旋转轴(20)的外表面固定连接有横向齿轮(21)。

3.根据权利要求1所述的一种大面积均匀涂覆匀胶机,其特征在于：所述机械箱(8)内腔顶部的四周均转动连接有传动轴(22)，两个所述传动轴(22)相对的一端均固定连接有纵向齿轮(23)。

4.根据权利要求3所述的一种大面积均匀涂覆匀胶机,其特征在于：所述传动轴(22)的外表面固定连接有二号从动轮(24)，所述纵向齿轮(23)的底部与横向齿轮(21)的顶部相啮合。

5.根据权利要求4所述的一种大面积均匀涂覆匀胶机,其特征在于：所述二号从动轮(24)的外表面与动力传送带(17)的内表面传动连接，所述夹持块(13)的顶部滑动连接有顶部夹持板(25)。

6.根据权利要求5所述的一种大面积均匀涂覆匀胶机,其特征在于：所述顶部夹持板(25)的底部且位于夹持块(13)的内腔固定连接有限位杆(26)，所述限位杆(26)的外表面套摄有伸缩弹簧(27)。

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